專利名稱：帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平面顯示技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)以及納米科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，特別涉及一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作方法。
背景技術(shù)：
碳納米管具有小的尖端曲率半徑、極高的機(jī)械強(qiáng)度以及高的縱橫比率，是一種較為理想的冷陰極制作材料，目前，對(duì)于利用碳納米管作為冷陰極的場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器件來說，通常情況下是沒有聚焦電極的，由于從碳納米管陰極發(fā)射的電子并不都是垂直于陽(yáng)極面板方向的，而是存在著各個(gè)方向的發(fā)射角度，這樣就容易在陽(yáng)極面板上形成一個(gè)很大的象素點(diǎn)光斑范圍，這對(duì)于進(jìn)一步提高平板顯示器件的顯示分辨率是非常不利的；另一方面，由于在陽(yáng)極面板上的像素點(diǎn)面積很小，發(fā)散的電子束在陽(yáng)極面板上所覆蓋的顯示面積過大，極其容易造成多個(gè)相鄰像素點(diǎn)同時(shí)發(fā)光，出現(xiàn)了顯示器件中的顏色交叉失真現(xiàn)象。因此，在平板碳納米管場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，如何控制電子束發(fā)散是必須解決的一個(gè)現(xiàn)實(shí)問題，而聚焦電極結(jié)構(gòu)制作質(zhì)量的優(yōu)劣直接影響到整體顯示器件的質(zhì)量，其聚焦特性也是衡量平板顯示器件的重要性能指標(biāo)之一。
為了進(jìn)一步提高平板顯示器件的使用壽命，就需要使用耐高電壓的熒光粉，這也就是說，需要增加陽(yáng)極和控制柵極之間的距離來使得電子獲得足夠高的能量而激發(fā)熒光粉發(fā)光，但這又同需要減少陽(yáng)極和控制柵極之間的距離來降低電子束發(fā)散的影響現(xiàn)象是相互矛盾的，如何解決這個(gè)矛盾現(xiàn)象也是需要重點(diǎn)思考的問題之一。
此外，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)而提供一種成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作成功率高、制作過程穩(wěn)定可靠的帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作方法。
本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的包括由陰極面板、陽(yáng)極面板和四周玻璃圍框構(gòu)成的密封真空腔、在陰極面板上印刷的碳納米管陰極、用于控制碳納米管陰極電子發(fā)射的控制柵極和用于電子聚焦的環(huán)形組聚焦電極，在陽(yáng)極面板上有光刻的錫銦氧化物薄膜層以及制備在錫銦氧化物薄膜層上面的熒光粉層，在環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極孔對(duì)對(duì)應(yīng)于同一像素的陰極發(fā)射電子進(jìn)行聚焦。所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)包括基底材料、設(shè)置在基底材料上的控制柵極、覆蓋住控制柵極的絕緣隔離層、印刷在絕緣隔離層上的聚焦電極和覆蓋住聚焦電極的絕緣覆蓋層，在上述結(jié)構(gòu)中，從基底材料到絕緣覆蓋層之間開有上下貫通的電子通道孔，三個(gè)電子通道孔組成聚焦電極孔。
所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)設(shè)置在碳納米管陰極上方，其中聚焦電極位于陽(yáng)極面板和控制柵極之間。所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的基底材料為薄層玻璃、云母板、陶瓷片以及云母片絕緣材料中的任一種，所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極為導(dǎo)電條、銀漿線條和蒸鍍銅、鋁、金導(dǎo)電物質(zhì)中的一種。所述的控制柵極是利用鍍膜機(jī)，在基底材料上蒸鍍一層金屬鋁膜，然后通過常規(guī)的光刻工藝，對(duì)金屬鋁膜進(jìn)行光刻，制作出控制柵極導(dǎo)電條。所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極是在絕緣隔離層上印刷一層銀漿，形成聚焦電極條，在聚焦電極條上開有聚焦電極孔，其中一個(gè)聚焦電極孔同時(shí)控制著對(duì)應(yīng)于同一像素的一組陰極發(fā)射的電子。所述的聚焦電極和控制柵極之間的絕緣隔離層為聚酰亞胺絕緣層。
所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的制作方法為1).基底材料云母板的制作對(duì)整體云母板進(jìn)行裁剪，制作出基底材料云母板；2).電子通道孔的制作在裁剪后的基底材料云母板上制作出電子通道孔；3).控制柵極導(dǎo)電條的制作利用鍍膜機(jī)，在基底材料云母板上蒸鍍一層金屬鋁膜，然后通過常規(guī)的光刻工藝，對(duì)金屬鋁膜進(jìn)行光刻，制作出控制柵極導(dǎo)電條；4).絕緣隔離層的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在基底材料云母板上印刷絕緣漿料，形成絕緣隔離層，在150℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行590℃±10℃的高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)時(shí)間為5～15分鐘，其中絕緣隔離層要覆蓋住基底材料云母板和控制柵極導(dǎo)電條；5).聚焦電極條的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在絕緣隔離層上印刷銀漿，形成聚焦電極條，在150℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行585℃±10℃的高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)時(shí)間為5～15分鐘，其中一個(gè)聚焦電極孔同時(shí)控制著對(duì)應(yīng)于同一像素的一組陰極發(fā)射的電子；6).絕緣覆蓋層的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在絕緣隔離層上印刷絕緣漿料，形成絕緣覆蓋層，在150℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行590℃±10℃的高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)時(shí)間為5～15分鐘，其中絕緣覆蓋層要覆蓋住絕緣隔離層和聚焦電極條；7).環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)表面的清潔處理對(duì)環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉灰塵和雜質(zhì)。
