光取向用偏振光照射裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種光取向用偏振光照射裝置，具備：一組載臺，在照射區(qū)域的兩側(cè)配置有搭載對象物的各搭載位置；搬送機構(gòu)，具有通過照射區(qū)域而連結(jié)各搭載位置的搬送路徑；以及退避機構(gòu)，使位于搭載位置的一組載臺中的至少一個載臺在另一個載臺被搬送到通過位置的狀態(tài)，移動到離開通過位置的退避位置。搭載位置相對于通過位置而配置成，位于搭載位置的至少一個載臺與位于通過位置的另一個載臺的至少一部分在同一平面上重合。因此，本實用新型抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長，并且抑制裝置整體的設(shè)置空間的增大。
【專利說明】
光取向用偏振光照射裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型的實施方式涉及一種光取向用偏振光照射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶面板等的制造工序中，要對液晶面板的取向膜或者視角補償膜(film)的取向?qū)拥葘ο笪镞M行取向處理。在取向處理中，已知有一種為了進行所謂的光取向而使用的光取向用偏振光照射裝置，所述光取向是指通過對取向膜照射規(guī)定波長的偏振光來進行取向。
[0003]作為此種光取向用偏振光照射裝置，例如有一種結(jié)構(gòu)，其具備:照射單元，照射偏振光;載臺(stage)，搭載形成有取向膜的基板；以及搬送機構(gòu)，以載臺通過照射單元的照射區(qū)域的方式來搬送載臺。
[0004]而且，作為與所述光取向用偏振光照射裝置類似的裝置，已知有一種曝光裝置，其以搭載有基板的第I載臺及第2載臺通過對基板進行曝光的曝光部的方式來搬送第I載臺及第2載臺。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)I:日本專利特開2008-191302號公報【實用新型內(nèi)容】
[0008][實用新型所要解決的問題]
[0009]然而，液晶面板等對象物正趨于大型化，伴隨于此，在光取向用偏振光照射裝置中針對對象物的照射時間增加。因此，存在下述問題，即，每一個對象物的處理時間(以下稱作生產(chǎn)節(jié)拍(takt time))變長，從而導(dǎo)致生產(chǎn)性下降。而且，隨著對象物的大型化，存在光取向用偏振光照射裝置大型化的問題。
[0010]因此，本實用新型的目的在于提供一種能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長，并且能夠抑制裝置整體的設(shè)置空間(space)的增大的光取向用偏振光照射裝置。
[0011][解決問題的技術(shù)手段]
[0012]實施方式的光取向用偏振光照射裝置包括:照射單元，具有朝對象物照射偏振光的照射區(qū)域;第I載臺及第2載臺，配置有搭載所述對象物的第I搭載位置及第2搭載位置；以及搬送機構(gòu)，具有通過所述照射區(qū)域而連結(jié)所述第I搭載位置及所述第2搭載位置的至少一條搬送路徑，且在所述搭載位置、與所述第I載臺及所述第2載臺通過所述照射區(qū)域而鄰接于所述照射區(qū)域的通過位置之間，使所述第I載臺及所述第2載臺交替地沿著所述至少一條搬送路徑而往復(fù)。
[0013]光取向用偏振光照射裝置還包括:退避機構(gòu)，使位于所述第I搭載位置及所述第2搭載位置的所述第I載臺及所述第2載臺中的至少一個載臺在另一個載臺被搬送到所述通過位置的狀態(tài)，移動到離開所述通過位置的退避位置。所述搭載位置相對于所述通過位置而配置成，位于所述第I搭載位置及所述第2搭載位置的所述至少一個載臺、與位于所述通過位置的另一個載臺的至少一部分在同一平面上重合。
[0014]根據(jù)另一個實施方式，所述至少一個載臺是所述退避位置與所述搭載位置位于同一平面上。根據(jù)另一個實施方式，所述至少一個載臺是所述退避位置與所述搭載位置位于不同平面上。
[0015]根據(jù)另一個實施方式，所述至少一個載臺是所述搭載位置相對于所述通過位置而配置成:在同一平面上，在所述至少一個載臺位于所述搭載位置的狀態(tài)，與位于所述通過位置的另一個所述載臺整體重合。
[0016]根據(jù)另一個實施方式，所述退避機構(gòu)使所述至少一個載臺沿著與所述其中一個載臺被往復(fù)搬送的搬送方向相同的方向而移動到所述退避位置。
[0017]而且，在另一實施方式的光取向用偏振光照射裝置中，所述搬送路徑具有:第I搬送路徑，從在所述第I載臺上搭載所述對象物的第I搭載位置，將所述第I載臺搬送到鄰接于所述照射區(qū)域的照射開始位置;第2搬送路徑，從在所述第2載臺上搭載所述對象物的第2搭載位置，將所述第2載臺搬送到所述照射開始位置為止；以及第3搬送路徑，一端連結(jié)于所述照射開始位置，并且另一端通過所述照射區(qū)域而延伸到鄰接于所述照射區(qū)域的通過位置為止，并搬送所述第I載臺及所述第2載臺。而且，所述搬送機構(gòu)在所述第I搭載位置與所述通過位置之間，使所述第I載臺沿著所述第I搬送路徑及所述第3搬送路徑而往復(fù)，并且在所述第2搭載位置與所述通過位置之間，使所述第2載臺沿著所述第2搬送路徑及所述第3搬送路徑而往復(fù)。
[0018]根據(jù)另一個實施方式，所述第I搬送路徑及所述第2搬送路徑中的至少一條搬送路徑的搬送方向、與所述第3搬送路徑的搬送方向在同一平面上交叉。
[0019]根據(jù)另一個實施方式，所述第I搬送路徑與所述第2搬送路徑在上下方向上并排配置。
[0020](實用新型的效果)
[0021]根據(jù)本實用新型，能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長而提高生產(chǎn)性，并且能夠抑制裝置整體的設(shè)置空間的增大。
【附圖說明】
[0022]圖1是示意性地表示第I實施方式的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0023]圖2是示意性地表示第I實施方式的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0024]圖3是示意性地表示第I實施方式的變形例的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0025]圖4是示意性地表示第I實施方式的變形例的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0026]圖5是示意性地表示第2實施方式的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0027]圖6是示意性地表示第2實施方式的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0028]圖7是示意性地表示第3實施方式的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0029]圖8是示意性地表示第4實施方式的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0030]圖9(a)、圖9(b)是示意性地表示第5實施方式的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0031]圖10(a)、圖10(b)是示意性地表示第5實施方式的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0032]圖11是用于說明第5實施方式的光取向用偏振光照射裝置中的第I載臺及第2載臺的動作的示意平面圖。
[0033]圖12是用于說明第5實施方式的光取向用偏振光照射裝置中的第I載臺及第2載臺的動作的示意平面圖。
[0034]圖13是用于說明第5實施方式的光取向用偏振光照射裝置中的第I載臺及第2載臺的動作的示意平面圖。
[0035]圖14是用于說明第5實施方式的光取向用偏振光照射裝置中的第I載臺及第2載臺的動作的示意平面圖。
[0036]圖15是用于說明第5實施方式的光取向用偏振光照射裝置中的第I載臺及第2載臺的動作的示意平面圖。
[0037]圖16是示意性地表示第6實施方式的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0038]圖17是示意性地表示第6實施方式的光取向用偏振光照射裝置的變形例的平面圖。
[0039]圖18(a)、圖18(b)是示意性地表示第7實施方式的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖及平面圖。
[0040]附圖標(biāo)記說明:
[0041 ]IA?1H、IJ?IK:偏振光照射裝置
[0042]9:基板
[0043]10:照射單元
[0044]1a:光源
