光學(xué)濾波器器件、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及光學(xué)濾波器器件、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，已知有將干涉濾波器容納于框體內(nèi)的光學(xué)濾波器器件，干涉濾波器中，在一對(duì)基板的彼此相對(duì)的面上隔著規(guī)定的間隙而分別相對(duì)配置有反射膜(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
[0003]在專利文獻(xiàn)1記載的光學(xué)濾波器器件中，框體具備底座基板，干涉濾波器通過(guò)固定部件固定于底座基板。干涉濾波器的基板在與底座基板相對(duì)的相對(duì)面的一處粘接固定于該底座基板。
[0004]在該光學(xué)濾波器器件中，例如在使用粘接劑進(jìn)行了粘接固定的情況下，與粘接基板的相對(duì)面的大致整面的構(gòu)成相比，也能夠使從粘接劑受到的應(yīng)力變小。即，基板的相對(duì)面的粘接面積越小，越能抑制來(lái)自固化時(shí)收縮的粘接劑的拉應(yīng)力和由于基板與底座基板的熱膨脹系數(shù)差而產(chǎn)生的應(yīng)力的影響。
[0005]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2013-167701號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]然而，由于干涉濾波器在與底座基板接觸的狀態(tài)下在一處被固定于該底座基板，因此，當(dāng)外部干擾等引發(fā)的振動(dòng)施加于了光學(xué)濾波器器件時(shí)，振動(dòng)有可能經(jīng)由底座基板而傳遞至該干涉濾波器，使干涉濾波器的分辨率降低。例如，有時(shí)由于被傳遞有振動(dòng)的干涉濾波器以固定位置為中心發(fā)生振動(dòng)，從而使反射膜間的間隙尺寸變動(dòng)。另外，有時(shí)由于干涉濾波器發(fā)生振動(dòng)而使基板產(chǎn)生形變，從而使沿著反射面的面內(nèi)的上述間隙尺寸的均勻性下降。這樣，如果間隙尺寸發(fā)生變動(dòng)或面內(nèi)均勻性下降，則干涉濾波器的分辨率將會(huì)下降。
[0009]本發(fā)明的目的在于，提供能夠抑制干涉濾波器的分辨率降低的光學(xué)濾波器器件、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備。
[0010]本發(fā)明的一應(yīng)用例所涉及的光學(xué)濾波器器件的特征在于，具備:干涉濾波器，具有彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜和設(shè)有所述一對(duì)反射膜中任一反射膜的基板；底座部，所述基板固定于所述底座部；以及固定部件，將所述基板的一處固定于所述底座部，所述基板的表面中的除被所述固定部件固定的部分以外的部分與所述底座部隔著間隙而配置。
[0011]本發(fā)明的一應(yīng)用例所涉及的光學(xué)濾波器器件通過(guò)固定部件將干涉濾波器的基板的一處固定于底座部。而且，基板表面中的除固定部件固定的部分以外的部分與底座部隔著間隙而配置。
[0012]在此，在一處固定基板的情況下，例如有時(shí)會(huì)因于外部干擾的影響而使干涉濾波器的基板振動(dòng)。具體而言，可例示以固定部件的固定位置為固定端、以離固定端最遠(yuǎn)的位置(最遠(yuǎn)部)為振幅最大的自由端的在基板厚度方向的固有振動(dòng)。
[0013]在本應(yīng)用例中，雖然通過(guò)固定部件在一處固定基板，但由于基板表面的固定部分以外的部分未與底座部接觸，因而能夠抑制由外部干擾引起的振動(dòng)從底座部傳遞至基板。因此，能夠抑制由于外部干擾的影響而導(dǎo)致的上述固有振動(dòng)等振動(dòng)的發(fā)生。因此，能夠抑制由上述振動(dòng)所引起的基板的形變，能夠抑制由于該基板的形變所造成的干涉濾波器的分辨率降低。
[0014]在本應(yīng)用例的光學(xué)濾波器器件中，優(yōu)選，所述固定部件固定沿著所述基板的厚度方向的側(cè)面。
[0015]在本應(yīng)用例中，固定部件在一處固定沿著基板的厚度方向的側(cè)面。
[0016]通常，基板的厚度方向的尺寸為比與厚度方向正交的平面方向的尺寸充分地小的尺寸。因此，基板的相對(duì)于厚度方向的剛性(對(duì)撓曲的耐性)比相對(duì)于平面方向的剛性低。為此，通過(guò)如上所述地將固定部件設(shè)置于側(cè)面的一處，從而能夠使來(lái)自于固定部件的應(yīng)力的方向成為沿著側(cè)面的平面方向，能夠抑制由來(lái)自固定部件的應(yīng)力所引起的基板的形變。因此，能夠抑制由該基板的形變所導(dǎo)致的干涉濾波器的分辨率降低。
[0017]在本應(yīng)用例的光學(xué)濾波器器件中，優(yōu)選，所述固定部件沿著所述側(cè)面的與厚度方向交叉的一邊而設(shè)置。
[0018]在本應(yīng)用例中，沿著側(cè)面的與厚度方向交叉的一邊設(shè)置有固定部件。
