具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體。該電子注軸向速度測(cè)量腔體包括：主腔體結(jié)構(gòu)100和收集極腔體結(jié)構(gòu)200。其中，主腔體結(jié)構(gòu)100包括：主腔體本體101；以及電子注感應(yīng)環(huán)106，隔著絕緣陶瓷環(huán)107固定于主腔體本體101的內(nèi)側(cè)。收集極腔體結(jié)構(gòu)200與主腔體本體101相連通，其內(nèi)側(cè)腔體呈中間大、兩頭小的紡錘形。其中，電子注由主腔體結(jié)構(gòu)100的入口進(jìn)入，經(jīng)由電子注感應(yīng)環(huán)106內(nèi)側(cè)進(jìn)入收集極腔體結(jié)構(gòu)200內(nèi)。本發(fā)明可以減小雜散電子對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，提高電子注軸向速度的測(cè)量精度。
【專(zhuān)利說(shuō)明】具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空電子學(xué)【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體。
【背景技術(shù)】
[0002]電真空器件是一類(lèi)在真空或氣體介質(zhì)中，利用電子注與高頻電磁場(chǎng)相互作用而實(shí)現(xiàn)微波功率放大與轉(zhuǎn)換功能的有源電子器件。如今，電真空器件在雷達(dá)、電子對(duì)抗、制導(dǎo)和衛(wèi)星通信等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。隨著電真空器件技術(shù)的發(fā)展，各種各樣的電子注測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)運(yùn)而生。電子注軸向速度是電子注的重要性質(zhì)，而測(cè)量腔體是電子注軸向速度測(cè)量系統(tǒng)的重要組成部分。
[0003]圖1為現(xiàn)有技術(shù)電子注軸向速度測(cè)量腔體的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，容性探針裝置的前端通過(guò)法蘭盤(pán)104與待測(cè)設(shè)備，如電子槍、速調(diào)管、回旋管等，相連接，其后端通過(guò)絕緣陶瓷500和連接管108與平面盲板法蘭600連接。該容性探針裝置包括:主腔體本體101，其同時(shí)作為外電極；電子注感應(yīng)環(huán)106，其作為內(nèi)電極。其中，該主腔體本體101和電子注感應(yīng)環(huán)106之間具有絕緣陶瓷筒107，兩者構(gòu)成了電容，電子注感應(yīng)環(huán)106通過(guò)導(dǎo)線400連接至真空腔體結(jié)構(gòu)101外側(cè)。利用容性探針裝置測(cè)量電子注的感應(yīng)電壓V(t)，并在平面盲板法蘭600上測(cè)量電子注電流I (t)，進(jìn)而就可以由下式計(jì)算得到電子注的平均軸向速度v(t):
[0004]v(t)=k.I (t)/V(t) (I)
[0005]其中，該感應(yīng)電壓V(t)為電子注通過(guò)真空腔體而在容性探針內(nèi)電極感應(yīng)得到的；k是由容性探針的結(jié)構(gòu)及測(cè)量電路決定的一個(gè)常系數(shù)。
[0006]然而，在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過(guò)程中， 申請(qǐng)人:發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)電子注軸向速度測(cè)量腔體存在如下技術(shù)缺陷:
[0007](I)電子注轟擊在平面盲板法蘭上產(chǎn)生大量二次電子，該二次電子使得電子注電流測(cè)量不準(zhǔn)確，并且二次電子回轟在容性探針內(nèi)電極上會(huì)干擾電子注感應(yīng)電壓的測(cè)量；
[0008](2)具有較大橫向速度的電子注通過(guò)容性探針時(shí)部分邊緣電子發(fā)散打在容性探針內(nèi)電極上，使得內(nèi)電極傳輸?shù)碾娮幼⒏袘?yīng)電壓錯(cuò)誤，甚至有破壞內(nèi)電極的風(fēng)險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009](一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0010]鑒于上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體，以減小雜散電子對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，提高電子注軸向速度的測(cè)量精度，延長(zhǎng)測(cè)量腔體中部件的使用壽命。
