透鏡安裝工具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種透鏡安裝工具。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工藝中，準(zhǔn)分子激光器(Cymer laser)發(fā)射的激光光斑的大小經(jīng)由一光學(xué)放大系統(tǒng)放大至所需的尺寸。所述光學(xué)放大系統(tǒng)如圖1所示，至少包括:依次排列的安全遮光器(safety shutter) 10、第一透鏡11、第二透鏡12、放光鏡13及第三透鏡14，由圖1可知，激光15經(jīng)過所述光學(xué)放大系統(tǒng)后被放大。
[0003]在日常的工藝過程中，由于機(jī)臺光強(qiáng)不斷變?nèi)酰饴分杏幸恍┩哥R會(huì)出現(xiàn)不同程度的損傷，其光斑經(jīng)過的地方出現(xiàn)燒糊的現(xiàn)象，使得光斑能量降低和光路產(chǎn)生變化，對產(chǎn)品造成很大的影響。經(jīng)檢測，出現(xiàn)損傷的透鏡一般均為所述第一透鏡11及所述第二透鏡12，此時(shí)則需要更換新的所述第一透鏡11及所述第二透鏡12。在現(xiàn)有技術(shù)中，一般都是人工更換損傷的透鏡。
[0004]然而，所述第一透鏡11及所述第二透鏡12的尺寸很小，其安裝的空間也非常狹小，且在安裝的過程中不允許手碰到所述第一透鏡11及所述第二透鏡12，這就導(dǎo)致整個(gè)更換安裝過程中非常耗時(shí)，且安裝過程中容易對所示第一透鏡11及所述第二透鏡12造成損壞，進(jìn)而增大成本。
[0005]因此，提供一種改進(jìn)型的透鏡安裝工具非常必要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種透鏡安裝工具，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于需要更換的透鏡尺寸較小，且安裝空間狹小，在人工安裝過程中耗時(shí)較長，且容易對透鏡造成損壞，進(jìn)而增大成本的問題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種透鏡安裝工具，所述透鏡安裝工具包括:支架、第一引導(dǎo)架、第二引導(dǎo)架、安裝板及固定裝置；所述第一引導(dǎo)架與所述支架相連接；所述第二引導(dǎo)架一端與所述第一引導(dǎo)架相連接；所述第一引導(dǎo)架與所述支架之間及所述第二引導(dǎo)架與所述第一引導(dǎo)架之間至少有一種連接方式為鉸接；所述安裝板靠近所述支架的一面為安裝面；所述安裝板與所述第二引導(dǎo)架遠(yuǎn)離所述第一引導(dǎo)架的一端鉸接，使得所述安裝板隨所述第一引導(dǎo)架和/或所述第二引導(dǎo)架一起運(yùn)動(dòng)時(shí)始終處于豎直狀態(tài)；所述固定裝置包括一對第一擋板、一對把手及至少一對滑塊；所述第一擋板位于所述安裝面上，所述把手位于所述安裝面的相對面上，所述滑塊與所述第一擋板及所述把手相連接；所述把手可以經(jīng)由所述滑塊帶動(dòng)所述第一擋板在所述安裝板的兩側(cè)至中間往返運(yùn)動(dòng)。
[0008]作為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的一種優(yōu)選方案，所述第一引導(dǎo)架與所述支架固定連接；所述第二引導(dǎo)架一端與所述第一引導(dǎo)架鉸接。
[0009]作為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的一種優(yōu)選方案，所述第一引導(dǎo)架與所述支架鉸接；所述第二引導(dǎo)架一端與所述第一引導(dǎo)架固定連接。
[0010]作為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的一種優(yōu)選方案，所述第一引導(dǎo)架與所述支架鉸接；所述第二引導(dǎo)架一端與所述第一引導(dǎo)架鉸接。
[0011]作為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的一種優(yōu)選方案，所述支架包括兩根平行設(shè)置的豎桿；所述第一引導(dǎo)架包括第一橫桿、第二橫桿及連接桿；所述第一橫桿位于兩根所述豎桿之間，且與所述兩根豎桿的頂部相連接；所述第二橫桿位于所述第一橫桿的一側(cè)；所述連接桿為兩根，一端與所述第一橫桿相連接，另一端與所述第二橫桿相連接；所述第二引導(dǎo)架包括兩根引導(dǎo)桿，所述兩根引導(dǎo)桿的一端與所述第二橫桿相連接。
[0012]作為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的一種優(yōu)選方案，所述透鏡安裝工具還包括一對第一拉簧，所述第一拉簧位于所述第一引導(dǎo)架及所述第二引導(dǎo)架的兩側(cè)，所述第一拉簧與所述支架、所述第一引導(dǎo)架及所述安裝板的頂部固定連接，且所述第一拉簧位于所述第一引導(dǎo)架兩側(cè)的部分與所述連接桿相平行，所述第一拉簧位于所述第二引導(dǎo)架兩側(cè)的部分與所述引導(dǎo)桿相平行。
