專利名稱：能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金屬電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種等離子體顯示板前玻璃基板電極的制作方法，尤其是一 種等離子顯示器前板金屬電極的制作技術(shù)，特別是一種利用薄膜光刻技術(shù)和 厚膜技術(shù)相結(jié)合的蔭罩式等離子體顯示板前襯底玻璃基板的金屬電極制作方 法，具體地說(shuō)是一種能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金屬電 極的制作方法。
背景技術(shù)：
絲網(wǎng)印刷法、光敏銀漿法和薄膜光刻法是比較常用的電極制備方法。目
前等離子體顯示板(PDP)前板金屬電極的制作用的比較多的是厚膜光刻法， 該方法也是蔭罩式等離子體顯示板前板上金屬電極制作的主要方法。采用厚
膜法制作前板金屬電極的過(guò)程是在玻璃基板上涂覆一層黑色玻璃漿料，烘 干后在其表面涂覆白色光敏銀漿并烘干，然后通過(guò)曝光、顯影等工藝形成電 極圖形，最后采用高溫?zé)墒购诎變煞N漿料中的樹脂等有機(jī)物分解，形成牢 固附著在前玻璃基板上的金屬電極。但是這種方法制備電極需要把漿料印刷 給玻璃基板的整面，而最終形成的圖形的漿料只有約30%，而高分辨的線條 通常需要用薄膜方法，分辨率的限制是決定是否使用厚膜技術(shù)的最大的因素； 薄膜光刻法是采用真空成膜裝置成膜，上面用光刻膠形成保護(hù)膜，然后經(jīng)過(guò) 曝光、顯影、腐蝕等一系列工藝技術(shù)，形成圖形，可以獲得整板均勻性好、 精度高的電極線條(幾微米寬)，但是光刻設(shè)備昂貴，制造工藝復(fù)雜，成本很 高，材料浪費(fèi)嚴(yán)重，且容易造成污染。
將薄膜光刻技術(shù)和厚膜技術(shù)相結(jié)合，不僅可以做到比較細(xì)的電極，且成 本遠(yuǎn)低于薄膜法，同時(shí)由于不需要整板印刷槳料，可以減少不必要的資源的 浪費(fèi)和制造費(fèi)用的增加，但高溫?zé)Y(jié)會(huì)導(dǎo)致電極材料中的銀離子擴(kuò)散進(jìn)入玻 璃基板中與玻璃中的Na、 K等元素發(fā)生置換反應(yīng)形成銀膠體，造成電極周圍 發(fā)黃即面板黃化，從而影響了等離子顯示板的亮度和對(duì)比度，使其畫質(zhì)降低。因此，現(xiàn)有的電極制備方法不能達(dá)到高質(zhì)量、高生產(chǎn)效率、低損耗、低污染、
無(wú)巻邊現(xiàn)象的要求，不能滿足現(xiàn)有的生產(chǎn)需要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有等離子體顯示面板的前板金屬電極制作方法存 在的資源浪費(fèi)大，生產(chǎn)效率不高，面板黃化，畫面質(zhì)量低，損耗大的問(wèn)題，
提出的一種采用不含金屬銀Ag的黑色漿料，以梯形的形狀形成在玻璃基板 上，然后在黑色漿料上形成導(dǎo)電銀漿，可有效阻止導(dǎo)電銀漿中的銀顆粒向下 擴(kuò)散進(jìn)入玻璃基板發(fā)生黃化反應(yīng)的能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面 板前板金屬電極的制作方法。
本發(fā)明的技術(shù)方案是
一種能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金屬電極的制作方 法，其特征是它兼具厚膜光刻和薄膜光刻方法的特點(diǎn)，并通過(guò)在玻璃基板13 上先形成不含銀的黑色漿料層，再在黑色漿料層上形成導(dǎo)電銀漿的方法制備
電極以防止導(dǎo)電銀漿中的銀離子與玻璃基板中的Na、 K金屬離子發(fā)生置換反 應(yīng)造成面板黃化現(xiàn)象的發(fā)生。
本發(fā)明的能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金屬電極的制
作方法的具體步驟包括
