高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡。顯微鏡由兩套放大系統(tǒng)構(gòu)成，方法1：第一套放大系統(tǒng)采用波的直線傳播，將X射線、γ射線、電子射線對(duì)物體進(jìn)行放大并成像在晶體感應(yīng)板；方法2利用現(xiàn)有的透射式電子顯微鏡系統(tǒng)對(duì)物體進(jìn)行放大并成像在晶體感應(yīng)板；晶體感應(yīng)板將X射線、γ射線、電子射線的像轉(zhuǎn)換為可見光圖像；第二套放大系統(tǒng)，對(duì)成像板上可見光圖像進(jìn)行放大；整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)為第一套放大系統(tǒng)放大倍數(shù)×第二套放大系統(tǒng)放大倍數(shù)；利用兩級(jí)放大系統(tǒng)：從而實(shí)現(xiàn)比現(xiàn)有的透射電子顯微鏡更高的分辨率。
【專利說(shuō)明】
高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡
一、技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本專利涉及一種利用X射線、γ射線、電子射線成像的顯微鏡，特別涉及一種利用二級(jí)成像的顯微鏡系統(tǒng)。
二、【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)在已有光學(xué)透射顯微鏡、光學(xué)反射顯微鏡、電子透射顯微鏡；
[0003]由于光的衍射，可見光光學(xué)顯微放大系統(tǒng)鏡的分辨極限為0.2微米;電子透射顯微鏡的分辨極限為0.02納米；
[0004]X射線、γ射線由于現(xiàn)在無(wú)法實(shí)現(xiàn)大角度的折射，不能形成顯微放大系統(tǒng)。
三、
【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]要解決的問(wèn)題:
[0006]解決現(xiàn)有顯微鏡的分辨極限。
[0007]技術(shù)方案:
[0008]X射線、γ射線、電子射線顯微鏡由X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源(101);樣品臺(tái)
(102);Χ射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103);光學(xué)顯微放大系統(tǒng)(104);像屏或CCD
(105)組成；
[0009]X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源(101)，“點(diǎn)光源”透過(guò)樣品臺(tái)(102)上的樣品，在X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)形成放大透射圖像;X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)，晶體感應(yīng)板(103)將X射線、γ射線、電子射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像;可見光圖像再經(jīng)過(guò)光學(xué)顯微放大系統(tǒng)(104)放大后圖像在像屏或CCD(105)上顯示；
[0010]本發(fā)明中有兩套放大成像系統(tǒng):(I)由X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源(101)點(diǎn)光源經(jīng)過(guò)樣品臺(tái)(102)上的樣品，在X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)組成的三角透射放大系統(tǒng)；(2)Χ射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)上形成的可見光圖像再經(jīng)過(guò)光學(xué)顯微放大系統(tǒng)(104)系統(tǒng)放大后圖像在像屏或CCD(105)的放大系統(tǒng)；
[0011]系統(tǒng)的放大倍數(shù):其整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)(a)=幾何透射放大系統(tǒng)的放大倍數(shù)(al) X光學(xué)顯微放大系統(tǒng)放大倍數(shù)(a2)；
[0012]即:a= al*a2;
[0013]系統(tǒng)的放大倍數(shù):其整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)(a)=電子顯微系統(tǒng)的放大倍數(shù)(al) X光學(xué)顯微放大系統(tǒng)放大倍數(shù)(a2);
[0014]即:a= al*a2。
[0015]系統(tǒng)分辨率分析:
[0016]由于波的衍射特性，根據(jù)阿貝成像原理，波的成像分辨率:
[0017]δ = 0.61λ/ (n*sina)
[0018]λ為照明光波波長(zhǎng);η為折射率;a透鏡數(shù)值孔徑；