[0045]1b:反射板
[0046]11:第I載臺
[0047]12:第 2載臺
[0048]15、25、35、45、55、65:搬送機構(gòu)
[0049]25a、35a、45a、55a、65a:引導(dǎo)軸
[0050]15a:第I引導(dǎo)軸[0051 ]15b:第2引導(dǎo)軸
[0052]16、26、36、46、56、66:搬送路徑
[0053]17、57:退避機構(gòu)
[0054]17a、57a:臂
[0055]19a、29a、39a、49a:第I搬送路徑
[0056]19b、29b、39b、49b:第 2 搬送路徑
[0057]19c、29c、39c、49c:第 3 搬送路徑
[0058]A:照射區(qū)域
[0059]Pla、Pl:第I搭載位置
[0060]Plb、P2:第2搭載位置[0061 ]P2a、P2b、P4:通過位置
[0062]P3a、P3b:退避位置
[0063]P3:照射開始位置(照射結(jié)束位置)
【具體實施方式】
[0064]以下要說明的實施方式的光取向用偏振光照射裝置(以下稱作偏振光照射裝置)IA具備照射單元10、一組第I載臺11及第2載臺12、搬送機構(gòu)15以及退避機構(gòu)17。照射單元10具有朝對象物照射偏振光的照射區(qū)域A。一組第I載臺11及第2載臺12在照射區(qū)域A的兩側(cè)配置有搭載對象物的各第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb。搬送機構(gòu)15具有通過照射區(qū)域A而連結(jié)各搭載位置Pla、Plb的搬送路徑16。而且，搬送機構(gòu)15在搭載位置Pla、Plb與第I載臺11、第2載臺12通過照射區(qū)域A而鄰接于照射區(qū)域A的通過位置P2a、P2b之間，使一組第I載臺11及第2載臺12交替地沿著搬送路徑16而往復(fù)。退避機構(gòu)17使位于第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)的一組第I載臺11及第2載臺12中的至少一個載臺11(12)，在另一個載臺12(11)被搬送到通過位置P2b(P2a)的狀態(tài)，移動到離開通過位置P2b(P2a)的退避位置P3a(P3b)。第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)相對于通過位置P2b(P2a)而配置成:位于第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)的至少一個第I載臺11(第2載臺12)與位于通過位置P2b(P2a)的另一個第2載臺12(第I載臺11)的至少一部分在同一平面上重合。
[0065]而且，以下要說明的實施方式的至少一個第I載臺11(第2載臺12)是退避位置P3a(P3b)與第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)位于同一平面上。
[0066]而且，以下要說明的實施方式的至少一個第I載臺11(第2載臺12)是退避位置P3a(P3b)與第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)位于不同平面上。
[0067]而且，以下要說明的實施方式的至少一個第I載臺11(第2載臺12)是第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)相對于通過位置P2b(P2a)而配置成:在同一平面上，在至少一個第I載臺11(第2載臺12)位于第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)的狀態(tài)，與位于通過位置P2b(P2a)的另一個第2載臺12(第I載臺11)整體重合。
[0068]而且，以下要說明的實施方式的退避機構(gòu)17使至少一個第I載臺11(第2載臺12)沿著與其中一個第I載臺11(第2載臺12)被往復(fù)搬送的搬送方向相同的方向而移動到退避位置P3a(P3b)0
[0069]以下，參照附圖來說明實施方式的偏振光照射裝置。
[0070](第丨實施方式)
[0071]圖1是示意性地表示第I實施方式的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。圖2是示意性地表示第I實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。本實施方式的偏振光照射裝置例如被用于通過朝作為對象物的取向膜照射直線偏振光等偏振光來進行光取向。本實施方式的偏振光照射裝置例如被用于制造液晶面板的取向膜或者視角補償膜的取向膜等。
[0072](偏振光照射裝置的結(jié)構(gòu))
[0073]如圖1所示，第I實施方式的偏振光照射裝置I具備照射單元10、一組第I載臺11及第2載臺12、搬送機構(gòu)15以及退避機構(gòu)17。
[0074]照射單元10具有對形成有作為對象物的取向膜的基板9(以下簡稱作基板9)照射偏振光的照射區(qū)域A。而且，照射單元10具有:發(fā)出包含紫外線的光的管狀光源10a、及對光源1a發(fā)出的光的取向進行控制的反射板10b。而且，照射單元10具有偏振元件(未圖示)，該偏振元件使光源1a發(fā)出的光與經(jīng)反射板1b控制了取向的光入射并出射偏振光。
[0075]另外，此處所說的“照射區(qū)域A”是指照射單元10最下面的開口，即，照射單元10中最靠近對象物的位置處的開口。例如，若照射單元10的最下面為偏振元件，則偏振元件的開口相當(dāng)于照射區(qū)域A，若在較偏振元件更靠近對象物側(cè)存在遮光板(未圖示)，則遮光板的開口相當(dāng)于照射區(qū)域A。此外，若在遮光板上存在保護玻璃(未圖示)，則保護玻璃的開口相當(dāng)于照射區(qū)域A。
[0076]對于光源10a，例如使用在紫外線透射性的玻璃管內(nèi)封入有汞、氬、氙等稀有氣體的高壓汞燈或者在高壓汞燈中進而封入有鐵或碘等金屬鹵素(metal halide)的金屬鹵素?zé)舻裙苄蜔?，具有直線狀的發(fā)光部。光源1a中，發(fā)光部的長度方向與各第I載臺11、第2載臺12相對于照射單元10的搬送方向正交，發(fā)光部的長度被設(shè)為長于基板9的一邊的長度。光源1a被設(shè)為能夠從直線狀的發(fā)光部發(fā)出例如包含波長為200nm至400nm為止的紫外線的光。光源I Oa發(fā)出的光是具有各種偏振軸成分，即所謂的非偏振光。
[0077]反射板1b在與光源1a相向的面上，具有將光源1a發(fā)出的光予以反射的反射面，反射面是形成為呈楕圓的一部分的形狀。由此，反射板1b構(gòu)成為對光源1a發(fā)出的光進行聚光，即作為所謂聚光型的反射板。偏振元件能夠從光源1a所發(fā)出、并一樣地朝所有方向振動的包含各種偏振軸成分的光中，取出僅在基準(zhǔn)方向振動的偏振軸的光。另外，一般將僅在基準(zhǔn)方向振動的偏振軸的光稱作直線偏振光。而且，偏振軸是指光的電場及磁場的振動方向。
[0078]—組第I載臺11及第2載臺12形成為矩形狀的板狀，搭載形成有取向膜的基板9。第I載臺11及第2載臺12由搬送機構(gòu)15可移動地予以支撐。
[0079]如圖1及圖2所示，在第I載臺11及第2載臺12上搭載基板9的各第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb配置在照射區(qū)域A的兩側(cè)。搬送機構(gòu)15具有通過照射區(qū)域A而連結(jié)各第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb的搬送路徑16。搬送機構(gòu)15具有:可移動地支撐第I載臺11及第2載臺12的引導(dǎo)軸15a、以及使第I載臺11及第2載臺12沿著引導(dǎo)軸15a移動的驅(qū)動機構(gòu)(未圖示)。引導(dǎo)軸15a構(gòu)成直線狀的搬送路徑16。而且，搬送機構(gòu)15在第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb的各位置、與第I載臺11及第2載臺12通過照射區(qū)域A而鄰接于照射區(qū)域A的通過位置P2a、P2b之間，使第I載臺11及第2載臺12交替地沿著搬送路徑16而往復(fù)。
[0080]而且，退避機構(gòu)17如圖1所示，鄰接于第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb而配置，使用所謂的工業(yè)機器人。退避機構(gòu)17具有臂(arm)17a，該臂17a用于沿水平方向搬送各第I載臺11、第2載臺12。退避機構(gòu)17在一組第I載臺11及第2載臺12被搬送到通過位置P2a、P2b的狀態(tài)，使位于第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb的一組第I載臺11及第2載臺12移動到離開通過位置P2a、P2b的退避位置P3a、P3b。