a. 清洗玻璃基板13，在玻璃基板13表面制作含PVA(即聚乙烯醇，下同)、 且能在燒成過(guò)程中分解掉的感光層14，控制所述感光層14的厚度為10-30pm;
b. 用帶有電極圖案的掩膜板15平鋪在感光層14的表面，再用紫外線光 16照射帶有電極圖案的掩膜板15和感光層14進(jìn)行曝光，使感光層14能夠被 帶線條圖形的掩膜板15防護(hù)的光的衍射和折射現(xiàn)象形成上大下小的反梯形的 感光層17和未固化的上小下大的正梯形的感光層18;
c. 揭去掩膜板15，將曝光后的玻璃基板13放入顯影設(shè)備中進(jìn)行顯影， 用顯影液19噴淋上述曝光過(guò)的玻璃基板13，去除未固化的感光層18，形成 帶有所需圖形的固化的感光層17的玻璃基板13;
d. 在玻璃基板13被除去的未固化的感光層18的相應(yīng)位置處填充不含 銀的黑色漿料20，控制黑色漿料20的厚度為5-15pm,并使黑色槳料20的厚 度小于所述感光層17的厚度，然后烘干，去除黑色漿料中的部分溶劑，使黑色槳料20固著形成在玻璃基板13上的感光層17之間的間隙中；
e. 在烘干后的黑色漿料20的表面填充導(dǎo)電銀漿21直至導(dǎo)電銀漿21的 厚度與最終成形電板22的厚度相同為止，烘干去除導(dǎo)電銀漿21中的部分溶 劑，使導(dǎo)電銀漿21固著形成在烘干后的黑色漿料上20;
f. 在燒成爐中通過(guò)低溫?zé)Y(jié)，保溫，去除上述固化的感光層17，徹底去 除黑色漿料20和導(dǎo)電銀漿21中的溶劑，使黑色漿料20和導(dǎo)電銀槳21牢固 的附著在玻璃基板13上，得到最終成形的電極22。
所述的黑色漿料20的烘干溫度為80-130°C，烘干時(shí)間為15-30min。 所述的導(dǎo)電銀漿21層的填充厚度為5-15pn。 -所述的導(dǎo)電銀漿21的烘干溫度為80-130'C，烘干時(shí)間為15-30min。 所述的導(dǎo)電銀漿21是以正梯形形狀形成在黑色漿料20上。 所述的燒成爐中的燒結(jié)溫度為530 550°C，并保溫15 60min。 本發(fā)明的有益效果
1、 本發(fā)明提出的蔭罩式等離子顯示面板前板金屬電極的形成方法，在等 離子顯示面板的玻璃基板上，只對(duì)利用感光材料形成實(shí)際模式的部分形成電 極，因此具有杜絕不必要導(dǎo)電銀漿的浪費(fèi)，減少顯示面板的制造費(fèi)用，采用 的感光層可以在燒結(jié)過(guò)程中直接去除。
2、 本發(fā)明采用的黑色漿料不含金屬銀Ag，以梯形的形狀形成在玻璃基 板上，可有效阻止導(dǎo)電銀漿中的銀顆粒向下擴(kuò)散進(jìn)入玻璃基板發(fā)生黃化反應(yīng)。
3、 本發(fā)明的蔭罩式等離子體顯示板金屬電極的制備方法利用感光材料， 僅對(duì)形成實(shí)際電極圖形的部分形成電極，杜絕不必要黑色漿料和導(dǎo)電銀漿的 浪費(fèi)，減少顯示面板的制造費(fèi)用，并可以提高生產(chǎn)效率。
4、 本發(fā)明最終成形的固化黑色漿料和導(dǎo)電銀漿為梯形，可以有效防止巻 邊現(xiàn)象的發(fā)生，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
5、 本發(fā)明的采用的燒結(jié)溫度低于一般電極的燒結(jié)溫度，可以緩解電極材 料中的銀離子擴(kuò)散進(jìn)入玻璃基板的速率。
6、 本發(fā)明不僅適用于前板上的金屬電極的制造，而且同樣適用于后板上 的第二電極對(duì)的制造。


圖1為本發(fā)明的蔭罩式等離子體顯示板前板金屬電極的制備過(guò)程示意圖。
圖2是感光層的結(jié)構(gòu)示意圖3是曝光狀態(tài)示意圖4是顯影狀態(tài)示意圖；圖ld是填充黑色漿料、導(dǎo)電銀漿和烘干狀態(tài)示
>§、;
圖5是電極燒結(jié)成形的最終狀態(tài)圖。 圖6為本發(fā)明的蔭罩式等離子體顯示板的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖1和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步的說(shuō)明。 如圖6所示。