[0019]X射線的波長(zhǎng)0.01A-100A，γ射線的波長(zhǎng)為小于0.0lA波長(zhǎng)的電磁波；[OO2O]由于波的衍射，會(huì)有衍射斑點(diǎn);影響現(xiàn)有光學(xué)顯微放大系統(tǒng)鏡、電子顯微鏡的分辨率的進(jìn)一步提尚;
[0021 ]方法I采用波長(zhǎng)更短的X射線、γ射線，從而大大提高顯微鏡的分辨極限；
[0022]方法2采用能量更高、波長(zhǎng)更短的電子射線，從而大大提高顯微鏡的分辨極限。
[0023]工作原理
[0024]分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡由兩套放大系統(tǒng)構(gòu)成;第一套放大系統(tǒng)采用X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源對(duì)物體進(jìn)行幾何放大并在成像板上進(jìn)行顯示;第二套放大系統(tǒng)，對(duì)成像板上圖像進(jìn)行放大;整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)為第一套放大系統(tǒng)放大倍數(shù)X第二套放大系統(tǒng)放大倍數(shù)；
[0025]第一套放大系統(tǒng)，方法I，采用點(diǎn)光源，利用光線的直線傳播的特性，對(duì)樣品進(jìn)行放大;方法2:利用電子透鏡放大系統(tǒng)對(duì)樣品進(jìn)行放大；
[0026]晶體感應(yīng)板(103)將X射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像；
[0027]晶體感應(yīng)板(103)將γ射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像；
[0028]晶體感應(yīng)板(103)將電子射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像；
[0029]第二套放大系統(tǒng)，利用光學(xué)顯微放大系統(tǒng)鏡系統(tǒng)，對(duì)X射線、γ射線、電子成像板上的圖像進(jìn)行放大。
[0030]X射線、γ射線、電子射線對(duì)物象的放大:
[0031]X射線、γ射線、電子射線光源為O點(diǎn)，物體ABC，放大后像為A’B’C’，其放大倍數(shù)=放大后像為A ’ B ’ C ’到X射線、γ射線、電子射線光源為O點(diǎn)距離/物體ABC到X射線、γ射線、電子射線光源為O點(diǎn)距離；
[0032]物體ABC放置在樣品臺(tái)(102)上;放大后像為A’B’C’成像于X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)上。
[0033]晶體感應(yīng)板(103)將X射線、γ射線成像轉(zhuǎn)換為可見光像；晶體感應(yīng)板(103)將電子射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像
[0034]無(wú)機(jī)晶體感應(yīng)板:如，摻鈦的碘化鈉晶體感應(yīng)板、摻鈦的碘化銫晶體感應(yīng)板、摻銀的硫化鋅晶體感應(yīng)板;氧化鎵鋇晶體感應(yīng)板、鍺酸鉍晶體感應(yīng)板、碘化銫晶體感應(yīng)板、氟化鋇晶體感應(yīng)板、摻鋪鋰玻璃晶體感應(yīng)板;但不限于以上無(wú)機(jī)晶體感應(yīng)板；
[0035]有機(jī)晶體感應(yīng)板:如，蒽晶體感應(yīng)板、有機(jī)液體感應(yīng)板、塑料感應(yīng)板;但不限于以上有機(jī)晶體感應(yīng)板；
[0036]當(dāng)X射線、γ射線打到晶體感應(yīng)板(103)上時(shí)，晶體感應(yīng)板(103)上的晶粒發(fā)光，在晶體感應(yīng)板(103)形成一個(gè)樣品可見光圖像；
[0037]當(dāng)電子射線打到晶體感應(yīng)板(103)上時(shí)，晶體感應(yīng)板(103)上的晶粒發(fā)光，在晶體感應(yīng)板(103)形成一個(gè)樣品可見光像。
[0038]可見光成像光學(xué)放大系統(tǒng)
[0039]可見光成像光學(xué)放大系統(tǒng)是將晶體感應(yīng)板(103)上由X射線、γ射線、電子射線產(chǎn)生的可見光圖像，通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)由光學(xué)物鏡和目鏡組成的顯微鏡系統(tǒng)放大形成最終的圖像；
[0040]通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)形成的虛像可通過(guò)目鏡進(jìn)行觀察；
[0041]通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)形成的實(shí)像成像在CCD圖像傳感器上或CMOS圖像傳感器上，供系統(tǒng)在計(jì)算機(jī)上進(jìn)行圖像存儲(chǔ)、圖像變換、圖像三維重建。
[0042 ]透射電子顯微鏡與晶體感應(yīng)板配合的放大系統(tǒng)
[0043]第一級(jí)放大系統(tǒng)采用與現(xiàn)有的電子顯微鏡相同的技術(shù)，包括透射電磁物鏡、透射中間電磁鏡、透射電磁目鏡、球差校正系統(tǒng)；
