專利名稱：筒型陰極陣列結構的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術領域、微電子科學與技術領域、真空科學與技術領域以及納米科學與技術領域的相互交叉領域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種筒型陰極陣列結構的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術：
碳納米管的獨特場致發(fā)射特性早已引起了眾多研究者們的高度關注，而利用碳納米管作為陰極材料而制作的平板場致發(fā)射顯示器業(yè)已成為了平板顯示領域中的熱門話題。碳納米管具有獨特的幾何外形，小的尖端曲率半徑，高數(shù)值的縱橫比率會產(chǎn)生巨大的電場強度，迫使碳納米管中的電子不需要額外的能量就能夠向外發(fā)射，因此碳納米管是一種具有應用潛力的良好冷陰極材料。碳納米管場致發(fā)射平板顯示器具有體積小，亮度高，工作溫區(qū)大以及功耗低等特點，將來有望在顯示市場上占據(jù)比較大的份額。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的驅動電路相聯(lián)系在一起，制作三極結構的場致發(fā)射顯示器已經(jīng)成為了一種必然的選擇。在三極結構的平板器件當中，柵極控制著碳納米管陰極的電子發(fā)射，一方面，柵極工作電壓的高低與否直接決定著碳納米管陰極表面頂端的電場強度大小，也就決定著碳納米管是否能夠發(fā)射出電子；另一方面，碳納米管陰極的結構和形狀也對在陰極表面頂端所形成的電場強度具有一定的影響作用，很顯然，碳納米管陰極的形狀曲率也越大，則對進一步增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度則是非常有利的。那么，在實際器件的制作過程中，究竟如何增強柵極的控制性能，如何進一步增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度，從而發(fā)射出更多的電子，如何促進陰極和柵極結構的高度集成化發(fā)展，這些都是值得考慮的問題。
此外，在三極結構的平板場致發(fā)射顯示器件當中，在確保柵極結構對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結構簡單的帶有一種筒型陰極陣列結構的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層、制備在陽極導電層上面的熒光粉層以及在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及筒型陰極陣列結構。
所述的筒型陰極陣列結構的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極突起層；陰極突起層位于陰極引線層的上方，二者緊密接觸；陰極突起層為一個類圓筒型形狀，分為兩個部分，下半部分為一個中空的圓柱面型，上半部分位于下半部分的上表面上，即中空的圓柱面的頂部，為一個圓環(huán)尖錐型形狀；位于同一個陰極引線層上面的陰極突起層是通過底部的陰極引線層而相互連通的；陰極突起層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極電極層；陰極電極層位于頂部圓環(huán)尖錐型形狀的表面上以及中空圓柱型形狀的上半部分，下半部分則沒有陰極電極層，而且是在中空圓柱型形狀的內(nèi)外側面的上半部分都存在陰極電極層；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分，上表面和柵極引線層相互接觸；隔離層中存在電子通道孔，暴露出底部的陰極突起層和陰極電極層；電子通道孔的內(nèi)側面是一個垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面部分，但是其前端部分要伸向電子通道孔的中心部分，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極引線層中前端處于懸空狀態(tài)部分并不是一個平面，而是略向下彎曲，柵極引線層的最前端所形成的圓形半徑與陰極突起層的外半徑相同；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但是不能夠覆蓋住前端處于懸空部分的柵極引線層；碳納米管制備在陰極電極層上面。
所述的筒型陰極陣列結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、鋁、鉻、鉬、錫；陰極突起層的摻雜類型為n型、p型；陰極電極層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、錫、鉬、鉻。
一種筒型陰極陣列結構的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；
4)陰極突起層的制作在陰極引線層的上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極突起層；5)陰極電極層的制作在陰極突起層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極電極層；6)隔離層的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；隔離層存在電子通道孔；7)柵極引線層的制作在隔離層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)筒型陰極陣列結構的表面清潔處理對筒型陰極陣列結構的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極電極層上面；11)陽極玻璃面板的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；13)絕緣漿料層的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結構和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟13具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度580℃，保持時間10分鐘。
所述步驟14具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行高溫燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的筒型陰極陣列結構中，將陰極突起層制作成了一個類圓筒型的形狀，并在其上面制備了陰極電極層，將碳納米管制備在陰極電極層上面。這樣，就極大地增大了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管都能夠進行大量的電子發(fā)射，有利于提高整體器件的顯示亮度。另一方面，這種結構也改變了碳納米管陰極的形狀，使得整體陰極形狀的曲率也變小，這就更有利于增強碳納米管陰極表面定端的電場強度，迫使其發(fā)射出更多的電子。