所述的帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)平板顯示器的制作方法，其具體步驟為A、陰極板的制作1).陰極板玻璃的制作對(duì)整體玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極板玻璃。要求陰極板玻璃的內(nèi)側(cè)存在錫銦氧化物膜層；2).陰極導(dǎo)電條的制作結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對(duì)陰極板玻璃內(nèi)側(cè)的錫銦氧化物膜層進(jìn)行光刻，形成陰極導(dǎo)電條；3).碳納米管陰極的印刷結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，將碳納米管印刷在陰極導(dǎo)電條的上面；2)碳納米管陰極的后處理對(duì)印刷后的碳納米管陰極進(jìn)行后處理，以改善碳納米管的場(chǎng)發(fā)射特性；B、陽(yáng)極面板的制作1).清潔平板玻璃，除掉表面雜質(zhì)；2).在平板玻璃上蒸鍍一層錫銦氧化物薄膜；3).對(duì)錫銦氧化物薄膜進(jìn)行光刻，形成陽(yáng)極導(dǎo)電條；4).結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在導(dǎo)電條的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射，在150℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行580℃±10℃的高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)時(shí)間為5～15分鐘；5).結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在導(dǎo)電條上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層，放置在烘箱中，在120℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘；C、器件裝配將陰極面板、陽(yáng)極面板以及玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定，在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；D、成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝1).將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；2).放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；3).在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成所需要的帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)平板顯示器。
本發(fā)明具有如下積極有益效果本發(fā)明中的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極的上方，用于對(duì)從碳納米管陰極發(fā)射的電子進(jìn)行聚焦，當(dāng)在控制柵極上施加適當(dāng)電壓的時(shí)候，碳納米管陰極就會(huì)發(fā)射出大量的電子，所發(fā)射的電子在陽(yáng)極高電壓的作用下，向陽(yáng)極高速運(yùn)動(dòng)，轟擊熒光粉層而發(fā)光；由于環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)位于陽(yáng)極面板和控制柵極之間，對(duì)陰極發(fā)射的電子有聚焦作用，因此使得電子在陽(yáng)極面板上所形成的像素點(diǎn)面積極大的減少，這對(duì)進(jìn)一步提高平板顯示器件的顯示分辨率是有利的，也提高了顯示器件的發(fā)光效率。在本發(fā)明中的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中，由于聚焦電極孔對(duì)像素起著強(qiáng)有力的控制作用，因此極大的減少了電子束的發(fā)散程度，避免了像素點(diǎn)顏色交叉失真現(xiàn)象的發(fā)生。在本發(fā)明中的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中，由于一個(gè)聚焦電極孔同時(shí)控制著一組像素中的紅、綠、藍(lán)三個(gè)熒光粉發(fā)光點(diǎn)，這就在確保良好的聚焦作用的同時(shí)，極大地簡(jiǎn)化了器件的制作過程，簡(jiǎn)化了器件制作的實(shí)際工藝，確保器件制作的成功率。在本發(fā)明中的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中，從制作工藝的角度來看，環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)和陰極板的制作工藝是相互獨(dú)立的，這樣所制作的碳納米管陰極不會(huì)受到控制柵極結(jié)構(gòu)制作工藝的干擾，也就不會(huì)對(duì)碳納米管陰極部分產(chǎn)生污染和損傷，極大地提高了器件制作的成功率，改進(jìn)了碳納米管陰極的場(chǎng)致發(fā)射電子的能力。另外，在環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的制作過程中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。
