專利名稱：振鏡掃描裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
振鏡掃描裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光加工領(lǐng)域，尤其涉及一種振鏡掃描裝置。背景技術(shù)：
振鏡安裝座是振鏡掃描裝置中的一個(gè)嚴(yán)格遵守X、Y振鏡工作時(shí)的技術(shù)指標(biāo)設(shè)計(jì) 加工而成的基本零件，其基本特點(diǎn)是安裝有X、Y振鏡和底部的聚焦鏡頭。由此看出，振鏡安 裝座上必須有四個(gè)孔使其內(nèi)部腔體能與體外聯(lián)通，即X、Y振鏡的安裝孔、聚焦鏡頭的安裝 孔、激光進(jìn)光孔。傳統(tǒng)的振鏡安裝座前三個(gè)孔由于裝有相應(yīng)的光學(xué)元器件，實(shí)際上已經(jīng)全密封，只 剩下激光的進(jìn)光孔未密封。圖1是傳統(tǒng)的振鏡掃描裝置的立體圖，圖2是該振鏡掃描裝置 去除了振鏡安裝座后的示意圖。傳統(tǒng)的振鏡掃描裝置包括振鏡安裝座110、X振鏡120、Y振 鏡130以及聚焦鏡頭140，其中X振鏡120、Y振鏡130、聚焦鏡頭140均安裝于振鏡安裝座 110上。其工作原理是激光器發(fā)出的激光經(jīng)振鏡安裝座110上的進(jìn)光孔112打在X振鏡120 上，經(jīng)X振鏡120反射打在Y振鏡130上，最后被Y振鏡130反射到聚焦鏡頭140上，并經(jīng) 聚焦鏡頭140聚焦后打在工件表面上。傳統(tǒng)的振鏡掃描裝置還包括用于校準(zhǔn)的準(zhǔn)直光源150和合束鏡160，如圖3所示。 準(zhǔn)直光源150通過電線152獲得工作電源，并發(fā)出波長(zhǎng)為650nm的紅激光，其光路與激光器 發(fā)出的激光光路共面且垂直。合束鏡160設(shè)于進(jìn)光孔112前且位于紅激光和激光器發(fā)出的 激光的光路上，合束鏡160與上述兩束激光均成45度夾角，使得他們?cè)谕ㄟ^合束鏡160后 的光路重合。這樣在激光器發(fā)光前，先讓準(zhǔn)直光源150發(fā)出紅光，經(jīng)兩振鏡反射后在工件表 面模擬出激光器發(fā)出的激光的位置。然而傳統(tǒng)的振鏡安裝座的內(nèi)腔通過進(jìn)光孔與外界連通，會(huì)使振鏡及其他元件受到 灰塵等雜質(zhì)的污染，影響設(shè)備的光學(xué)性能，甚至可能導(dǎo)致鏡片燒毀。

實(shí)用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種避免振鏡安裝座內(nèi)腔通過進(jìn)光孔直接與外界直接相通的 振鏡掃描裝置。—種振鏡掃描裝置，包括振鏡安裝座，還包括安裝在所述振鏡安裝座的進(jìn)光孔處 形成密封結(jié)構(gòu)的合束鏡、以及安裝在所述振鏡安裝座上的準(zhǔn)直光源；所述準(zhǔn)直光源發(fā)出的 激光光束經(jīng)合束鏡反射后與從所述合束鏡進(jìn)入的激光光束重合。優(yōu)選的，所述振鏡掃描裝置還包括準(zhǔn)直光源安裝座，所述準(zhǔn)直光源通過準(zhǔn)直光源 安裝座安裝在振鏡安裝座上，所述振鏡安裝座上設(shè)有安裝準(zhǔn)直光源的準(zhǔn)直光源光路孔。優(yōu)選的，所述準(zhǔn)直光源安裝座包括一個(gè)中間開孔的圓盤，且在開孔處有一個(gè)與所 述圓盤一體成型、內(nèi)徑與所述圓盤中間的孔的直徑相等的環(huán)；所述準(zhǔn)直光源穿過環(huán)、圓盤中 間的孔以及振鏡安裝座上的準(zhǔn)直光源光路孔，安裝在振鏡安裝座上。優(yōu)選的，所述準(zhǔn)直光源安裝座是通過螺釘固定在振鏡安裝座上的。
