具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺，包括：基座和活動平臺；基座與活動平臺之間設置有至少兩組導動裝置；構件裝設面中央凸設定位有中空限位座，中空限位座內(nèi)部形成腔室、端面中央則設有一軸孔貫通腔室；活動平臺內(nèi)面凸設定位有抵靠板，抵靠板與活動平臺內(nèi)面之間界定形成有間隔空間；構件裝設面與活動平臺內(nèi)面之間設有工字型迫緊座；通過工字型迫緊座的浮動盤與中空限位座的腔室之間的環(huán)狀間隙空間相對構成一流體增壓接口；流體增壓接口連接有流體導入單元；本發(fā)明令活動平臺的定止狀態(tài)獲得一種流體增壓迫緊式的加強穩(wěn)固功能與效果，達到增益活動平臺結構強度與穩(wěn)固性、大幅提升加工精度質(zhì)量的目的。
【專利說明】具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種對位平臺裝置，特別涉及一種具有流體增壓緊迫定位功能的創(chuàng)新對位平臺。

【背景技術】
[0002]按，隨著高科技時代的來臨，多種制造加工的處理模式已進入奈米等級，眾多精密產(chǎn)品于制程中有更高更嚴苛的精度要求，尤其是光電及晶圓產(chǎn)品，其精密定位技術成為必備條件。
[0003]精密加工制程中，對位平臺(或稱對位滑臺)為產(chǎn)業(yè)界普遍采用的設備；目前現(xiàn)有對位平臺的典型結構形態(tài)，主要是在一活動平臺與一基座之間橫設有數(shù)組X軸向與Y軸向的螺桿導動裝置，螺桿導動裝置的組裝座部被定位于基座，螺桿導動裝置的伸縮作動端則呈滑動配合狀態(tài)連結于活動平臺；藉此，其運作時能夠透過控制螺桿導動裝置的其中單組作動或整體同動等方式，達到驅(qū)使活動平臺位移或轉(zhuǎn)動以調(diào)校加工精準度的目的。
[0004]前述對位平臺結構于使用上雖確可達到其精密位移調(diào)校的功能，但其問題點卻是出在于定位的部份，概因，現(xiàn)有對位平臺結構無論處于作動狀態(tài)或定止狀態(tài)時，其活動平臺的支撐力與定位性完全是仰賴螺桿導動裝置的連接關系來達成，然而，由于螺桿導動裝置與活動平臺之間呈滑動配合連接關系，此種組合狀態(tài)于二者各相連結處難免存在有配合公差，而配合公差累積的結果，勢必造成對位平臺于定止狀態(tài)時并無法達到剛性穩(wěn)固定位狀態(tài)的問題，亦即對于側向作用力并無足夠的承載支撐能力，此一問題對于三軸配置形態(tài)的對位平臺而言尤為嚴重，因其活動平臺定止時，其中一導動軸呈較大自由度連結狀態(tài)，故承載支撐能力較弱；而另一種四軸配置形態(tài)現(xiàn)有對位平臺，其側向承載力雖優(yōu)于前述三軸配置形態(tài)者，但其缺點是制造成本大幅提高，且仍舊存在組合累進公差問題而無法達到剛性穩(wěn)固支撐狀態(tài)；是以綜合上揭現(xiàn)有對位平臺的結構設計，其加工過程中當活動平臺受力達一定程度時，往往容易產(chǎn)生抖振、偏移現(xiàn)象而嚴重影響到最終產(chǎn)品加工精度與質(zhì)量，如此而難以符合產(chǎn)業(yè)界預期的高精度要求，實有必要再加以思索突破。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的主要目的在于提供一種具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺。
[0006]為達到上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案:
[0007]—種具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺包括:
[0008]—基座,為具有一面積與厚度的座體形態(tài)，該基座包括一著置面以及一構件裝設面；
[0009]一活動平臺，設于基座的構件裝設面一間隔距離位置處，該活動平臺包括一加工臺面以及一內(nèi)面；
[0010]至少兩組導動裝置，呈不同作動軸向分布形態(tài)設置連接于基座的構件裝設面與活動平臺的內(nèi)面之間，導動裝置用于驅(qū)使控制活動平臺產(chǎn)生多方向平移調(diào)整運動；