在該帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的三極碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器包括如下的主要組成部分由陰極面板、陽(yáng)極面板和四周玻璃圍框構(gòu)成的密封真空腔，在陰極面板上有印刷的碳納米管陰極，用于控制碳納米管陰極電子發(fā)射的控制柵極，用于電子聚焦的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)，在陽(yáng)極面板上有光刻的錫銦氧化物薄膜層以及制備在錫銦氧化物薄膜層上面的熒光粉層。其特征在于制作了環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)，用于對(duì)對(duì)應(yīng)于同一像素的一組陰極發(fā)射電子進(jìn)行聚焦，進(jìn)一步提高平板器件的顯示分辨率。簡(jiǎn)化器件的制作工藝，降低器件制作的成本。


圖1是環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3中是一個(gè)帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的的碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
如圖1、2、3所示，本發(fā)明包括由陰極面板7、陽(yáng)極面板10和四周玻璃圍框14構(gòu)成的密封真空腔、在陰極面板7上印刷的碳納米管陰極9、用于控制碳納米管陰極9電子發(fā)射的控制柵極3和用于電子聚焦的環(huán)形組聚焦電極5，在陽(yáng)極面板10上有光刻的錫銦氧化物薄膜層以及制備在錫銦氧化物薄膜層上面的熒光粉層13，在環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極孔對(duì)對(duì)應(yīng)于同一像素的陰極發(fā)射電子進(jìn)行聚焦。
所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)包括基底材料1、設(shè)置在基底材料1上的控制柵極3、覆蓋住控制柵極3的絕緣隔離層4、印刷在絕緣隔離層4上的聚焦電極5和覆蓋住聚焦電極5的絕緣覆蓋層6，在上述結(jié)構(gòu)中，從基底材料1到絕緣覆蓋層6之間開有上下貫通的電子通道孔2，三個(gè)電子通道孔2組成一組聚焦電極孔。
所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)設(shè)置在碳納米管陰極9上方，其中聚焦電極5位于陽(yáng)極面板10和控制柵極3之間。
所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的基底材料為薄層玻璃、云母板、陶瓷片以及云母片絕緣材料中的任一種，所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極為導(dǎo)電條、銀漿線條和蒸鍍銅、鋁、金導(dǎo)電物質(zhì)中的一種。
所述的控制柵極3是利用鍍膜機(jī)，在基底材料1上蒸鍍一層金屬鋁膜，然后通過常規(guī)的光刻工藝，對(duì)金屬鋁膜進(jìn)行光刻，制作出控制柵極導(dǎo)電條3。
所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極5是在絕緣隔離層4上印刷一層銀漿，形成聚焦電極條，在聚焦電極條上開有聚焦電極孔，其中一個(gè)聚焦電極孔同時(shí)控制著對(duì)應(yīng)于同一像素的一組陰極發(fā)射的電子。
所述的聚焦電極5和控制柵極3之間的絕緣隔離層4為聚酰亞胺絕緣層。
由陰極面板、陽(yáng)極面板和四周玻璃圍框構(gòu)成的密封真空腔，在陰極面板上有印刷的碳納米管陰極，用于控制碳納米管陰極電子發(fā)射的控制柵極，用于電子聚焦的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)，在陽(yáng)極面板上有光刻的錫銦氧化物薄膜層以及制備在錫銦氧化物薄膜層上面的熒光粉層。其特征在于制作了環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)，用于對(duì)對(duì)應(yīng)于同一像素的一組陰極發(fā)射電子進(jìn)行聚焦，進(jìn)一步提高平板器件的顯示分辨率。整體平板顯示器件在提高碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射性能、改進(jìn)顯示器件的場(chǎng)發(fā)射效率的同時(shí)，還能夠進(jìn)一步降低整體平板器件的制作成本，簡(jiǎn)化整體器件制作工藝和制作過程。
本發(fā)明中的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)包括基底材料云母板1、電子通道孔2、控制柵極導(dǎo)電條3、絕緣隔離層4、聚焦電極條5、絕緣覆蓋層6，并采用如下的工藝進(jìn)行制作1).基底材料云母板1的劃片對(duì)整體云母板進(jìn)行裁剪，制作出基底材料云母板1；2).電子通道孔2的制作在裁剪后的基底材料云母板1上制作出電子通道孔2；3).控制柵極導(dǎo)電條3的制作利用鍍膜機(jī)，對(duì)基底材料云母板1上進(jìn)行蒸鍍上一層金屬鋁膜，然后通過常規(guī)的光刻工藝，對(duì)金屬鋁膜進(jìn)行光刻，制作出了控制柵極導(dǎo)電條3；4).絕緣隔離層4的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在基底材料云母板1上印刷絕緣漿料，形成絕緣隔離層4；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150C，保持時(shí)間10分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度590℃，保持時(shí)間10分鐘)；絕緣隔離層要覆蓋住基底材料云母板1和控制柵極導(dǎo)電條3；5).聚焦電極條5的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在絕緣隔離層4上印刷銀漿，形成聚焦電極條5。經(jīng)過烘烤(烘烤溫度175℃，保持時(shí)間10分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度585℃，保持時(shí)間6分鐘)。一個(gè)聚焦電極孔同時(shí)控制著對(duì)應(yīng)于同一像素的一組陰極發(fā)射的電子；
