改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種改善照明條件的擴(kuò)展光源的干涉系統(tǒng)，用于光學(xué)平面檢測，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前商用干涉儀使用的光源多數(shù)是單橫模激光，它具有很強(qiáng)的空間相干性和時間相干性，所以在干涉成像系統(tǒng)里，光學(xué)元件表面的反射或散射都很容易產(chǎn)生雜散條紋，尤其是平行光學(xué)元件(如CCD前面的保護(hù)玻璃蓋、偏振分光棱鏡、被測平形平板等)表面反射會引起多表面干涉，將嚴(yán)重影響波前測量結(jié)果。為了抑制相干噪聲，常規(guī)的做法就是在成像光路中，設(shè)置光闌或擋板，濾除一部份的雜散光；對系統(tǒng)里的平行光學(xué)元件鍍增透膜以減小反射；在測量平行平板的反射波前時，在平板后表面涂抹凡士林等。但這些方法既不方便也并不能很好的達(dá)到濾除相干噪聲的目的。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0004]本實用新型提供了一種改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，主要包括激光發(fā)射器、發(fā)射透鏡、空間光調(diào)制器、第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、分光鏡、反射鏡和準(zhǔn)直鏡，按照激光光路的方向依次設(shè)置激光發(fā)射器、發(fā)射透鏡、空間光調(diào)制器、第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡和分光鏡。
[0005]優(yōu)選的，上述激光發(fā)射器和發(fā)射透鏡之間設(shè)置有耦合器。
[0006]優(yōu)選的，上述第二透鏡和第三透鏡之間設(shè)置有毛玻璃。
[0007]優(yōu)選的，上述毛玻璃為旋轉(zhuǎn)毛玻璃。
[0008]優(yōu)選的，上述待測鏡設(shè)置在分光鏡后側(cè)。
[0009]優(yōu)選的，上述反射鏡與準(zhǔn)直鏡的法線與激光發(fā)射器的發(fā)射方向垂直。
[0010]優(yōu)選的，上述反射鏡與準(zhǔn)直鏡分別設(shè)置在分光鏡的兩側(cè)。
[0011]優(yōu)選的，上述干涉系統(tǒng)還包括設(shè)置在準(zhǔn)直鏡后側(cè)的(XD。
[0012]本實用新型提供的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)利用了激光通過毛玻璃旋轉(zhuǎn)屏所產(chǎn)生的非朗伯體的散射光強(qiáng)分布原理，通過改進(jìn)照明系統(tǒng)，實現(xiàn)干涉儀時間相干性的保持和空間相干性的可調(diào)，使干涉儀的相干性曲線基本符合理論計算的結(jié)果。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本實用新型結(jié)構(gòu)空間相干性實驗曲線圖。
[0015]附圖標(biāo)記:1_激光發(fā)射器；2_耦合器；3_發(fā)射透鏡；4_空間光調(diào)制器；5_第一透鏡；6_第二透鏡；7_毛玻璃；8_第三透鏡；9_分光鏡；10-反射鏡；11-待測鏡；12-準(zhǔn)直鏡；13-CCD。
【具體實施方式】
[0016]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實施本實用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本實用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0017]如圖1所示，本實用新型提供的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，主要包括激光發(fā)射器1、發(fā)射透鏡3、空間光調(diào)制器4、第一透鏡5、第二透鏡6、第三透鏡8、分光鏡9、反射鏡10和準(zhǔn)直鏡12，按照激光光路的方向依次設(shè)置激光發(fā)射器1、發(fā)射透鏡3、空間光調(diào)制器4、第一透鏡5、第二透鏡6、第三透鏡8和分光鏡9。
[0018]其中，激光發(fā)射器I和發(fā)射透鏡3之間設(shè)置有親合器2。第二透鏡6和第三透鏡8之間設(shè)置有毛玻璃7。毛玻璃7為旋轉(zhuǎn)毛玻璃。待測鏡11設(shè)置在分光鏡9后側(cè)。反射鏡10與準(zhǔn)直鏡12的法線與激光發(fā)射器I的發(fā)射方向垂直。反射鏡10與準(zhǔn)直鏡12分別設(shè)置在分光鏡9的兩側(cè)。干涉系統(tǒng)還包括設(shè)置在準(zhǔn)直鏡12后側(cè)的(XD13。