[0011](二)技術(shù)方案
[0012]本發(fā)明具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體包括:主腔體結(jié)構(gòu)100和收集極腔體結(jié)構(gòu)200。其中，主腔體結(jié)構(gòu)100包括:主腔體本體101 ;以及電子注感應(yīng)環(huán)106，隔著絕緣陶瓷環(huán)107固定于主腔體本體101的內(nèi)側(cè)。收集極腔體結(jié)構(gòu)200與主腔體本體101相連通，其內(nèi)側(cè)腔體呈中間大、兩頭小的紡錘形。其中，電子注由主腔體結(jié)構(gòu)100的入口進(jìn)入，經(jīng)由電子注感應(yīng)環(huán)106內(nèi)側(cè)進(jìn)入收集極腔體結(jié)構(gòu)200內(nèi)。
[0013](三)有益效果
[0014]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體具有以下有益效果:
[0015](I)在主腔體結(jié)構(gòu)前端和后端分別設(shè)置電子吸收環(huán)，濾去電子注邊緣發(fā)散角過(guò)大的電子，起到電子注整形的作用，防止雜散電子直接轟擊到容性探針結(jié)構(gòu)；
[0016](2)收集極腔體結(jié)構(gòu)設(shè)置為中間粗兩頭細(xì)的形狀，可以有效防止電子注轟擊時(shí)二次電子逸出，再輔以內(nèi)壁打毛工藝和鍍低二次電子發(fā)射系數(shù)的涂層，使收集極處產(chǎn)生的二次電子減到最??；
[0017](3)利用可調(diào)電壓直流穩(wěn)壓電路在收集極與后法蘭盤(pán)上加一個(gè)適當(dāng)?shù)呢?fù)電壓以阻止采取上述措施后仍微量產(chǎn)生的雜散電子返回容性探針結(jié)構(gòu)區(qū)域，使雜散電子被收集極或電子吸收環(huán)吸收。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1為現(xiàn)有技術(shù)電子注軸向速度測(cè)量腔體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施 例具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]【本發(fā)明主要元件符號(hào)說(shuō)明】
[0021]100-主腔體結(jié)構(gòu)；
[0022]101-主腔體本體；102-前電子吸收環(huán)；
[0023]103-后電子吸收環(huán)；104-前法蘭盤(pán)；
[0024]105-后法蘭盤(pán)；106-電子注感應(yīng)環(huán)；
[0025]107-絕緣陶瓷；108-連接環(huán)；
[0026]109-絕緣陶瓷；
[0027]200-收集極腔體結(jié)構(gòu)；
[0028]201-錐形開(kāi)口前端；202-圓筒主體；
[0029]203-錐形后端；
[0030]3OO-偏壓電路；
[0031]301、302-導(dǎo)線；303-可調(diào)直流電壓源。
【具體實(shí)施方式】
[0032]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，在附圖或說(shuō)明書(shū)描述中，相似或相同的部分都使用相同的圖號(hào)。附圖中未繪示或描述的實(shí)現(xiàn)方式，為所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中普通技術(shù)人員所知的形式。另外，雖然本文可提供包含特定值的參數(shù)的示范，但應(yīng)了解，參數(shù)無(wú)需確切等于相應(yīng)的值，而是可在可接受的誤差容限或設(shè)計(jì)約束內(nèi)近似于相應(yīng)的值。實(shí)施例中提到的方向用語(yǔ)，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，僅是參考附圖的方向。因此，使用的方向用語(yǔ)是用來(lái)說(shuō)明并非用來(lái)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0033]本發(fā)明具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體中，采用各種措施消除二次電子從收集極逸出引的起電子注電流測(cè)量誤差，以及防止雜散電子及散焦電子打到容性探針結(jié)構(gòu)上引起容性探針測(cè)量信號(hào)失真。
