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偏振變換元件和投影機(jī)的制作方法

文檔序號(hào):9523074閱讀:462來源:國知局
偏振變換元件和投影機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及偏振變換元件和投影機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]例如,如專利文獻(xiàn)1所記載,提出了偏振分離面相對(duì)設(shè)置的偏振分離單元。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007-193119號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]在如上所述的偏振分離單元即偏振變換元件中,設(shè)計(jì)為相互相對(duì)的2個(gè)偏振分離面(偏振分離膜)在光入射面相接。
[0005]但是,有時(shí)由于制造的偏差使得相對(duì)的偏振分離面彼此在光入射面相互離開配置。在此情況下,入射到光入射面的偏振分離面彼此之間的光,不入射到偏振分離面,不進(jìn)行偏振變換。因此,存在偏振分尚單兀的偏振變換效率降低的問題。
[0006]本發(fā)明的一個(gè)方式是鑒于上述問題點(diǎn)做出的,以提供能夠抑制偏振變換效率降低的偏振變換元件和具備該偏振變換元件的投影機(jī)為目的之一。
[0007]本發(fā)明的偏振變換元件的一個(gè)方式,其特征在于,具備:第一光學(xué)塊,包括:第一偏振分離膜、第一反射膜、第一面和第一光入射面;和第二光學(xué)塊,包括:第二偏振分離膜、第二反射膜、第二面和第二光入射面,所述第一光學(xué)塊和所述第二光學(xué)塊,以所述第一面與所述第二面相對(duì)的方式接合,所述第一偏振分離膜,介由所述第一面和所述第二面與所述第二偏振分離膜相對(duì)配置,所述第一偏振分離膜,在所述第一面的從所述第一光入射面離開的位置終止。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的偏振變換元件的一個(gè)方式,第一偏振分離膜在第一面的從第一光入射面離開的位置終止,所以,即使在發(fā)生了制造的偏差的情況下,也能夠抑制第一偏振分離膜在第一光入射面的從第一面離開的位置終止。由此,能夠抑制從與光的入射方向平行的方向來看時(shí)在第一偏振分離膜和第一面之間產(chǎn)生間隙。因此,根據(jù)本發(fā)明的偏振變換元件的一個(gè)方式,能夠降低不入射到第一偏振分離膜的光的量,其結(jié)果是,能夠抑制偏振變換效率降低。
[0009]可以設(shè)為如下構(gòu)成:所述第二偏振分離膜,在所述第二面的從所述第二光入射面離開的位置終止。
[0010]根據(jù)該構(gòu)成,在第二光學(xué)塊中,也能夠抑制第二偏振分離膜在第二光入射面的從第二面離開的位置終止。由此,能夠抑制從與光的入射方向平行的方向來看時(shí)在第二偏振分離膜和第二面之間產(chǎn)生間隙。因此,能夠降低不入射到第二偏振分離膜的光的量,能夠進(jìn)一步抑制偏振變換效率降低。
[0011]可以設(shè)為如下構(gòu)成:所述第一偏振分離膜和所述第二偏振分離膜連接。
[0012]根據(jù)該構(gòu)成,能夠減少透射第一偏振分尚膜和第二偏振分尚膜的間隙的光的量,所以能夠進(jìn)一步抑制偏振變換效率降低。
[0013]可以為如下構(gòu)成:在所述第一面和所述第二面之間設(shè)置反射元件。
[0014]根據(jù)該構(gòu)成,即使在第一偏振分離膜的終止的位置與第一光入射面的距離和第二偏振分離膜的終止的位置與第二光入射面的距離不同的情況下,也能夠抑制光透射第一偏振分離膜和第二偏振分離膜的間隙的情況。
[0015]可以設(shè)為如下構(gòu)成:所述第一光學(xué)塊,包括:第三偏振分離膜和第三反射膜,所述第一反射膜在所述第一光入射面終止,所述第三偏振分離膜和所述第三反射膜在所述第一光入射面終止,在所述第一光入射面的所述第一反射膜終止的位置與所述第一面的距離,小于在所述第一光入射面的所述第三偏振分離膜終止的位置與在所述第一光入射面的所述第三反射膜終止的位置的距離。