[0019]本實用新型提供的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，是基于提出一種改善照明條件的擴(kuò)展光源干涉系統(tǒng)，為實現(xiàn)干涉儀時間相干性的保持和空間相干性的可調(diào)，通過深入研宄激光通過毛玻璃旋轉(zhuǎn)屏所產(chǎn)生的非朗伯體的散射光強(qiáng)分布，設(shè)計了一種新型的照明系統(tǒng)，具體結(jié)構(gòu)如圖1所示。
[0020]He-Ne激光發(fā)射器I出射632.8nm的光束經(jīng)擴(kuò)束鏡照射在空間光調(diào)制器(SLM)4上，經(jīng)SLM4空間強(qiáng)度調(diào)制后的光束經(jīng)過透鏡組第一透鏡5和第二透鏡6，再度聚焦于一點，形成次級點光源。空間光調(diào)制器(SLM)4上的環(huán)狀光強(qiáng)分布經(jīng)透鏡組第一透鏡5和第二透鏡6成像在旋轉(zhuǎn)毛玻璃7上，被照亮部分就構(gòu)成了可調(diào)的擴(kuò)展光源。旋轉(zhuǎn)毛玻璃7位于準(zhǔn)直鏡8的焦面上，其任意被照明點出射的光都將經(jīng)準(zhǔn)直鏡8準(zhǔn)直后進(jìn)入干涉腔，再經(jīng)第四透鏡12成像后于(XD13像面處發(fā)生干涉。調(diào)整待被測鏡11的距離，使待測鏡11經(jīng)分光鏡9所形成的虛像位置和參考鏡的距離從-4mm變化到4_，分析CCD13采集到的干涉條紋，得到相應(yīng)的對比度曲線，如圖2所示?？梢?，該系統(tǒng)可以通過改善照明條件來有效實現(xiàn)空間相干長度的良好可調(diào)。
[0021]以上所述之【具體實施方式】為本實用新型的較佳實施方式，并非以此限定本實用新型的具體實施范圍，本實用新型的范圍包括并不限于本【具體實施方式】，凡依照本實用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)主要包括激光發(fā)射器(I)、發(fā)射透鏡(3)、空間光調(diào)制器(4)、第一透鏡(5)、第二透鏡(6)、第三透鏡(8)、分光鏡(9)、反射鏡(10)和準(zhǔn)直鏡(12)，按照激光光路的方向依次設(shè)置激光發(fā)射器(1)、發(fā)射透鏡(3)、空間光調(diào)制器(4)、第一透鏡(5)、第二透鏡(6)、第三透鏡⑶和分光鏡(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述激光發(fā)射器(I)和發(fā)射透鏡(3)之間設(shè)置有耦合器(2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述第二透鏡(6)和第三透鏡(8)之間設(shè)置有毛玻璃(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述毛玻璃(7)為旋轉(zhuǎn)毛玻璃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述待測鏡(11)設(shè)置在分光鏡(9)后側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述反射鏡(10)與準(zhǔn)直鏡(12)的法線與激光發(fā)射器(I)的發(fā)射方向垂直。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述反射鏡(10)與準(zhǔn)直鏡(12)分別設(shè)置在分光鏡(9)的兩側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7之一所述的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述干涉系統(tǒng)還包括設(shè)置在準(zhǔn)直鏡(12)后側(cè)的CCD(13)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)，主要包括激光發(fā)射器(1)、發(fā)射透鏡(3)、空間光調(diào)制器(4)、第一透鏡(5)、第二透鏡(6)、第三透鏡(8)、分光鏡(9)、反射鏡(10)和準(zhǔn)直鏡(12)，按照激光光路的方向依次設(shè)置激光發(fā)射器(1)、發(fā)射透鏡(3)、空間光調(diào)制器(4)、第一透鏡(5)、第二透鏡(6)、第三透鏡(8)和分光鏡(9)。本實用新型提供的改進(jìn)照明型干涉系統(tǒng)利用了激光通過毛玻璃旋轉(zhuǎn)屏所產(chǎn)生的非朗伯體的散射光強(qiáng)分布原理，通過改進(jìn)照明系統(tǒng)，實現(xiàn)干涉儀時間相干性的保持和空間相干性的可調(diào)，使干涉儀的相干性曲線基本符合理論計算的結(jié)果。
【IPC分類】G02B27-00
【公開號】CN204515249
【申請?zhí)枴緾N201520271342
【發(fā)明人】林燕彬
【申請人】林燕彬
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2015年4月27日