[0081]并且，如圖2所示，位于第I搭載位置Pla的第I載臺11與位于通過位置P2b的第2載臺12的一部分在同一平面上重合。同樣，位于第2搭載位置Plb的第2載臺12與位于通過位置P2a的第I載臺11的一部分在同一平面上重合。以此種位置關(guān)系，第I載臺11及第2載臺12的第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)相對于通過位置P2b(P2a)而來配置。
[0082]本實施方式中，位于第I搭載位置Pla的第I載臺11在水平面上與位于通過位置P2b的第2載臺12的搬送方向上的一端部重合。而且，位于第2搭載位置Plb的第2載臺12在水平面上與位于通過位置P2a的第I載臺11的搬送方向上的一端部重合。即，第I載臺11的第I搭載位置Pla靠近第2載臺12的通過位置P2b而配置，并且，第2載臺12的第2搭載位置Plb靠近第I載臺11的通過位置P2a而配置。
[0083]換言之，這意味著:在平面上，位于第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb的各第I載臺11、第2載臺12與照射單元10之間為小于I個第I載臺11(第2載臺12)所占的空間。借助該結(jié)構(gòu)，相對于照射單元10而往復(fù)的各第I載臺11、第2載臺12的搬送距離得以縮短，從而抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長，并且抑制設(shè)置空間的增大。
[0084]位于第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)的其中一個第I載臺11(第2載臺12)與位于通過位置P2b(P2a)的另一個第2載臺12(第I載臺11)重合的區(qū)域大，則意味著第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)與照射區(qū)域A之間的搬送距離變短。因此，在抑制生產(chǎn)節(jié)拍變長并抑制設(shè)置空間增大的觀點上為優(yōu)選。另一方面，位于第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)的其中一個載臺第111(第2載臺12)與位于通過位置P2b(P2a)的另一個載臺12(11)重合的區(qū)域少，則意味著第I載臺11(第2載臺12)從第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)退避所需的時間變短。因此，能夠容易地使第I載臺11(第2載臺12)退避。然而，在此情況下，第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)與照射區(qū)域A之間的搬送距離變長，因此在抑制生產(chǎn)節(jié)拍(takttime)變長并抑制設(shè)置空間增大的觀點上，所獲得的效果變少。因此，位于第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)的其中一個第I載臺11(第2載臺12)與位于通過位置P2b(P2a)的另一個第2載臺12(第I載臺11)重合的區(qū)域是根據(jù)第I載臺11(第2載臺12)從第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)退避的速度等而適當(dāng)設(shè)定。
[0085]本實施方式中，搬送機構(gòu)15與退避機構(gòu)17是作為獨立的機構(gòu)而構(gòu)成，但也能夠以搬送機構(gòu)15兼作退避機構(gòu)的方式而構(gòu)成。在此情況下，搬送機構(gòu)往復(fù)搬送各第I載臺11、第2載臺12，并且在第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb與退避位置P3a、P3b之間往復(fù)搬送各第載臺11(第2載臺12)。
[0086](偏振光照射時的各載臺的動作)
[0087]對于以上述方式構(gòu)成的偏振光照射裝置I，說明相對于照射單元10來搬送第I載臺11及第2載臺12并對基板9照射偏振光的動作。
[0088]首先，在位于第I搭載位置Pla的第I載臺11上搭載基板9。然后，第I載臺11由搬送機構(gòu)15向照射單元10搬送，并通過照射區(qū)域A而被搬送到通過位置P2a為止。接下來，第I載臺11從通過位置P2a被搬送向第I搭載位置Pla，并經(jīng)過通過了照射區(qū)域A的通過位置P2a而返回第I搭載位置Pla。這樣，第I載臺11上的基板9的取向膜通過往復(fù)照射區(qū)域A而被照射規(guī)定量的偏振光，以進行所需的光取向。
[0089]另一方面，在由搬送機構(gòu)15搬送第I載臺11的狀態(tài)，在位于第2搭載位置Plb的第2載臺12上搭載基板9。在第I載臺11被搬送向第I搭載位置Pla的狀態(tài)，在規(guī)定的時機(timing)，第2載臺12由搬送機構(gòu)15朝向照射單元1搬送，并通過照射區(qū)域A而被搬送到通過位置P2b為止。
[0090]這樣，搬送機構(gòu)15交替地往復(fù)搬送第I載臺11及第2載臺12，由此來連續(xù)地進行對第I載臺11上的基板9的取向膜照射偏振光的動作與對第2載臺12上的基板9的取向膜照射偏振光的動作。由此，能夠在搬送其中一個第I載臺11(第2載臺12)的期間，進行對另一個第2載臺12(第I載臺11)搭載基板9或者拆卸基板9的操作，從而抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長。
[0091]另外，第2載臺12的通過位置P2b相當(dāng)于第I載臺11的照射開始位置及照射結(jié)束位置。同樣，第I載臺11的通過位置P2a相當(dāng)于第2載臺12的照射開始位置及照射結(jié)束位置。
[0092]并且，位于第I搭載位置Pla的第I載臺11在第2載臺12被搬送到通過位置P2b的狀態(tài)，借助退避機構(gòu)17而從第I搭載位置Pla退避到退避位置P3a。然后，在第2載臺12朝向第2搭載位置Plb受到搬送后，借助退避機構(gòu)17，第I載臺11從退避位置P3a返回第I搭載位置Pla。由此，能夠避免第I載臺11對在第2搭載位置Plb與通過位置P2b之間往復(fù)搬送的第2載臺12的干涉。
[0093]而且，同樣地，位于第2搭載位置Plb的第2載臺12在第I載臺11被搬送到通過位置P2a的狀態(tài)，借助退避機構(gòu)17而從第2搭載位置Plb退避到退避位置P3b。然后，在第I載臺11向第I搭載位置Pla被搬送后，借助退避機構(gòu)17，第2載臺12從退避位置P3b返回第2搭載位置Plb0
[0094]另外，也可將從退避位置P3a、P3b返回搭載位置Pla、Plb的移動與從第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb相對于照射區(qū)域A而往復(fù)的移動控制成連續(xù)地過渡，而不使各第I載臺11、第2載臺12暫時停止在第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb處。
[0095]如上所述，本實施方式中，第I搭載位置Pla相對于通過位置P2b而以下述方式靠近，即，位于第I搭載位置Pla的第I載臺11在同一平面上與位于通過位置P2b的第2載臺12重合。同樣地，第I搭載位置PIb相對于通過位置P2a而以下述方式靠近，即，位于第2搭載位置Plb的第2載臺12在同一平面上與位于通過位置P2a的第I載臺11重合。其結(jié)果，相對于照射區(qū)域A而往復(fù)的第I載臺11及第2載臺12的搬送距離得以縮短，因此可抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長。
[0096](第I實施方式的效果)
[0097]第I實施方式具備:搬送機構(gòu)15，在第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb與通過位置P2a、P2b之間使各第I載臺11、第2載臺12交替地沿著搬送路徑16而往復(fù)；以及退避機構(gòu)17，使各載臺移動到離開通過位置P2a、P2b的退避位置P3a、P3b。第I搭載位置PI a (第2搭載位置Plb)相對于通過位置P2b(P2a)而配置成:位于第I搭載位置Pla(第2搭載位置Plb)的其中一個第I載臺11(第2載臺12)與位于通過位置P2b(P2a)的另一個第2載臺12(第I載臺11)的一部分在同一平面上重合。由此，能夠?qū)⑾鄬τ谡丈鋯卧?0而往復(fù)的各第I載臺11、第2載臺12的搬送距離予以縮短。其結(jié)果，能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長，并且能夠抑制裝置整體的設(shè)置空間的增大。
