一種柱矢量光束亞波長(zhǎng)多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種柱矢量光束亞波長(zhǎng)多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡，所述多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡是由兩種材料A和B交替排列的具有等效負(fù)折射率的一維光子晶體構(gòu)成，并且出射面為柱對(duì)稱凹面，所述一維光子晶體平凹鏡具有一個(gè)以上的焦點(diǎn)。本發(fā)明一種柱矢量光束亞波長(zhǎng)多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡設(shè)計(jì)方法簡(jiǎn)單，基于等頻曲線來(lái)計(jì)算特定結(jié)構(gòu)的一維光子晶體負(fù)折射率值和費(fèi)馬原理推導(dǎo)出的關(guān)于滿足相位關(guān)系的公式，求解計(jì)算得出特定結(jié)構(gòu)的多焦點(diǎn)聚焦平凹鏡的設(shè)計(jì)方法為柱矢量光束的亞波長(zhǎng)調(diào)控方式提供了新的切入角度，拓展了負(fù)折射率材料一維光子晶體在柱矢量光束調(diào)控領(lǐng)域的應(yīng)用。
【專利說(shuō)明】
-種柱矢量光束亞波長(zhǎng)多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明屬于人工微結(jié)構(gòu)材料領(lǐng)域，尤其設(shè)及一種用于柱矢量光束亞波長(zhǎng)多焦點(diǎn)聚 焦的一維光子晶體平凹鏡。
【背景技術(shù)】
[0002] 矢量光束具有獨(dú)特的光強(qiáng)和偏振分布，其亞波長(zhǎng)聚焦具有特殊的性質(zhì)和廣泛的應(yīng) 用，科研工作者們已經(jīng)提出了許多不同的實(shí)現(xiàn)和調(diào)控方法，然而現(xiàn)有的各種方法都存在一 定的局限性。傳統(tǒng)的透鏡難W實(shí)現(xiàn)更加緊致的聚焦且調(diào)控焦場(chǎng)的靈活性較低，因此研究熱 點(diǎn)轉(zhuǎn)向了微結(jié)構(gòu)領(lǐng)域。柱對(duì)稱的等離激元透鏡可W聚焦柱矢量光束的徑向分量，并且具有 器件集成度高的優(yōu)勢(shì)，但具有偏振態(tài)的局限性。為了拓寬柱矢量光束聚焦的應(yīng)用領(lǐng)域，需要 實(shí)現(xiàn)突破聚焦光束偏振態(tài)的限制的緊聚焦，并對(duì)焦場(chǎng)進(jìn)一步靈活調(diào)控。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明為了拓寬柱矢量光束聚焦的應(yīng)用領(lǐng)域，提供一種柱對(duì)稱的一維光子晶體平 凹透鏡，對(duì)正交偏振態(tài)同時(shí)有效的負(fù)折射效應(yīng)。
[0004] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用W下技術(shù)方案:一種柱矢量光束亞波長(zhǎng)多焦點(diǎn)聚 焦的一維光子晶體平凹鏡，所述多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡是由兩種材料A和B交替 排列的具有等效負(fù)折射率的一維光子晶體構(gòu)成，并且出射面為柱對(duì)稱凹面，所述一維光子 晶體平凹鏡具有一個(gè)W上的焦點(diǎn)。
[0005] 所述多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體的周期d = a+b，其中a為材料A的厚度，b為材料B 的厚度，通過(guò)調(diào)整結(jié)構(gòu)參數(shù)a、bW及材料A和B的折射率na和nb，使得一維光子晶體的能帶結(jié) 構(gòu)在所需的光波段具有等效負(fù)折射率neff，并對(duì)正交偏振態(tài)具有同時(shí)有效的負(fù)折射效應(yīng)。