[0011]一中空限位座，凸設定位于基座的構件裝設面中央，該中空限位座內(nèi)部形成一腔室，中空限位座的端面中央則開設有一軸孔貫通該腔室；
[0012]一抵靠板，凸設定位于活動平臺的內(nèi)面一間隔距離處，該抵靠板與活動平臺內(nèi)面之間界定形成有一間隔空間，抵靠板具一抵靠作用面與活動平臺內(nèi)面間隔相對，且抵靠板中央開設有一穿透口，又該抵靠板與中空限位座的端面之間呈相互抵靠狀態(tài)；
[0013]一工字型迫緊座，設于基座的構件裝設面與活動平臺的內(nèi)面之間的中央?yún)^(qū)域，該工字型迫緊座包括平行間隔配置的一浮動盤、一迫緊盤以及垂直向連結定位于該浮動盤與迫緊盤之間中央位置的一連動軸，其中該浮動盤置于中空限位座的腔室中，且浮動盤周邊設有止密環(huán)而與腔室之間呈氣密配合關系，迫緊盤置于抵靠板與活動平臺內(nèi)面之間所形成的間隔空間中，該迫緊盤具有一迫緊面與抵靠板的抵靠作用面相對應，該連動軸則穿組于中空限位座所設軸孔；
[0014]一流體增壓接口，通過工字型迫緊座的浮動盤與中空限位座的腔室之間的環(huán)狀間隙空間所相對構成；
[0015]一流體導入單元，包括設于中空限位座一側的流體壓力導入通道以及連通該流體壓力導入通道的一流體導管，其中該流體壓力導入通道內(nèi)端連通流體增壓接口。
[0016]藉此創(chuàng)新獨特設計，使本發(fā)明對照先前技術而言，當該流體導入單元導入流體壓力令流體增壓界面之間隙膨脹時，整體工字型迫緊座會朝基座方向位移，驅(qū)使迫緊盤的迫緊面朝抵靠板的抵靠作用面產(chǎn)生抵緊作用，令活動平臺的定止狀態(tài)獲得一種流體增壓迫緊式的加強穩(wěn)固功能與效果，進而達到增益精密對位平臺的活動平臺結構強度與穩(wěn)固性、大幅提升加工精度質(zhì)量且結構簡單而易于量產(chǎn)制造等諸多實用進步性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明結構較佳實施例的分解立體圖。
[0018]圖2為本發(fā)明結構較佳實施例的組合立體圖。
[0019]圖3為本發(fā)明結構較佳實施例的組合剖視圖。
[0020]圖4為本發(fā)明可利用流體壓力迫緊定位的作動狀態(tài)示意圖。
[0021]圖5為本發(fā)明的流體增壓釋放界面導入流體壓力狀態(tài)示意圖。

【具體實施方式】
[0022]請參閱圖1、2、3，本發(fā)明具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺A包括下述構成:
[0023]—基座10,為具有一面積與厚度的座體形態(tài),該基座10包括一著置面11以及一構件裝設面12 ；
[0024]一活動平臺20，設于基座10的構件裝設面12 —間隔距離位置處，該活動平臺20包括一加工臺面21以及一內(nèi)面22 ；
[0025]至少兩組導動裝置30，呈不同作動軸向分布形態(tài)設置連接于基座10的構件裝設面12與活動平臺20的內(nèi)面22之間，導動裝置30藉以驅(qū)使控制活動平臺20產(chǎn)生多方向平移調(diào)整運動(通常為X軸、Y軸以及旋轉(zhuǎn)運動)；
[0026]一中空限位座40，凸設定位于基座10的構件裝設面12中央，該中空限位座40內(nèi)部形成一腔室41，中空限位座40的端面42中央則開設有一軸孔43貫通該腔室41 ；
[0027]—抵靠板50，凸設定位于活動平臺20的內(nèi)面一間隔距離處，該抵靠板50與活動平臺20內(nèi)面之間界定形成有一間隔空間51，抵靠板50具一抵靠作用面52與活動平臺20內(nèi)面22間隔相對，且抵靠板50中央開設有一穿透口 53，抵靠板50與中空限位座40的端面42之間呈相互抵靠狀態(tài)；