本發(fā)明的蔭罩式等離子體顯示板在其制作工藝中采用彩色陰極射線管 CRT生產(chǎn)中常用的蔭罩板即金屬柵網(wǎng)板來(lái)替代等離子體顯示板PDP中復(fù)雜的 障壁制造，獨(dú)立加工金屬柵網(wǎng)板，并在其上制作熒光粉。如圖6所示，蔭罩 式等離子體顯示板，包括后基板l、前基板2、蔭罩3，其中蔭罩3封裝在前 后基板2， 1之間，所述的后基板1主要由后襯底玻璃基板4、第二電極5即 尋址電極、介質(zhì)層6、保護(hù)膜7組成，其中第二電極對(duì)5平行排列于后襯底玻 璃基板4上，介質(zhì)層6覆蓋在第二電極對(duì)5上，保護(hù)膜7則覆蓋在介質(zhì)層6 上；所述的前基板2主要由前襯底玻璃基板8、第一電極9即金屬電極、介質(zhì) 層10組成，其中第一電極9位于前襯底玻璃基板8上，介質(zhì)層10覆蓋在第 一電極9上，第一電極9與后基板1上的第二電極對(duì)5成空間垂直正交，其 特征是所述的蔭罩3為包含網(wǎng)格孔12陣列的導(dǎo)電板，所述的蔭罩3、第一電 極9和第二電極5組成介質(zhì)阻擋型交流對(duì)向放電型的基本單元。將后基板1、 蔭罩3、前基板2按固定位置放好，四周用低熔點(diǎn)玻璃粉氣密封接，蔭罩可通 過(guò)引線或印在基板上的導(dǎo)電膜引出與外電路連接，最后向其中充入一定量的 所需工作氣體，封接，形成蔭罩式等離子體顯示板。
如圖1-5所示。
一種能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金屬電極的制作方 法，其實(shí)質(zhì)是同時(shí)吸納了厚膜光刻和薄膜光刻方法的特點(diǎn)，并通過(guò)在玻璃基板13上先形成不含銀的黑色槳料層，再在黑色漿料層上形成導(dǎo)電銀漿的方法 制備電極以防止導(dǎo)電銀漿中的銀離子與玻璃基板中的Na、 K金屬離子發(fā)生置 換反應(yīng)造成面板黃化現(xiàn)象的發(fā)生。 具體的制作步驟包括
a. 清洗玻璃基板13 (可為最終形成前襯底玻璃基板8的玻璃基板，也可 為最終形成后襯底玻璃基板4的玻璃基板)，在玻璃基板13表面制作含PVA、 且能在燒成過(guò)程中分解掉的感光層14，控制所述感光層14的厚度為10-30^im; 如圖1。
b. 用帶有電極圖案的掩膜板15平鋪在感光層14的表面，再用紫外線光 16照射帶有電極圖案的掩膜板15和感光層14進(jìn)行曝光，使感光層14能夠被 帶線條圖形的掩膜板15防護(hù)的光的衍射和折射現(xiàn)象形成上大下小的反梯形的 感光層17和未固化的上小下大的正梯形的感光層18;如圖2。
c. 揭去掩膜板15，將曝光后的玻璃基板13放入顯影設(shè)備中進(jìn)行顯影， 用顯影液19噴淋上述曝光過(guò)的玻璃基板13，去除未固化的感光層18，形成 帶有所需圖形的固化的感光層17的玻璃基板13;如圖3。
d. 在玻璃基板13被除去的未固化的感光層18的相應(yīng)位置處填充不含 銀的黑色漿料20，控制黑色漿料20的厚度為5-15pm，并使黑色漿料20的厚 度小于所述感光層17的厚度，然后烘干，去除黑色漿料中的部分溶劑，使黑 色漿料20固著形成在玻璃基板13上的感光層17之間的間隙中；如圖4所示。
e. 在烘干后的黑色漿料20的表面填充導(dǎo)電銀槳21直至導(dǎo)電銀漿21的 厚度與最終成形電板22的厚度相同為止，烘干去除導(dǎo)電銀漿21中的部分溶 劑，使導(dǎo)電銀漿21固著形成在烘干后的黑色漿料上20;如圖4所示。
f. 在燒成爐中通過(guò)低溫?zé)Y(jié)，保溫，去除上述固化的感光層17，徹底去 除黑色漿料20和導(dǎo)電銀漿21中的溶劑，使黑色漿料20和導(dǎo)電銀漿21牢固 的附著在玻璃基板13上，得到最終成形的電極22。如圖5所示。
具體實(shí)施時(shí)黑色漿料20的烘干溫度為80-130°C，烘干時(shí)間為15-30min。 所述的導(dǎo)電銀漿21層的填充厚度為5-15pm。導(dǎo)電銀漿21的烘干溫度為 80-130°C，烘干時(shí)間為15-30min。導(dǎo)電銀漿21是以正梯形形狀形成在黑色漿 料20上。燒成爐中的燒結(jié)溫度為530 550°C，并保溫15 60min。進(jìn)一步舉例說(shuō)明如下 例1。