3[0011]優(yōu)選的，所述螺釘?shù)臄?shù)量為3個(gè)，且相互之間呈正三角形排列。優(yōu)選的，所述圓盤和振鏡安裝座之間設(shè)有彈性密封圈。優(yōu)選的，所述彈性密封圈的材質(zhì)為硅膠。優(yōu)選的，還包括一個(gè)將所述準(zhǔn)直光源固定在準(zhǔn)直光源安裝座上的螺釘。優(yōu)選的，所述準(zhǔn)直光源為發(fā)射紅光的電子器件。優(yōu)選的，還包括安裝在所述振鏡安裝座上的X振鏡、Y振鏡及聚焦鏡頭，所述準(zhǔn)直 光源發(fā)出的激光和從合束鏡進(jìn)入的激光過合束鏡后入射到所述X振鏡上，再經(jīng)X振鏡反射 到Y(jié)振鏡上，最后經(jīng)Y振鏡反射到所述聚焦鏡頭上。上述振鏡掃描裝置通過將合束鏡安裝在進(jìn)光孔處，形成了密封結(jié)構(gòu)，避免振鏡安 裝座內(nèi)腔通過進(jìn)光孔直接與外界直接相通，從而避免安裝在振鏡安裝座中的光學(xué)器件免受 灰塵的影響，確保了設(shè)備的光學(xué)性能。

圖1為傳統(tǒng)的振鏡掃描裝置的示意圖；圖2傳統(tǒng)的振鏡掃描裝置去除了振鏡安裝座后的示意圖；圖3為傳統(tǒng)的振鏡掃描裝置用于校準(zhǔn)時(shí)的示意圖；圖4為一個(gè)實(shí)施例中本實(shí)用新型振鏡掃描裝置的正視圖；圖5為圖4的剖面圖；圖6為圖4的立體圖；圖7為準(zhǔn)直光源安裝座的示意圖。
具體實(shí)施方式圖4為一個(gè)實(shí)施例中本實(shí)用新型振鏡掃描裝置的正視圖，圖5為圖4的剖面圖，圖 6為圖4的立體圖。包括振鏡安裝座210、X振鏡220、Y振鏡230、聚焦鏡頭240、準(zhǔn)直光源 250以及合束鏡260。其中X振鏡220、Y振鏡230、聚焦鏡頭240均安裝于振鏡安裝座210 上。其與傳統(tǒng)技術(shù)的主要區(qū)別在于，合束鏡260安裝在進(jìn)光孔處，形成密封結(jié)構(gòu)；且在振鏡 安裝座210上開出一個(gè)準(zhǔn)直光源光路孔，將準(zhǔn)直光源250安裝在振鏡安裝座210上。準(zhǔn)直 光源250發(fā)出的激光光束經(jīng)合束鏡260反射后與從合束鏡260進(jìn)入的激光光束重合。在優(yōu)選的實(shí)施例中，振鏡掃描裝置還包括準(zhǔn)直光源安裝座254，準(zhǔn)直光源250是通 過準(zhǔn)直光源安裝座254安裝在振鏡安裝座210上的。如圖6所示，在優(yōu)選的實(shí)施例中，準(zhǔn)直光源安裝座254包括一個(gè)中間開孔的圓盤 2542，且在開孔處連接有一個(gè)內(nèi)徑與孔直徑相等的環(huán)2544，圓盤2542和環(huán)2544是一體成型 的。在其他實(shí)施例中，圓盤2542也可以采用除圓形外的其他形狀，例如橢圓形、方形或其他 不規(guī)則圖形。準(zhǔn)直光源250穿過環(huán)2544、圓盤2542上的孔以及振鏡安裝座210上的準(zhǔn)直光 源光路孔，安裝在振鏡安裝座210上。在優(yōu)選的實(shí)施例中，準(zhǔn)直光源安裝座254是通過多個(gè)螺釘2546固定在振鏡安裝座 210上的。在優(yōu)選的實(shí)施例中，螺釘數(shù)量為3，且呈正三角形排列。另外，在圓盤2542貼近 振鏡安裝座210的一面上還設(shè)有彈性密封圈2548。彈性密封圈2548位于螺釘2546之間， 其內(nèi)徑等于準(zhǔn)直光源250的直徑。通過調(diào)整螺釘2546的旋入深度，就能對(duì)準(zhǔn)直光源250的入射角度進(jìn)行調(diào)節(jié)。由于彈性密封圈2548的存在，就能保證將圓盤2542和振鏡安裝座210 之間的間隙進(jìn)行填充，從而形成密封結(jié)構(gòu)。在優(yōu)選的實(shí)施例中，彈性密封圈2548的材質(zhì)為硅膠；在其他實(shí)施例中，也可以為 其他彈性材料，例如橡膠。在其他實(shí)施例中，也可以用彈簧或其他連接件代替螺釘2546。在優(yōu)選的實(shí)施例中，可以用一個(gè)螺釘對(duì)準(zhǔn)直光源250進(jìn)行固定，例如將螺釘穿過 環(huán)2544并旋入準(zhǔn)直光源250中對(duì)其進(jìn)行固定。上述振鏡掃描裝置通過將合束鏡安裝在進(jìn)光孔處，形成了密封結(jié)構(gòu)，避免振鏡安 裝座內(nèi)腔通過進(jìn)光孔直接與外界直接相通，從而避免安裝在振鏡安裝座中的光學(xué)器件免受 灰塵的影響，確保了設(shè)備的光學(xué)性能。