吸音隔聲裝置及光刻設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種吸音隔聲裝置及光刻設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路(IC)的制造過(guò)程中，通常需要用到光刻設(shè)備。光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到硅片上的設(shè)備。
[0003]光刻設(shè)備可以將掩模的圖案對(duì)應(yīng)形成于硅片的表面，作為單層的電路圖案。具體的，由照明裝置提供光線，光線經(jīng)過(guò)掩模，并將掩模的圖案經(jīng)過(guò)物鏡照射至硅片的表面，并與硅片表面的化學(xué)物(例如光阻)進(jìn)行反應(yīng)，形成圖案。
[0004]由于高精度和高分辨率作為光刻技術(shù)當(dāng)前追求的目標(biāo)，光刻設(shè)備的各部件之間的相互定位需要十分精確，例如保持圖案形成裝置(例如掩模)的掩模臺(tái)、投影系統(tǒng)和承載硅片的工件臺(tái)。除了掩模臺(tái)和工件臺(tái)的定位外，投影系統(tǒng)也面臨定位精準(zhǔn)的需求。在當(dāng)前光刻設(shè)備中的投影系統(tǒng)包括承載結(jié)構(gòu)和光學(xué)元件，承載結(jié)構(gòu)例如是透鏡座架(用于檢測(cè)透射光的情形)或反射鏡框架(用于檢測(cè)反射光的情形)，光學(xué)元件例如是物鏡等。
[0005]在光刻設(shè)備中，噪聲會(huì)對(duì)光刻設(shè)備內(nèi)部環(huán)境產(chǎn)生影響，例如影響物鏡以及主基板等。噪聲主要包括環(huán)境噪聲、電氣噪聲、掩模臺(tái)以及工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)噪聲。聲噪載荷(Acoustics Load)定義為空氣的壓力隨時(shí)間的變化作用在物鏡和主基板等內(nèi)部環(huán)境上的效應(yīng)。若想要提高光刻設(shè)備的光刻精度以及分辨率，就必須將聲噪載荷降低甚至消除。
[0006]那么如何對(duì)光刻設(shè)備內(nèi)部環(huán)境進(jìn)行降噪處理便成為本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的技術(shù)問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種吸音隔聲裝置及光刻設(shè)備，能夠降低光刻設(shè)備內(nèi)部環(huán)境的噪音。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種吸音隔聲裝置，用于消除噪聲源產(chǎn)生的噪聲，所述裝置包括:
[0009]中空板，所述中空板內(nèi)部中空，并將中空板內(nèi)部抽成真空；
[0010]吸聲材料，所述吸聲材料粘附于所述中空板的表面。
[0011]進(jìn)一步的，本發(fā)明還提出了一種吸音隔聲裝置，包括:
[0012]中空板，所述中空板內(nèi)部中空，并將中空板內(nèi)部抽成真空；
[0013]梯形結(jié)構(gòu)，粘附于所述中空板的表面；
[0014]吸聲材料，粘附于所述梯形結(jié)構(gòu)的表面。
[0015]進(jìn)一步的，在所述的吸音隔聲裝置中，所述梯形結(jié)構(gòu)的厚度小于1mm。
[0016]進(jìn)一步的，在所述的吸音隔聲裝置中，所述梯形結(jié)構(gòu)上設(shè)有若干微穿孔；所述吸聲材料設(shè)置在所述梯形結(jié)構(gòu)的內(nèi)表面。
[0017]進(jìn)一步的，在所述的吸音隔聲裝置中，所述梯形結(jié)構(gòu)頂層設(shè)有若干微穿孔；所述頂層內(nèi)表面黏附有吸聲材料。
[0018]進(jìn)一步的，在所述的吸音隔聲裝置中，所述微穿孔的孔徑小于1mm。
[0019]進(jìn)一步的，在所述的吸音隔聲裝置中，所述微穿孔在所述梯形結(jié)構(gòu)頂層的穿孔率范圍是1%?5%。
[0020]進(jìn)一步的，在所述的吸音隔聲裝置中，所述吸音隔聲裝置還包括分叉結(jié)構(gòu)，所述分叉結(jié)構(gòu)設(shè)于所述中空板的外側(cè)壁。
[0021]進(jìn)一步的，在所述的吸音隔聲裝置中，所述分叉結(jié)構(gòu)為Y型或者T型。
[0022]進(jìn)一步的，在所述的吸音隔聲裝置中，所述分叉結(jié)構(gòu)表面粘附有吸聲材料。
[0023]進(jìn)一步的，在所述的吸音隔聲裝置中，所述吸聲材料的材質(zhì)為泡沫鋁。
[0024]進(jìn)一步的，本發(fā)明還提出了一種光刻設(shè)備，內(nèi)部設(shè)有如上文中任意一種吸音隔聲裝置，所述設(shè)備包括:
[0025]基礎(chǔ)框架，所述基礎(chǔ)框架采用吸音隔聲裝置組成的吸音隔聲壁，設(shè)于所述基礎(chǔ)框架內(nèi)部的掩膜臺(tái)，設(shè)于所述基礎(chǔ)框架內(nèi)的減振器，與所述減振器相固定的主基板，與所述主基板相固定的物鏡，與所述主基板相固定的測(cè)量裝置，設(shè)于所述基礎(chǔ)框架的工件臺(tái)以及設(shè)于所述基礎(chǔ)框架內(nèi)部的吸音隔聲裝置，所述吸音隔聲裝置位于所述物鏡與所述掩膜臺(tái)之間。
[0026]進(jìn)一步的，在所述的光刻設(shè)備中，所述吸音隔聲裝置還位于所述物鏡與所述工件臺(tái)之間。
[0027]進(jìn)一步的，在所述的光刻設(shè)備中，所述光刻設(shè)備還包括透光材料，所述透光材料位于所述物鏡與所述掩膜臺(tái)之間，以及所述物鏡與所述工件臺(tái)之間。
