本發(fā)明涉及掩膜曝光領(lǐng)域，具體涉及一種曝光裝置及方法。

背景技術(shù)：

1、當(dāng)前的曝光設(shè)備，尤其是電池片的曝光設(shè)備，一般只能對曝光產(chǎn)品進(jìn)行單面曝光，或者采用兩個(gè)曝光工位對曝光產(chǎn)品的兩面依次進(jìn)行曝光，曝光效率較低。因此，申請人研發(fā)了雙面曝光工藝，同步對曝光產(chǎn)品的雙面進(jìn)行曝光，可以提升曝光效率。然而，申請人在研發(fā)的過程中發(fā)現(xiàn)，如何在曝光平臺上使得曝光產(chǎn)品的兩面能夠同時(shí)照射到曝光光線，在曝光產(chǎn)品的兩面都能照射到曝光光線的前提下，如何穩(wěn)定可靠地固定曝光產(chǎn)品，如何在曝光產(chǎn)品的兩面上獲得不同的曝光圖案，如何避免或者降低曝光平臺或者其他支撐部件對曝光過程的影響，均是需要攻克的技術(shù)難題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提供一種曝光裝置及方法，以解決背景技術(shù)中提及的技術(shù)問題之一。

2、為達(dá)到上述目的，本發(fā)明實(shí)施例中提供的技術(shù)方案，具體如下。

3、第一方面，本發(fā)明的實(shí)施例提供一種曝光裝置，包括：

4、曝光平臺，用于承載并固定曝光產(chǎn)品，所述曝光平臺上設(shè)置有透光部；

5、第一曝光組件，用于對曝光產(chǎn)品的第一面進(jìn)行曝光；

6、第二曝光組件，用于對曝光產(chǎn)品的第二面進(jìn)行曝光；

7、控制器，所述控制器分別通信連接所述第一曝光組件和所述第二曝光組件，用于控制所述第一曝光組件的啟閉和所述第二曝光組件的啟閉；

8、工作狀態(tài)下，曝光產(chǎn)品的第二面面向所述透光部設(shè)置于所述曝光平臺上，所述第一曝光組件能夠?qū)ζ毓猱a(chǎn)品的第一面進(jìn)行曝光，所述第二曝光組件投射出的光線能夠穿過透光部以對曝光產(chǎn)品的第二面進(jìn)行曝光；

9、其中，所述第一面和所述第二面為曝光產(chǎn)品上相背的兩面。

10、在一些實(shí)施例中，所述透光部包括貫通所述曝光平臺的透光孔。

11、在一些實(shí)施例中，所述透光孔為階梯孔，所述階梯孔包括沉孔和位于所述沉孔的底壁上的通孔，所述通孔占據(jù)所述沉孔的底壁上的部分區(qū)域，所述沉孔的底壁上未被所述通孔占據(jù)的區(qū)域稱為階梯平臺；工作狀態(tài)下，所述曝光產(chǎn)品的邊沿部位搭接在所述階梯平臺上；所述階梯平臺上設(shè)置有吸附孔，所述吸附孔連通真空吸附裝置；工作狀態(tài)下，所述真空吸附裝置能夠通過所述吸附孔吸附所述曝光產(chǎn)品的邊沿部位；

12、或者，

13、所述透光孔的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置有擋塊；所述擋塊上設(shè)置有吸附孔，所述吸附孔連通真空吸附裝置；工作狀態(tài)下，所述曝光產(chǎn)品的邊沿部位搭接在所述擋塊上，所述真空吸附裝置能夠通過所述吸附孔吸附所述曝光產(chǎn)品的邊沿部位。

14、在一些實(shí)施例中，所述透光部采用以下任一結(jié)構(gòu)：

15、(1)所述曝光平臺為透光材料，所述曝光平臺上用于承載曝光產(chǎn)品的部分區(qū)域構(gòu)成所述透光部；

16、(2)所述曝光平臺上設(shè)置有透光板，所述曝光平臺為透光材料，所述透光板為透光材料，所述透光部包括所述透光板及所述透光板占據(jù)的所述曝光平臺上的部分區(qū)域；

17、(3)所述透光部包括貫通所述曝光平臺的透光孔以及設(shè)置在所述透光孔中的透光板，所述透光板為透光材料；

18、(4)所述透光部包括貫通所述曝光平臺的透光孔以及設(shè)置在所述透光孔上的透光板，所述透光板為透光材料。

19、在一些實(shí)施例中，所述透光部上覆蓋有透光薄膜，所述透光薄膜為透光材料。

20、在一些實(shí)施例中，所述透光薄膜上設(shè)置有透氣孔，所述透光部上設(shè)置有吸附孔，所述吸附孔連通真空吸附裝置；工作狀態(tài)下，所述曝光產(chǎn)品設(shè)置于所述透光薄膜上，所述真空吸附裝置能夠通過所述吸附孔和所述透氣孔吸附所述曝光產(chǎn)品。

