Led制造用光罩板的制作方法
【專利摘要】本申請(qǐng)公開了一種LED制造用光罩板，包括：晶圓曝光部及非晶圓曝光部，于所述非晶圓曝光部上設(shè)置有用于在不同光罩板之間進(jìn)行區(qū)分的熒光標(biāo)記。這樣，在黃光制程中，熒光標(biāo)記由于其獨(dú)特的光顯特性，可清楚明確地提醒操作人員其所拿取的光罩板正確與否，從而大大降低錯(cuò)版情況發(fā)生的幾率。
【專利說(shuō)明】
LED制造用光罩板
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本申請(qǐng)涉及發(fā)光二極管領(lǐng)域，尤其涉及一種LED制造用光罩板。
【背景技術(shù)】
[0002]眾多的半導(dǎo)體制程中，黃光制程無(wú)疑占據(jù)著重要地位，甚至可以說(shuō)黃光占據(jù)著前段制程周期中一半以上的時(shí)間。以發(fā)光二極管(Light Emitting D1de，LED)制程為例，黃光制程占據(jù)約60%的前段制程時(shí)間，同樣黃光制程中的物料耗費(fèi)也是占據(jù)相當(dāng)大一部分比例;可以這樣認(rèn)為整個(gè)半導(dǎo)體制程中，黃光制程直接關(guān)系到產(chǎn)品的最終良率，所有黃光制程對(duì)半導(dǎo)體的重要性就不言而喻。
[0003]在LED以及常見的半導(dǎo)體制程中，芯片的尺寸一般都是相當(dāng)小，不容易借用眼睛識(shí)另IJ，所以黃光制程中經(jīng)常會(huì)發(fā)生用錯(cuò)了光罩板的狀況。目前用于區(qū)別光罩板的方式一般是在光罩板的邊緣印刻光罩板編號(hào)，作業(yè)時(shí)按照流程卡上光罩板編號(hào)取出對(duì)應(yīng)光罩板，但由于黃光光線的顯色能力不是很好，再加上光罩板上的編號(hào)也是相當(dāng)小，視力不是很好或者不夠細(xì)心的操作人員容易拿錯(cuò)光罩板，從而容易發(fā)生制程異常。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本申請(qǐng)旨在至少在一定程度上解決上述技術(shù)問(wèn)題之一。
[0005]本申請(qǐng)?zhí)峁┮环NLED制造用光罩板，包括:晶圓曝光部及非晶圓曝光部，于所述非晶圓曝光部上設(shè)置有用于在不同光罩板之間進(jìn)行區(qū)分的熒光標(biāo)記。
[0006]進(jìn)一步地，所述熒光標(biāo)記為繞設(shè)于所述晶圓曝光部外的熒光圈。
[0007]進(jìn)一步地，所述熒光標(biāo)記為熒光塊。
[0008]進(jìn)一步地，所述熒光標(biāo)記為熒光字體。
[0009]進(jìn)一步地，所述非晶圓曝光部上還設(shè)置有放大版芯粒圖形。
[0010]進(jìn)一步地，所述非晶圓曝光部上還設(shè)置有放大版對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志點(diǎn)。
[0011]進(jìn)一步地，所述芯粒圖形和/或所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志點(diǎn)放大程度為可用肉眼看清楚的程度。
[0012]進(jìn)一步地，所述芯粒圖形和/或所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志點(diǎn)的覆蓋區(qū)域尺寸為5mm* 5mm-10mm*1 Omnin
[0013]本申請(qǐng)的有益效果是:
[0014]通過(guò)提供一種LED制造用光罩板，包括:晶圓曝光部及非晶圓曝光部，于所述非晶圓曝光部上設(shè)置有用于在不同光罩板之間進(jìn)行區(qū)分的熒光標(biāo)記。這樣，在黃光制程中，熒光標(biāo)記由于其獨(dú)特的光顯特性，可清楚明確地提醒操作人員其所拿取的光罩板正確與否，從而大大降低錯(cuò)版情況發(fā)生的幾率。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例的LED制造用光罩板的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面詳細(xì)描述本申請(qǐng)的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本申請(qǐng)，而不能理解為對(duì)本申請(qǐng)的限制。
[0017]在本申請(qǐng)的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本申請(qǐng)和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本申請(qǐng)的限制。
[0018]此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本申請(qǐng)的描述中，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上，除非另有明確具體的限定。
[0019]在本申請(qǐng)中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接;可以是機(jī)械連接，也可以是電連接;可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本申請(qǐng)中的具體含義。