[0019]在這樣的構(gòu)成中，例如可將固定部件設(shè)置于側(cè)面的大致整面，與固定固定部件的側(cè)面的局部的情況相比，能夠增大固定面積。由此，即使使用更低彈性的材料作為固定部件，也能夠使固定部件的固定力為期望值以上，能夠抑制基板的脫落。
[0020]在本應(yīng)用例的光學(xué)濾波器器件中，優(yōu)選，所述固定部件以與將所述側(cè)面作為固定端的所述基板的旋轉(zhuǎn)相應(yīng)的應(yīng)力彈性變形。
[0021]在本應(yīng)用例中，固定部件以與將側(cè)面作為固定端的基板的旋轉(zhuǎn)相應(yīng)的應(yīng)力彈性變形。
[0022]在此，對(duì)于在一處固定基板側(cè)面的構(gòu)成，如上所述，有時(shí)會(huì)在基板上產(chǎn)生以固定位置為固定端的基板厚度方向的振動(dòng)。在這樣的振動(dòng)中，由于在固定端處，基板沿著以該固定端為基點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)方向位移，因此，對(duì)應(yīng)于該基板的旋轉(zhuǎn)的應(yīng)力作用于固定部件和基板。
[0023]對(duì)此，在本應(yīng)用例中，固定部件由具有受到上述應(yīng)力而彈性變形的程度的低彈性的材料形成。因此，即使由于外部干擾等的影響而使引發(fā)上述振動(dòng)的外力作用于了干涉濾波器時(shí)，也能夠通過(guò)固定部件彈性變形來(lái)抑制上述振動(dòng)余留。
[0024]在本應(yīng)用例的光學(xué)濾波器器件中，優(yōu)選，所述底座部具有與所述側(cè)面相對(duì)的固定面，所述側(cè)面固定于所述固定面，所述側(cè)面和所述固定面中任一方具有朝著另一方突出并與所述另一方抵接的突出部。
[0025]在本應(yīng)用例中，突出部從基板的側(cè)面和底座部的固定面中任一方朝著另一方突出并抵接。并且，在被突出部分隔開(kāi)的側(cè)面與固定面之間設(shè)有固定部件。
[0026]在這樣的構(gòu)成中，能夠通過(guò)突出部的突出方向的尺寸限定側(cè)面與固定面之間的距離，能夠在使側(cè)面與固定面隔開(kāi)的同時(shí)，使基板相對(duì)于底座部定位并固定。
[0027]另外，例如在使用粘接劑作為固定部件的情況下，即使在側(cè)面與固定面靠近的方向上發(fā)生了該粘接劑的固化收縮，也能夠抑制側(cè)面與固定面之間的距離變動(dòng)，能夠提高定位精度。
[0028]在本應(yīng)用例的光學(xué)濾波器器件中，優(yōu)選，所述側(cè)面和所述固定面中任一方具有多個(gè)所述突出部，所述突出部具有朝著所述另一方變凸的曲面形狀。
[0029]在本應(yīng)用例中，突出部具有從側(cè)面和固定面中的一方朝著另一方變凸的曲面形狀，這樣的突出部設(shè)有多個(gè)。
[0030]在這樣的構(gòu)成中，突出部具有沿著側(cè)面和固定面的方向的截面積朝著突出方向而縮小的曲面形狀，能夠使與側(cè)面和固定面中另一方抵接時(shí)的接觸面積變小。由此，能夠更可靠地抑制由外部干擾引起的振動(dòng)從底座部傳遞而來(lái)。另外，通過(guò)用多個(gè)突出部抵接，從而能夠在縮小接觸面積的同時(shí)，提高定位精度。
[0031]在本應(yīng)用例的光學(xué)濾波器器件中，優(yōu)選，所述突出部設(shè)于所述固定面一側(cè)，并具有比所述固定部件高的彈性模量。
[0032]在本應(yīng)用例中，突出部設(shè)于底座部的固定面，由具有比固定部件高的彈性模量的材料形成。
[0033]在這樣的構(gòu)成中，例如通過(guò)將熱固化性樹(shù)脂、光固化性樹(shù)脂等從液體固化為固體的材料涂布于固定面并使其固化，從而能夠容易地形成突出部。另外，由于固化收縮時(shí)的應(yīng)力不會(huì)作用于干涉濾波器的基板，因此，不會(huì)發(fā)生由該固化收縮引起的基板的形變，能夠抑制干涉濾波器的分辨率降低。
[0034]在本應(yīng)用例的光學(xué)濾波器器件中，優(yōu)選，所述干涉濾波器還具備:變更所述一對(duì)反射膜的間隙尺寸的間隙變更部，所述基板包括:第一基板，所述一對(duì)反射膜中任一反射膜設(shè)置于所述第一基板；以及第二基板，所述一對(duì)反射膜中另一反射膜設(shè)置于所述第二基板，所述間隙變更部通過(guò)使所述第二基板向所述第一基板一側(cè)撓曲(彎曲)來(lái)變更所述間隙尺寸，所述固定部件以與驅(qū)動(dòng)所述間隙變更部時(shí)將所述固定部件的固定位置作為固定端的所述基板的旋轉(zhuǎn)相應(yīng)的應(yīng)力彈性變形。
[0035]在本應(yīng)用例中，構(gòu)成為通過(guò)間隙變更來(lái)使第二基板撓曲，從而能夠變更間隙尺寸。在這樣的構(gòu)成中，當(dāng)間隙變更部使第二基板撓曲時(shí)，有時(shí)會(huì)由于隨著第二基板的變形而作用于干涉濾波器的應(yīng)力導(dǎo)致在干涉濾波器上產(chǎn)生上述那樣的振動(dòng)。這樣，即使在干涉濾波器上產(chǎn)生了上述振動(dòng)時(shí)，也能夠通過(guò)固定部件彈性變形來(lái)恰當(dāng)?shù)匾种粕鲜稣駝?dòng)的余留。
