預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型是預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置，其結(jié)構(gòu)包括進(jìn)氣管1、排氣管2、冷卻板3、可視窗4、氣動(dòng)閥門5、收集罐6、信號(hào)控制線路7，其中進(jìn)氣管1設(shè)在裝置的左側(cè)，裝置底面上是排氣管2，裝置底部是收集罐6，收集罐6通過信號(hào)控制線路7與可視窗4相接，裝置頂部設(shè)冷卻板3，收集罐6上設(shè)手動(dòng)閥門5。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：1）所對應(yīng)的預(yù)烘烤機(jī)冷卻板所收集到的升華物，可及時(shí)監(jiān)控收集狀態(tài)，升華物不堵塞管道，確保設(shè)備連續(xù)工作；2）升華物清潔無需停止生產(chǎn)，無需拆卸冷卻板；3）可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)監(jiān)控和控制，保證設(shè)備的稼動(dòng)率，減少維護(hù)時(shí)間，提高設(shè)備的效率。
【專利說明】
預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及的是一種可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)監(jiān)控和控制的預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前采用冷卻板冷卻可以達(dá)到收集升華物的目的，但缺陷是冷卻板所收集到的升華物，無法及時(shí)監(jiān)控收集狀態(tài)，導(dǎo)致升華物會(huì)堵塞管道造成設(shè)備停機(jī);并且升華物清潔需停止生產(chǎn)，且需拆卸冷卻板，工作量大且會(huì)影響生產(chǎn)，故具有效率低，耗費(fèi)時(shí)間等問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型提出的是一種可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)監(jiān)控和控制的預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置，其目的旨在克服所對應(yīng)的預(yù)烘烤機(jī)冷卻板所收集到的升華物，可及時(shí)監(jiān)控收集狀態(tài)，確保升華物不堵塞管道，設(shè)備連續(xù)工作。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案:預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置，其結(jié)構(gòu)包括進(jìn)氣管
1、排氣管2、冷卻板3、可視窗4、氣動(dòng)閥門5、收集罐6、信號(hào)控制線路7，其中進(jìn)氣管I設(shè)在裝置的左側(cè)，裝置底面上是排氣管2，裝置底部是收集罐6，收集罐6通過信號(hào)控制線路7與可視窗4相接，裝置頂部設(shè)冷卻板3，收集罐6上設(shè)手動(dòng)閥門5。
[0005]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn):
[0006]I)所對應(yīng)的預(yù)烘烤機(jī)冷卻板所收集到的升華物，可及時(shí)監(jiān)控收集狀態(tài)，升華物不堵塞管道，確保設(shè)備連續(xù)工作。
[0007]2)升華物清潔無需停止生產(chǎn)，無需拆卸冷卻板。
[0008]3)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)監(jiān)控和控制，保證設(shè)備的稼動(dòng)率，減少維護(hù)時(shí)間，提高設(shè)備的效率。
【附圖說明】
[0009]附圖1是預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中I是進(jìn)氣管;2是排氣管;3是冷卻板;4是可視窗;5是氣動(dòng)閥門；6是收集罐;7是信號(hào)控制線路;8是上傳感囂sensor; 9是下傳感囂sensor。
【具體實(shí)施方式】
[0011]對照附圖1，烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置，其結(jié)構(gòu)包括進(jìn)氣管1、排氣管2、冷卻板3、可視窗4、氣動(dòng)閥門5、收集罐6、信號(hào)控制線路7，其中進(jìn)氣管I設(shè)在裝置的左側(cè)，裝置底面上是排氣管2，裝置底部是收集罐6，收集罐6通過信號(hào)控制線路7與可視窗4相接，裝置頂部設(shè)冷卻板3，收集罐6上設(shè)手動(dòng)閥門5。
[0012]所述的收集罐6的內(nèi)部為抽屜式，外部的隔板為透明。
[0013]所述的可視窗4含上傳感囂sensor 8、下傳感囂sensor 9。
[0014]工作時(shí)，
[0015]可視窗4(含上、下限傳感器sensor，并與氣動(dòng)閥門5連動(dòng)，當(dāng)液位到達(dá)上限傳感器sensor時(shí)，通過信號(hào)控制線路，反饋給氣動(dòng)閥門5.控制開關(guān)，開關(guān)收到信號(hào)，通過伺服控制，氣動(dòng)閥門5開啟，被冷卻板3冷卻的升華物通過管道進(jìn)入收集罐6;當(dāng)液位到達(dá)下限傳感器sensor時(shí)，通過信號(hào)控制線路，反饋給氣動(dòng)閥門5控制開關(guān)，開關(guān)收到信號(hào)，通過伺服控制，氣動(dòng)閥門5關(guān)閉，防止收集罐6內(nèi)的升華物逆流揮發(fā)影響排氣系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)監(jiān)控和控制，保證設(shè)備的稼動(dòng)率，減少維護(hù)的時(shí)間，提高了設(shè)備的效率。
[0016]預(yù)烘烤機(jī)主要用在彩色濾光片黃光制程，其作用是為了去除光阻中30%作用的洗劑，以達(dá)到固化作用，保證光阻穩(wěn)定，為后段曝光顯影做好準(zhǔn)備。此預(yù)烘烤機(jī)制程溫度在100度左右，故此預(yù)烘烤機(jī)的關(guān)鍵制程參數(shù)是溫度均一性和排氣的穩(wěn)定性。
[0017]為保證排氣的穩(wěn)定性，升華物的及時(shí)排除至關(guān)重要，目前技術(shù)是采用冷卻板冷卻進(jìn)行收集，通過排氣管道排除。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置，其特征是包括進(jìn)氣管、排氣管、冷卻板、可視窗、氣動(dòng)閥門、收集罐、信號(hào)控制線路，其中進(jìn)氣管設(shè)在裝置的左側(cè)，裝置底面上是排氣管，裝置底部是收集罐，收集罐通過信號(hào)控制線路與可視窗相接，裝置頂部設(shè)冷卻板，收集罐上設(shè)手動(dòng)閥門。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置，其特征是所述的收集罐的內(nèi)部為抽屜式，外部的隔板為透明。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)烘烤機(jī)升華物監(jiān)控收集裝置，其特征是所述的可視窗含上傳感囂sensor、下傳感囂sensor ο
【文檔編號(hào)】G03F7/38GK205450562SQ201620172301
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年3月8日
【發(fā)明人】趙玉財(cái), 吳云桂, 張偉偉, 陳長增, 張飛, 顏媛, 高堅(jiān)
【申請人】南京中電熊貓液晶材料科技有限公司