[0098]而且，第I實施方式中的第I載臺11及第2載臺12的退避位置P3a、P3b與第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb位于同一平面上。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)搬送機構(gòu)15的簡化，并能夠在第I載臺11及第2載臺12上抑制基板9的位置偏離。
[0099]另外，本實施方式中，第I載臺11及第2載臺12這兩者以第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb與通過位置P2a、P2b重合的方式而配置，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。根據(jù)設(shè)置空間或搬送動作的控制等的需要，對于第I載臺11及第2載臺12中的至少一個，以位于搭載位置的載臺與位于通過位置的載臺相重合的方式而配置，由此可獲得下述效果，即，抑制所述生產(chǎn)節(jié)拍的變長，并且抑制裝置整體的設(shè)置空間的增大。
[0100]而且，第I實施方式中的退避機構(gòu)17使第I載臺11及第2載臺12沿著與往復(fù)搬送的搬送方向相同的方向而移動到退避位置P3a、P3b。由此，第I載臺11及第2載臺12能夠從退避位置P3a、P3b順暢地過渡到搬送動作，動作可靠性提高，并能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的增大。
[0101]而且，本實施方式中，照射區(qū)域A與位于第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb的各第I載臺11、第2載臺12之間的區(qū)域小于I個第I載臺11(第2載臺12)的搭載面的大小。因此，各第I載臺11、第2載臺12的搬送距離得以縮短，能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的增大。
[0102]而且，第I實施方式中構(gòu)成為，位于第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb的第I載臺11及第2載臺12沿著第I載臺11及第2載臺12的搬送方向(搬送路徑16)而移動到退避位置P3a、P3b，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。例如，也可構(gòu)成為，根據(jù)設(shè)置空間的限制等的需要，使位于第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb的第I載臺11及第2載臺12朝與第I載臺11及第2載臺12的搬送方向交叉的方向即圖2中的左右、斜上方向退避。
[0103]以下，參照附圖來說明其他實施方式的偏振光照射裝置。另外，在其他實施方式中，對于與第I實施方式相同的構(gòu)成構(gòu)件，標(biāo)注與第I實施方式相同的符號并省略說明。
[0104](第I實施方式的變形例I)
[0105]圖3是示意性地表示第I實施方式的變形例I的偏振光照射裝置的平面圖。第I實施方式的變形例I與第I實施方式不同的是:第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb相對于通過位置P2a、P2b的配置；以及第I載臺11及第2載臺12從第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb退避的方向。
[0106]如圖3所示，第I實施方式的變形例的偏振光照射裝置IB具備搬送機構(gòu)25，該搬送機構(gòu)25在第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb與通過位置P2a、P2b之間，使第I載臺11及第2載臺12交替地沿著搬送路徑26而往復(fù)。搬送路徑26如圖3所示，長度方向的兩端部是相對于連結(jié)通過位置P2a、P2b之間的方向，在同一平面上交叉的方向，例如呈45度左右的角度而彎曲。而且，搬送路徑26的兩端部相對于連結(jié)通過位置P2a、P2b之間的直線而朝彼此相同的方向彎曲。搬送路徑26是沿著搬送機構(gòu)25的引導(dǎo)軸25a而構(gòu)成。
[0107]并且，第I搭載位置Pla相對于通過位置P2b而配置成:位于第I搭載位置Pla的第I載臺11在同一平面上與位于通過位置P2b的第2載臺12的角部重合。而且，同樣地，第2搭載位置Plb相對于通過位置P2a而配置成，位于第2搭載位置Plb的第2載臺12在同一平面上與位于通過位置P2a的第I載臺11的角部重合。由此，相對于照射單元10而往復(fù)的各第I載臺
11、第2載臺12的搬送距離得以縮短。
[0108](第I實施方式的變形例I的效果)
[0109]在第I實施方式的變形例I中，也與第I實施方式同樣地，能夠縮短各第I載臺11、第2載臺12的搬送距離，因此可獲得抑制生產(chǎn)節(jié)拍增大化及抑制設(shè)置空間增大的效果。
[0110](第I實施方式的變形例2)
[0111]圖4是示意性地表示第I實施方式的變形例2的偏振光照射裝置的平面圖。第I實施方式的變形例2與第I實施方式不同的是:第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb相對于通過位置P2a、P2b的配置；以及第I載臺11及第2載臺12從第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb退避的方向。
[0112]如圖4所示，第I實施方式的變形例2的偏振光照射裝置IC具備搬送機構(gòu)35，該搬送機構(gòu)35在第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb與通過位置P2a、P2b之間，使第I載臺11及第2載臺12交替地沿著搬送路徑36而往復(fù)。搬送路徑36如圖4所示，長度方向的兩端部是相對于連結(jié)通過位置P2a、P2b之間的方向，在同一平面而正交的方向上彎曲。而且，搬送路徑36的兩端部相對于連結(jié)通過位置P2a、P2b之間的直線而朝彼此相同的方向彎曲。搬送路徑36是沿著搬送機構(gòu)35的引導(dǎo)軸35a而構(gòu)成。
[0113]并且，第I搭載位置Pla相對于通過位置P2b而配置成:位于第I搭載位置Pla的第I載臺11在同一平面上與位于通過位置P2b的第2載臺12的端部重合。而且，同樣地，第2搭載位置Plb相對于通過位置P2a而配置成，位于第2搭載位置Plb的第2載臺12在同一平面上與位于通過位置P2a的第I載臺11的端部重合。由此，相對于照射單元10而往復(fù)的各第I載臺
11、第2載臺12的搬送距離得以縮短。
[0114](第I實施方式的變形例2的效果)
[0115]在第I實施方式的變形例2中，也與第I實施方式同樣地，能夠縮短各第I載臺11、第2載臺12的搬送距離，因此可獲得抑制生產(chǎn)節(jié)拍增大化及抑制設(shè)置空間增大的效果。
[0116](第2實施方式)
[0117]圖5是示意性地表示第2實施方式的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。圖6是示意性地表示第2實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。第2實施方式與第I實施方式的不同之處在于，位于搭載位置Pla、Plb的各第I載臺11、第2載臺12整體相對于位于通過位置P2a、P2b的各第I載臺11、第2載臺12而重合。而且，第2實施方式與第I實施方式的不同之處在于，第I載臺11及第2載臺12從第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb相對于上下方向而退避。
[0118]如圖5及圖6所示，第2實施方式的偏振光照射裝置ID具備搬送機構(gòu)45，該搬送機構(gòu)45在第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb與通過位置P2a、P2b之間，使第I載臺11及第2載臺12交替地沿著搬送路徑46而往復(fù)。搬送路徑46如圖5所示，具有使第I載臺11及第2載臺12搬送的導(dǎo)軌(guide rail)45a。導(dǎo)軌45a的兩端部朝向上方彎曲，從第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb延伸到退避位置P3a、P3b為止。而且，搬送路徑46如圖6所示，在從與各第I載臺11、第2載臺12的搭載面相向的方向觀察時，沿著導(dǎo)軌45a而構(gòu)成為直線狀。