[0028]一工字型迫緊座60，設于基座10的構件裝設面12與活動平臺20的內(nèi)面22之間的中央?yún)^(qū)域，該工字型迫緊座60包括平行間隔配置的一浮動盤61、一迫緊盤62以及垂直向連結定位于該浮動盤61與迫緊盤62之間中央位置的一連動軸63，其中該浮動盤61置于中空限位座40的腔室41中呈可限位滑移浮動狀態(tài)，且浮動盤61周邊設有止密環(huán)612而與腔室41之間呈氣密配合關系，迫緊盤62置于抵靠板50與活動平臺20內(nèi)面22之間所形成的間隔空間51中，該迫緊盤62具有一迫緊面624與抵靠板50的抵靠作用面52相對應，該連動軸63則穿組于中空限位座40所設軸孔43呈可軸向樞動狀態(tài)；
[0029]一流體增壓接口 70，通過工字型迫緊座60的浮動盤61與中空限位座40的腔室41之間的環(huán)狀間隙空間所相對構成；
[0030]一流體導入單元80，包括設于中空限位座40 —側的流體壓力導入通道81以及藉以導入一外部流體(為氣體或油)壓力并連通該流體壓力導入通道81的一流體導管82，其中該流體壓力導入通道81內(nèi)端連通流體增壓界面70。
[0031]通過上述結構組成設計，本發(fā)明對位平臺A實際應用上，其所能達到的創(chuàng)新獨特功能如圖4所示，當該流體導入單元80導入流體壓力(如箭號LI所示)令流體增壓界面70之間隙膨脹時，整體工字型迫緊座60會朝基座10方向位移(如箭號L2所示)，驅(qū)使迫緊盤62的迫緊面624朝抵靠板50的抵靠作用面52產(chǎn)生抵緊作用(如箭號L3所示)，藉此令活動平臺20的定止狀態(tài)能夠獲得一種流體增壓迫緊式的加強穩(wěn)固功能與效果，此即為本發(fā)明所欲訴求與達到的主要功效及目的。
[0032]如圖3所示，其中該抵靠板50與中空限位座40的端面之間更可形成一流體增壓釋放界面54，且于中空限位座40 —側設一第二組流體導入單元90，包括設于中空限位座一側的流體壓力導入孔道91以及藉以導入一外部流體壓力并連通該流體壓力導入孔道91的一流體輸送管92，其中該流體壓力導入孔道91內(nèi)端連通流體增壓釋放界面54 ;藉此實施例設計，其作動上如圖5所示，當該流體增壓釋放界面54導入流體壓力時(如箭號L4所示)，能夠令抵靠板50與中空限位座40之間產(chǎn)生流體壓力撐張浮動效果(亦即令抵靠板50連同抵靠板50產(chǎn)生浮升效果，如箭號L5所示)，以利于抵靠板50的順暢調(diào)整位移。
[0033]其中，該工字型迫緊座60的迫緊盤62可采用具有一第一硬度的金屬材質(zhì)(如鐵)所構成，該抵靠板50的抵靠作用面52則可采用具有一第二硬度的金屬材質(zhì)(如鋁)所構成，其中所述第一硬度大于第二硬度。藉此材質(zhì)差異式設計，主要可再增進該迫緊盤62抵迫于抵靠作用面52時的緊密度與穩(wěn)固性，具有迫緊效果增益的優(yōu)點。
[0034]又如圖1、3、5所示，其中該中空限位座40的端面42中央對應軸孔43處更可形成一環(huán)凸垣44，并令抵靠板50所設穿透口的口徑大于該環(huán)凸垣44。
[0035]其中，該基座10的著置面11安裝使用形態(tài)，包括向下組裝形態(tài)(即圖3所示狀態(tài))或者向上懸吊式組裝形態(tài)(本例圖面省略繪示)者。其中所述向上懸吊式組裝形態(tài)通常應用于微距型沖壓設備，亦屬本發(fā)明可應用的范疇。
[0036]本發(fā)明的優(yōu)點:
[0037]本發(fā)明具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺主要通過所述基座、活動平臺、導動裝置、中空限位座、抵靠板、工字型迫緊座、流體增壓接口、流體導入單元等所構成的創(chuàng)新獨特結構形態(tài)技術特征，使本發(fā)明對照【【背景技術】】所提現(xiàn)有結構而言，當該流體導入單元導入流體(為氣體或油)壓力令流體增壓界面之間隙膨脹時，整體工字形迫緊座會朝基座方向位移，驅(qū)使迫緊盤的迫緊面朝抵靠板的抵靠作用面產(chǎn)生抵緊作用，令活動平臺的定止狀態(tài)獲得一種流體增壓迫緊式的加強穩(wěn)固功能與效果，可消除對位平臺構件組合間隙與累進公差，且有效支撐對抗活動平臺的側向力、重壓力及滾壓作用力，進而能夠達到增益精密對位平臺的活動平臺結構強度與穩(wěn)固性、大幅提升加工精度質(zhì)量且結構簡單而易于量產(chǎn)制造等諸多實用進步性。
