提高通孔o(hù)pc模型的適用面的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)鄰近修正(0PC)技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，本發(fā)明涉及一種提高通孔0PC模型的適用面的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]—般來說，通孔(Contact/Via)的0PC測試圖形都是對稱設(shè)計(jì)的(包括上下對稱、左右對稱和中心對稱)規(guī)則圖形，其非常受限于涵蓋各種實(shí)際的設(shè)計(jì)。
[0003]圖Ι-a至圖Ι-d為現(xiàn)有技術(shù)中的四種傳統(tǒng)的通孔0PC測試圖形的示意圖；而圖2_a至圖2-b為現(xiàn)有技術(shù)中的兩種復(fù)雜的實(shí)際通孔的生產(chǎn)設(shè)計(jì)示意圖。比較圖Ι-a至圖Ι-d和圖2-a至圖2-b，可以發(fā)現(xiàn)，掩模版(mask)上實(shí)際通孔的設(shè)計(jì)情況遠(yuǎn)比理想的圖形復(fù)雜。因此，這會導(dǎo)致現(xiàn)有的0PC模型在對稱設(shè)計(jì)(理想狀態(tài))的時(shí)候非常精確，但是在面對實(shí)際的復(fù)雜設(shè)計(jì)時(shí)往往并不可靠，不能涵蓋各種實(shí)際的設(shè)計(jì)。
[0004]在實(shí)踐中，僅是對實(shí)際設(shè)計(jì)的0PC模型進(jìn)行驗(yàn)證(verify),但是不能在建立0PC模型的伊始就使得模型盡可能地涵蓋更多的設(shè)計(jì)圖形。另外，不斷地事后驗(yàn)證也導(dǎo)致了整個(gè)過程的循環(huán)時(shí)間過長。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種提高通孔0PC模型的適用面的方法，突破現(xiàn)有的通孔0PC模型覆蓋能力的局限，使得其測試圖形能夠涵蓋更多實(shí)際的復(fù)雜設(shè)計(jì)情形。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種提高通孔0PC模型的適用面的方法，包括步驟:
[0007]提供對稱設(shè)計(jì)的一測試圖形，所述測試圖形上包括多個(gè)排成陣列的圖形單元，每一所述圖形單元代表實(shí)際晶圓上的一通孔；所述測試圖形的中心為基準(zhǔn)點(diǎn)，多個(gè)所述圖形單元中的一個(gè)位于所述基準(zhǔn)點(diǎn)上，其余所述圖形單元以所述基準(zhǔn)點(diǎn)呈軸對稱和中心對稱；
[0008]以所述基準(zhǔn)點(diǎn)為軸心，旋轉(zhuǎn)所述圖形單元的位置至某一角度而所述圖形單元本身不旋轉(zhuǎn)，形成新的所述測試圖形。
[0009]可選地，所述圖形單元的位置圍繞所述基準(zhǔn)點(diǎn)旋轉(zhuǎn)的角度為15度、30度或者45度。
[0010]可選地，所述圖形單元的大小都是相同的。
[0011 ] 可選地，所述圖形單元的大小不是相同的。
[0012]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供一種提高通孔0PC模型的適用面的方法，包括步驟:
[0013]提供對稱設(shè)計(jì)的一測試圖形，所述測試圖形上包括多個(gè)排成陣列的圖形單元，每一所述圖形單元代表實(shí)際晶圓上的一通孔；所述測試圖形的中心為基準(zhǔn)點(diǎn)，所有所述圖形單元以所述基準(zhǔn)點(diǎn)呈軸對稱和中心對稱；
[0014]將所述圖形單元分為多個(gè)列，各列之間交錯(cuò)地向上或者向下移動(dòng)某一距離，使移動(dòng)后的某一列與旁邊的另一列之間形成某一參差角度，形成新的所述測試圖形。
[0015]可選地，所述圖形單元的各列交錯(cuò)移動(dòng)后的某一列與旁邊的另一列之間形成的參差角度為15度、30度或者45度。
[0016]可選地，所述圖形單元的大小都是相同的。
[0017]可選地，所述圖形單元的大小不是相同的。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0019]本發(fā)明通過開發(fā)兩種規(guī)則(旋轉(zhuǎn)和交錯(cuò)偏移)來在0PC測試圖形中產(chǎn)生非對稱的設(shè)計(jì)，提高了通孔0PC模型的適用面(coverage)，突破了現(xiàn)有的通孔0PC模型覆蓋能力的局限，使得其測試圖形能夠涵蓋更多實(shí)際的復(fù)雜設(shè)計(jì)情形。