[0119]并且，第2實施方式的偏振光照射裝置ID中，借助搬送機構(gòu)45，使位于第I搭載位置Pla的第I載臺11移動到退避位置P3a，并且使位于第2搭載位置Plb的第2載臺12移動到退避位置P3b。而且，搬送機構(gòu)45使位于退避位置P3a的第I載臺11返回第I搭載位置Pla，并且使位于退避位置P3b的第2載臺12返回第2搭載位置Plb。因此，本實施方式中，使各第I載臺11、第2載臺12往復(fù)動作的搬送機構(gòu)45兼作使各第I載臺11、第2載臺12從第I搭載位置Pla、第2搭載位置PI b退避到退避位置P3a、P3b的退避機構(gòu)。
[0120]而且，第I搭載位置Pla相對于通過位置P2b而配置成:位于第I搭載位置Pla的第I載臺11在同一平面上與位于通過位置P2b的第2載臺12整體重合。而且，同樣地，第2搭載位置Plb相對于通過位置P2a而配置成，位于第2搭載位置Plb的第2載臺12在同一平面上與位于通過位置P2a的第I載臺11整體重合。由此，相對于照射單元10而往復(fù)的各第I載臺11、第2載臺12的搬送距離得到進一步縮短。
[0121](第2實施方式的效果)
[0122]第2實施方式中，位于第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb的各第I載臺11、第2載臺12與位于通過位置P2a、P2b的各第I載臺11、第2載臺12整體重合，因此與第I實施方式或第3實施方式相比，各第I載臺U、第2載臺12的搬送距離得到進一步縮短。其結(jié)果，能夠進一步抑制生產(chǎn)節(jié)拍的增大化及進一步抑制設(shè)置空間的增大。
[0123]而且，第2實施方式中的第I載臺11及第2載臺12的退避位置P3a、P3b與第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb位于不同平面上。由此，在難以確保相對于水平方向的設(shè)置空間的情況下為優(yōu)選，能夠相對于作為水平方向的設(shè)置面內(nèi)方向而抑制設(shè)置空間的增大。
[0124]另外，第2實施方式中構(gòu)成為，各第I載臺11、第2載臺12從第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb朝向上方退避，但也可構(gòu)成為，各第I載臺11、第2載臺12從第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb朝向下方退避。
[0125]而且，在第2實施方式中，也可根據(jù)需要，而將第I載臺11及第2載臺12的第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb設(shè)定為與從通過位置P2b、P2a朝上方離開的退避位置P3a、P3b相同的位置。由此，能夠省去使載臺11、12從第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb退避到退避位置P3a、P3b為止的移動。
[0126]而且，第2實施方式中的搬送機構(gòu)45構(gòu)成為，位于各第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb的各第I載臺11、第2載臺12相對于上下方向而退避，但也可如第I實施方式那樣而構(gòu)成為，使各第I載臺11、第2載臺12朝水平方向上的規(guī)定方向退避。而且，在第I實施方式中也可構(gòu)成為，位于各第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb的各第I載臺11、第2載臺12相對于上下方向而退避。而且，較之朝上下方向退避的退避機構(gòu)，朝水平方向退避的退避機構(gòu)的結(jié)構(gòu)得以簡化，并且能夠容易地保持由各第I載臺11、第2載臺12所搭載的基板9的定位精度，因此為優(yōu)選。
[0127](第3實施方式)
[0128]圖7是示意性地表示第3實施方式的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。第3實施方式與第2實施方式不同的是，使位于第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb的第I載臺11及第2載臺12朝上下方向退避的退避機構(gòu)。
[0129]如圖7所示，第3實施方式的偏振光照射裝置IE具備搬送機構(gòu)55，該搬送機構(gòu)55在第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb與通過位置P2a、P2b之間，使第I載臺11及第2載臺12交替地沿著搬送路徑56而往復(fù)。搬送路徑56如圖7所示，具有使第I載臺11及第2載臺12搬送的引導(dǎo)軸55a。搬送路徑56沿著引導(dǎo)軸55a而構(gòu)成為直線狀。
[0130]而且，第3實施方式的偏振光照射裝置IE具備退避機構(gòu)57，該退避機構(gòu)57使第I載臺11及第2載臺12移動到離開通過位置P2a、P2b的退避位置P3a、P3b。退避機構(gòu)57如圖7所示，鄰接于第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb而配置，使用所謂的工業(yè)機器人。退避機構(gòu)57具有臂57a，該臂57a用于沿上下方向搬送各第I載臺11、第2載臺12。
[0131]并且，退避機構(gòu)57在第I載臺11及第2載臺12被搬送到通過位置P2a、P2b的狀態(tài)，使位于第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb的第I載臺11及第2載臺12移動到退避位置P3a、P3b。而且，退避機構(gòu)57使位于退避位置P3a的第I載臺11返回第I搭載位置Pla，并且使位于退避位置P3b的第2載臺12返回第2搭載位置Plb。
[0132]而且，第I搭載位置Pla相對于通過位置P2b而配置成，位于第I搭載位置Pla的第I載臺11在同一平面上與位于通過位置P2b的第2載臺12整體重合。而且，同樣地，第2搭載位置Plb相對于通過位置P2a而配置成，位于第2搭載位置Plb的第2載臺12在同一平面上與位于通過位置P2a的第I載臺11整體重合。由此，相對于照射單元10而往復(fù)的各第I載臺11、第2載臺12的搬送距離得到進一步縮短。
[0133](第3實施方式的效果)
[0134]第3實施方式中，也與第2實施方式同樣地，能夠比第I實施方式及第2實施方式進一步抑制生產(chǎn)節(jié)拍變長及進一步抑制設(shè)置空間增大。
[0135]而且，第3實施方式中，盡管搬送路徑56在同一平面上構(gòu)成，即，盡管搬送路徑56僅由搬送機構(gòu)55構(gòu)成，仍能夠沿上下方向搬送各第I載臺11、第2載臺12。因此，不需要在搬送機構(gòu)55中裝入沿上下方向搬送各第I載臺11、第2載臺12的機構(gòu)，因此能夠抑制搬送機構(gòu)55的復(fù)雜化。
[0136](第4實施方式)
[0137]圖8是示意性地表示第4實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。第4實施方式與第I實施方式的不同之處在于，位于第2搭載位置Plb的第2載臺12與位于通過位置P2a的第I載臺11不重合。即，第4實施方式中，第I載臺11及第2載臺12中，僅位于第2搭載位置Pla的第I載臺11側(cè)與位于通過位置P2b的第2載臺12重合。
[0138]如圖8所示，第4實施方式的偏振光照射裝置IF具備搬送機構(gòu)65，該搬送機構(gòu)65在第I搭載位置Pla、第2搭載位置Plb與通過位置P2a、P2b之間，使第I載臺11及第2載臺12交替地沿著搬送路徑66而往復(fù)。搬送路徑66如圖8所示，具有使第I載臺11及第2載臺12搬送的引導(dǎo)軸65a。搬送路徑66沿著引導(dǎo)軸65a而構(gòu)成為直線狀。
[0139]而且，第I搭載位置Pla相對于通過位置P2b而配置成:位于第I搭載位置Pla的第I載臺11在同一平面上與位于通過位置P2b的第2載臺12的一部分重合。因此，第4實施方式中的第I載臺11側(cè)的結(jié)構(gòu)是與第I實施方式同樣地構(gòu)成。雖未圖示，但在鄰接于第I搭載位置Pla的位置，設(shè)置有使位于第I搭載位置Pla的第I載臺11退避到退避位置P3a的退避機構(gòu)。
[0140]另一方面，第2搭載位置Plb相對于通過位置P2a而配置成:位于第2搭載位置Plb的第2載臺12在同一平面上與位于通過位置P2a的第I載臺11鄰接而不重合。由此，第4實施方式的偏振光照射裝置6中，省去了使第2載臺12退避的退避機構(gòu)。而且，第4實施方式的偏振光照射裝置IF中，相對于照射單元10而往復(fù)的第I載臺11的搬送距離較第2載臺12的搬送距離更為縮短。
[0141](第4實施方式的效果)
[0142]第4實施方式中，在第2載臺12的第2搭載位置Plb與照射單元10之間，具有供位于通過位置P2a的第I載臺11配置的空間。因此，第4實施方式中，與第I載臺11的搬送距離相比，第2載臺12的搬送距離變長，生產(chǎn)節(jié)拍比第I實施方式慢。然而，第4實施方式中，不需要使第2載臺12移動到退避位置，因此與第I實施方式相比，能夠削減第2載臺12的退避機構(gòu)。