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)， 但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬 于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種振鏡掃描裝置，包括振鏡安裝座，其特征在于，還包括安裝在所述振鏡安裝座的進(jìn)光孔處形成密封結(jié)構(gòu)的合束鏡、以及安裝在所述振鏡安裝座上的準(zhǔn)直光源；所述準(zhǔn)直光源發(fā)出的激光光束經(jīng)合束鏡反射后與從所述合束鏡進(jìn)入的激光光束重合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡掃描裝置，其特征在于，所述振鏡掃描裝置還包括準(zhǔn)直 光源安裝座，所述準(zhǔn)直光源通過準(zhǔn)直光源安裝座安裝在振鏡安裝座上，所述振鏡安裝座上 設(shè)有安裝準(zhǔn)直光源的準(zhǔn)直光源光路孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振鏡掃描裝置，其特征在于，所述準(zhǔn)直光源安裝座包括一個(gè) 中間開孔的圓盤，且在開孔處有一個(gè)與所述圓盤一體成型、內(nèi)徑與所述圓盤中間的孔的直 徑相等的環(huán)；所述準(zhǔn)直光源穿過環(huán)、圓盤中間的孔以及振鏡安裝座上的準(zhǔn)直光源光路孔，安 裝在振鏡安裝座上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振鏡掃描裝置，其特征在于，所述準(zhǔn)直光源安裝座是通過螺 釘固定在振鏡安裝座上的。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振鏡掃描裝置，其特征在于，所述螺釘?shù)臄?shù)量為3個(gè)，且相互 之間呈正三角形排列。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振鏡掃描裝置，其特征在于，所述圓盤和振鏡安裝座之間設(shè) 有彈性密封圈。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振鏡掃描裝置，其特征在于，所述彈性密封圈的材質(zhì)為硅膠。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振鏡掃描裝置，其特征在于，還包括一個(gè)將所述準(zhǔn)直光源固 定在準(zhǔn)直光源安裝座上的螺釘。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡掃描裝置，其特征在于，所述準(zhǔn)直光源為發(fā)射紅光的電 子器件。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡掃描裝置，其特征在于，還包括安裝在所述振鏡安裝座 上的X振鏡、Y振鏡及聚焦鏡頭，所述準(zhǔn)直光源發(fā)出的激光和從合束鏡進(jìn)入的激光過合束鏡 后入射到所述X振鏡上，再經(jīng)X振鏡反射到Y(jié)振鏡上，最后經(jīng)Y振鏡反射到所述聚焦鏡頭上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種振鏡掃描裝置，包括振鏡安裝座，還包括安裝在所述振鏡安裝座的進(jìn)光孔處形成密封結(jié)構(gòu)的合束鏡、以及安裝在所述振鏡安裝座上的準(zhǔn)直光源；所述準(zhǔn)直光源發(fā)出的激光光束經(jīng)合束鏡反射后與從所述合束鏡進(jìn)入的激光光束重合。上述振鏡掃描裝置通過將合束鏡安裝在進(jìn)光孔處，形成了密封結(jié)構(gòu)，避免振鏡安裝座內(nèi)腔通過進(jìn)光孔直接與外界直接相通，從而避免安裝在振鏡安裝座中的光學(xué)器件免受灰塵的影響，確保了設(shè)備的光學(xué)性能。
文檔編號(hào)B23K26/04GK201720608SQ20102022767
公開日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月13日
發(fā)明者林敬剛, 王云鵬, 高云峰 申請(qǐng)人:深圳市大族激光科技股份有限公司