6).絕緣覆蓋層6的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在絕緣隔離層4上印刷絕緣漿料，形成絕緣覆蓋層6；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間10分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度590℃，保持時(shí)間10分鐘)；絕緣覆蓋層要覆蓋住絕緣隔離層4和聚焦電極條5。
7).環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)表面的清潔處理需要對(duì)環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉灰塵和雜質(zhì)。
本發(fā)明中的帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器的制作工藝如下1、陰極板的制作1)陰極板玻璃7的制作對(duì)整體玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極板玻璃7。要求陰極板玻璃7的內(nèi)側(cè)存在錫銦氧化物膜層。
2)陰極導(dǎo)電條8的制作結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對(duì)陰極板玻璃內(nèi)側(cè)的錫銦氧化物膜層進(jìn)行光刻，形成陰極導(dǎo)電條8。
3)碳納米管陰極9的印刷結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，將碳納米管9印刷在陰極導(dǎo)電條8的上面。
2)碳納米管9陰極的后處理對(duì)印刷后的碳納米管9陰極進(jìn)行后處理，以改善碳納米管的場(chǎng)發(fā)射特性。
2、陽(yáng)極面板的制作1)清潔平板玻璃10，除掉表面雜質(zhì)；2)在平板玻璃10上蒸鍍一層錫銦氧化物薄膜；
3)對(duì)錫銦氧化物薄膜進(jìn)行光刻，形成陽(yáng)極導(dǎo)電條11；4)結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在導(dǎo)電條的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料12層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)；5)結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在導(dǎo)電條上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層13；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)；3、器件裝配將陰極面板、陽(yáng)極面板以及玻璃圍框14裝配到一起，并將消氣劑15放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定。
4、成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極面板(7)、陽(yáng)極面板(10)和四周玻璃圍框(14)構(gòu)成的密封真空腔、在陰極面板(7)上印刷的碳納米管陰極(9)、用于控制碳納米管陰極(9)電子發(fā)射的控制柵極(3)和用于電子聚焦的環(huán)形組聚焦電極(5)，在陽(yáng)極面板(10)上有光刻的錫銦氧化物薄膜層以及制備在錫銦氧化物薄膜層上面的熒光粉層(13)，其特征在于在環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極孔對(duì)對(duì)應(yīng)于同一像素的陰極發(fā)射電子進(jìn)行聚焦。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)包括基底材料(1)、設(shè)置在基底材料(1)上的控制柵極(3)、覆蓋住控制柵極(3)的絕緣隔離層(4)、印刷在絕緣隔離層(4)上的聚焦電極(5)和覆蓋住聚焦電極(5)的絕緣覆蓋層(6)，在上述結(jié)構(gòu)中，從基底材料(1)到絕緣覆蓋層(6)之間開有上下貫通的電子通道孔(2)，三個(gè)電子通道孔(2)組成聚焦電極孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)設(shè)置在碳納米管陰極(9)上方，其中聚焦電極(5)位于陽(yáng)極面板(10)和控制柵極(3)之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的基底材料為薄層玻璃、云母板、陶瓷片以及云母片絕緣材料中的任一種，所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極為導(dǎo)電條、銀漿線條和蒸鍍銅、鋁、金導(dǎo)電物質(zhì)中的一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的控制柵極(3)是利用鍍膜機(jī)，在基底材料(1)上蒸鍍一層金屬鋁膜，然后通過常規(guī)的光刻工藝，對(duì)金屬鋁膜進(jìn)行光刻，制作出控制柵極導(dǎo)電條(3)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極(5)是在絕緣隔離層(4)上印刷一層銀漿，形成聚焦電極條，在聚焦電極條上開有聚焦電極孔，其中一個(gè)聚焦電極孔同時(shí)控制著對(duì)應(yīng)于同一像素的一組陰極發(fā)射的電子。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的聚焦電極(5)和控制柵極(3)之間的絕緣隔離層(4)為聚酰亞胺絕緣層。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的制作方法為1).基底材料云母板(1)的制作對(duì)整體云母板進(jìn)行裁剪，制作出基底材料云母板(1)；2).電子通道孔(2)的制作在裁剪后的基底材料云母板(1)上制作出電子通道孔(2)；3).控制柵極導(dǎo)電條(3)的制作利用鍍膜機(jī)，在基底材料云母板(1)上蒸鍍一層金屬鋁膜，然后通過常規(guī)的光刻工藝，對(duì)金屬鋁膜進(jìn)行光刻，制作出控制柵極導(dǎo)電條(3)；4).絕緣隔離層(4)的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在基底材料云母板(1)上印刷絕緣漿料，形成絕緣隔離層(4)，在150℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行590℃±10℃的高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)時(shí)間為5～15分鐘，其中絕緣隔離層要覆蓋住基底材料云母板(1)和控制柵極導(dǎo)電條(3)；5).