[0143]而且，在第4實施方式中，也與第I實施方式至第3實施方式同樣地，可獲得抑制生產(chǎn)節(jié)拍變長及抑制設(shè)置空間增大的效果。
[0144]另外，本實施方式中的退避機構(gòu)為了沿上下方向搬送載臺而使用了工業(yè)機器人或?qū)к墸部墒褂闷渌禉C構(gòu)或懸吊搬送載臺的機構(gòu)等。
[0145]而且，作為退避機構(gòu)，也可采用下述結(jié)構(gòu)，S卩，與移動到通過位置的第I載臺聯(lián)動地，使位于搭載位置的第2載臺移動到退避位置。作為退避機構(gòu)，例如也可采用:借助移動到通過位置的第I載臺來推入第2載臺，從而使第2載臺移動到退避位置的結(jié)構(gòu);或者使第2載臺的厚度方向繞旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動的機構(gòu)。根據(jù)此種退避機構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)機構(gòu)或控制的簡化。
[0146]而且，第I載臺及第2載臺也可具有所謂的對準(zhǔn)(alignment)機構(gòu)，該對準(zhǔn)機構(gòu)在第I搭載位置Pla及第2搭載位置Plb處搭載對象物后進行對位。
[0147]而且，在第I載臺及第2載臺上，也可具有搭載機構(gòu)，該搭載機構(gòu)設(shè)置有多個銷(pin)或可動部，通過使多個銷或可動部升降，從而將對象物搭載于第I載臺及第2載臺。
[0148]所述的各實施方式中，僅具有I個照射單元10而構(gòu)成，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。例如，也可使多個照射單元10沿著第I載臺及第2載臺的搬送方向而隔開規(guī)定間隔地配置。此時，照射區(qū)域A不僅可設(shè)為多個照射單元10的正下方，也可設(shè)為如下所述的區(qū)域，S卩，從配置在一端側(cè)的照射單元10的最下面的開口的一端，直至配置在另一端側(cè)的照射單元10的最下面的開口的另一端之間的區(qū)域。
[0149](第5實施方式)
[0150]以下要說明的實施方式的光取向用偏振光照射裝置(以下稱作偏振光照射裝置)IG具備照射單元10、第I載臺11及第2載臺12以及搬送機構(gòu)15。照射單元10具有朝對象物照射偏振光的照射區(qū)域A。在第I載臺11及第2載臺12上搭載對象物。搬送機構(gòu)15具有第I搬送路徑19a，該第I搬送路徑19a是將第I載臺11從在第I載臺11上搭載對象物的第I搭載位置Pl搬送到鄰接于照射區(qū)域A的照射開始位置P3為止。而且，搬送機構(gòu)15具有第2搬送路徑19b，該第2搬送路徑19b是將第2載臺12從在第2載臺12上搭載對象物的第2搭載位置P2搬送到照射開始位置P3為止。而且，搬送機構(gòu)15具有第3搬送路徑19c，該第3搬送路徑19c的一端連結(jié)于照射開始位置P3，并且另一端通過照射區(qū)域A而延伸到鄰接于照射區(qū)域A的通過位置P4為止，搬送第I載臺11及第2載臺12。搬送機構(gòu)15在第I搭載位置Pl與通過位置P4之間，使第I載臺11沿著第I搬送路徑19a及第3搬送路徑19c而往復(fù)，并且在第2搭載位置P2與通過位置P4之間，使第2載臺12沿著第2搬送路徑19b及第3搬送路徑19c而往復(fù)。
[0151]而且，以下要說明的實施方式的第I搬送路徑19a及第2搬送路徑19b中的至少一條搬送路徑的搬送方向在同一平面上與第3搬送路徑19c的搬送方向交叉。
[0152]而且，以下要說明的實施方式的第I搬送路徑與第2搬送路徑在上下方向上并排配置。
[0153]圖9(a)是示意性地表示第5實施方式的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。圖9(b)是示意性地表示第5實施方式的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。圖10(a)、圖10(b)是示意性地表示第5實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。本實施方式的偏振光照射裝置例如被用于通過朝作為對象物的取向膜照射直線偏振光等偏振光來進行光取向。本實施方式的偏振光照射裝置例如被用于制造液晶面板的取向膜或視角補償膜的取向膜等。
[0154](偏振光照射裝置的結(jié)構(gòu))
[0155]如圖9(a)及圖9(b)所示，第5實施方式的偏振光照射裝置IG具備照射單元10、第I載臺11及第2載臺12以及搬送機構(gòu)15。
[0156]第5實施方式的偏振光照射裝置IG中，照射單元10、“照射區(qū)域A”、光源10a、反射板1b是與第I實施方式相同的構(gòu)成構(gòu)件，標(biāo)注與第I實施方式相同的符號并省略說明。另外，第I載臺11及第2載臺12形成為矩形狀的板狀，搭載形成有取向膜的基板9。如圖10(a)所示，一組第I載臺11及第2載臺12由搬送機構(gòu)15可移動地予以支撐。
[0157]搬送機構(gòu)15如圖10(a)所示，具有:搬送第I載臺11的第I搬送路徑19a、搬送第2載臺12的第2搬送路徑1%、以及搬送第I載臺11及第2載臺12的第3搬送路徑19c。
[0158]搬送機構(gòu)15如圖10(b)所示，具有:彼此平行地配置的一組第I引導(dǎo)軸15a、以及與一組第I引導(dǎo)軸15a正交并且彼此平行地配置的一組第2引導(dǎo)軸15b。而且，雖未圖示，但搬送機構(gòu)15具有驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)沿著第I引導(dǎo)軸15a及第2引導(dǎo)軸15b來搬送第I載臺11及第2載臺12。第I搬送路徑19a及第2搬送路徑19b借助第I引導(dǎo)軸15a，構(gòu)成為沿著圖9(b)及圖10(a)中X軸方向而連續(xù)的直線狀。第3搬送路徑19c借助第2引導(dǎo)軸15b，沿著圖9(a)及圖10(a)中的Y軸方向而構(gòu)成為直線狀，且正交于第I搬送路徑19a及第2搬送路徑19b的搬送方向。因此，第I搬送路徑至第3搬送路徑19a、19b、19c是在同一平面上整體呈T字狀而連結(jié)。
[0159]第I搬送路徑19a如圖9(b)及圖10(b)所示，將第I載臺11從在第I載臺11上搭載基板9的第I搭載位置Pl搬送到鄰接于照射區(qū)域A的照射開始位置P3為止。第2搬送路徑19b將第2載臺12從在第2載臺12上搭載基板9的第2搭載位置P2搬送到照射開始位置P3為止。第3搬送路徑19c如圖9(a)及圖10(b)所示，一端連結(jié)于第I搬送路徑19a及第2搬送路徑19b的各端部，由此，一端連結(jié)于照射開始位置P3。而且，第3搬送路徑19c的另一端通過照射區(qū)域A而延伸到鄰接于照射區(qū)域A的通過位置P4為止。由此，第3搬送路徑19c搬送第I載臺11及第2載臺12。
[0160]搬送機構(gòu)15在第I搭載位置Pl與通過位置P4之間，使第I載臺11沿著第I搬送路徑19a及第3搬送路徑19c而往復(fù)，并且在第2搭載位置P2與通過位置P4之間，使第2載臺12沿著第2搬送路徑19b及第3搬送路徑19c而往復(fù)。
[0161 ](偏振光照射時的各載臺的動作)
[0162]對于以上述方式構(gòu)成的偏振光照射裝置1G，參照附圖來說明相對于照射單元10來搬送第I載臺11及第2載臺12并對基板9照射偏振光的動作。圖11至圖15是用于說明第5實施方式的偏振光照射裝置中的第I載臺及第2載臺的動作的示意平面圖。
[0163]首先，如圖10(a)及圖10(b)所示，在位于第I搭載位置Pl的第I載臺11上搭載基板
9。然后，如圖11所示，第I載臺11由搬送機構(gòu)15從第I搭載位置Pl沿著第I搬送路徑19a搬送到照射開始位置P3為止。然后，第I載臺11由搬送機構(gòu)15從照射開始位置P3沿著第3搬送路徑19c，通過照射單元10的照射區(qū)域A而搬送到通過位置P4為止。此時，第I載臺11通過照射區(qū)域A，由此對基板9的取向膜照射規(guī)定量的偏振光。
[0164]緊接著，如圖11所示，第I載臺11由搬送機構(gòu)15從通過位置P4沿著第3搬送路徑19c，通過照射區(qū)域A而搬送到照射開始位置P3為止。此時，第I載臺11再次通過照射區(qū)域A，由此對基板9的取向膜照射規(guī)定量的偏振光后，偏振光的照射結(jié)束。因此，照射開始位置P3也相當(dāng)于照射結(jié)束位置。以下，為了便于說明，將照射開始位置P3也稱作照射結(jié)束位置P3。