一種前板金屬電極的制作方法它具體包括以下步驟
1、 清洗玻璃基板13,在玻璃基板13的表面制作一層厚度10-30pm感光 層14。
2、 曝光采用接觸式曝光方法，用帶電極圖案的掩膜板15平鋪在感光
層14的表面，再用紫外光16照射掩膜板15和感光層14,曝光過(guò)程中上述模 式掩膜板15的光的衍射和折射現(xiàn)象形成反梯形，紫外光16穿透掩膜板15上 透明區(qū)域并照射到感光層14的相應(yīng)部位，使這部分感光材料固化，形成固化 的感光材料17;掩膜板15上的不透明區(qū)域能夠阻擋紫外光16的照射并使感 光層14的相應(yīng)部分不發(fā)生任何變化，形成未固化的感光材料18。
3、 顯影將曝光后的基板置入顯影設(shè)備中，用0.1 1.0%的碳酸鈉顯影 液19噴淋基板，顯影液對(duì)未固化的感光材料18進(jìn)行化學(xué)腐蝕，去除未固化 的感光材料18，形成有反梯形的感光層的玻璃基板。
4、 漿料準(zhǔn)備，將黑色漿料20和導(dǎo)電銀漿21分別裝入干凈的攪拌盒稱重， 放入攪拌脫泡機(jī)中，根據(jù)漿料重量調(diào)節(jié)平衡，設(shè)定攪拌及脫泡時(shí)間，漿料攪 拌脫泡完畢后，從攪拌機(jī)中取出，冷卻至室溫。
5、 在玻璃基板13上去除的感光材料處均勻填充黑色漿料20，并在80-130 'C溫度下烘干，烘干時(shí)間為15-30min，烘干的目的是使?jié){料中溶劑完全揮發(fā)， 形成黑色漿料20層；接著在黑色漿料20的表面涂覆導(dǎo)電銀漿21并烘干，烘 干溫度為80-130°C,烘干時(shí)間為15-30min，使?jié){料中溶劑完全揮發(fā)，形成導(dǎo) 電銀漿21層；
6、 燒結(jié)采用54(TC，保溫20min的燒成條件對(duì)具有電極圖形的玻璃基 板燒結(jié)進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)后蔭罩式等離子體顯示板前板金屬電極22的厚度為 4-9(im。例2。
在上述例1中，以550°C，保溫15min的燒成條件對(duì)具有電極圖形的玻 璃基板進(jìn)行燒結(jié)，這就構(gòu)成了本發(fā)明的第二組實(shí)施例。在上述例1中，以535'C，保溫35min的燒成條件對(duì)具有電極圖形的玻 璃基板進(jìn)行燒結(jié)，這就構(gòu)成了本發(fā)明的第三組實(shí)施例。 例4。
在上述例1中，以530'C，保溫45min的燒成條件對(duì)具有電極圖形的玻 璃基板進(jìn)行燒結(jié)，這就構(gòu)成了本發(fā)明的第四組實(shí)施例。
綜上所述，蔭罩式等離子顯示板制作中，只對(duì)利用感光材料形成實(shí)際模 式的部分形成電極，因此具有杜絕不必要導(dǎo)電銀漿的浪費(fèi)，減少顯示面板的 制造費(fèi)用，并可以提高生產(chǎn)效率，同時(shí)通過(guò)在黑色漿料上形成的梯形電極， 使面板的黃化現(xiàn)象得到了抑制，并且得到性能滿足使用要求的金屬電極。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求書所作的變化與 修飾，皆應(yīng)屬于本發(fā)明專利的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1、一種能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金屬電極的制作方法，其特征是它兼具厚膜光刻和薄膜光刻方法的特點(diǎn)，并通過(guò)在玻璃基板(13)上先形成不含銀的黑色漿料層，再在黑色漿料層上形成導(dǎo)電銀漿的方法制備電極以防止導(dǎo)電銀漿中的銀離子與玻璃基板中的Na、K金屬離子發(fā)生置換反應(yīng)造成面板黃化現(xiàn)象的發(fā)生。