本發(fā)明涉及一種柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)和包括這種柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)的定位模塊。本發(fā)明還涉及一種包括定位模塊的光刻設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、光刻設(shè)備是構(gòu)造成將期望的圖案施加到襯底上的機(jī)器。光刻設(shè)備可以用于例如制造集成電路（ic）。光刻設(shè)備可以例如將圖案形成裝置（例如掩模）處的圖案投影到設(shè)置于襯底上的輻射敏感材料（抗蝕劑）層上。

2、為了將圖案投影于襯底上，光刻設(shè)備可以使用電磁輻射。該輻射的波長確定可以形成于襯底上的特征的最小尺寸。相比于可以例如使用波長為193?nm的輻射的光刻設(shè)備，使用波長在4-20?nm的范圍內(nèi)（例如6.7?nm或13.5?nm）的極紫外（euv）輻射的光刻設(shè)備可以用于在襯底上形成較小特征。

3、光刻設(shè)備包括需要供應(yīng)體的可移動(dòng)物體。例如，這些供應(yīng)體包括流體（例如，冷卻流體或真空）、電力（諸如，電功率或控制和測(cè)量信號(hào)）、和/或光學(xué)信號(hào)。為了使這些供應(yīng)體到可移動(dòng)物體上，可以提供包括供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，以允許供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜在可移動(dòng)物體和另一物體之間的柔性連接。

4、在一實(shí)施例中，柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)可以例如是包括供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜的c形電纜板，該電纜板至少部分地支撐在支撐件上。支撐件可以是滑動(dòng)板，供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜被機(jī)械地支撐在滑動(dòng)板上。通常，c形電纜板沿可移動(dòng)物體的移動(dòng)方向定向，即供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜都在沿可移動(dòng)物體的主移動(dòng)方向和豎直方向上延伸的平面內(nèi)延伸。當(dāng)可移動(dòng)物體沿主移動(dòng)方向移動(dòng)時(shí)，c形電纜板可以前后滾動(dòng)，其中電纜板的較小或較大部分由支撐件支撐。

5、在一些實(shí)施例中，可移動(dòng)物體被布置為至少能夠在第一水平方向上移動(dòng)，并且可移動(dòng)物體被支撐在能夠在第二水平方向上移動(dòng)的第二可移動(dòng)物體上。第二可移動(dòng)物體在第二水平方向上的加速度可能導(dǎo)致電纜板在第二水平方向上的慣性力。這些慣性力可能導(dǎo)致電纜板在支撐件的支撐表面上滑動(dòng)，這可能導(dǎo)致支撐表面、供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜的磨損。這種磨損可能會(huì)對(duì)供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜的最長使用壽命產(chǎn)生嚴(yán)重的負(fù)面影響。此外，由于磨損而從支撐表面、供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜釋放的顆?？赡軙?huì)在光刻過程中造成襯底缺陷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提供一種改進(jìn)的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)。特別地，本發(fā)明的目的是提供一種不易磨損的和/或其中由于柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)和/或其支撐件的磨損而產(chǎn)生的顆粒大大減少的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)。

2、根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)（例如電纜板），所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)用于將第一可移動(dòng)物體與第二物體連接，

3、其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)包括具有第一磁場(chǎng)取向的第一永磁體，

4、其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)被布置為至少部分地由支撐件支撐，所述支撐件包括具有第二磁場(chǎng)取向的第二磁體，使得當(dāng)所述第一永磁體和所述第二磁體彼此面對(duì)時(shí)，所述第一永磁體和所述第二磁體排斥，以在所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)上施加力（例如舉升力）。

5、根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種定位模塊，包括：

6、第一可移動(dòng)物體；

7、第二物體；

8、根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)的第一端連接到所述第一物體，并且所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)的第二端連接到所述第二物體；和

9、支撐件，其中所述支撐件包括具有第二磁場(chǎng)取向的第二磁體，使得當(dāng)?shù)谝挥来朋w和所述第二磁體彼此面對(duì)時(shí)，所述第一永磁體和所述第二磁體排斥，以在所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)上施加力（例如舉升力）。

10、根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種光刻設(shè)備，所述光刻設(shè)備包括根據(jù)權(quán)利要求8-17中任一項(xiàng)所述的定位模塊。