[0165]然后，如圖12所示，第I載臺11從照射結(jié)束位置P3沿著第I搬送路徑19a被搬送到第I搭載位置Pl為止。此時，與第I載臺11從照射結(jié)束位置P3(照射開始位置P3)朝向第I搭載位置Pl的移動聯(lián)動地，第2載臺12從第2搭載位置P2朝向照射開始位置P3，沿著第2搬送路徑19b受到搬送。
[0166]關(guān)于開始搬送第2載臺12的時機，與第I載臺11從照射結(jié)束位置P3朝向第I搭載位置Pl開始移動的動作聯(lián)動地，第2載臺12從第2搭載位置P2朝向照射開始位置P3開始移動的動作，在縮短生產(chǎn)節(jié)拍的觀點上為優(yōu)選。另外，也可根據(jù)需要，在第I載臺11從照射結(jié)束位置P3返回到第I搭載位置Pl為止后，第2載臺12從第2搭載位置P2朝向照射開始位置P3開始移動。
[0167]因此，在第I載臺11通過照射區(qū)域A而在第I搭載位置Pl與照射結(jié)束位置P3之間往復(fù)的動作過程中，在位于第2搭載位置P2的第2載臺12上搭載基板9。
[0168]然后，如圖13所示，第2載臺12由搬送機構(gòu)15從第2搭載位置P2沿著第2搬送路徑19b而搬送到照射開始位置P3為止后，從照射開始位置P3沿著第3搬送路徑19c，通過照射區(qū)±或八而被搬送到通過位置P4為止。而且，第2載臺12由搬送機構(gòu)15從通過位置P4沿著第3搬送路徑19c，通過照射區(qū)域A而被搬送到照射開始位置P3(照射結(jié)束位置P3)為止。此時，第2載臺12在照射區(qū)域A往復(fù)，由此對基板9的取向膜照射規(guī)定量的偏振光。
[0169]而且，如圖13所示，在第2載臺12通過照射區(qū)域A而在第2搭載位置P2與照射結(jié)束位置P3之間往復(fù)的動作過程中，從已返回到第I搭載位置Pl的第I載臺11回收照射已結(jié)束的基板9，并且在第I載臺11上搭載下個基板9。
[0170]緊跟著，如圖14所示，與第2載臺12從照射結(jié)束位置P3被搬送到第2搭載位置P2為止的動作聯(lián)動，搭載有下個基板9的第I載臺11從第I搭載位置Pl朝向照射開始位置P3受到搬送。
[0171]與所述同樣地，如圖15所示，第I載臺11在從第I搭載位置Pl沿著第I搬送路徑19a被搬送到照射開始位置P3為止后，從照射開始位置P3沿著第3搬送路徑19c，通過照射區(qū)域A而被搬送到通過位置P4為止。第I載臺11由搬送機構(gòu)15從通過位置P4沿著第3搬送路徑19c，通過照射區(qū)域A而被搬送到照射開始位置P3(照射結(jié)束位置P3)為止。而且，與所述同樣地，在第I載臺11通過照射區(qū)域A而在第I搭載位置Pl與照射結(jié)束位置P3之間往復(fù)的動作過程中，從已返回到第2搭載位置P2的第2載臺12回收照射已結(jié)束的基板9，并且在第2載臺12上搭載下個基板9。
[0172]以后，交替地反復(fù)進行如下動作，S卩，對第I載臺11上的基板9的取向膜照射偏振光、與對第2載臺12上的基板9的取向膜照射偏振光。
[0173](第5實施方式的效果)
[0174]第5實施方式中的搬送機構(gòu)15具有:將第I載臺11從第I搭載位置Pl搬送到照射開始位置P3為止的第I搬送路徑19a、以及將第2載臺12從第2搭載位置P2搬送到照射開始位置P3為止的第2搬送路徑19b。而且，搬送機構(gòu)15具有第3搬送路徑19c，該第3搬送路徑19c的一端連結(jié)于照射開始位置P3，并且另一端延伸到通過位置P4為止，搬送第I載臺11及第2載臺
12。并且，搬送機構(gòu)15在第I搭載位置Pl與通過位置P4之間，使第I載臺11沿著第I搬送路徑19a及第3搬送路徑19c而往復(fù)，并且在第2搭載位置P2與通過位置P4之間，使第2載臺12沿著第2搬送路徑19b及第3搬送路徑19c而往復(fù)。
[0175]由此，能夠與其中一個第I載臺11(第2載臺12)從照射結(jié)束位置P3返回到第I搭載位置Pl(第2搭載位置P2)為止的動作聯(lián)動地，將另一個第2載臺12(第I載臺11)從第2搭載位置P2(第I搭載位置Pl)搬送到照射開始位置P3為止。因此，第I載臺11的搬送動作的一部分與第2載臺12的搬送動作的一部分是同時進行，因此能夠縮短生產(chǎn)節(jié)拍。換言之，第I載臺11的照射開始位置P3 (照射結(jié)束位置P3)與第2載臺12的照射開始位置P3 (照射結(jié)束位置P3)為同一位置，因此能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長。
[0176]而且，在照射單元的照射區(qū)域的兩側(cè)配置有第I搭載位置與第2搭載位置的情況下，搬送第I載臺及第2載臺的搬送路徑成為呈直線狀延伸的長條狀。然而，根據(jù)第5實施方式，通過在照射區(qū)域A的一端側(cè)配置有第I搭載位置Pl及第2搭載位置P2，從而能夠避免需要長條狀的設(shè)置空間(細(xì)長的設(shè)置空間)的情況。因此，能夠抑制設(shè)置空間的增大。
[0177]因此，根據(jù)第5實施方式，能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長，并且能夠抑制裝置整體的設(shè)置空間的增大。
[0178]而且，第5實施方式中，第I搬送路徑19a及第2搬送路徑19b的搬送方向在同一平面上與第3搬送路徑19c的搬送方向交叉，由此，不需要沿上下方向搬送第I載臺11及第2載臺12的機構(gòu)，因此能夠抑制搬送機構(gòu)15的復(fù)雜化。
[0179](第6實施方式)
[0180]圖16是示意性地表示第6實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。第6實施方式與第5實施方式不同的是:搬送第I載臺11的第I搬送路徑的配置、以及搬送第2載臺12的第2搬送路徑的配置。
[0181]如圖16所示，第6實施方式的偏振光照射裝置IH具有:搬送第I載臺11的第I搬送路徑29a、搬送第2載臺12的第2搬送路徑29b、以及搬送第I載臺11及第2載臺12的第3搬送路徑29c。第I搬送路徑29a、第2搬送路徑29b及第3搬送路徑29c構(gòu)成為直線狀。
[0182]第3搬送路徑29c的一端連結(jié)于第I搬送路徑29a及第2搬送路徑29b，并且另一端延伸到通過位置P4為止。第2搬送路徑29b與第3搬送路徑29c以呈直線狀連續(xù)的方式而連結(jié)。第I搬送路徑29a以在同一平面上與第2搬送路徑29b及第3搬送路徑29c的搬送方向正交的方式而連結(jié)于第3搬送路徑29c。
[0183](第6實施方式的效果)
[0184]在第6實施方式中，也與第5實施方式同樣地，能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長并且抑制裝置整體的設(shè)置空間的增大。
[0185]而且，在第6實施方式中，第I搬送路徑29a及第2搬送路徑29b的搬送方向也在同一平面上與第3搬送路徑29c的搬送方向交叉，由此，不需要沿上下方向搬送第I載臺11及第2載臺12的機構(gòu)，因此能夠簡單地構(gòu)成搬送機構(gòu)15。
[0186]第6實施方式中，第I搭載位置Pl與第2搭載位置P2是靠近地配置。通過采用此種結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒃诘贗搭載位置Pl處向第I載臺11上搭載對象物的對象物搭載機構(gòu)(未圖示)與在第2搭載位置P2處向第2載臺12上搭載對象物的對象物搭載機構(gòu)(未圖示)共用化，因此能夠抑制對象物搭載機構(gòu)的增大。
[0187]另外，第6實施方式中構(gòu)成為搬送2個載臺即第I載臺11及第2載臺12，但也可根據(jù)需要來構(gòu)成為搬送3個以上的載臺。在此情況下，例如在第6實施方式中，也可在與第I載臺11的第I搭載位置Pl相向的位置，配置第3載臺的第3搭載位置及搬送第3載臺的搬送路徑。
[0188](第6實施方式的變形例)
[0189]圖17是示意性地表示第6實施方式的變形例的偏振光照射裝置的平面圖。第6實施方式的變形例與第6實施方式不同的是搬送第2載臺12的第2搬送路徑的配置。
[0190]如圖17所示，第6實施方式的變形例的偏振光照射裝置IJ具有:搬送第I載臺11的第I搬送路徑39a、搬送第2載臺12的第2搬送路徑39b、以及搬送第I載臺11及第2載臺12的第3搬送路徑39c。第I搬送路徑39a、第2搬送路徑39b及第3搬送路徑39c構(gòu)成為直線狀。
[0191]第3搬送路徑39c的一端連結(jié)于第I搬送路徑39a及第2搬送路徑39b，并且另一端延伸到通過位置P4為止。而且，第I搬送路徑39a、第2搬送路徑39b及第3搬送路徑39c是以照射開始位置P3 (照射結(jié)束位置P3)為中心，朝彼此交叉的方向呈放射狀延伸，且一端彼此連結(jié)。因此，第I搬送路徑39a、第2搬送路徑39b及第3搬送路徑39c是在同一平面上整體呈Y字狀地連結(jié)。
[0192](第6實施方式的變形例的效果)
