一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及玻璃光罩技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]玻璃光罩photomask，也稱鉻版，是指在玻璃基板材料上濺射一層金屬涂層然后覆蓋一層表面光阻最后通過(guò)曝光顯影蝕刻脫膜相關(guān)工序制作各種金屬圖形線路，以便用于感光膠涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu)。
[0003]由于玻璃光罩在制作過(guò)程中受某些因素影響，在透光區(qū)域內(nèi)會(huì)產(chǎn)生殘余金屬鉻形成非有效圖形，此類形成阻光的非有效圖形統(tǒng)稱玻璃光罩黑缺陷，包括黑點(diǎn)、毛刺、連線。形成此類缺陷的主要因素系表面光阻上面或者里面含有顆粒類雜志導(dǎo)致此區(qū)域表面光阻殘留，最終導(dǎo)致玻璃光罩黑缺陷的產(chǎn)生，影響玻璃光罩的使用。因此，現(xiàn)有技術(shù)中，針對(duì)玻璃光罩黑缺陷的產(chǎn)生，通常是通過(guò)使用表面光阻對(duì)玻璃光罩黑缺陷周圍有效金屬圖形進(jìn)行覆蓋保護(hù)，然后通過(guò)棉簽蘸蝕刻液涂抹到玻璃光罩黑缺陷表面，通過(guò)化學(xué)分解的方法去除。
[0004]但是，由于表面光阻為液態(tài)物質(zhì)，在手動(dòng)對(duì)玻璃光罩黑缺陷周圍有效圖形進(jìn)行覆蓋保護(hù)時(shí)可操作性非常差，極易把玻璃光罩黑缺陷一同覆蓋，導(dǎo)致玻璃光罩黑缺陷無(wú)法去除干凈。同時(shí)蝕刻液也是液態(tài)物質(zhì)，在使用時(shí)極易對(duì)玻璃光罩有效金屬圖層造成損傷。因此通過(guò)蝕刻液化學(xué)分解方法去除玻璃光罩黑缺陷的方法可操作性差，且極易對(duì)玻璃光罩有效圖形造成損傷，危險(xiǎn)系數(shù)高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為此，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是:提供一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中通過(guò)蝕刻液化學(xué)分解玻璃光罩黑缺陷方法的不足。
[0006]本實(shí)用新型提供了一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置，包括:用于放置玻璃光罩的具有橋梁結(jié)構(gòu)的移動(dòng)平臺(tái)、安裝于所述移動(dòng)平臺(tái)的所述橋梁結(jié)構(gòu)上面的顯微系統(tǒng)、安裝于所述顯微系統(tǒng)上面的激光發(fā)生器，以及通過(guò)電源線與所述激光發(fā)生器連接的激光電源系統(tǒng)。
[0007]其中，所述裝置還包括一個(gè)激光控制器，所述激光控制器通過(guò)信號(hào)連接線與所述激光電源系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)連接。
[0008]所述裝置還包括一個(gè)熱交換器系統(tǒng)，所述熱交換器系統(tǒng)通過(guò)循環(huán)水管實(shí)現(xiàn)與所述激光電源系統(tǒng)的連接。
[0009]本實(shí)用新型所述一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置，通過(guò)設(shè)置龍門式三坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)、自由切換倍率的顯微系統(tǒng)、激光發(fā)生器和激光控制器，實(shí)現(xiàn)通過(guò)激光光斑高溫氣化去除玻璃光罩黑缺陷的功能?？朔恕颈尘凹夹g(shù)】中所述通過(guò)蝕刻液手動(dòng)去除玻璃光罩黑缺陷可操作性差且容易造成玻璃光罩黑缺陷周圍有效圖形損傷的弊端。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)施例所述一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面，結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0012]如圖1所示，本實(shí)施例提供了一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置，該裝置包括:用于放置玻璃光罩20的具有橋梁結(jié)構(gòu)(圖中未標(biāo)示)的移動(dòng)平臺(tái)11、安裝于移動(dòng)平臺(tái)20的橋梁結(jié)構(gòu)上面的顯微系統(tǒng)12、安裝于顯微系統(tǒng)12上面的激光發(fā)生器13，以及通過(guò)電源線31與激光發(fā)生器13連接的激光電源系統(tǒng)21，激光電源系統(tǒng)21為激光發(fā)生器13提供高壓電流用于激發(fā)激光17，激光發(fā)生器13所發(fā)出的激光17通過(guò)顯微系統(tǒng)12照射出來(lái)。