[0034]在本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例中，提供了一種具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體。圖2為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，該電子注軸向速度測(cè)量腔體包括:主腔體結(jié)構(gòu)100和收集極腔體結(jié)構(gòu)200。其中，主腔體結(jié)構(gòu)100包括:主腔體本體101 ;絕緣陶瓷環(huán)107，固定于主腔體本體101的內(nèi)側(cè)；電子注感應(yīng)環(huán)106，固定于絕緣陶瓷環(huán)107的內(nèi)側(cè)。收集極腔體結(jié)構(gòu)200，與主腔體結(jié)構(gòu)100相連通，呈中間大、兩頭小的紡錘形。其中，電子注由主腔體結(jié)構(gòu)100的入口進(jìn)入,經(jīng)由電子注感應(yīng)環(huán)106內(nèi)側(cè)后進(jìn)入收集極腔體結(jié)構(gòu)200內(nèi)，由該紡錘形的收集極腔體進(jìn)行吸收，當(dāng)所述電子感應(yīng)環(huán)106內(nèi)側(cè)通過(guò)電子注時(shí)，產(chǎn)生感應(yīng)電壓信號(hào)，當(dāng)所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)收集入射的電子注后，產(chǎn)生電子注電流信號(hào)。
[0035]以下分別對(duì)本實(shí)施例電子注軸向速度測(cè)量腔體的各個(gè)組成部分進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0036]請(qǐng)參照?qǐng)D2，主腔體本體101呈圓筒狀，其前端與前法蘭盤(pán)104釬焊密封，進(jìn)而連接至待測(cè)電子注源，如電子槍、速調(diào)管、回旋管等，后端通過(guò)連接環(huán)108、后法蘭盤(pán)105和絕緣陶瓷109連接至收集極腔體結(jié)構(gòu)200。此外，該主腔體本體101由無(wú)磁不銹鋼材料制備。
[0037]在主腔體本體101的內(nèi)側(cè)，固定絕緣陶瓷筒107。而在絕緣陶瓷筒107的內(nèi)側(cè)，固定有金屬導(dǎo)電材料的電子注感應(yīng)環(huán)106，由陔電子注感應(yīng)環(huán)106來(lái)測(cè)量電子注通過(guò)時(shí)的感應(yīng)電壓。
[0038]在主腔體結(jié)構(gòu)100的中間位置，電子注感應(yīng)環(huán)106置于100主腔體本體101內(nèi)由絕緣陶瓷107絕緣,構(gòu)成容性探針。
[0039]在主腔體本體101的前端，設(shè)置有前電子吸收環(huán)102。該前電子吸收環(huán)102的內(nèi)徑r小于主腔體結(jié)構(gòu)100通過(guò)電子束最窄處的內(nèi)徑R，一般情況下滿足1/4R ^ T1 ^ 1/2R，其材料為電子吸收性能較好的材料，例如石墨或TiN等。當(dāng)電子注射入時(shí)，僅有入射方向靠近主腔體結(jié)構(gòu)中心軸線的電子可以通過(guò)，偏離主腔體結(jié)構(gòu)中心軸線的電子會(huì)被該前電子吸收環(huán)所阻擋。
[0040]在主腔體本體101的后端，設(shè)置具有廣口錐形開(kāi)口的后電子吸收環(huán)103，其中，該廣口錐形開(kāi)口的尖端方向朝向主腔體結(jié)構(gòu)100的內(nèi)側(cè)，其最窄處的半徑r2小于主腔體結(jié)構(gòu)100的內(nèi)徑R，一般情況下滿足1/3R ^ r2^ 2/3R，其材料為電子吸收性能較好的材料，例如石墨或TiN等。該后電子吸收環(huán)能夠阻擋由收集極腔體結(jié)構(gòu)反射而來(lái)的雜散電子，并將其吸收或重新反射回收集極腔體內(nèi)，從而不會(huì)對(duì)主腔體結(jié)構(gòu)中的測(cè)量產(chǎn)生不利影響。
[0041]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D2，收集極腔體結(jié)構(gòu)200通過(guò)絕緣陶瓷109、后法蘭盤(pán)105和連接環(huán)108與主腔體本體101相連接，并與主腔體結(jié)構(gòu)100同軸。其中，收集極腔體結(jié)構(gòu)200由無(wú)氧銅材料制備，連接環(huán)108由無(wú)磁不銹鋼材料制備。
[0042]該收集極腔體結(jié)構(gòu)200的主體部分包括:錐形開(kāi)口前端201、圓筒主體202和錐形后端203，其整體上呈中間粗兩頭細(xì)(或尖)的紡錘形。其中，錐形開(kāi)口前端201、圓筒主體202和錐形后端203的內(nèi)壁都經(jīng)過(guò)打毛工藝，并鍍有低二次電子發(fā)射系數(shù)的TiN涂層。
[0043]本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚，除了 TiN涂層之外，收集極腔體結(jié)構(gòu)200的主體部分內(nèi)壁還可以鍍或涂覆碳涂層等低二次電子發(fā)射系數(shù)的涂層，此處，低二次電子發(fā)射系數(shù)是指二次電子發(fā)射系數(shù)小于收集極腔體結(jié)構(gòu)200材料的二次電子發(fā)射系數(shù)至少50%。