[0016]根據(jù)該構(gòu)成,能夠設(shè)計(jì)為:第一偏振分離膜與第一反射膜的間隔,和第三偏振分離膜與第三反射膜的間隔相互相等。由此,例如,在使用將層疊有玻璃等基板的層疊體斜向切斷的制造方法的情況下,能夠設(shè)為多個(gè)基板的厚度相互相同。因此,根據(jù)該構(gòu)成,能夠降低制造成本。
[0017]可以設(shè)為如下構(gòu)成:所述第二光學(xué)塊,包括:第四偏振分離膜和第四反射膜,所述第二反射膜在所述第二光入射面終止,所述第四偏振分離膜和所述第四反射膜在所述第二光入射面終止,所述第二光入射面的所述第二反射膜終止的位置與所述第二面的距離,小于所述第二光入射面的所述第四偏振分離膜終止的位置與所述第二光入射面的所述第四反射膜終止的位置的距離。
[0018]根據(jù)該構(gòu)成,能夠進(jìn)一步降低制造成本。
[0019]可以設(shè)為如下構(gòu)成:所述第一光學(xué)塊,包括:第三偏振分離膜和第三反射膜,所述第一偏振分離膜和所述第一反射膜平行配置,所述第三偏振分離膜和所述第三反射膜平行配置,所述第一偏振分離膜與所述第一反射膜的間隔,大于所述第三偏振分離膜與所述第三反射膜的間隔。
[0020]根據(jù)該構(gòu)成,第一光入射面的第一反射膜終止的位置與第一面的距離,和第一光入射面的第三偏振分離膜終止的位置與第一光入射面的第三反射膜終止的位置的距離保持相等,并且,能夠抑制從與光的入射方向平行的方向來看時(shí)在第一偏振分離膜與第一面之間產(chǎn)生間隙。
[0021]可以設(shè)為如下構(gòu)成:所述第二光學(xué)塊,包括:第四偏振分離膜和第四反射膜,所述第二偏振分離膜和所述第二反射膜平行配置,所述第四偏振分離膜和所述第四反射膜平行配置,所述第二偏振分離膜與所述第二反射膜的間隔,大于所述第四偏振分離膜與所述第四反射膜的間隔。
[0022]根據(jù)該構(gòu)成,能夠抑制從與光的入射方向平行的方向來看時(shí)在第二偏振分離膜與第二面之間產(chǎn)生間隙。
[0023]本發(fā)明的投影機(jī)的一個(gè)方式,其特征在于,具備:上述偏振變換元件;光源;將從所述光源出射的光向所述偏振變換元件導(dǎo)光的透鏡;調(diào)制從所述偏振變換元件出射的光的光調(diào)制元件;以及將由所述光調(diào)制元件調(diào)制的光進(jìn)行投影的投影光學(xué)系統(tǒng)。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的投影機(jī)的一個(gè)方式,包括上述的偏振變換元件,所以能夠抑制光的利用效率降低。
【附圖說明】
[0025]圖1是表示第一實(shí)施方式的投影機(jī)的示意圖。
[0026]圖2是表不第一實(shí)施方式的偏振變換元件的主視圖。
[0027]圖3是表示第一實(shí)施方式的偏振變換元件的圖,是圖2的II1-1II剖面圖。
[0028]圖4是表示在第一實(shí)施方式的偏振變換元件入射了光的情況的圖。
[0029]圖5是表不第二實(shí)施方式的偏振變換兀件的剖面圖。
[0030]圖6是表示第二實(shí)施方式的偏振變換元件和第一透鏡陣列的圖。
[0031]圖7是圖6的部分放大圖。
[0032]圖8是表不第三實(shí)施方式的偏振變換兀件的剖面圖。
[0033]圖9是用于說明第三實(shí)施方式的偏振變換元件的效果的圖。
[0034]圖10是表不比較例的偏振變換兀件的剖面圖。
[0035]圖11是表不比較例的偏振變換兀件的部分放大剖面圖。
[0036]符號(hào)說明
[0037]1...投影機(jī),
[0038]2...光源,
[0039]6...投影光學(xué)系統(tǒng),
[0040]33,33a,33b,33c,34...透鏡,
[0041]40,140,240,340...偏振變換元件,
[0042]41,141,341...第一光學(xué)塊,
[0043]41a,141a...第一光入射面,