[0044]形成樣品物體放大的電子圖像，放大的電子圖像成像在晶體感應(yīng)板(I03)上轉(zhuǎn)換為可見光圖像；
[0045]第二級(jí)光學(xué)放大系統(tǒng)，利用光學(xué)顯微放大系統(tǒng)對(duì)晶體感應(yīng)板(103)上轉(zhuǎn)換為可見光圖像進(jìn)行放大，形成可見光實(shí)像投射在CCD圖像傳感器上或CMOS圖像傳感器上;CCD圖像傳感器上或CMOS圖像傳感器上的圖像信號(hào)傳送給計(jì)算機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行圖像存儲(chǔ)、圖像顯示、圖像變換；
[0046]第二級(jí)光學(xué)放大系統(tǒng)，利用光學(xué)顯微放大系統(tǒng)對(duì)晶體感應(yīng)板(103)上轉(zhuǎn)換為可見光圖像進(jìn)行放大，形成可見光虛像供用戶直接通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)觀察。
[0047]有益效果:利用兩級(jí)放大系統(tǒng):第一級(jí)放大系統(tǒng)利用短波長(zhǎng)的X射線、γ射線、電子射線的直線傳播實(shí)現(xiàn)樣品的圖像放大，或利用現(xiàn)有的透射式電子顯微系統(tǒng)對(duì)樣品的圖像進(jìn)行放大;將X射線、Y射線、電子射線在晶體感應(yīng)板上成的像轉(zhuǎn)換為可見光圖像;第二級(jí)放大系統(tǒng)采用顯微光學(xué)系統(tǒng)對(duì)晶體感應(yīng)板的像進(jìn)行放大。從而實(shí)現(xiàn)比透射電子顯微鏡更高的分辨率。
四、【附圖說(shuō)明】
[0048]圖1X射線、γ射線、電子射線顯微鏡原理框圖
[0049]圖2幾何放大原理框圖
五、【具體實(shí)施方式】
[0050]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)描述:
[0051 ] 優(yōu)選實(shí)例1:原理框圖
[0052]如圖1所示，X射線、γ射線、電子射線顯微鏡由X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源
(101);樣品臺(tái)(102) ;Χ射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103);光學(xué)顯微放大系統(tǒng)(104);像屏或CXD (105)組成；
[0053]X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源(101)，“點(diǎn)光源”透過(guò)樣品臺(tái)(102)上的樣品，在X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)形成放大透射圖像;X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)，晶體感應(yīng)板(103)將X射線、γ射線、電子射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像;可見光圖像再經(jīng)過(guò)光學(xué)顯微放大系統(tǒng)(104)放大后圖像在像屏或CCD(105)上顯示；
[0054]本發(fā)明中有兩套放大成像系統(tǒng):(I)由X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源(101)點(diǎn)光源經(jīng)過(guò)樣品臺(tái)(102)上的樣品，在X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)組成的三角透射放大系統(tǒng)；(2)Χ射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)上形成的可見光圖像再經(jīng)過(guò)光學(xué)顯微放大系統(tǒng)(104)系統(tǒng)放大后圖像在像屏或CCD(105)的放大系統(tǒng)；
[0055]系統(tǒng)的放大倍數(shù):其整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)(a)=幾何透射放大系統(tǒng)的放大倍數(shù)(al) X光學(xué)顯微放大系統(tǒng)放大倍數(shù)(a2)；
[0056]即:a= al*a2;
[0057]系統(tǒng)的放大倍數(shù):其整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)(a)=電子顯微系統(tǒng)的放大倍數(shù)(al) X光學(xué)顯微放大系統(tǒng)放大倍數(shù)(a2);
[0058]即:a= al*a2。
[0059]優(yōu)選實(shí)例2:系統(tǒng)分辨率分析:
[0060]由于波的衍射特性，根據(jù)阿貝成像原理，波的成像分辨率:
[0061]δ = 0.61λ/ (n*sina)
[0062 ] λ為照明光波波長(zhǎng);η為折射率;a透鏡數(shù)值孔徑；
[0063]X射線的波長(zhǎng)0.01A-100A，γ射線的波長(zhǎng)為小于0.0lA波長(zhǎng)的電磁波；