其次，在所述的筒型陰極陣列結構中，對柵極結構也作了改進。大部分的柵極都位于隔離層的上面，但是其前端部分呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)，且接近于圓筒型陰極陣列結構中的中空圓柱面部分，這就為進一步縮小柵極結構和碳納米管陰極結構二者之間的距離作了準備，有利于降低柵極結構的工作電壓，從而降低整體器件的成本，也有利于進一步增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度。
此外，在所述的筒型陰極陣列結構中，并沒有采用特殊的結構制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了筒型陰極陣列結構的縱向結構示意圖；圖2給出了筒型陰極陣列結構的橫向結構示意圖；圖3給出了帶有筒型陰極陣列結構的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結構示意圖。
具體實施例方式
下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進行進一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例。
所述的一種筒型陰極陣列結構的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[10]和四周玻璃圍框[15]所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[11]、制備在陽極導電層上面的熒光粉層[13]以及在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層[12]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構[14]以及消氣劑[16]附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]、碳納米管[9]以及筒型陰極陣列結構。
所述的筒型陰極陣列結構包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、陰極引線層[3]、陰極突起層[4]、陰極電極層[5]、隔離層[6]、柵極引線層[7]、柵極覆蓋層[8]和碳納米管[9]部分。
所述的筒型陰極陣列結構的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極突起層；陰極突起層位于陰極引線層的上方，二者緊密接觸；陰極突起層為一個類圓筒型形狀，分為兩個部分，下半部分為一個中空的圓柱面型，上半部分位于下半部分的上表面上，即中空的圓柱面的頂部，為一個圓環(huán)尖錐型形狀；位于同一個陰極引線層上面的陰極突起層是通過底部的陰極引線層而相互連通的；陰極突起層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極電極層；陰極電極層位于頂部圓環(huán)尖錐型形狀的表面上以及中空圓柱型形狀的上半部分，下半部分則沒有陰極電極層，而且是在中空圓柱型形狀的內(nèi)外側面的上半部分都存在陰極電極層；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分，上表面和柵極引線層相互接觸；隔離層中存在電子通道孔，暴露出底部的陰極突起層和陰極電極層；電子通道孔的內(nèi)側面是一個垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面部分，但是其前端部分要伸向電子通道孔的中心部分，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極引線層中前端處于懸空狀態(tài)部分并不是一個平面，而是略向下彎曲，柵極引線層的最前端所形成的圓形半徑與陰極突起層的外半徑相同；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但是不能夠覆蓋住前端處于懸空部分的柵極引線層；碳納米管制備在陰極電極層上面。
所述的筒型陰極陣列結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉻、鉬、錫；陰極突起層的摻雜類型可以為n型，也可以為p型；陰極電極層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、錫、鉬、鉻。
一種帶有筒型陰極陣列結構的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極突起層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極突起層；5)陰極電極層[5]的制作在陰極突起層的上面制備出一個金屬鈷層，刻蝕后形成陰極電極層；6)隔離層[6]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；隔離層存在電子通道孔；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)筒型陰極陣列結構的表面清潔處理對筒型陰極陣列結構的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管[9]的制備將碳納米管制備在陰極電極層上面；11)陽極玻璃面板[10]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導電層[11]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；13)絕緣漿料層[12]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；
14)熒光粉層[13]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結構[14]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟4具體為陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極突起層；陰極突起層位于陰極引線層的上方，二者緊密接觸；陰極突起層為一個類圓筒型形狀，分為兩個部分，下半部分為一個中空的圓柱面型，上半部分位于下半部分的上表面上，即中空的圓柱面的頂部，為一個圓環(huán)尖錐型形狀；位于同一個陰極引線層上面的陰極突起層是通過底部的陰極引線層而相互連通的。
所述步驟5具體為陰極突起層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極電極層；陰極電極層位于頂部圓環(huán)尖錐型形狀的表面上以及中空圓柱型形狀的上半部分，下半部分則沒有陰極電極層，而且是在中空圓柱型形狀的內(nèi)外側面的上半部分都存在陰極電極層。
所述步驟7具體為隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面部分，但是其前端部分要伸向電子通道孔的中心部分，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極引線層中前端處于懸空狀態(tài)部分并不是一個平面，而是略向下彎曲，柵極引線層的最前端所形成的圓形半徑與陰極突起層的外半徑相同。
