本實(shí)用新型涉及一種曝光系統(tǒng)，特別是一種LED光源曝光系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

傳統(tǒng)紫外光源曝光系統(tǒng)的光源為汞燈，汞燈的缺點(diǎn)是造價(jià)高，壽命短、耗電高、安全性能差且不環(huán)保，而紫外LED光源壽命長(zhǎng)，耗電小，安全且環(huán)保的優(yōu)點(diǎn)，并且傳統(tǒng)汞燈的勻光系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，調(diào)試繁瑣，光在傳輸過程中能量損耗大。LED光源的發(fā)展，紫外LED在光照明系統(tǒng)中的應(yīng)用越來(lái)越多，但對(duì)于LED紫外光的收集和勻光效果尚不理想。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型目的是提供一種耗電省、壽命長(zhǎng)、成本低、安全性能好、環(huán)保和紫外光的收集及勻光效果好的一種LED光源曝光系統(tǒng)。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，一種LED光源曝光系統(tǒng)，包括光源、勻光器、透鏡和反射鏡，其特征在于:所述光源為L(zhǎng)ED芯片，錐形光棒的小直徑端面與所述LED芯片相對(duì)，所述勻光器為錐形勻光器，所述錐形光棒的大直徑端與錐形勻光器的小直徑端對(duì)接，所述透鏡由兩個(gè)透鏡組成的透鏡組，其中一側(cè)的透鏡的平端面與所述錐形光棒的大直徑端面相對(duì)，而另一側(cè)的透鏡的平端面與斜置的反射鏡的反射面相對(duì)，該反射鏡的反射面與其下方的另一透鏡的平端面相對(duì)。所述錐形光棒為實(shí)心光棒，所述錐形勻光器為錐形實(shí)心光棒或錐形空心光棒。所述錐形光棒為實(shí)心光棒，而錐形勻光器為錐形空心光棒。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)比較具有節(jié)電、壽命長(zhǎng)、成本低、安全和環(huán)保且紫外光的收集及勻光效果好的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，采用如圖1所示的技術(shù)方案，LED芯片1與錐形光棒2的小直徑端相對(duì)，該錐形光棒的大直徑端與錐形勻光器3的小直徑端對(duì)接，該錐形勻光器的大直徑端與透鏡組4左側(cè)的透鏡的平端面相對(duì)，該透鏡組右側(cè)的透鏡的平端面與斜置的反射鏡5的反射面相對(duì)，此反射鏡的反射面與下方的透鏡6的平端面相對(duì)，上述的錐形光棒為實(shí)心光棒，所述錐形勻光器為空心光棒，所述錐形光棒和錐形勻光器的材質(zhì)均為玻璃或石英，錐形光棒的端面鍍有紫外增透膜，錐形勻光器的內(nèi)表面鍍有紫外反射膜。所述透鏡組的兩個(gè)透鏡的表面和透鏡6的表面均鍍有增透膜。

最佳的組合方案是錐形光棒為實(shí)心光棒，錐形勻光器為空心的錐形勻光器，勻光效果最好，光能利用效率更高，且生產(chǎn)成本也較低。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可用MEMS加工、藍(lán)寶石襯底，半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域能顯著提高生產(chǎn)效率。