技術(shù)特征：

1.一種柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)用于將第一可移動(dòng)物體與第二物體連接，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，其中所述力是舉升力。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)包括一個(gè)或多個(gè)夾持支架，每個(gè)夾持支架夾持一個(gè)或多個(gè)供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜，其中所述第一永磁體布置在所述一個(gè)或多個(gè)夾持支架之一中或所述一個(gè)或多個(gè)夾持支架之一上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)被設(shè)計(jì)為以具有下部、中部和上部的c形布置，其中至少所述下部包括所述第一永磁體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，其中所述第一永磁體和所述第二磁體被設(shè)計(jì)為以浮動(dòng)狀態(tài)支撐所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)包括具有第一磁場(chǎng)取向的多個(gè)第一永磁體，每個(gè)第一永磁體與布置在所述支撐件中或所述支撐件上并具有第二磁場(chǎng)取向的多個(gè)第二磁體中的一個(gè)相關(guān)聯(lián)，使得當(dāng)相應(yīng)的第一永磁體和相應(yīng)的第二磁體彼此面對(duì)時(shí)，每個(gè)第一永磁體和相關(guān)聯(lián)的第二磁體排斥，以在所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)上施加舉升力。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)包括多個(gè)夾持支架，每個(gè)夾持支架夾持一個(gè)或多個(gè)供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜，其中兩個(gè)或更多個(gè)夾持元件設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)第一永磁體。

8.一種定位模塊，包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的定位模塊，其中所述力是舉升力。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的定位模塊，其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)包括一個(gè)或多個(gè)供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜，其中所述支撐件被布置為在所述支撐件和所述一個(gè)或多個(gè)供應(yīng)軟管和/或供應(yīng)電纜之間沒有機(jī)械接觸的情況下，支撐所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)。

11.根據(jù)權(quán)利要求8-10中任一項(xiàng)所述的定位模塊，其中所述第一永磁體和所述第二磁體被設(shè)計(jì)為以浮動(dòng)狀態(tài)支撐所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)。

12.根據(jù)權(quán)利要求8-11中任一項(xiàng)所述的定位模塊，其中所述第二磁體是永磁體。

13.根據(jù)權(quán)利要求8-12中任一項(xiàng)所述的定位模塊，其中所述第二磁體是電磁體。

14.根據(jù)權(quán)利要求8-13中任一項(xiàng)所述的定位模塊，其中所述第二磁場(chǎng)取向的主軸線被豎直地布置。

15.根據(jù)權(quán)利要求8-14中任一項(xiàng)所述的定位模塊，其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)以具有下部、中部和上部的c形布置，其中至少所述下部由所述支撐件支撐。

16.根據(jù)權(quán)利要求8-15中任一項(xiàng)所述的定位模塊，其中所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)包括具有第一磁場(chǎng)取向的多個(gè)第一永磁體，其中所述支撐件包括具有第二磁場(chǎng)取向的多個(gè)第二磁體，其中每個(gè)第一永磁體與所述第二磁體中的一個(gè)相關(guān)聯(lián)，使得當(dāng)相應(yīng)的第一永磁體和相應(yīng)的第二磁體彼此面對(duì)時(shí)，每個(gè)第一永磁體和相關(guān)聯(lián)的第二磁體排斥，以在所述柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)上施加舉升力。

17.根據(jù)權(quán)利要求8至16中任一項(xiàng)所述的定位模塊，其中所述第一可移動(dòng)物體由所述第二物體支撐，其中所述第一可移動(dòng)物體能夠在第一水平方向上移動(dòng)，并且所述第二物體能夠在第二水平方向上移動(dòng)，其中所述第一水平方向和所述第二水平方向不平行。

18.一種光刻設(shè)備，所述光刻設(shè)備包括根據(jù)權(quán)利要求8-17中任一項(xiàng)所述的定位模塊。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)，用于將第一可移動(dòng)物體與第二物體連接，其中柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)包括具有第一磁場(chǎng)取向的第一永磁體，其中柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)被布置為至少部分地由支撐件支撐，該支撐件包括具有第二磁場(chǎng)取向的第二磁體，使得當(dāng)?shù)谝挥来朋w和第二磁體彼此面對(duì)時(shí)，第一永磁體和第二磁體排斥，以在柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)上施加力。

技術(shù)研發(fā)人員：V·F·克魯斯特曼,M·A·W·蘇吉皮爾斯,G·J·P·尼希
受保護(hù)的技術(shù)使用者：ASML荷蘭有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6