[0064]由于波的衍射，會(huì)有衍射斑點(diǎn);影響現(xiàn)有光學(xué)顯微放大系統(tǒng)鏡、電子顯微鏡的分辨率的進(jìn)一步提尚;
[0065]方法I采用波長(zhǎng)更短的X射線、γ射線，從而大大提高顯微鏡的分辨極限；
[0066]方法2采用能量更高、波長(zhǎng)更短的電子射線，從而大大提高顯微鏡的分辨極限。
[0067]優(yōu)選實(shí)例3:工作原理
[0068]分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡由兩套放大系統(tǒng)構(gòu)成;第一套放大系統(tǒng)采用X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源對(duì)物體進(jìn)行幾何放大并在成像板上進(jìn)行顯示;第二套放大系統(tǒng)，對(duì)成像板上圖像進(jìn)行放大;整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)為第一套放大系統(tǒng)放大倍數(shù)X第二套放大系統(tǒng)放大倍數(shù)；
[0069]第一套放大系統(tǒng)，方法I，采用點(diǎn)光源，利用光線的直線傳播的特性，對(duì)樣品進(jìn)行放大;方法2:利用電子透鏡放大系統(tǒng)對(duì)樣品進(jìn)行放大；
[0070 ]晶體感應(yīng)板(103)將X射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像；
[0071 ]晶體感應(yīng)板(103)將γ射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像；
[0072]晶體感應(yīng)板(103)將電子射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像；
[0073]第二套放大系統(tǒng)，利用光學(xué)顯微放大系統(tǒng)鏡系統(tǒng)，對(duì)X射線、γ射線、電子成像板上的圖像進(jìn)行放大。
[0074]優(yōu)選實(shí)例4:Χ射線、γ射線、電子射線對(duì)物象的放大
[0075]如圖2所示，X射線、γ射線、電子射線光源為O點(diǎn)，物體ABC，放大后像為A’B’C’，其放大倍數(shù)=放大后像為A’B’C’到X射線、γ射線、電子射線光源為O點(diǎn)距離/物體ABC到X射線、Y射線、電子射線光源為O點(diǎn)距離；
[0076]物體ABC放置在樣品臺(tái)(102)上;放大后像為A’B’C’成像于X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)上。
[0077]優(yōu)選實(shí)例5:晶體感應(yīng)板(103)將X射線、γ射線成像轉(zhuǎn)換為可見光像；晶體感應(yīng)板
(103)將電子射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像
[0078]無(wú)機(jī)晶體感應(yīng)板:如，摻鈦的碘化鈉晶體感應(yīng)板、摻鈦的碘化銫晶體感應(yīng)板、摻銀的硫化鋅晶體感應(yīng)板;氧化鎵鋇晶體感應(yīng)板、鍺酸鉍晶體感應(yīng)板、碘化銫晶體感應(yīng)板、氟化鋇晶體感應(yīng)板、摻鋪鋰玻璃晶體感應(yīng)板;但不限于以上無(wú)機(jī)晶體感應(yīng)板；
[0079 ]有機(jī)晶體感應(yīng)板:如，蒽晶體感應(yīng)板、有機(jī)液體感應(yīng)板、塑料感應(yīng)板;但不限于以上有機(jī)晶體感應(yīng)板；
[0080]當(dāng)X射線、γ射線打到晶體感應(yīng)板(103)上時(shí)，晶體感應(yīng)板(103)上的晶粒發(fā)光，在晶體感應(yīng)板(103)形成一個(gè)樣品可見光圖像；[0081 ]當(dāng)電子射線打到晶體感應(yīng)板(103)上時(shí)，晶體感應(yīng)板(103)上的晶粒發(fā)光，在晶體感應(yīng)板(103)形成一個(gè)樣品可見光像。
[0082]優(yōu)選實(shí)例6:可見光成像光學(xué)放大系統(tǒng)
[0083]可見光成像光學(xué)放大系統(tǒng)是將晶體感應(yīng)板(103)上由X射線、γ射線、電子射線產(chǎn)生的可見光圖像，通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)由光學(xué)物鏡和目鏡組成的顯微鏡系統(tǒng)放大形成最終的圖像；
[0084]通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)形成的虛像可通過(guò)目鏡進(jìn)行觀察；
[0085]通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)形成的實(shí)像成像在CCD圖像傳感器上或CMOS圖像傳感器上，供系統(tǒng)在計(jì)算機(jī)上進(jìn)行圖像存儲(chǔ)、圖像變換、圖像三維重建。
[0086]優(yōu)選實(shí)例7:透射電子顯微鏡與晶體感應(yīng)板配合的放大系統(tǒng)