[0020]本發(fā)明除了在建立0PC模型的初始階段就增加了 0PC模型的適用面外，還改善了0PC模型的精度和可靠度，縮短了驗(yàn)證的循環(huán)時(shí)間。
【附圖說明】
[0021]本發(fā)明的上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢將通過下面結(jié)合附圖和實(shí)施例的描述而變得更加明顯，其中:
[0022]圖Ι-a至圖Ι-d為現(xiàn)有技術(shù)中的四種傳統(tǒng)的通孔0PC測試圖形的示意圖；
[0023]圖2_a至圖2-b為現(xiàn)有技術(shù)中的兩種復(fù)雜的實(shí)際通孔的生產(chǎn)設(shè)計(jì)示意圖；
[0024]圖3-a為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的提高通孔0PC模型的適用面的方法流程示意圖；
[0025]圖3-b為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的提高通孔0PC模型的適用面的方法流程示意圖；
[0026]圖4-a為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的通孔0PC模型中對稱設(shè)計(jì)的一個(gè)測試圖形的示意圖；
[0027]圖4-b至圖4-d分別為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的通孔0PC模型中圖形單元的位置旋轉(zhuǎn)了 15度、30度以及45度的測試圖形的示意圖；
[0028]圖5-a為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的通孔0PC模型中對稱設(shè)計(jì)的一個(gè)測試圖形的示意圖；
[0029]圖5-b至圖5-d分別為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的通孔0PC模型中各列圖形單元之間交錯(cuò)地移動(dòng)后，相鄰兩列之間形成的參差角度為15度、30度以及45度的測試圖形的示意圖；
[0030]圖6為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的提高通孔0PC模型的適用面的方法可應(yīng)用于很多實(shí)際的復(fù)雜設(shè)計(jì)中的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031]下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，在以下的描述中闡述了更多的細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明顯然能夠以多種不同于此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下根據(jù)實(shí)際應(yīng)用情況作類似推廣、演繹，因此不應(yīng)以此具體實(shí)施例的內(nèi)容限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0032]提高通孔0PC模型的適用面的方法的第一實(shí)施例
[0033]圖3-a為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的提高通孔0PC模型的適用面的方法流程示意圖。如圖3-a所示，該方法主要包括:
[0034]執(zhí)行步驟S301，提供對稱設(shè)計(jì)的一測試圖形。圖4-a為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的通孔0PC模型中對稱設(shè)計(jì)的一個(gè)測試圖形的示意圖。需要注意的是，這個(gè)以及后續(xù)其他的附圖均僅作為示例，其并非是按照等比例的條件繪制的，并且不應(yīng)該以此作為對本發(fā)明實(shí)際要求的保護(hù)范圍構(gòu)成限制。該測試圖形400上包括多個(gè)排成陣列的圖形單元401，每一圖形單元401代表實(shí)際晶圓上的一通孔。該測試圖形400的中心為基準(zhǔn)點(diǎn)(未標(biāo)示)，多個(gè)圖形單元401中的一個(gè)位于該基準(zhǔn)點(diǎn)上，其余圖形單元401以該基準(zhǔn)點(diǎn)呈軸對稱和中心對稱。
[0035]執(zhí)行步驟S302，以該基準(zhǔn)點(diǎn)為軸心，旋轉(zhuǎn)圖形單元401的位置至某一角度，但圖形單元401本身不旋轉(zhuǎn)，形成新的測試圖形400’。其中，圖形單元401的位置圍繞該基準(zhǔn)點(diǎn)旋轉(zhuǎn)的角度可以為15度、30度或者4