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金 屬電極的制作方法，其特征是它包括以下步驟a. 清洗玻璃基板(13)，在玻璃基板(13)表面制作含PVA、且能在燒 成過(guò)程中分解掉的感光層(14)，控制所述感光層(14)的厚度為10-3(Him;b. 用帶有電極圖案的掩膜板(15)平鋪在感光層(14)的表面，再用紫 外線光(16)照射帶有電極圖案的掩膜板(15)和感光層(14)進(jìn)行曝光， 使感光層(14)能夠被帶線條圖形的掩膜板(15)防護(hù)的光的衍射和折射現(xiàn) 象形成上大下小的反梯形的感光層(17)和未固化的上小下大的正梯形的感 光層(18);c. 揭去掩膜板(15)，將曝光后的玻璃基板(13)放入顯影設(shè)備中進(jìn)行 顯影，用顯影液(19)噴淋上述曝光過(guò)的玻璃基板(13)，去除未固化的感光 層(18)，形成帶有所需圖形的固化的感光層(17)的玻璃基板(13);d. 在玻璃基板(13)被除去的未固化的感光層(18)的相應(yīng)位置處填 充不含銀的黑色漿料(20)，控制黑色漿料(20)的厚度為5-15pm，并使黑色 漿料(20)的厚度小于所述感光層(17)的厚度，然后烘干，去除黑色漿料 中的部分溶劑，使黑色漿料(20)固著形成在玻璃基板(13)上的感光層(17) 之間的間隙中；e. 在烘干后的黑色漿料(20)的表面填充導(dǎo)電銀槳(21)直至導(dǎo)電銀漿 (21)的厚度與最終成形電板(22)的厚度相同為止，烘干去除導(dǎo)電銀漿(21)中的部分溶劑，使導(dǎo)電銀漿(21)固著形成在烘干后的黑色漿料上(20);f. 在燒成爐中通過(guò)低溫?zé)Y(jié)，保溫，去除上述固化的感光層(17)，徹底 去除黑色漿料(20)和導(dǎo)電銀漿(21)中的溶劑，使黑色漿料(20)和導(dǎo)電銀漿(21)牢固的附著在玻璃基板(13)上，得到最終成形的電極(22)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金 屬電極的制作方法，其特征是所述的黑色漿料(20)的烘干溫度為80-130。C， 烘干時(shí)間為15-30min。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金 屬電極的制作方法，其特征是所述的導(dǎo)電銀漿(21)層的填充厚度為5-15,。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金 屬電極的制作方法，其特征是所述的導(dǎo)電銀漿(21)的烘干溫度為80-13(TC， 烘千時(shí)間為15-30min。 -
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金 屬電極的制作方法，其特征是所述的導(dǎo)電銀漿(21)是以正梯形形狀形成在 黑色漿料(20)上。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金 屬電極的制作方法，其特征是所述的燒成爐中的燒結(jié)溫度為530 550°C，并 保溫15 60min。
全文摘要
一種能防止面板黃化的蔭罩式等離子體顯示面板前板金屬電極的制作方法，其特征是它兼具厚膜光刻和薄膜光刻方法的特點(diǎn)，并通過(guò)在玻璃基板(13)上先形成不含銀的黑色漿料層；再在黑色漿料層上形成導(dǎo)電銀漿的方法制備電極以防止導(dǎo)電銀漿中的銀離子與玻璃基板中的Na、K金屬離子發(fā)生置換反應(yīng)造成面板黃化現(xiàn)象的發(fā)生。本發(fā)明利用感光材料通過(guò)曝光顯影在玻璃基板上形成倒梯形空間，在空間中填充黑色漿料和導(dǎo)電銀漿，有利于降低蔭罩式等離子體顯示板的制作成本。
文檔編號(hào)H01J9/02GK101593650SQ20091003365
公開日2009年12月2日 申請(qǐng)日期2009年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月25日
發(fā)明者雄 張, 朱立鋒, 潔 林, 林青園, 樊兆雯 申請(qǐng)人:南京華顯高科有限公司