[0036]本發(fā)明的一應(yīng)用例所涉及的光學(xué)模塊的特征在于，具備:干涉濾波器，具有彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜和設(shè)有所述一對(duì)反射膜中任一反射膜的基板；底座部，所述基板固定于所述底座部；固定部件，將所述基板的一處固定于所述底座部；以及檢測(cè)部，檢測(cè)通過(guò)所述干涉濾波器所提取的光，所述基板的表面中的除被所述固定部件固定的部分以外的部分與所述底座部隔著間隙而配置。
[0037]在本應(yīng)用例中，如上所述，能夠抑制光學(xué)濾波器器件中的干涉濾波器的分辨率降低，能夠在維持分辨率的狀態(tài)下使光從光學(xué)濾波器器件中射出。因此，在光學(xué)模塊中，能夠通過(guò)受光部高分辨率地檢測(cè)期望波長(zhǎng)的光的光量。
[0038]本發(fā)明的一應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備的特征在于，具備:干涉濾波器，具有彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜和設(shè)有所述一對(duì)反射膜中任一反射膜的基板；底座部，所述基板固定于所述底座部；固定部件，將所述基板的一處固定于所述底座部；以及處理部，實(shí)施基于通過(guò)所述干涉濾波器所提取的光的處理，所述基板的表面中的除被所述固定部件固定的部分以外的部分與所述底座部隔著間隙而配置。
[0039]在本應(yīng)用例中，如上所述，能夠抑制光學(xué)濾波器器件中的干涉濾波器的分辨率降低，能夠在維持分辨率的狀態(tài)下使光從光學(xué)濾波器器件中射出。因此，可提供能夠基于從光學(xué)濾波器器件中輸出的高分辨率的光實(shí)施高精度的處理的電子設(shè)備。
【附圖說(shuō)明】
[0040]圖1是示出本發(fā)明所涉及的第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器器件的概略構(gòu)成的俯視圖。
[0041]圖2是示出上述第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器器件的概略構(gòu)成的截面圖。
[0042]圖3是示出上述第一實(shí)施方式的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的概略構(gòu)成的俯視圖。
[0043]圖4是示出上述第一實(shí)施方式的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的概略構(gòu)成的截面圖。
[0044]圖5是示出上述第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器器件的制造工序的圖。
[0045]圖6的(A)和(B)是示意性示出濾波器固定工序中的底座和波長(zhǎng)可變干涉濾波器的圖。
[0046]圖7的(A)和(B)是示意性示出濾波器固定工序中的底座和波長(zhǎng)可變干涉濾波器的圖。
[0047]圖8的(A)和(B)是示意性示出濾波器固定工序中的底座和波長(zhǎng)可變干涉濾波器的圖。
[0048]圖9的(A)和(B)是示意性示出濾波器固定工序中的底座和波長(zhǎng)可變干涉濾波器的圖。
[0049]圖10是示意性示出濾波器固定工序中的底座和波長(zhǎng)可變干涉濾波器的圖。
[0050]圖11是示出本發(fā)明所涉及的第二實(shí)施方式中的測(cè)色裝置的概略構(gòu)成的框圖。
[0051]圖12是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的一個(gè)例子的氣體檢測(cè)裝置的概略圖。
[0052]圖13是示出圖12的氣體檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖。
[0053]圖14是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的一個(gè)例子的食物分析裝置的概略構(gòu)成的圖。
[0054]圖15是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的一個(gè)例子的分光照相機(jī)的概略構(gòu)成的示意圖。
[0055]符號(hào)的說(shuō)明
[0056]1…測(cè)色裝置(電子設(shè)備)、3...測(cè)色傳感器(光學(xué)模塊)、4...控制裝置(控制部)、5…波長(zhǎng)可變干涉濾波器(干涉濾波器)、31…檢測(cè)部(受光部)、51…固定基板、51A…側(cè)面、52...可動(dòng)基板、52B…基板表面、54...固定反射膜、55...可動(dòng)反射膜、56...靜電致動(dòng)器(間隙變更部)、100…氣體檢測(cè)裝置(電子設(shè)備)、137…受光元件(受光部)、138…控制部、200…食物分析裝置(電子設(shè)備)、213