[0193]第6實施方式的變形例中，也與第6實施方式同樣地，能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的變長。
[0194]而且，第6實施方式的變形例中，第I搬送路徑39a及第2搬送路徑39b的搬送方向也在同一平面上與第3搬送路徑39c的搬送方向交叉，由此，不需要沿上下方向搬送第I載臺11及第2載臺12的機構(gòu)，因此能夠抑制搬送機構(gòu)15的復(fù)雜化。
[0195]第6實施方式的變形例中，第I搭載位置Pl與第2搭載位置P2也是靠近地配置。通過采用此種結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒃诘贗搭載位置Pl處向第I載臺11上搭載對象物的對象物搭載機構(gòu)(未圖示)與在第2搭載位置P2處向第2載臺12上搭載對象物的對象物搭載機構(gòu)(未圖示)共用化，因此能夠抑制對象物搭載機構(gòu)的增大。
[0196](第7實施方式)
[0197]圖18(a)是示意性地表示第7實施方式的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。圖18(b)是示意性地表示第7實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。第7實施方式與第5實施方式及第6實施方式不同的是:搬送第I載臺11的第I搬送路徑的配置、以及搬送第2載臺12的第2搬送路徑的配置。
[0198]如圖18(a)及圖18(b)所示，第7實施方式的偏振光照射裝置IK具有:搬送第I載臺11的第I搬送路徑49a、搬送第2載臺12的第2搬送路徑49b、以及搬送第I載臺11及第2載臺12的第3搬送路徑49c。第I搬送路徑49a、第2搬送路徑49b及第3搬送路徑49c構(gòu)成為直線狀。
[0199]第3搬送路徑49c的一端連結(jié)于第I搬送路徑49a及第2搬送路徑49b，并且另一端延伸到通過位置P4為止。如圖18(a)所示，第I搬送路徑49a與第2搬送路徑49b在上下方向上并排配置。換言之，位于第I搭載位置Pl的第I載臺11與位于第2搭載位置P2的第2載臺12在上下方向上并排配置。而且，第I搬送路徑49a及第2搬送路徑49b如圖18(b)所示，以呈直線狀連續(xù)的方式而連結(jié)于第3搬送路徑49c。
[0200]而且，第I搬送路徑49a與第2搬送路徑49b是以在從與第I載臺11及第2載臺12的搭載面相向的方向觀察時重合的方式而配置，從而裝置整體的設(shè)置空間得以削減。另外，第I搬送路徑49a與第2搬送路徑49b也可根據(jù)配置的限制或搬送機構(gòu)的簡化等的需要，而配置在從與第I載臺11及第2載臺12的搭載面相向的方向觀察時不重合的位置。
[0201](第7實施方式的效果)
[0202]第7實施方式中，第I搬送路徑49a與第2搬送路徑49a是在上下方向上并排配置，因此與第5實施方式及第6實施方式相比，能夠進一步減小裝置整體的設(shè)置空間，從而能夠進一步抑制設(shè)置空間的增大。即，第7實施方式在難以確保相對于水平方向的設(shè)置空間的情況下為優(yōu)選，能夠相對于作為水平方向的設(shè)置面內(nèi)方向而進一步抑制設(shè)置空間的增大。
[0203]而且，第7實施方式中，也與第5實施方式或第6實施方式同樣地，能夠抑制生產(chǎn)節(jié)拍的增大。
[0204]另外，所述的各實施方式中，構(gòu)成為直線狀的第I搬送路徑至第3搬送路徑是連結(jié)地構(gòu)成，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。例如，第I搬送路徑及第2搬送路徑中的至少一個與第3搬送路徑的一端也可彎曲成弧狀而連結(jié)。也可通過使第I搬送路徑與第3搬送路徑、第2搬送路徑與第3搬送路徑圓滑地連結(jié)，從而提高搬送動作的順暢性。
[0205]而且，第I載臺及第2載臺也可具有所謂的對準(zhǔn)機構(gòu)，該對準(zhǔn)機構(gòu)在第I搭載位置Pl及第2搭載位置P2處搭載對象物后進行對位。
[0206]第I載臺及第2載臺也可具有搭載機構(gòu)，該搭載機構(gòu)設(shè)置有多個銷或可動部，通過使多個銷或可動部升降，從而將對象物搭載于第I載臺及第2載臺。
[0207]所述的各實施方式中，僅具有I個照射單元10而構(gòu)成，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。例如，也可使多個照射單元10沿著第3搬送路徑的搬送方向而隔開規(guī)定間隔地設(shè)置有多個。此時，照射區(qū)域A不僅可設(shè)為多個照射單元10的正下方，也可設(shè)為如下所述的區(qū)域，S卩，從配置在一端側(cè)的照射單元10的最下表面的開口的一端，直至配置在另一端側(cè)的照射單元10的最下表面的開口的另一端之間的區(qū)域。
[0208]對本實用新型的實施方式進行了說明，但實施方式僅為例示，并不意圖限定本實用新型的范圍。實施方式能夠以其他的各種形態(tài)來實施，在不脫離實用新型的主旨的范圍內(nèi)，能夠進行各種省略、置換、變更。實施方式及其變形包含在本實用新型的范圍或主旨內(nèi)，同樣包含在本實用新型的技術(shù)方案及其均等的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，包括: 照射單元，具有朝對象物照射偏振光的照射區(qū)域； 第I載臺及第2載臺，配置有搭載所述對象物的第I搭載位置及第2搭載位置；以及 搬送機構(gòu)，具有通過所述照射區(qū)域而連結(jié)所述第I搭載位置及所述第2搭載位置的至少一條搬送路徑，且在所述搭載位置、與所述第I載臺及所述第2載臺通過所述照射區(qū)域而鄰接于所述照射區(qū)域的通過位置之間，使所述第I載臺及所述第2載臺交替地沿著所述至少一條搬送路徑而往復(fù)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，還包括: 退避機構(gòu)，使位于所述第I搭載位置及所述第2搭載位置的所述第I載臺及所述第2載臺中的至少一個載臺，在另一個載臺被搬送到所述通過位置的狀態(tài)，移動到離開所述通過位置的退避位置， 所述搭載位置相對于所述通過位置而配置成，位于所述第I搭載位置及所述第2搭載位置的所述至少一個載臺、與位于所述通過位置的另一個載臺的至少一部分在同一平面上重入口 ο3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，所述至少一個載臺是所述退避位置與所述搭載位置位于同一平面上。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，所述至少一個載臺是所述退避位置與所述搭載位置位于不同平面上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，所述至少一個載臺是所述搭載位置相對于所述通過位置而配置成:在同一平面上，在所述至少一個載臺位于所述搭載位置的狀態(tài)，與位于所述通過位置的另一個所述載臺整體重合。6.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，所述退避機構(gòu)使所述至少一個載臺沿著與所述其中一個載臺被往復(fù)搬送的搬送方向相同的方向而移動到所述退避位置。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，所述搬送路徑具有:第I搬送路徑，從在所述第I載臺上搭載所述對象物的所述第I搭載位置，將所述第I載臺搬送到鄰接于所述照射區(qū)域的照射開始位置;第2搬送路徑，從在所述第2載臺上搭載所述對象物的所述第2搭載位置，將所述第2載臺搬送到所述照射開始位置為止；以及第3搬送路徑，一端連結(jié)于所述照射開始位置，并且另一端通過所述照射區(qū)域而延伸到鄰接于所述照射區(qū)域的通過位置為止，并搬送所述第I載臺及所述第2載臺， 所述搬送機構(gòu)在所述第I搭載位置與所述通過位置之間，使所述第I載臺沿著所述第I搬送路徑及所述第3搬送路徑而往復(fù)，并且在所述第2搭載位置與所述通過位置之間，使所述第2載臺沿著所述第2搬送路徑及所述第3搬送路徑而往復(fù)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，所述第I搬送路徑及所述第2搬送路徑中的至少一條搬送路徑的搬送方向與所述第3搬送路徑的搬送方向在同一平面上交叉。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，所述第I搬送路徑與所述第2搬送路徑在上下方向上并排配置。
【文檔編號】G02F1/1337GK205427399SQ201520877086
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年11月5日
【發(fā)明人】前田祥平, 田中貴章
【申請人】東芝照明技術(shù)株式會社