[0020]在本申請(qǐng)中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過(guò)它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0021 ]下面通過(guò)【具體實(shí)施方式】結(jié)合附圖對(duì)本申請(qǐng)作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0022]請(qǐng)參考圖1，本實(shí)施例提供了一種LED制造用光罩板，其可用于LED的黃光制程中，在使用本實(shí)施例的光罩板進(jìn)入制程前，可稍微置于光線較強(qiáng)的位置，從而更好地凸顯本申請(qǐng)中熒光標(biāo)記的作用。
[0023]上述光罩板主要包括:晶圓曝光部I及非晶圓曝光部2，于非晶圓曝光部2上設(shè)置有用于在不同光罩板之間進(jìn)行區(qū)分的熒光標(biāo)記3。
[0024]這樣，在黃光制程中，熒光標(biāo)記由于其獨(dú)特的光顯特性，可清楚明確地提醒操作人員其所拿取的光罩板正確與否，從而大大降低錯(cuò)版情況發(fā)生的幾率。
[0025]在本實(shí)施例中，熒光標(biāo)記3為繞設(shè)于晶圓曝光部I外的熒光圈。這樣，熒光圈由于其熒光顯色特性，可提醒操作人員其拿取的光罩板是何種光罩板，從而容易區(qū)分其正確與否。熒光圈可以采用不同顏色進(jìn)行區(qū)分，從而達(dá)到在不同光罩板之間相區(qū)分的目的。
[0026]在其他實(shí)施例中，熒光標(biāo)記可以為熒光塊，如方塊、圓形塊等，熒光標(biāo)記也可以為熒光字體。
[0027]作為一種優(yōu)選實(shí)施例，非晶圓曝光部上還可以設(shè)置有放大版芯粒圖形，和/或，非晶圓曝光部上還可以設(shè)置有放大版對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志點(diǎn)，芯粒圖形及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志點(diǎn)放大程度為可用肉眼看清楚的程度。具體地，芯粒圖形和/或?qū)?zhǔn)標(biāo)志點(diǎn)的覆蓋區(qū)域尺寸為5mm* 5mm- 10mm*10mm，具體可選擇:5mm*5mm、8.1 2mm*8.12mm、10mm* I Omm 等尺寸。
[0028]在本說(shuō)明書的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施方式”、“一些實(shí)施方式”、“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本申請(qǐng)的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0029]以上內(nèi)容是結(jié)合具體的實(shí)施方式對(duì)本申請(qǐng)所作的進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，不能認(rèn)定本申請(qǐng)的具體實(shí)施只局限于這些說(shuō)明。對(duì)于本申請(qǐng)所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本申請(qǐng)構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡(jiǎn)單推演或替換。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種LED制造用光罩板，包括:晶圓曝光部及非晶圓曝光部，其特征在于，于所述非晶圓曝光部上設(shè)置有用于在不同光罩板之間進(jìn)行區(qū)分的熒光標(biāo)記。2.如權(quán)利要求1所述的光罩板，其特征在于，所述熒光標(biāo)記為繞設(shè)于所述晶圓曝光部外的熒光圈。3.如權(quán)利要求1所述的光罩板，其特征在于，所述熒光標(biāo)記為熒光塊。4.如權(quán)利要求1所述的光罩板，其特征在于，所述熒光標(biāo)記為熒光字體。5.如權(quán)利要求1所述的光罩板，其特征在于，所述非晶圓曝光部上還設(shè)置有放大版芯粒圖形。6.如權(quán)利要求1所述的光罩板，其特征在于，所述非晶圓曝光部上還設(shè)置有放大版對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志點(diǎn)。7.如權(quán)利要求5所述的光罩板，其特征在于，所述芯粒圖形放大程度為可用肉眼看清楚的程度。8.如權(quán)利要求6所述的光罩板，其特征在于，所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志點(diǎn)放大程度為可用肉眼看清楚的程度。9.如權(quán)利要求7所述的光罩板，其特征在于，所述芯粒圖形的覆蓋區(qū)域尺寸為1 Omm *1 Omnin10.如權(quán)利要求8所述的光罩板，其特征在于，所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志點(diǎn)的覆蓋區(qū)域尺寸為5mm*5mm-1 Omm *1 Omnin
【文檔編號(hào)】G03F1/38GK205539916SQ201590000167
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2015年10月2日
【發(fā)明人】魏曉敏
【申請(qǐng)人】魏曉敏