所述步驟13具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)；所述步驟14具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)；所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行高溫燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權利要求
1.一種筒型陰極陣列結構的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[10]和四周玻璃圍框[15]所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[11]、制備在陽極導電層上面的熒光粉層[13]以及在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層[12]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構[14]以及消氣劑[16]附屬元件，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]、碳納米管[9]以及筒型陰極陣列結構。
2.根據(jù)權利要求1所述的筒型陰極陣列結構的平板顯示器，其特征在于所述的筒型陰極陣列結構的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極突起層；陰極突起層位于陰極引線層的上方，二者緊密接觸；陰極突起層為一個類圓筒型形狀，分為兩個部分，下半部分為一個中空的圓柱面型，上半部分位于下半部分的上表面上，即中空的圓柱面的頂部，為一個圓環(huán)尖錐型形狀；位于同一個陰極引線層上面的陰極突起層是通過底部的陰極引線層而相互連通的；陰極突起層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極電極層；陰極電極層位于頂部圓環(huán)尖錐型形狀的表面上以及中空圓柱型形狀的上半部分，下半部分則沒有陰極電極層，而且是在中空圓柱型形狀的內(nèi)外側面的上半部分都存在陰極電極層；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分，上表面和柵極引線層相互接觸；隔離層中存在電子通道孔，暴露出底部的陰極突起層和陰極電極層；電子通道孔的內(nèi)側面是一個垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面部分，但是其前端部分要伸向電子通道孔的中心部分，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極引線層中前端處于懸空狀態(tài)部分并不是一個平面，而是略向下彎曲，柵極引線層的最前端所形成的圓形半徑與陰極突起層的外半徑相同；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但是不能夠覆蓋住前端處于懸空部分的柵極引線層；碳納米管制備在陰極電極層上面。
3.根據(jù)權利要求2所述的筒型陰極陣列結構的平板顯示器，其特征在于所述的筒型陰極陣列結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、鋁、鉻、鉬、錫；陰極突起層的摻雜類型為n型、p型；陰極電極層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、錫、鉬、鉻。
4.一種筒型陰極陣列結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極突起層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極突起層；5)陰極電極層[5]的制作在陰極突起層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極電極層；6)隔離層[6]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；隔離層存在電子通道孔；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)筒型陰極陣列結構的表面清潔處理對筒型陰極陣列結構的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管[9]的制備將碳納米管制備在陰極電極層上面；11)陽極玻璃面板[10]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導電層[11]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；13)絕緣漿料層[12]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層[13]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結構[14]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權利要求4所述的筒型陰極陣列結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟13具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權利要求4所述的筒型陰極陣列結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權利要求4所述的筒型陰極陣列結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行高溫燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種筒型陰極陣列結構的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及筒型陰極陣列結構；在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構以及消氣劑附屬元件，能夠進一步增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度，降低整體器件的工作電壓，有利于進一步提高整體器件的顯示圖像質(zhì)量，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結構簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J29/46GK1956130SQ200610107308
公開日2007年5月2日 申請日期2006年10月17日 優(yōu)先權日2006年10月17日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學院