[0006] 所述等效負(fù)折射率neff采用基于等頻曲線的等效折射率分析方法求出。
[0007] 所述凹面不是連續(xù)凹面，是W光子晶體厚度d為一個(gè)周期單元、厚度固定而內(nèi)徑從 下至上逐層等量遞增的圓環(huán)層疊構(gòu)成，圓環(huán)內(nèi)側(cè)為豎直壁，其頂角連線形成凹面，不同圓環(huán) 層區(qū)域?qū)?yīng)不同的焦距。
[0008] 所述一維光子晶體平凹鏡結(jié)構(gòu)和焦點(diǎn)數(shù)量滿足根據(jù)費(fèi)馬原理推導(dǎo)出的相位關(guān)系 公式：n〇2r2+ (n〇2-nef f 2 ) z2-化證（I-Def f ) Z = 0，
[0009] 其中no為光子晶體在空氣中的折射率，neff為光子晶體的等效負(fù)折射率，f為焦距， (r，z)為出射面頂點(diǎn)坐標(biāo)值。
[0010] 所述材料 A 為M評(píng)2,材料 B 為GaN, a = IOnm, b = 140nm。
[0011] 為了實(shí)現(xiàn)多焦點(diǎn)聚焦的目的，本發(fā)明采用的一維光子晶體平凹鏡是由兩種材料A 和B交替排列的具有等效負(fù)折射率的一維光子晶體構(gòu)成，并且出射面為凹面。
[0012] 平凹鏡使用等頻曲線來(lái)計(jì)算特定結(jié)構(gòu)的一維光子晶體負(fù)折射率值的方法，光子晶 體的等頻曲線類似于雙曲線，在TE偏振時(shí)用于分析出射角度的等頻曲線，由于出射光線與 法線的夾角可W等效到S角形內(nèi)，運(yùn)個(gè)S角形中就包含了入射角度、出射角度。Snell定律 計(jì)算折射率使用的就是入射角度和出射角度之間的關(guān)系，角度之間的關(guān)系可W通過(guò)正弦定 律轉(zhuǎn)化到邊線之間的關(guān)系。只要等頻曲線的位置不變，折射率就是一個(gè)定值。運(yùn)樣根據(jù)上面 推導(dǎo)，就能計(jì)算得出TE偏振時(shí)的負(fù)折射率;同理，TM偏振時(shí)候的負(fù)折射率也可W算出。
[0013] 本發(fā)明對(duì)由介質(zhì)MgFs和GaN組成的一維光子晶體進(jìn)行了研究，發(fā)現(xiàn)了運(yùn)種光子晶 體在某個(gè)特定頻率下對(duì)正交偏振態(tài)具有相同的負(fù)折射率。所用的介質(zhì)MgFs和GaN的厚度分 別為a = 1 Onm和b = 140nm，周期d = a+b = 150nm，所使用的波長(zhǎng)A= 532nm，計(jì)算得到負(fù)折射率 值為 n =-0.94。
[0014] 平凹面不是連續(xù)凹面，是W光子晶體厚度d為周期單元、厚度固定而內(nèi)徑從下至上 遞增的圓環(huán)層疊構(gòu)成，圓環(huán)內(nèi)側(cè)為豎直壁，選擇的特定焦距對(duì)應(yīng)唯一的結(jié)構(gòu)。據(jù)所論述的平 凹鏡形貌數(shù)據(jù)的迭代計(jì)算方法，對(duì)于不同的焦距f，可W根據(jù)方程計(jì)算出出射面的每一個(gè)頂 點(diǎn)的坐標(biāo)，通過(guò)對(duì)出射面周期單元的合理設(shè)計(jì)，可W預(yù)測(cè)出射焦場(chǎng)的位置，W此類推，拓展 至多個(gè)焦點(diǎn)的情況來(lái)實(shí)現(xiàn)多焦點(diǎn)聚焦。
[0015] 平凹鏡的柱對(duì)稱結(jié)構(gòu)是由費(fèi)馬原理推導(dǎo)的滿足相位關(guān)系的公式得出，公式如下：
[0016] n〇2r2+(n〇2-neff2)z2-2n〇f (I-Deff)Z = O (1)
[0017] 其中no為光子晶體在空氣中的折射率，neff為光子晶體的等效負(fù)折射率。
