專利名稱：：可變孔隙粒子分析儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：可變孔隙粒子分析儀
技術(shù)領(lǐng)域：
：本實(shí)用新型涉及粒子分析儀，尤其涉及一種可變孔隙粒子分析儀。
背景技術(shù)：
：在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)制造過程中，經(jīng)常會使用到各種粒子流，比如在離子注入、離子刻蝕等工藝中，都需要使用特定的高速粒子流對目標(biāo)硅片進(jìn)行轟擊。而在對粒子流進(jìn)行必要的分析檢測的時候經(jīng)常會用到一種設(shè)備SRA(selectableresolveaperture)，也稱之為壽立子分^H義。粒子分析儀主要由入射粒子源1、偏轉(zhuǎn)磁場2、孔隙板3組成，其工作原理是，利用偏轉(zhuǎn)磁場對帶電粒子流的電磁偏轉(zhuǎn)作用，將不同質(zhì)量的帶電離子的軌跡分離。如圖1所示，入射粒子源1將待分析的離子束射入偏轉(zhuǎn)》茲場2，由于偏轉(zhuǎn)磁場對于帶電離子的作用，其運(yùn)動軌跡必然由直線發(fā)生偏轉(zhuǎn)，其偏轉(zhuǎn)半徑r取決于離子的質(zhì)量，所以對于不同的離子，其偏轉(zhuǎn)半徑不同，經(jīng)過偏轉(zhuǎn)磁場2后，入射孔隙板3的位置也將不同，從而實(shí)現(xiàn)了離子束的軌道分離，當(dāng)需要對于特定離子進(jìn)行分析的時候只需要根據(jù)粒子流速度、磁場強(qiáng)度等固定參數(shù)計(jì)算其偏轉(zhuǎn)半徑r，入射孔隙板3對應(yīng)的硯孔即可，擋住其他離子，避免分析時的交叉離子污染?，F(xiàn)有的可選擇粒子分析儀，其孔隙板3總是固定設(shè)置，比如在半導(dǎo)體制程中，一般對應(yīng)常用的離子流As/PB/BF2，設(shè)有3個硯孔。每個硯孔的縫寬d根據(jù)分析儀的需要通過的離子流設(shè)置。設(shè)3有固定縫寬硯孔的孔隙板3無法滿足其他粒子流的分析需要，而為此更換孔隙板將造成浪費(fèi)和使用率低下的問題。所以需要一種可變孔隙的粒子分析儀來滿足更多種粒子分析需要。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的技術(shù)目的在于提供一種可變孔隙粒子分析儀，以解決現(xiàn)有的粒子分析儀，使用固定硯孔縫寬的孔隙板無法滿足多種粒子流的分析需要的問題。本實(shí)用新型所述的可變孔隙粒子分析儀，包括入射粒子源、偏轉(zhuǎn)i茲場、孔隙板，其特征在于所述孔隙板為長方形板狀，板面上設(shè)有至少一個方形硯孔，在孔隙板上還設(shè)有至少一活動擋板，可在孔隙板的板面上滑動。作為優(yōu)選方案，在于所述方形孔隙板兩對應(yīng)側(cè)的邊緣設(shè)有導(dǎo)軌，擋板可沿兩對應(yīng)側(cè)的導(dǎo)軌在孔隙板板面上滑動。且將擋板設(shè)為方形，板寬大于硯孔的縫寬，以便擋板在孔隙板板面上滑動時，能夠完全覆蓋并擋住硯孔。作為優(yōu)選方案，將所述擋板通過一絕緣的連桿與滑動變阻器的滑片固定連接，可實(shí)現(xiàn)對擋板位置的監(jiān)測與調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型所述的可變孔隙粒子分析儀，在孔隙板上設(shè)置可滑動的擋板，使用滑動變阻器控制擋板的精確移動，通過改變滑動擋板的位置，精確調(diào)節(jié)硯孔的縫寬大小。得以實(shí)現(xiàn)在粒子分析中，可根據(jù)實(shí)際需求選擇通過不同的帶電粒子，而無需更換孔隙板的目的。其選擇靈活，配置簡單。圖1為現(xiàn)有的粒子分析儀的工作原理圖2為本實(shí)用新型所述粒子分析儀的孔隙板可調(diào)節(jié)示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合說明書附圖對本實(shí)用新型的一個具體實(shí)施例作詳細(xì)說明。