專利名稱：一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，具體涉及鍍膜后腔壁清潔，以維持真空環(huán)境下鍍膜品質(zhì)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有濺鍍?cè)O(shè)備的鍍膜腔室為防止濺鍍?cè)赐瑫r(shí)濺鍍到腔壁上接采取安裝防鍍遮板來達(dá)到目的，且皆以螺絲固定方式鎖固在腔壁上，此舉雖可固定牢靠，但對(duì)于后續(xù)維護(hù)防鍍遮板造成相當(dāng)?shù)牟槐憷?，若鎖固螺絲數(shù)量多，會(huì)花費(fèi)相當(dāng)多的時(shí)間在于螺絲的拆卸上。

發(fā)明內(nèi)容
綜上所述，為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是: 一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，包括兩個(gè)遮板本體、密接邊及下端折邊所構(gòu)成，其中一個(gè)遮板本體設(shè)有密接邊且高于遮板厚度3_，使兩個(gè)遮板可接合無間系，同時(shí)遮板本體下端設(shè)有折邊，使遮板本體可放至于腔壁上無需任何螺絲固定，同時(shí)為增加遮板本體強(qiáng)度，在其內(nèi)部設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)片，增加橫向強(qiáng)度。綜上所述本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、節(jié)省維修時(shí)間。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明。請(qǐng)參閱圖1所示，一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，其包括遮板本體11及14、密接邊12、下端折邊13組成，遮板本體11、14，一個(gè)遮板本體11設(shè)有密接邊12，可將兩個(gè)遮板本體接合且無任何間系，同時(shí)設(shè)有下端遮板13，可將遮板本體11、14放置在腔壁上，如此可防止濺鍍?cè)礊R鍍?cè)谇槐谏?。?qǐng)參閱圖2所示，遮板本體11、14內(nèi)部設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)板21可加強(qiáng)橫向強(qiáng)度使遮板不致于變形。以上所述實(shí)例是對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案的說明而非限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員的等同替換或者根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)而做的修改，只要未超出本發(fā)明技術(shù)方案的思路和范圍，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。


圖1系為本發(fā)明示意圖。圖2系為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖 主要元件符號(hào)說明
11...遮板本體
12...密接邊
13...下端折邊
14...遮板本體 21...補(bǔ)強(qiáng)板
權(quán)利要求
1.一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，其包括遮板本體所組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，其特徵在遮板本體一端設(shè)有接合邊，其聞?dòng)诹硪徽诎灏搴?mm聞度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，其特徵在于遮板本體下端設(shè)有折邊，折邊寬度10mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，兩個(gè)遮板本體為一組，已接合邊密接，使其變?yōu)橐徽w。
全文摘要
本發(fā)明系提供一種磁控濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，通過一個(gè)遮板本體設(shè)有密接邊、另一個(gè)遮板無密接邊的方式合并，使遮板接無間系，達(dá)到完全遮蔽濺鍍到鍍膜腔室腔壁上，同時(shí)遮板下端設(shè)有折邊，使遮板能放至于腔壁上，不需以螺絲固定。達(dá)到節(jié)省安裝時(shí)間的效果同時(shí)又易于更換。
文檔編號(hào)H01J37/32GK103205722SQ20121001065
公開日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年1月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月15日
發(fā)明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請(qǐng)人:吉富新能源科技(上海)有限公司