[001引如果需要得到焦距分別為。=4.5皿和f2 = 7.0皿的雙焦點(diǎn)，可W將由30周期的一 維光子晶體平凹鏡的出射面劃分為兩個(gè)區(qū)域，其中靠近底部的11個(gè)周期將出射光線聚焦到 第一個(gè)焦點(diǎn)，剩余部分將光線聚集到第二個(gè)焦點(diǎn)。將fi = 4.5皿和f2 = 7.Owii代入（1)可W求 解得出對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)(r，z)，將兩個(gè)結(jié)構(gòu)的各自的一部分拼接起來(lái)就形成了最終的結(jié)果，然后 我們就可W設(shè)計(jì)出特定結(jié)構(gòu)的平凹鏡。如果要得到f 1 = 4.5]im、f 2 = 7.0皿和f 3 = 9.5]im的S 焦點(diǎn)聚焦，則需要使用更多的周期，運(yùn)里使用50周期的一維光子晶體平凹鏡。同樣的方法， 能夠設(shè)計(jì)出特定結(jié)構(gòu)的平凹鏡。
[0019] 本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明一種柱矢量光束亞波長(zhǎng)多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體 平凹鏡設(shè)計(jì)方法簡(jiǎn)單，基于等頻曲線來(lái)計(jì)算特定結(jié)構(gòu)的一維光子晶體負(fù)折射率值和費(fèi)馬原 理推導(dǎo)出的關(guān)于滿足相位關(guān)系的公式，求解計(jì)算得出特定結(jié)構(gòu)的多焦點(diǎn)聚焦平凹鏡的設(shè)計(jì) 方法為柱矢量光束的亞波長(zhǎng)調(diào)控方式提供了新的切入角度，拓展了負(fù)折射率材料一維光子 晶體在柱矢量光束調(diào)控領(lǐng)域的應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0020] 圖1是實(shí)施例柱矢量光束的橫截面電場(chǎng)振動(dòng)方向，分別對(duì)于一般偏振(a),徑向偏 振(b)和旋向偏振(C)。
[0021 ]圖2是實(shí)施例柱對(duì)稱平凹鏡的結(jié)構(gòu)圖。
[0022] 圖3是GaN和MgF2組成的一維光子晶體結(jié)構(gòu)：（a)結(jié)構(gòu)示意圖和能帶結(jié)構(gòu)圖；（b)等 頻曲線分析負(fù)折射率;（C)和(d)分別表示TE和TM偏振時(shí)的負(fù)折射現(xiàn)象，波長(zhǎng)為532nm。
[0023] 圖4是實(shí)施例一維光子晶體平凹鏡在徑向偏振光照射下雙焦點(diǎn)聚焦全局電場(chǎng)強(qiáng)度 分布圖。
[0024] 圖5是實(shí)施例一維光子晶體平凹鏡相對(duì)于雙焦點(diǎn)聚焦情況下，沿著Z軸的電場(chǎng)強(qiáng)度 歸一化分布圖。
[0025] 圖6是實(shí)施例一維光子晶體平凹鏡在徑向偏振光照射下=焦點(diǎn)聚焦全局電場(chǎng)強(qiáng)度 分布圖。
[0026] 圖7是實(shí)施例一維光子晶體平凹鏡相對(duì)于=焦點(diǎn)聚焦情況下，沿著Z軸的電場(chǎng)強(qiáng)度 歸一化分布圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做詳細(xì)說(shuō)明，本實(shí)施例在W本發(fā)明技術(shù)方案為前 提下進(jìn)行實(shí)施，給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過(guò)程，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下 述的實(shí)施例。
[0028] 圖1是實(shí)施例能夠有效聚焦的柱矢量光束的橫截面電場(chǎng)振動(dòng)方向，分別對(duì)于一般 偏振(a),徑向偏振(b)和旋向偏振(C)。