[0087]第一級(jí)放大系統(tǒng)采用與現(xiàn)有的電子顯微鏡相同的技術(shù)，包括透射電磁物鏡、透射中間電磁鏡、透射電磁目鏡、球差校正系統(tǒng)；
[0088]形成樣品物體放大的電子圖像，放大的電子圖像成像在晶體感應(yīng)板(103)上轉(zhuǎn)換為可見光圖像；
[0089]第二級(jí)光學(xué)放大系統(tǒng)，利用光學(xué)顯微放大系統(tǒng)對(duì)晶體感應(yīng)板(103)上轉(zhuǎn)換為可見光圖像進(jìn)行放大，形成可見光實(shí)像投射在CCD圖像傳感器上或CMOS圖像傳感器上;CCD圖像傳感器上或CMOS圖像傳感器上的圖像信號(hào)傳送給計(jì)算機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行圖像存儲(chǔ)、圖像顯示、圖像變換；
[0090]第二級(jí)光學(xué)放大系統(tǒng)，利用光學(xué)顯微放大系統(tǒng)對(duì)晶體感應(yīng)板(103)上轉(zhuǎn)換為可見光圖像進(jìn)行放大，形成可見光虛像供用戶直接通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)觀察。
[0091]雖然結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)作出各種變形或修改，也可以本設(shè)計(jì)中的一部分。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡，包括: X射線、γ射線、電子射線顯微鏡由X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源(1I);樣品臺(tái)(102);Χ射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103);光學(xué)顯微放大系統(tǒng)(104);像屏或CCD(105)組成； X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源(101)，“點(diǎn)光源”透過(guò)樣品臺(tái)(102)上的樣品，在X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)形成放大透射圖像;X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)，晶體感應(yīng)板(103)將X射線、γ射線、電子射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像;可見光圖像再經(jīng)過(guò)光學(xué)顯微放大系統(tǒng)(104)放大后圖像在像屏或CXD(105)上顯示。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡，其特征是: 本發(fā)明中有兩套放大成像系統(tǒng):(1)由X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源(101)點(diǎn)光源經(jīng)過(guò)樣品臺(tái)(102)上的樣品，在X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)組成的三角透射放大系統(tǒng)；(2)Χ射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(103)上形成的可見光圖像再經(jīng)過(guò)光學(xué)顯微放大系統(tǒng)(104)系統(tǒng)放大后圖像在像屏或CCD(105)的放大系統(tǒng)； 系統(tǒng)的放大倍數(shù):其整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)(a)=幾何透射放大系統(tǒng)的放大倍數(shù)(al) X光學(xué)顯微放大系統(tǒng)放大倍數(shù)(a2); 即:a = al*a2; 系統(tǒng)的放大倍數(shù):其整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)(a) =電子顯微系統(tǒng)的放大倍數(shù)(al) X光學(xué)顯微放大系統(tǒng)放大倍數(shù)(a2)； 即:a = al*a2。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡，其特征是: 采用波長(zhǎng)更短的X射線、γ射線，從而大大提高顯微鏡的分辨極限。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡，其特征是: 采用能量更高、波長(zhǎng)更短的電子射線，從而大大提高顯微鏡的分辨極限。