[0044]本實(shí)施例中，通過(guò)將收集極設(shè)置為中間粗兩頭細(xì)的紡錘形，可以有效防止電子注轟擊時(shí)二次電子逸出，再輔以內(nèi)壁打毛工藝和鍍低二次電子發(fā)射的涂層，使收集極處產(chǎn)生的二次電子減到最小。
[0045]本實(shí)施例中，收集極腔體結(jié)構(gòu)200由無(wú)氧銅材料制備，后法蘭盤(pán)105由無(wú)磁不銹鋼材料制備。該收集極腔體結(jié)構(gòu)200與后法蘭盤(pán)105兩者之間通過(guò)絕緣陶瓷109密封并電絕緣。
[0046]本實(shí)施例中，電子注軸向速度測(cè)量腔體還包括:偏壓電路300，電性連接于收集極腔體結(jié)構(gòu)200和后法蘭盤(pán)105之間，使后法蘭盤(pán)105的電壓低于收集極腔體結(jié)構(gòu)200的電壓。
[0047]其中，該偏壓電路包括:可調(diào)直流電壓源303，其正極通過(guò)導(dǎo)線302連接至收集極腔體結(jié)構(gòu)200，其負(fù)極通過(guò)導(dǎo)線301連接至后法蘭盤(pán)105。其中，該可調(diào)直流穩(wěn)壓電源可調(diào)電壓的幅度介于OV至1000V之間，視所測(cè)電子注峰值電壓來(lái)調(diào)節(jié)。
[0048]本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚，除了可調(diào)直流電壓源之外，偏壓電路中的電源也可以為能夠輸出固定偏壓的直流電壓源，一般情況下，該固定偏壓約為50V?200V之間。
[0049]至此，已經(jīng)結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)描述。依據(jù)以上描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)對(duì)本發(fā)明具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體有了清楚的認(rèn)識(shí)。
[0050]此外，上述對(duì)各元件和方法的定義并不僅限于實(shí)施例中提到的各種具體結(jié)構(gòu)、形狀或方式，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可對(duì)其進(jìn)行簡(jiǎn)單地更改或替換，例如:
[0051](I)主腔體本體110、收集極腔體結(jié)構(gòu)200還可以用其他金屬材料制備，并不限于上述實(shí)施例中提及的無(wú)氧銅或無(wú)磁不銹鋼；
[0052](2)前電子吸收環(huán)102和后電子吸收環(huán)103還可以用其他電子吸收性能較好的材料制備，并不限于上述實(shí)施例中提及的C或TiN。
[0053]綜上所述，本發(fā)明提供一種具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體。該電子注軸向速度測(cè)量腔體將收集極腔體設(shè)置為中間粗兩頭細(xì)的紡錘形，并通過(guò)主腔體結(jié)構(gòu)100前后兩個(gè)電子吸收環(huán)濾除雜散電子，在收集極腔體內(nèi)側(cè)打毛并鍍低二次電子發(fā)射系數(shù)的涂層，從而最大限度的降低了雜散電子對(duì)電子束軸向速度測(cè)量的影響，保護(hù)了容性探針結(jié)構(gòu)。
[0054]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種具有雜散電子抑制功能的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，包括: 主腔體結(jié)構(gòu)(100)，包括: 主腔體本體(101);以及 電子注感應(yīng)環(huán)(106)，隔著絕緣陶瓷環(huán)(107)固定于所述主腔體本體(101)的內(nèi)側(cè)；以及 收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)，與所述主腔體本體(101)相連通，其內(nèi)側(cè)腔體呈中間大、兩頭小的紡錘形； 其中，電子注由所述主腔體結(jié)構(gòu)(100)的入口進(jìn)入，經(jīng)由所述電子注感應(yīng)環(huán)(106)內(nèi)側(cè)進(jìn)入所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)的內(nèi)壁經(jīng)過(guò)打毛工藝。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)的內(nèi)壁具有低二次電子發(fā)射系數(shù)的涂層； 該低二次電子發(fā)射系數(shù)指二次電子發(fā)射系數(shù)小于所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)材料的二次電子發(fā)射系數(shù)至少50%。