[0044]41c,141c,341c...第一接合面(第一面),
[0045]42,142,342...第二光學(xué)塊,
[0046]42a,142a...第二光入射面,
[0047]42c,142c,342c...第二接合面(第二面),
[0048]43a,143a,343a...中央側(cè)偏振分尚膜(第一偏振分尚膜),
[0049]43b...外側(cè)偏振分尚膜(第三偏振分尚膜),
[0050]44a,144a,344a......中央側(cè)偏振分尚膜(第二偏振分尚膜),
[0051]44b...外側(cè)偏振分咼膜(第四偏振分咼膜),
[0052]45a...中央側(cè)反射膜(第一反射膜),
[0053]45b...外側(cè)反射膜(第三反射膜),
[0054]46a...中央側(cè)反射膜(第二反射膜),
[0055]46b...外側(cè)反射膜(第四反射膜),
[0056]60...反射元件
【具體實(shí)施方式】
[0057]以下,參照附圖,對(duì)于本發(fā)明的實(shí)施方式的投影機(jī)進(jìn)行說明。
[0058]本發(fā)明的范圍不限定于以下的實(shí)施方式,在本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)能夠任意變更。并且,在以下的附圖中,為了容易理解各構(gòu)成,有時(shí)使實(shí)際結(jié)構(gòu)和各結(jié)構(gòu)的比例尺和/或數(shù)量等不同。
[0059]并且,在附圖中,適當(dāng)示出XYZ坐標(biāo)系作為三維正交坐標(biāo)系,以Z軸方向作為圖2和圖3所示的偏振變換元件40的高度方向即圖2的上下方向,以Y軸方向作為偏振變換元件40的厚度方向即圖3的上下方向,以X軸方向作為偏振變換元件40的寬度方向即圖2的左右方向。
[0060](第一實(shí)施方式)
[0061]圖1是表示本實(shí)施方式的投影機(jī)1的示意圖。
[0062]投影機(jī)1,如圖1所示,概略具備:光源2、凹透鏡20、積分光學(xué)系統(tǒng)30、偏振變換元件40、重疊光學(xué)系統(tǒng)50、色分離光學(xué)系統(tǒng)3、光調(diào)制裝置4R、光調(diào)制裝置4G、光調(diào)制裝置4B、合成光學(xué)系統(tǒng)5、投影光學(xué)系統(tǒng)6。
[0063]光源2向凹透鏡20出射照明光WL。光源2的構(gòu)成,不特別限定,在本實(shí)施方式中,光源2例如具備:超高壓水銀燈、金屬鹵化物燈、氙燈等燈;和反射燈的光的反射器。
[0064]從光源2出射的照明光WL,經(jīng)由凹透鏡20,入射到積分光學(xué)系統(tǒng)30。
[0065]積分光學(xué)系統(tǒng)30,用于與重疊光學(xué)系統(tǒng)50協(xié)同使得在被照明區(qū)域的照度分布均一化。積分光學(xué)系統(tǒng)30,具備:第一透鏡陣列31和第二透鏡陣列32。通過第一透鏡陣列31和第二透鏡陣列32,來自光源2的照明光WL,被導(dǎo)光至偏振變換元件40。偏振變換元件40,如圖2所不,具備:中央光入射區(qū)域40a、光入射區(qū)域40d和光入射區(qū)域40e。對(duì)于偏振變換元件40的構(gòu)成,在之后的段落詳述。
[0066]第一透鏡陣列31,具備奇數(shù)列包括多個(gè)透鏡33的透鏡列。本實(shí)施方式中,寬度方向(X軸方向)的透鏡列的數(shù)為奇數(shù)。在圖1中,在寬度方向排列有5個(gè)透鏡列。各透鏡33的寬度以及厚度一樣。中央的透鏡列的透鏡33的光軸,通過后述的偏振變換元件40的第一光學(xué)塊41與第二光學(xué)塊42的接合界面。透鏡33,相當(dāng)于技術(shù)方案中的透鏡。
[0067]第二透鏡陣列32,具備奇數(shù)列包括多個(gè)透鏡34的透鏡列。對(duì)應(yīng)于第一透鏡陣列31具備的多個(gè)透鏡
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