[0029] 如圖2所示，本實(shí)施例為由材料A和材料B交替排列組成的一維光子晶體平凹鏡，對(duì) 由介質(zhì)MgFs和GaN組成的一維光子晶體進(jìn)行了研究，發(fā)現(xiàn)了運(yùn)種光子晶體在某個(gè)特定頻率 下對(duì)正交偏振態(tài)具有相同的負(fù)折射率，圖3給出了一維光子晶體的示意圖和能帶結(jié)構(gòu)，M評(píng)2 和GaN的厚度分別為3=10皿和6 = 140皿，周期(1 = 3+6=150皿，可^看到第二能帶仍然處于 可見(jiàn)光波段，在能帶結(jié)構(gòu)中標(biāo)出了所使用的波長(zhǎng)A = 532nm。從圖帥的圖（b)可W看到，光子 晶體的等頻曲線類似于雙曲線，圓為空氣中的等頻曲線，反斜向的長(zhǎng)虛線表示出射界面。光 線的傳播方向沿著的梯度方向，因此均從一維光子晶體的等頻曲線指向波矢空間的原 點(diǎn)。而出射光線則須沿空氣中等頻曲線的梯度方向，因而必須垂直于圓形曲線。因此結(jié)合切 向連續(xù)性條件即可得出光線的出射方向。經(jīng)過(guò)運(yùn)種作圖的方法得出的TE和TM的折射角度均 為38.08°。
[0030] TE偏振和TM偏振的負(fù)折射率是一樣的，運(yùn)里用TM偏振的時(shí)候，可W表示為
[0031]
[0032] 圖3(b)是運(yùn)個(gè)波長(zhǎng)下空氣和光子晶體中的等頻曲線，可W發(fā)現(xiàn)在光子晶體中，兩 個(gè)正交偏振態(tài)的等頻曲線基本重合，通過(guò)分析，負(fù)折射率對(duì)不同偏振態(tài)是相等的，計(jì)算得到 負(fù)折射率為n = -0.94。圖3 (C)和3 (d)是對(duì)兩種偏振情況下負(fù)折射的驗(yàn)證，其中相鄰周期高 度差為IcU即入射角度均為45° ,TM和TE偏振下的負(fù)折射角度均為38.08°。
[0033] -維光子晶體平凹鏡的柱對(duì)稱結(jié)構(gòu)是由費(fèi)馬原理推導(dǎo)出的公式得出，公式如下：
[0034] n〇2r2+(n〇2-neff2)z2-2n〇f (I-Deff)Z = O (1)
[0035] 其中no為空氣中的折射率，neff = -〇.94為光子晶體的等效負(fù)折射率。第一焦點(diǎn)的 位置f = 4.5皿，zl = d_L = 150nm，代入（l)式，由W上數(shù)據(jù)可W求得;rl的值，運(yùn)樣就定了（;rl, Zl)。
[0036] 前面11組坐標(biāo)定了第一個(gè)焦點(diǎn)的位置。從開(kāi)始確定第二個(gè)焦點(diǎn)的位置，對(duì)于f2 = 7.0]im，zi 2 = 12d丄=ISOOnm,代入（1)式，進(jìn)而可W計(jì)算得出;ri2的值，運(yùn)樣就定了（ri2， Z12)。然后計(jì)算出后面19組的坐標(biāo)。運(yùn)樣就完全確定了 30周期的一維光子晶體平凹鏡的特定 結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)了雙焦點(diǎn)的聚焦。運(yùn)里選擇第11周期單元作為分割第一焦距和第二焦距所 確定結(jié)構(gòu)的原因如下：當(dāng)根據(jù)方程組，假設(shè)第一個(gè)焦距，代入計(jì)算就可W得到一組坐標(biāo)來(lái)確 定對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)，再假設(shè)第二個(gè)焦距，代入計(jì)算就可W得到新的一組坐標(biāo)和對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)，兩個(gè) 結(jié)構(gòu)的各自的一部分拼接起來(lái)，將兩個(gè)結(jié)構(gòu)的所對(duì)應(yīng)求得坐標(biāo)數(shù)據(jù)比對(duì)，發(fā)現(xiàn)在第11周期 單元所對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)基本重合，那么兩個(gè)結(jié)構(gòu)的各自的一部分拼接起來(lái)就形成了最終的結(jié) 果，就完全確定了 30周期的特定結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了雙焦點(diǎn)的聚焦。