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所 述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)的內(nèi)壁鍍或涂覆C涂層或TiN涂層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，還包括: 后電子吸收環(huán)(103)，設(shè)置于所述主腔體本體(101)的后端，用于阻擋由所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)反射回所述主腔體結(jié)構(gòu)(100)的電子。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述后電子吸收環(huán)(103)具有廣口錐形開(kāi)口，該廣口錐形開(kāi)口的尖端方向朝向所述主腔體結(jié)構(gòu)(101)的內(nèi)側(cè)，其最窄處的半徑1"2滿足:
1/3R ^ r2 ^ 2/3R 其中，R為所述主腔體本體(101)的內(nèi)徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述后電子吸收環(huán)(103)的材料為石墨或TiN。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，還包括: 前電子吸收環(huán)(102)，設(shè)置于所述主腔體本體(101)的前端，其內(nèi)徑1^滿足:
1/4R ^ T1 ^ 1/2R 其中，R為所述主腔體本體(101)的內(nèi)徑。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述前電子吸收環(huán)(102)的材料為石墨或TiN。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述主腔體本體(101)的前端通過(guò)前法蘭盤(pán)(104)連接至待測(cè)電子注源，后端通過(guò)連接環(huán)(108)和后法蘭盤(pán)(105)連接至所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述后法蘭盤(pán)(105)和所述收集極腔體結(jié)構(gòu)之間具有絕緣陶瓷件(109);所述電子注軸向速度測(cè)量腔體還包括:偏壓電路(300)，電性連接于所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)和后法蘭盤(pán)(105)之間，使所述后法蘭盤(pán)(105)的電壓低于所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)的電壓。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述偏壓電路(300)包括: 直流電壓源(303)，其正極通過(guò)導(dǎo)線(302)連接至所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)，其負(fù)極通過(guò)導(dǎo)線(301)連接至后法蘭盤(pán)(105)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于，所述直流電壓源為可調(diào)直流電壓源，其可調(diào)幅度介于OV至1000V之間。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于:所述主腔體本體(101)由無(wú)磁不銹鋼材料制備，所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)由無(wú)氧銅材料制備。
15.根 據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的電子注軸向速度測(cè)量腔體，其特征在于:當(dāng)所述電子感應(yīng)環(huán)(106)內(nèi)側(cè)通過(guò)電子注后，產(chǎn)生感應(yīng)電壓信號(hào)；當(dāng)所述收集極腔體結(jié)構(gòu)(200)收集入射的電子注后，產(chǎn)生電子注電流信號(hào)。
【文檔編號(hào)】H01J37/244GK103794450SQ201410080812
【公開(kāi)日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2014年3月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月6日
【發(fā)明者】李慶生, 阮存軍, 李崇山, 李彥峰 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所