21、在一些實(shí)施例中，所述透光薄膜包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第二區(qū)域占據(jù)所述透光薄膜的中部位置，所述第一區(qū)域占據(jù)所述透光薄膜的邊沿位置，所述第一區(qū)域包圍所述第二區(qū)域，所述透氣孔設(shè)置于所述第二區(qū)域上，所述吸附孔設(shè)置于所述第二區(qū)域正對的所述曝光平臺的局部區(qū)域上；

22、或者，所述透氣孔設(shè)置于所述第一區(qū)域上，所述吸附孔設(shè)置于所述第一區(qū)域正對的所述曝光平臺的局部區(qū)域上。

23、在一些實(shí)施例中，所述透光部上覆蓋有第一透光薄膜，所述第一透光薄膜為透光材料；

24、工作狀態(tài)下，曝光產(chǎn)品放置于所述第一透光薄膜上，所述曝光產(chǎn)品上還設(shè)置有第二透光薄膜，所述第二透光薄膜為透光材料。

25、在一些實(shí)施例中，所述透光部上設(shè)置透光支撐部件；

26、工作狀態(tài)下，曝光產(chǎn)品放置于所述透光支撐部件上，使得曝光產(chǎn)品的第二面面向所述透光支撐部件；曝光產(chǎn)品上可以設(shè)置壓平部件，以壓在曝光產(chǎn)品的第一面上；

27、其中，所述透光支撐部件為透光板或者第二掩膜版；所述壓平部件為壓平板或者透光板或者第一掩膜版。

28、在一些實(shí)施例中，當(dāng)所述透光支撐部件為第二掩膜版，所述第二掩膜版的不透光區(qū)域上設(shè)置有吸附曝光產(chǎn)品的吸附孔；和/或，當(dāng)所述壓平部件為第一掩膜版，所述第一掩膜版的不透光區(qū)域上設(shè)置有吸附曝光產(chǎn)品的吸附孔。

29、第二方面，本發(fā)明的實(shí)施例還提供一種曝光方法，包括以下步驟：

30、提供一個(gè)帶有透光部的曝光平臺；

31、在所述透光部上設(shè)置帶有透氣孔的透光薄膜；

32、將曝光產(chǎn)品放置于所述透光薄膜上，使得曝光產(chǎn)品的第二面面向所述透光薄膜；

33、真空吸附所述透光薄膜以及其上的曝光產(chǎn)品；

34、對曝光產(chǎn)品的第一面進(jìn)行曝光；

35、對曝光產(chǎn)品的第二面進(jìn)行曝光；

36、其中，所述第一面和所述第二面為曝光產(chǎn)品上相背的兩面。

37、在一些實(shí)施例中，在所述透光部上設(shè)置的帶有透氣孔的透光薄膜為第一透光薄膜；

38、對曝光產(chǎn)品進(jìn)行曝光之前，在曝光產(chǎn)品上再覆蓋第二透光薄膜。

39、在一些實(shí)施例中，所述透氣孔設(shè)置在透光薄膜的邊沿，以避開曝光產(chǎn)品上的曝光區(qū)域。

40、在一些實(shí)施例中，根據(jù)工藝需要，定期更換所述透光薄膜。

41、第三方面，本發(fā)明的實(shí)施例還提供一種曝光方法，包括以下步驟：

42、提供一個(gè)帶有透光部的曝光平臺；

43、在所述透光部上設(shè)置透光支撐部件；

44、將曝光產(chǎn)品放置于所述透光支撐部件上，使得曝光產(chǎn)品的第二面面向所述透光支撐部件；

45、在曝光產(chǎn)品上再覆蓋壓平部件；

46、對曝光產(chǎn)品的第一面進(jìn)行曝光；

47、對曝光產(chǎn)品的第二面進(jìn)行曝光；

48、其中，所述第一面和所述第二面為曝光產(chǎn)品上相背的兩面；所述透光支撐部件為透光板或者第二掩膜版；所述壓平部件為壓平板或者透光板或者第一掩膜版。

49、由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本發(fā)明的實(shí)施例與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有下列優(yōu)點(diǎn)：在同一個(gè)工位，可以同步實(shí)現(xiàn)曝光產(chǎn)品的雙面曝光，節(jié)省了曝光時(shí)間，提升了曝光效率。在部分實(shí)施例中，改良吸附孔和/或透氣孔的位置，使其不會影響曝光產(chǎn)品的曝光，從而可以提升曝光產(chǎn)品的曝光質(zhì)量。在部分實(shí)施例中，為解決曝光過程中煙塵粘附在鏡頭或者掩膜版上影響曝光精度和質(zhì)量的問題，采用透光薄膜、第一透光薄膜或者第二透光薄膜覆蓋曝光產(chǎn)品，在一定程度上可以隔絕曝光過程中產(chǎn)生的煙塵，避免煙塵粘附在鏡頭或者掩膜版上，可以提升曝光精度和質(zhì)量。