[0037] 如果要得到f 1 = 4.5皿、f 2 = 7.0皿和f3 = 9.5皿的S焦點(diǎn)聚焦，則需要使用更多的 周期，運(yùn)里使用50周期的一維光子晶體平凹鏡。前面30個(gè)周期依然按照上面的計(jì)算過(guò)程，來(lái) 得出具體的位置。后面20個(gè)周期，將f3 = 9.5wii代入(1)式，依次計(jì)算得出最后20個(gè)周期單元 的坐標(biāo)位置。運(yùn)樣就完全確定了50周期的一維光子晶體平凹鏡的特定結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)了 = 焦點(diǎn)的聚焦。
[0038] 在本實(shí)施例中雙焦點(diǎn)聚焦沿縱向的結(jié)構(gòu)單元為30層，整個(gè)平凹鏡的縱向高度為 30*150 = 4500皿，對(duì)于需要得到的焦距分別為fi = 4.5皿和f2 = 7.0皿的雙焦點(diǎn)聚焦，平凹鏡 的結(jié)構(gòu)單元從下向上每一層圓環(huán)的內(nèi)徑在表1中給出。
[0039] 在本實(shí)施例里面，圖4給出了一維光子晶體平凹鏡在徑向偏振光照射下雙焦點(diǎn)聚 焦全局電場(chǎng)強(qiáng)度分布圖。圖5給出了一維光子晶體平凹鏡相對(duì)于雙焦點(diǎn)聚焦情況下，在徑向 偏振光照射下沿著Z軸的電場(chǎng)強(qiáng)度歸一化分布圖。模擬得到的兩個(gè)焦點(diǎn)的焦距分別為fi = 4.5皿和'2 = 6.8皿。
[0040] 表1 fi = 45wii和f2 = 7〇Mi雙焦點(diǎn)對(duì)應(yīng)的臺(tái)階尖端坐標(biāo)值
[0041]
[0042] '在本實(shí)施例中=焦點(diǎn)聚焦沿縱向的結(jié)構(gòu)單元為50層^整個(gè)平凹鏡的縱向高度為 50*150 = 7500nm，對(duì)于需要得到的焦距分別為。=4.5皿、f2 = 7.0皿和f3 = 9.5皿的S焦點(diǎn) 聚焦，平凹鏡的結(jié)構(gòu)單元從下向上每一層圓環(huán)的內(nèi)徑在表2中給出。
[0043] 在本實(shí)施例里面，圖6給出了一維光子晶體平凹鏡在徑向偏振光照射下=焦點(diǎn)聚 焦全局電場(chǎng)強(qiáng)度分布圖。圖7給出了一維光子晶體平凹鏡相對(duì)于=焦點(diǎn)聚焦情況下，在徑向 偏振光照射下沿著Z軸的電場(chǎng)強(qiáng)度歸一化分布圖。模擬得到的=個(gè)焦點(diǎn)的焦距分別為。二 4.5 皿,f2 = 7.0皿和f3 = 9.2皿。
[0044] 最上面的一個(gè)焦點(diǎn)存在0.3WI1的誤差，運(yùn)是因?yàn)樽钌厦娴慕裹c(diǎn)的光強(qiáng)極大值并沒(méi) 有落在彌散斑的中屯、位置，運(yùn)可能是相位的空間分布所引起的。而最下面的焦點(diǎn)的光強(qiáng)相 比其他兩個(gè)焦點(diǎn)要弱，運(yùn)是入射電場(chǎng)的橫向場(chǎng)強(qiáng)分布導(dǎo)致，因?yàn)槿肷涔庠纯拷型?、部分?場(chǎng)強(qiáng)很弱。
[0045] 表2 fi = 45皿，f2 = 70皿和'3 = 95皿；焦點(diǎn)對(duì)應(yīng)的臺(tái)階尖端坐標(biāo)值
[0046]