本實(shí)用新型所述的可變孔隙粒子分析儀，在入射粒子源以及偏轉(zhuǎn)磁場上與現(xiàn)有的磁場分析儀沒有什么不同，但改進(jìn)了起阻擋、分離粒子污染作用的孔隙板，如圖2所示，本實(shí)用新型所述的粒子分析儀，其孔隙板3為長方形板狀，板面設(shè)有方形硯孔3-1，在孔隙板3對應(yīng)的兩側(cè)邊緣還裝有導(dǎo)軌7;一方形的擋板6設(shè)置于孔隙板3上，與導(dǎo)軌7連接，并沿著導(dǎo)軌7在板面上滑動(圖中的左右方向)。擋板6的板寬D大于方形硯孔的縫寬d,這樣擋板6在滑動時，可以完全覆蓋遮擋硯孔3-l，使得硯孔的縫寬在Q-d之間調(diào)節(jié)，且可以根據(jù)粒子的偏轉(zhuǎn)位置，選擇從石見孔的左右兩側(cè)之一遮擋?？蛇x的，本實(shí)施例還可以在孔隙板上設(shè)置一個以上的硯孔，通過擋板6的移動，調(diào)整硯孔的縫寬和位置?？蛇x的，本實(shí)施例還可以在孔隙板上設(shè)置多個可沿導(dǎo)軌滑動的擋板，分別調(diào)整多個石見孔的縫寬以及位置。由于硯孔的縫寬存在，通過孔隙板3的粒子流，總是保持一定的質(zhì)量范圍，根據(jù)待分析的入射粒子流實(shí)際需要以及計(jì)算結(jié)果，使用擋板選取通過的石見孔和縫寬作為優(yōu)選方案，將擋板6通過一絕緣的連桿5與滑動變阻器4的滑片固定連接，這樣可以通過控制滑動變阻器4，精確調(diào)節(jié)擋板6的位移。從而實(shí)現(xiàn)對擋板位置的監(jiān)測，進(jìn)一步控制孔隙板對粒子的選擇通過作用。同樣還可以在孔隙板上設(shè)置多個由滑動變阻器控制的擋板，共同調(diào)節(jié)孔隙板的硯孔，起到選擇、分離、通過多條粒子束的作用。以上實(shí)施例僅用以說明而非限制本實(shí)用新型的技術(shù)方案。不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的任何修改或局部替換，均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。權(quán)利要求1、一種可變孔隙粒子分析儀，包括孔隙板，其特征在于所述孔隙板的板面上設(shè)有至少一個方形硯孔；還設(shè)有至少一擋板，在板面上滑動。2、如權(quán)利要求1所述的可變孔隙粒子分析儀，其特征在于所述孔隙板為長方形，對應(yīng)的兩側(cè)邊緣設(shè)有導(dǎo)軌；所述擋板也為長方形，與導(dǎo)軌滑動連接。3、如權(quán)利要求2所述的可變孔隙粒子分析儀，其特征在于所述擋板的板寬大于硯孔的縫寬。4、如權(quán)利要求2或3所述的可變孔隙粒子分析儀，其特征在于所述擋板通過一連桿與滑動變阻器的滑片固定連接。5、如權(quán)利要求4所述的可變孔隙粒子分析儀，其特征在于所述連桿為絕緣連桿。專利摘要本實(shí)用新型提供了一種可變孔隙粒子分析儀，包括入射粒子源、偏轉(zhuǎn)磁場、孔隙板，其特征在于所述孔隙板為長方形板狀，板面上設(shè)有至少一個方形硯孔，在孔隙板上還設(shè)有一活動擋板，沿方形孔隙板邊緣的導(dǎo)軌在板面上滑動。通過改變滑動擋板的位置，精確調(diào)節(jié)硯孔的縫寬大小。得以實(shí)現(xiàn)在粒子分析中，可根據(jù)實(shí)際需求選擇通過不同的帶電粒子，而無需更換孔隙板的目的，選擇靈活，配置簡單。文檔編號H01J49/26GK201282105SQ20082015425公開日2009年7月29日申請日期2008年10月21日優(yōu)先權(quán)日2008年10月21日發(fā)明者張進(jìn)創(chuàng),蒙王,逄錦濤,陽厚國申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司