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡，其特征是: 分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡由兩套放大系統(tǒng)構(gòu)成;第一套放大系統(tǒng)采用X射線、γ射線、電子射線點(diǎn)光源對(duì)物體進(jìn)行幾何放大并在成像板上進(jìn)行顯示；第二套放大系統(tǒng)，對(duì)成像板上圖像進(jìn)行放大;整個(gè)系統(tǒng)的放大倍數(shù)為第一套放大系統(tǒng)放大倍數(shù)X第二套放大系統(tǒng)放大倍數(shù)； 第一套放大系統(tǒng)，方法I，采用點(diǎn)光源，利用光線的直線傳播的特性，對(duì)樣品進(jìn)行放大；方法2:利用電子透鏡放大系統(tǒng)對(duì)樣品進(jìn)行放大； 晶體感應(yīng)板(103)將X射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像； 晶體感應(yīng)板(103)將γ射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像； 晶體感應(yīng)板(103)將電子射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像； 第二套放大系統(tǒng)，利用光學(xué)顯微放大系統(tǒng)鏡系統(tǒng)，對(duì)X射線、γ射線、電子成像板上的圖像進(jìn)行放大。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡，其特征是: X射線、γ射線、電子射線光源為O點(diǎn)，物體ABC，放大后像為A’B’C’，其放大倍數(shù)=放大后像為A’B’C’到X射線、γ射線、電子射線光源為O點(diǎn)距離/物體ABC到X射線、γ射線、電子射線光源為O點(diǎn)距離； 物體ABC放置在樣品臺(tái)(102)上;放大后像為A’B’C’成像于X射線、γ射線、電子射線晶體感應(yīng)板(I 03)上。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡，其特征是: 晶體感應(yīng)板(103)將X射線、γ射線成像轉(zhuǎn)換為可見光像;晶體感應(yīng)板(103)將電子射線圖像轉(zhuǎn)換為可見光圖像； 無(wú)機(jī)晶體感應(yīng)板:如，摻鈦的碘化鈉晶體感應(yīng)板、摻鈦的碘化銫晶體感應(yīng)板、摻銀的硫化鋅晶體感應(yīng)板;氧化鎵鋇晶體感應(yīng)板、鍺酸鉍晶體感應(yīng)板、碘化銫晶體感應(yīng)板、氟化鋇晶體感應(yīng)板、摻鋪鋰玻璃晶體感應(yīng)板;但不限于以上無(wú)機(jī)晶體感應(yīng)板； 有機(jī)晶體感應(yīng)板:如，蒽晶體感應(yīng)板、有機(jī)液體感應(yīng)板、塑料感應(yīng)板;但不限于以上有機(jī)晶體感應(yīng)板； 當(dāng)X射線、γ射線打到晶體感應(yīng)板(103)上時(shí)，晶體感應(yīng)板(103)上的晶粒發(fā)光，在晶體感應(yīng)板(103)形成一個(gè)樣品可見光圖像； 當(dāng)電子射線打到晶體感應(yīng)板(103)上時(shí)，晶體感應(yīng)板(103)上的晶粒發(fā)光，在晶體感應(yīng)板(103)形成一個(gè)樣品可見光像。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡，其特征是: 可見光成像光學(xué)放大系統(tǒng)是將晶體感應(yīng)板(103)上由X射線、γ射線、電子射線產(chǎn)生的可見光圖像，通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)由光學(xué)物鏡和目鏡組成的顯微鏡系統(tǒng)放大形成最終的圖像； 通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)形成的虛像可通過(guò)目鏡進(jìn)行觀察； 通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)形成的實(shí)像成像在CCD圖像傳感器上或CMOS圖像傳感器上，供系統(tǒng)在計(jì)算機(jī)上進(jìn)行圖像存儲(chǔ)、圖像變換、圖像三維重建。9.高分辨率X射線、γ射線、電子射線顯微鏡，其特征是: 第一級(jí)放大系統(tǒng)采用與現(xiàn)有的電子顯微鏡相同的技術(shù)，包括透射電磁物鏡、透射中間電磁鏡、透射電磁目鏡、球差校正系統(tǒng)； 形成樣品物體放大的電子圖像，放大的電子圖像成像在晶體感應(yīng)板(103)上轉(zhuǎn)換為可見光圖像； 第二級(jí)光學(xué)放大系統(tǒng)，利用光學(xué)顯微放大系統(tǒng)對(duì)晶體感應(yīng)板(103)上轉(zhuǎn)換為可見光圖像進(jìn)行放大，形成可見光實(shí)像投射在CCD圖像傳感器上或CMOS圖像傳感器上;CCD圖像傳感器上或CMOS圖像傳感器上的圖像信號(hào)傳送給計(jì)算機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行圖像存儲(chǔ)、圖像顯示、圖像變換。
【文檔編號(hào)】G01N23/04GK105911681SQ201610485953
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年6月28日
【發(fā)明人】顧士平, 顧海濤, 崔崇
【申請(qǐng)人】顧士平