[0013]作為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的一種優(yōu)選方案，所述兩引導(dǎo)桿靠近所述第一引導(dǎo)架一端的間距大于所述兩引導(dǎo)桿靠近所述安裝板一端的間距。
[0014]作為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的一種優(yōu)選方案，所述固定裝置還包括第二拉簧，所述第二拉簧位于所述一對把手之間，且與所述把手相連接。
[0015]作為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的一種優(yōu)選方案，所述透鏡安裝工具還包括第二擋板，所述第二擋板位于所述安裝面上部。
[0016]作為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的一種優(yōu)選方案，所述兩第一擋板之間的最大間距大于所述透鏡的寬度。
[0017]如上所述，本實(shí)用新型的透鏡安裝工具，具有以下有益效果:在需要更換透鏡時(shí)使用所述透鏡安裝工具，可以大大提高更換的速度和效率，并且在安裝的過程中不會(huì)對透鏡造成損壞，可以節(jié)約生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0018]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中光學(xué)放大系統(tǒng)的示意圖。
[0019]圖2顯示為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖3顯示為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖4顯示為本實(shí)用新型的透鏡安裝工具的正視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]元件標(biāo)號說明
[0023]10安全遮光器
[0024]11第一透鏡
[0025]12第二透鏡
[0026]13反光鏡
[0027]14第三透鏡
[0028]15 激光
[0029]21 支架
[0030]211 豎桿
[0031]22第一引導(dǎo)架
[0032]221第一橫桿
[0033]222第二橫桿
[0034]223連接桿
[0035]23第二引導(dǎo)架
[0036]231引導(dǎo)桿
[0037]24安裝板
[0038]241第二擋板
[0039]25固定裝置
[0040]251第一擋板
[0041]252把手
[0042]253滑塊
[0043]254第二拉簧
[0044]26第一拉簧
[0045]27固定架
[0046]28固定板
[0047]281固定銷
[0048]29透鏡
【具體實(shí)施方式】
[0049]以下由特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0050]請參閱圖2至圖4。須知，本說明書所附圖示所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中部”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0051]本實(shí)用新型提供一種透鏡安裝工具，請參閱圖2至圖4，其中，圖2為所述透鏡安裝工具的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為透鏡安裝工具的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為所述透鏡安裝工具的正視結(jié)構(gòu)示意圖。由圖2至圖4可知，所述透鏡安裝工具至少包括:支架21、第一引導(dǎo)架22、第二引導(dǎo)架23、安裝板24及固定裝置25 ;所述第一引導(dǎo)架22與所述支架21相連接；所述第二引導(dǎo)架23 —端與所述第一引導(dǎo)架22相連接；所述第一引導(dǎo)架22與所述支架21之間及所述第二引導(dǎo)架23與所述第一引導(dǎo)架22之間至少有一種連接方式為鉸接；所述安裝板24靠近所述支架21的一面為安裝面；所述安裝板24與所述第二引導(dǎo)架23遠(yuǎn)離所述第一引導(dǎo)架22的一端鉸接，使得所述安裝板24隨所述第一引導(dǎo)架22和/或所述第二引導(dǎo)架23 一起運(yùn)動(dòng)時(shí)始終處于豎直狀態(tài)；所述固定裝置25包括一對第一擋板251、一對把手252及至少一對滑塊253 ;所述第一擋板251位于所述安裝面上，所述把手252位于所述安裝面的相對面上，所述滑塊253與所述第一擋板251及所述把手252相連接；所述把手252可以經(jīng)由所述滑塊253帶動(dòng)所述第一擋板251在所述安裝板24的兩側(cè)至中間往返運(yùn)動(dòng)。
[0052]具體的，所述支架21包括兩根平行設(shè)置的豎桿211 ;所述第一引導(dǎo)架22包括第一橫桿221、第二橫桿222及連接桿223 ;所述第一橫桿221位于兩根所述豎桿211之間，且所述第一橫桿221的兩端與所述兩根豎桿211的頂部相連接；所述第二橫桿222位于所述第一橫桿221的一側(cè)；所述連接桿223為兩根，一端與所述第一橫桿221相連接，另一端與所述第二橫桿222相連接；所述第二引導(dǎo)架23包括兩根引導(dǎo)桿231，所述兩根引導(dǎo)桿231的一端與所述第二橫桿