[0028]進(jìn)一步的，在所述的光刻設(shè)備中，所述掩膜臺(tái)為磁懸浮式，所述掩膜臺(tái)分為掩膜臺(tái)粗動(dòng)臺(tái)與掩膜臺(tái)微動(dòng)臺(tái)，所述透光材料位于所述掩膜臺(tái)粗動(dòng)臺(tái)與掩膜臺(tái)微動(dòng)臺(tái)之間。
[0029]進(jìn)一步的，在所述的光刻設(shè)備中，所述工件臺(tái)為磁懸浮式，所述工件臺(tái)分為工件臺(tái)粗動(dòng)臺(tái)與工件臺(tái)微動(dòng)臺(tái)，所述透光材料位于所述工件臺(tái)粗動(dòng)臺(tái)與工件臺(tái)微動(dòng)臺(tái)之間。
[0030]進(jìn)一步的，在所述的光刻設(shè)備中，所述透光材料為透光膜或者透光玻璃。
[0031]進(jìn)一步的，在所述的光刻設(shè)備中，所述透光材料為單層或多層。
[0032]進(jìn)一步的，在所述的光刻設(shè)備中，對(duì)所述透光材料施加張拉預(yù)應(yīng)力，以提高所述透光材料法向剛度。
[0033]與現(xiàn)有技術(shù)相比本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:中空板比實(shí)心板隔聲效果好，重量輕，且對(duì)中空板內(nèi)抽真空，降低空氣密度后，可以獲得極佳的隔聲效果，并且吸聲材料具有良好的吸聲性能，能夠進(jìn)一步的起到隔音效果。
[0034]進(jìn)一步的，本發(fā)明提出的梯形結(jié)構(gòu)可以增加中空板的吸聲能力，將其應(yīng)用在光刻設(shè)備內(nèi)部，可以增加光刻設(shè)備內(nèi)的總體吸聲面積，降低混響噪聲，梯形結(jié)構(gòu)頂層的微穿孔可以擴(kuò)展結(jié)構(gòu)吸聲頻段和吸聲能力，同時(shí)，提出的光刻設(shè)備采用上述吸音隔聲裝置，由于吸音隔聲裝置具有寬頻隔聲吸聲能力，降低噪聲對(duì)光刻設(shè)備整機(jī)動(dòng)態(tài)性能的影響，保證了物鏡系統(tǒng)的曝光精確度和調(diào)平調(diào)焦系統(tǒng)的準(zhǔn)確性，進(jìn)而提高了光刻工藝的精度。
【附圖說(shuō)明】
[0035]圖1為本發(fā)明實(shí)施例一中吸音隔聲裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖2為本發(fā)明實(shí)施例二中吸音隔聲裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037]圖3為本發(fā)明實(shí)施例二中吸音隔聲裝置的俯視圖；
[0038]圖4為本發(fā)明實(shí)施例三中吸音隔聲裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖5-圖7為本發(fā)明實(shí)施例三中光刻設(shè)備內(nèi)采用吸音隔聲裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0040]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的吸音隔聲裝置及光刻設(shè)備進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0041]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0042]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0043]實(shí)施例一
[0044]請(qǐng)參考圖1，在本實(shí)施例中，提出了一種吸音隔聲裝置，用于消除噪聲源產(chǎn)生的噪聲，所述裝置包括:
[0045]中空板11，所述中空板11內(nèi)部中空,并將所述中空板11內(nèi)部抽成真空；吸聲材料12，所述吸聲材料12粘附于所述中空板11的表面，在本實(shí)施例中，所述吸聲材料12為泡沫鋁，泡沫鋁具有良好的吸聲性能，并可進(jìn)行表面噴涂。
[0046]所述中空板11較實(shí)心板的隔聲效果好，重量輕，將所述中空板11內(nèi)抽真空，降低空氣密度后，可以獲得較好的隔聲效果，并且在所述中空板11的表面噴涂泡沫鋁之后能進(jìn)一步的提高吸音性能，得到極佳的隔音效果。
[0047]實(shí)施例二
[0048]請(qǐng)參考圖2，在本實(shí)施例中提出的吸音隔聲裝置相比于實(shí)施例一中的吸音隔聲裝置多了梯形結(jié)構(gòu)，所述吸音隔聲裝置包括:中空板21、吸聲材料22以及梯形結(jié)構(gòu)23，其中所述中空板21和吸聲材料22均與實(shí)施例一中的相同，具體請(qǐng)參考實(shí)施例一，在此不再贅述。
[0049]在本實(shí)施例中，所述梯形結(jié)構(gòu)23粘附于所述中空板21的表面，可以是一個(gè)表面也可以是多個(gè)表面，優(yōu)選的，梯形結(jié)構(gòu)23粘附于所述中空板21相對(duì)的兩個(gè)表面，所述吸聲材料22與所述梯形結(jié)構(gòu)23緊貼；梯形結(jié)構(gòu)23上可設(shè)置微穿孔，優(yōu)選的，所述梯形結(jié)構(gòu)23頂層設(shè)有若干微穿孔24 (請(qǐng)參考圖2以及圖3)，所述微穿孔24在所述梯形結(jié)構(gòu)23頂層的穿孔率范圍是1%?5%，例如是2%，所述微穿孔24的孔徑小于1mm，所述梯形結(jié)構(gòu)23的厚度L小于1