[0047]由此實(shí)施例可W看出，本發(fā)明設(shè)計(jì)了一種在可見(jiàn)光波段具有負(fù)折射效應(yīng)的一維光 子晶體結(jié)構(gòu)，提出利用等頻曲線計(jì)算其等效負(fù)折射率的方法，結(jié)合折射定律可W預(yù)測(cè)光線 在一維光子晶體中的折射行為?；诖素?fù)折射行為的良好預(yù)測(cè)，提出將一維光子晶體做成 柱對(duì)稱的平凹透鏡，用于聚焦柱矢量光束。由于負(fù)折射效應(yīng)對(duì)正交的偏振態(tài)同時(shí)有效，可W 實(shí)現(xiàn)徑向偏振光和旋向偏振光的同時(shí)亞波長(zhǎng)聚焦?；谫M(fèi)馬原理推導(dǎo)出的關(guān)于滿足相位關(guān) 系的公式，通過(guò)對(duì)出射面的合理設(shè)計(jì)，可W理想地預(yù)測(cè)出射焦場(chǎng)的位置，運(yùn)種設(shè)計(jì)的方法拓 展至多個(gè)焦點(diǎn)的情況，實(shí)現(xiàn)了對(duì)柱矢量光束的亞波長(zhǎng)多焦點(diǎn)聚焦。運(yùn)份工作對(duì)于亞波長(zhǎng)一 維光子晶體平凹鏡微結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有指導(dǎo)意義。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種柱矢量光束亞波長(zhǎng)多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡，其特征在于:所述多焦 點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡是由兩種材料A和B交替排列的具有等效負(fù)折射率的一維光 子晶體構(gòu)成，并且出射面為柱對(duì)稱凹面，所述一維光子晶體平凹鏡具有一個(gè)以上的焦點(diǎn)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡，其特征在于:所述多焦點(diǎn) 聚焦的一維光子晶體的周期d = a+b，其中a為材料A的厚度，b為材料B的厚度，通過(guò)調(diào)整結(jié)構(gòu) 參數(shù)a、b以及材料A和B的折射率n4Pnb，使得一維光子晶體的能帶結(jié)構(gòu)在所需的光波段具有 等效負(fù)折射率nrff，并對(duì)正交偏振態(tài)具有同時(shí)有效的負(fù)折射效應(yīng)。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡，其特征在于:所述等效負(fù) 折射率ne3ff采用基于等頻曲線的等效折射率分析方法求出。4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡，其特征在于:所述凹面不 是連續(xù)凹面，是以光子晶體厚度d為一個(gè)周期單元、厚度固定而內(nèi)徑從下至上逐層等量遞增 的圓環(huán)層疊構(gòu)成，圓環(huán)內(nèi)側(cè)為豎直壁，其頂角連線形成凹面，不同圓環(huán)層區(qū)域?qū)?yīng)不同的焦 距。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡，其特征在于:所述一維光 子晶體平凹鏡結(jié)構(gòu)和焦點(diǎn)數(shù)量滿足根據(jù)費(fèi)馬原理推導(dǎo)出的相位關(guān)系公式:n〇 2r2+(n〇2-neff2) z2-2n〇f (l-nef f) z = Ο, 其中no為光子晶體在空氣中的折射率，為光子晶體的等效負(fù)折射率，f為焦距，（r，z) 為出射面頂點(diǎn)坐標(biāo)值。6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的多焦點(diǎn)聚焦的一維光子晶體平凹鏡，其特征在于:所述材料A 為 MgF2,材料 B 為 GaN，a= 10nm，b= 140nm。
【文檔編號(hào)】G02B1/00GK106019429SQ201610551113
【公開(kāi)日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年7月13日
【發(fā)明人】許吉, 時(shí)楠楠, 王勝明, 陳奕霖, 陸云清
【申請(qǐng)人】南京郵電大學(xué)