光罩線路檢測儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光罩檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光罩線路檢測儀。
【背景技術(shù)】
[0002]光罩，又稱光掩模版，其上形成有與半導(dǎo)體芯片對應(yīng)的電路布線圖。目前，在光罩的制造過程中，需要人工使用放大鏡(10倍)對光罩上的線路進行檢測，但這種檢測方式需不停調(diào)整光罩的位置，易造成材料刮花、磨損，同時也容易造成漏檢，使不良品流往生產(chǎn)線，增加了產(chǎn)品制造的不良風險，形成的廢品浪費生產(chǎn)成本。另外由于光罩本身很笨重，難以移動，會導(dǎo)致檢測難度增大，檢測不精確。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]基于此，本實用新型在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種便于檢測的光罩線路檢測儀，大大提升了光罩線路的檢測效率，省時省力。
[0004]其技術(shù)方案如下:
[0005]—種光罩線路檢測儀，包括工作平臺、橫梁、放大裝置及顯示裝置，所述工作平臺上設(shè)有用于放置光罩的曝光區(qū)，所述曝光區(qū)的下方設(shè)有燈箱，所述工作平臺上還設(shè)有兩條相對設(shè)置的導(dǎo)軌，所述橫梁可滑動地安裝在兩條導(dǎo)軌上，所述放大裝置可滑動地安裝在橫梁上，所述顯示裝置與放大裝置電性連接。
[0006]在其中一個實施例中，兩條所述導(dǎo)軌分別安裝在曝光區(qū)的兩側(cè)，所述放大裝置吊裝在橫梁的下方。
[0007]在其中一個實施例中，所述顯示裝置固定在橫梁上。
[0008]在其中一個實施例中，所述燈箱內(nèi)至少設(shè)有三根日光燈管。
[0009]在其中一個實施例中，所述光罩線路檢測儀還包括第一驅(qū)動電機及第二驅(qū)動電機，所述橫梁與第一驅(qū)動電機驅(qū)動連接，所述放大裝置與第二驅(qū)動電機驅(qū)動連接。
[0010]在其中一個實施例中，所述光罩線路檢測儀還包括控制器，所述第一驅(qū)動電機、第二驅(qū)動電機分別與所述控制器電性連接。
[0011]在其中一個實施例中，所述光罩線路檢測儀還包括放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器，所述放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器與放大裝置電性連接。
[0012]在其中一個實施例中，所述曝光區(qū)上鋪設(shè)有若干靜電條。
[0013]在其中一個實施例中，所述放大裝置為CXD攝像頭，所述顯示裝置為CXD顯示器。
[0014]在其中一個實施例中，所述光罩線路檢測儀還包括與所述導(dǎo)軌匹配的導(dǎo)軌支架，所述導(dǎo)軌通過導(dǎo)軌支架安裝在工作平臺上。
[0015]下面對前述技術(shù)方案的優(yōu)點或原理進行說明:
[0016]上述光罩線路檢測儀，在進行線路檢測時，將待測光罩置于曝光區(qū)上，曝光區(qū)下的燈箱提供檢測所需的光源，由于橫梁可在導(dǎo)軌上滑動，且放大裝置可在橫梁上滑動，因而可根據(jù)檢測需要，將放大裝置移動至曝光區(qū)的任意位置對待測光罩上的線路進行放大，放大的圖像由顯示裝置輸出。利用該光罩線路檢測儀，檢測人員可以大幅提升檢驗的速度，節(jié)約檢測時間，而且檢驗的結(jié)果更準確，能大大降低了檢驗成本。檢測過程并不需要對光罩進行移動，避免了材料刮花或磨損，也不會對曝光區(qū)造成損壞。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型實施例所述的光罩線路檢測儀的剖視示意圖。
[0018]附圖標記說明:
[0019]1、工作平臺，2、橫梁，3、放大裝置，4、顯示裝置，5、曝光區(qū)，6、燈箱，7、導(dǎo)軌，8、導(dǎo)軌支架。
【具體實施方式】
[0020]下面對本實用新型的實施例進行詳細說明:
[0021]如圖1所示，本實施例提供了一種光罩線路檢測儀，包括工作平臺1、橫梁2、放大裝置3及顯示裝置4，所述工作平臺I上設(shè)有用于放置光罩的曝光區(qū)5，所述曝光區(qū)5的下方設(shè)有燈箱6，所述工作平臺I上還設(shè)有兩條相對設(shè)置的導(dǎo)軌7，所述橫梁2可滑動地安裝在兩條導(dǎo)軌7上，所述放大裝置3可滑動地安裝在橫梁2上，所述顯示裝置4與放大裝置3電性連接。上述光罩線路檢測儀，在進行線路檢測時，將待測光罩置于曝光區(qū)5上，曝光區(qū)5下的燈箱6提供檢測所需的光源，由于橫梁2可在導(dǎo)軌7上滑動，且放大裝置3可在橫梁2上滑動，因而可根據(jù)檢測需要，將放大裝置3移動至曝光區(qū)5的任意位置對待測光罩上的線路進行放大，放大的圖像由顯示裝置4輸出。利用該光罩線路檢測儀，檢測人員可以大幅提升檢驗的速度，節(jié)約檢測時間，而且檢驗的結(jié)果更準確，能大大降低了檢驗成本。檢測過程并不需要對光罩進行移動，避免了材料刮花或磨損，也不會對曝光區(qū)5造成損壞。
[0022]在本實施例中，兩條所述導(dǎo)軌7分別安裝在曝光區(qū)5的兩側(cè)，使橫梁2處于曝光區(qū)5的上方，所述放大裝置3吊裝在橫梁2的下方，靠近待測光罩以便放大。所述顯示裝置4固定在橫梁2上，跟隨橫梁2移動，檢測人員在觀察到圖像的同時能夠得知橫梁2移動至何處，便于檢測?？梢岳斫獾模@示裝置4也可以固定在其它地方，以方便觀察為宜。所述光罩線路檢測儀還包括第一驅(qū)動電機及第二驅(qū)動電機，所述橫梁2與第一驅(qū)動電機驅(qū)動連接，所述放大裝置3與第二驅(qū)動電機驅(qū)動連接，驅(qū)使橫梁2和放大裝置3移動。優(yōu)選的，所述燈箱6內(nèi)至少設(shè)有三根日光燈管，充分照亮曝光區(qū)5上的待測光罩，方便檢測。