聚焦電極條(5)的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在絕緣隔離層(4)上印刷銀漿，形成聚焦電極條(5)，在150℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行585℃±10℃的高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)時(shí)間為5～15分鐘，其中一個(gè)聚焦電極孔同時(shí)控制著對(duì)應(yīng)于同一像素的一組陰極發(fā)射的電子；6).絕緣覆蓋層(6)的制作結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在絕緣隔離層(4)上印刷絕緣漿料，形成絕緣覆蓋層(6)，在150℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行590℃±10℃的高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)時(shí)間為5～15分鐘，其中絕緣覆蓋層要覆蓋住絕緣隔離層(4)和聚焦電極條(5)；7).環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)表面的清潔處理對(duì)環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉灰塵和雜質(zhì)。
9.一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)平板顯示器的制作方法，其特征在于其具體步驟為A、陰極板的制作1).陰極板玻璃(7)的制作對(duì)整體玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極板玻璃(7)。要求陰極板玻璃(7)的內(nèi)側(cè)存在錫銦氧化物膜層；2).陰極導(dǎo)電條(8)的制作結(jié)合常規(guī)的光刻工藝，對(duì)陰極板玻璃內(nèi)側(cè)的錫銦氧化物膜層進(jìn)行光刻，形成陰極導(dǎo)電條(8)；3).碳納米管陰極(9)的印刷結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，將碳納米管(9)印刷在陰極導(dǎo)電條(8)的上面；2)碳納米管(9)陰極的后處理對(duì)印刷后的碳納米管(9)陰極進(jìn)行后處理，以改善碳納米管的場(chǎng)發(fā)射特性；B、陽(yáng)極面板的制作1).清潔平板玻璃(10)，除掉表面雜質(zhì)；2).在平板玻璃(10)上蒸鍍一層錫銦氧化物薄膜；3).對(duì)錫銦氧化物薄膜進(jìn)行光刻，形成陽(yáng)極導(dǎo)電條(11)；4).結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在導(dǎo)電條的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料(12)層，用于防止寄生電子發(fā)射，在150℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行580℃±10℃的高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)時(shí)間為5～15分鐘；5).結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝，在導(dǎo)電條上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層(13)，放置在烘箱中，在120℃±10℃的溫度條件下烘烤5～15分鐘；C、器件裝配將陰極面板、陽(yáng)極面板以及玻璃圍框(14)裝配到一起，并將消氣劑(15)放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定，在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；D、成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝1).將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；2).放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；3).在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成所需要的帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)平板顯示器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種帶有環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作方法，包括由陰極面板、陽(yáng)極面板和四周玻璃圍框構(gòu)成的密封真空腔，在陰極面板上有印刷的碳納米管陰極，用于控制碳納米管陰極電子發(fā)射的控制柵極，用于電子聚焦的環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)，在陽(yáng)極面板上有光刻的錫銦氧化物薄膜層以及制備在錫銦氧化物薄膜層上面的熒光粉層，環(huán)形組聚焦電極結(jié)構(gòu)中的聚焦電極孔對(duì)對(duì)應(yīng)于同一像素的陰極發(fā)射電子進(jìn)行聚焦，這就在確保良好的聚焦作用的同時(shí)，極大地簡(jiǎn)化了器件的制作過程，簡(jiǎn)化了器件制作的實(shí)際工藝，確保器件制作的成功率，改進(jìn)了碳納米管陰極的場(chǎng)致發(fā)射電子的能力，降低了整體平板顯示器件的制作成本，有利于進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。
文檔編號(hào)H01J9/00GK1779892SQ20051004840
公開日2006年5月31日 申請(qǐng)日期2005年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月18日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院