[0013]其中，所述裝置中移動(dòng)平臺(tái)11為龍門式結(jié)構(gòu)，即有一個(gè)沿豎直方向(即圖1中的上下方向)自由移動(dòng)的平臺(tái)11，此平臺(tái)通過(guò)伺服馬達(dá)配合直線滾珠絲桿實(shí)現(xiàn)自由移動(dòng)，橋梁結(jié)構(gòu)(圖中未標(biāo)示)上面安裝顯微系統(tǒng)12，通過(guò)伺服馬達(dá)配合直線滾珠絲桿實(shí)現(xiàn)顯微系統(tǒng)12沿水平方向(即圖1中的左右方向)的自由移動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)顯微系統(tǒng)12可以查找并且觀察玻璃光罩20黑缺陷的功能。
[0014]所述裝置中激光發(fā)生器13通過(guò)電源線31與激光電源系統(tǒng)21實(shí)現(xiàn)連接，激光控制器22通過(guò)信號(hào)線33與激光電源系統(tǒng)21實(shí)現(xiàn)連接，通過(guò)調(diào)節(jié)激光控制器22，實(shí)現(xiàn)對(duì)激光光斑大小和能量的調(diào)節(jié)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)通過(guò)激光光斑高溫氣化去除玻璃光罩黑缺陷的功能。
[0015]所述裝置還包括:一個(gè)熱交換器系統(tǒng)23，熱交換器系統(tǒng)23通過(guò)循環(huán)水管32實(shí)現(xiàn)與激光電源系統(tǒng)21的連接，激光電源系統(tǒng)21又通過(guò)循環(huán)水管32實(shí)現(xiàn)與激光發(fā)生器13的連接，最終熱交換器系統(tǒng)23通過(guò)水冷式內(nèi)循環(huán)的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)激光電源系統(tǒng)21和激光發(fā)生器13的降溫散熱，保證激光發(fā)生器13的穩(wěn)定運(yùn)行。
[0016]所述裝置中激光發(fā)生器13，其類型為YAG固態(tài)激光器，用于去除玻璃光罩黑缺陷激光17的波長(zhǎng)為1064nm，激光17最大發(fā)射能量為30mj，與激光發(fā)生器13連接并供應(yīng)其電源的激光電源系統(tǒng)21的輸入電壓為AC 100 Vo
[0017]本實(shí)施例所述裝置首次在玻璃光罩行業(yè)將激光發(fā)生器與顯微系統(tǒng)相結(jié)合，利用激光發(fā)生器發(fā)出的激光通過(guò)顯微系統(tǒng)的鏡頭照射到玻璃光罩黑缺陷表面，通過(guò)激光高能量照射瞬間產(chǎn)生的高溫將玻璃光罩表面的殘余金屬鉻蒸發(fā)掉，最終實(shí)現(xiàn)去除玻璃光罩黑缺陷的功能。通過(guò)使用所述裝置對(duì)玻璃光罩黑缺陷進(jìn)行去除，具有安全可靠，方便高效的特點(diǎn)。
[0018]綜上所述，本實(shí)用新型所述一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置，通過(guò)設(shè)置龍門式三坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)、自由切換倍率的顯微系統(tǒng)、激光發(fā)生器和激光控制器，實(shí)現(xiàn)通過(guò)激光光斑高溫氣化去除玻璃光罩黑缺陷的功能?？朔恕颈尘凹夹g(shù)】中所述通過(guò)蝕刻液手動(dòng)去除玻璃光罩黑缺陷可操作性差且容易造成玻璃光罩黑缺陷周圍有效圖形損傷的弊端。
[0019]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置，其特征在于，所述裝置包括:用于放置玻璃光罩的具有橋梁結(jié)構(gòu)的移動(dòng)平臺(tái)、安裝于所述移動(dòng)平臺(tái)的所述橋梁結(jié)構(gòu)上面的顯微系統(tǒng)、安裝于所述顯微系統(tǒng)上面的激光發(fā)生器，以及通過(guò)電源線與所述激光發(fā)生器連接的激光電源系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括一個(gè)激光控制器，所述激光控制器通過(guò)信號(hào)連接線與所述激光電源系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括一個(gè)熱交換器系統(tǒng)，所述熱交換器系統(tǒng)通過(guò)循環(huán)水管實(shí)現(xiàn)與所述激光電源系統(tǒng)的連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置，包括：用于放置玻璃光罩的具有橋梁結(jié)構(gòu)的移動(dòng)平臺(tái)、用于觀察玻璃光罩黑缺陷的顯微系統(tǒng)、用于發(fā)射激光的激光發(fā)生器，以及用于供應(yīng)激光發(fā)生器電源的激光電源系統(tǒng)。本實(shí)用新型所述一種玻璃光罩黑缺陷去除裝置，通過(guò)設(shè)置龍門式三坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)、自由切換倍率的顯微系統(tǒng)、激光發(fā)生器和激光控制器，實(shí)現(xiàn)通過(guò)激光光斑高溫氣化去除玻璃光罩黑缺陷的功能。克服了【背景技術(shù)】中所述通過(guò)蝕刻液手動(dòng)去除玻璃光罩黑缺陷可操作性差且容易造成玻璃光罩黑缺陷周圍有效圖形損傷的弊端。
【IPC分類】G03F1-72
【公開號(hào)】CN204479906
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520198660
【發(fā)明人】不公告發(fā)明人
【申請(qǐng)人】廣州市仕元光電有限公司
【公開日】2015年7月15日
【申請(qǐng)日】2015年4月3日