[0023]本實施例所述的光罩線路檢測儀還包括控制器，所述第一驅(qū)動電機、第二驅(qū)動電機分別與所述控制器電性連接，檢測人員通過操作控制器以控制橫梁2與放大裝置3的移動方向。所述光罩線路檢測儀還包括放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器，所述放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器與放大裝置3電性連接，可作放大裝置3的倍率調(diào)整。所述曝光區(qū)5上鋪設(shè)有若干靜電條，防止靜電對待測光罩的損壞。
[0024]本實施例采用CCD攝像頭作為放大裝置3，畸變小、體積小、壽命長，最大放大倍數(shù)可達200倍，顯示裝置4為CXD顯示器，顯示圖像清晰。所述光罩線路檢測儀還包括與所述導(dǎo)軌7匹配的導(dǎo)軌支架8，所述導(dǎo)軌7通過導(dǎo)軌支架8安裝在工作平臺I上，以提高導(dǎo)軌7與橫梁2的高度，方便CCD攝像頭吊裝。
[0025]以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當認為是本說明書記載的范圍。
[0026]以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
【主權(quán)項】
1.一種光罩線路檢測儀，其特征在于，包括工作平臺、橫梁、放大裝置及顯示裝置，所述工作平臺上設(shè)有用于放置光罩的曝光區(qū)，所述曝光區(qū)的下方設(shè)有燈箱，所述工作平臺上還設(shè)有兩條相對設(shè)置的導(dǎo)軌，所述橫梁可滑動地安裝在兩條導(dǎo)軌上，所述放大裝置可滑動地安裝在橫梁上，所述顯示裝置與放大裝置電性連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測儀，其特征在于，兩條所述導(dǎo)軌分別安裝在曝光區(qū)的兩側(cè)，所述放大裝置吊裝在橫梁的下方。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光罩線路檢測儀，其特征在于，所述顯示裝置固定在橫梁上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測儀，其特征在于，所述燈箱內(nèi)至少設(shè)有三根日光燈管。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測儀，其特征在于，還包括第一驅(qū)動電機及第二驅(qū)動電機，所述橫梁與第一驅(qū)動電機驅(qū)動連接，所述放大裝置與第二驅(qū)動電機驅(qū)動連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光罩線路檢測儀，其特征在于，還包括控制器，所述第一驅(qū)動電機、第二驅(qū)動電機分別與所述控制器電性連接。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測儀，其特征在于，還包括放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器，所述放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器與放大裝置電性連接。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測儀，其特征在于，所述曝光區(qū)上鋪設(shè)有若干靜電條。9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項所述的光罩線路檢測儀，其特征在于，所述放大裝置為CCD攝像頭，所述顯示裝置為C⑶顯示器。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光罩線路檢測儀，其特征在于，還包括與所述導(dǎo)軌匹配的導(dǎo)軌支架，所述導(dǎo)軌通過導(dǎo)軌支架安裝在工作平臺上。
【專利摘要】本實用新型公開了一種光罩線路檢測儀，包括工作平臺、橫梁、放大裝置及顯示裝置，所述工作平臺上設(shè)有用于放置光罩的曝光區(qū)，所述曝光區(qū)的下方設(shè)有燈箱，所述工作平臺上還設(shè)有兩條相對設(shè)置的導(dǎo)軌，所述橫梁可滑動地安裝在兩條導(dǎo)軌上，所述放大裝置可滑動地安裝在橫梁上，所述顯示裝置與放大裝置電性連接。上述光罩線路檢測儀，可根據(jù)檢測需要，將放大裝置移動至曝光區(qū)的任意位置對待測光罩上的線路進行放大，放大的圖像由顯示裝置輸出。利用該光罩線路檢測儀，檢測人員可以大幅提升檢驗的速度，節(jié)約檢測時間，而且檢驗的結(jié)果更準確，能大大降低了檢驗成本。檢測過程并不需要對光罩進行移動，避免了材料刮花或磨損，也不會對曝光區(qū)造成損壞。
【IPC分類】G03F1/44, G03F7/20
【公開號】CN204832763
【申請?zhí)枴緾N201520468255
【發(fā)明人】胡德才, 李朝庭, 張義
【申請人】意力(廣州)電子科技有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年7月1日