[0038]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術領域】的技術人員在本發(fā)明揭露的技術范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。
【權利要求】
1.一種具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺，其特征在于包括: 一基座，為具有一面積與厚度的座體形態(tài)，該基座包括一著置面以及一構件裝設面； 一活動平臺，設于基座的構件裝設面一間隔距離位置處，該活動平臺包括一加工臺面以及一內(nèi)面； 至少兩組導動裝置，呈不同作動軸向分布形態(tài)設置連接于基座的構件裝設面與活動平臺的內(nèi)面之間，導動裝置用于驅(qū)使控制活動平臺產(chǎn)生多方向平移調(diào)整運動； 一中空限位座，凸設定位于基座的構件裝設面中央，該中空限位座內(nèi)部形成一腔室，中空限位座的端面中央則開設有一軸孔貫通該腔室； 一抵靠板，凸設定位于活動平臺的內(nèi)面一間隔距離處，該抵靠板與活動平臺內(nèi)面之間界定形成有一間隔空間，抵靠板具一抵靠作用面與活動平臺內(nèi)面間隔相對，且抵靠板中央開設有一穿透口，又該抵靠板與中空限位座的端面之間呈相互抵靠狀態(tài)； 一工字型迫緊座，設于基座的構件裝設面與活動平臺的內(nèi)面之間的中央?yún)^(qū)域，該工字型迫緊座包括平行間隔配置的一浮動盤、一迫緊盤以及垂直向連結定位于該浮動盤與迫緊盤之間中央位置的一連動軸，其中該浮動盤置于中空限位座的腔室中，且浮動盤周邊設有止密環(huán)而與腔室之間呈氣密配合關系，迫緊盤置于抵靠板與活動平臺內(nèi)面之間所形成的間隔空間中，該迫緊盤具有一迫緊面與抵靠板的抵靠作用面相對應，該連動軸則穿組于中空限位座所設軸孔； 一流體增壓接口，通過工字型迫緊座的浮動盤與中空限位座的腔室之間的環(huán)狀間隙空間所相對構成； 一流體導入單元，包括設于中空限位座一側的流體壓力導入通道以及連通該流體壓力導入通道的一流體導管，其中該流體壓力導入通道內(nèi)端連通流體增壓接口。
2.根據(jù)權利要求1所述的具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺，其特征在于，所述抵靠板與中空限位座的端面之間形成一流體增壓釋放接口，且于中空限位座一側設一第二組流體導入單元，包括設于中空限位座一側的流體壓力導入通道以及連通該流體壓力導入通道的一流體導管，其中該流體壓力導入通道內(nèi)端連通流體增壓釋放界面。
3.根據(jù)權利要求2所述的具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺，其特征在于，所述工字型迫緊座的迫緊盤采用具有一第一硬度的金屬材質(zhì)所構成，該抵靠板的抵靠作用面則采用具有一第二硬度的金屬材質(zhì)所構成，其中所述第一硬度大于第二硬度。
4.根據(jù)權利要求3所述的具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺，其特征在于，所述中空限位座的端面中央對應軸孔處形成一環(huán)凸垣，并令抵靠板所設穿透口的口徑大于該環(huán)凸垣。
5.根據(jù)權利要求4所述的具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺，其特征在于，所述基座的著置面安裝使用形態(tài)，包括向下組裝形態(tài)或者向上懸吊式組裝形態(tài)。
6.根據(jù)權利要求5所述的具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺，其特征在于，所述流體采用氣體或油。
【文檔編號】B23Q1/38GK104139310SQ201310261979
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2013年6月27日 優(yōu)先權日:2013年5月3日
【發(fā)明者】莊運清 申請人:高明鐵企業(yè)股份有限公司