本發(fā)明涉及觸控顯示器技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片及其制備方法。

背景技術(shù)：

隨著信息時(shí)代的發(fā)展及生活節(jié)奏的加快，觸控技術(shù)由于其人性化設(shè)計(jì)及簡(jiǎn)單快捷的輸入等特點(diǎn)，已經(jīng)逐漸取代傳統(tǒng)的鼠標(biāo)和鍵盤(pán)，廣泛的應(yīng)用到各式各樣的電子產(chǎn)品中，其中，電容式觸摸屏由于其具有反應(yīng)速度快，靈敏度高，可靠度佳以及耐用度高等優(yōu)點(diǎn)而被廣為使用。

根據(jù)觸控感測(cè)層在顯示面板中的設(shè)置方式不同，觸控顯示面板分為外掛式外掛式(addonmode)、內(nèi)嵌式(in-cell)和外嵌式(on-cell)等結(jié)構(gòu)。內(nèi)嵌式觸摸屏將觸控功能整合于顯示屏內(nèi)，因而能夠有效的減少整個(gè)顯示器的厚度并簡(jiǎn)化生產(chǎn)工藝，使得產(chǎn)品更加輕薄，生產(chǎn)成本更低，從而廣受歡迎。對(duì)于液晶顯示器來(lái)說(shuō)，其通常包括彩膜基板和陣列基板，由于陣列基板上通常包括較多的電路設(shè)計(jì)，因此內(nèi)嵌式觸摸屏一般將觸摸系統(tǒng)設(shè)置于彩膜基板側(cè)。

現(xiàn)有的一種內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片，通常是將圖案化的多個(gè)觸控電極直接制備形成在彩色光阻層上。具體地，首先是在彩色光阻層沉積金屬薄膜層，然后通過(guò)光刻工藝將金屬薄膜層刻蝕形成圖案化的觸控電極。在刻蝕形成圖案化的觸控電極的工藝過(guò)程中需要使用刻蝕液，通常地，刻蝕液中包含有強(qiáng)氧化性、腐蝕性的強(qiáng)酸，例如hno3，在刻蝕的過(guò)程中，刻蝕液接觸到彩色光阻層，導(dǎo)致彩色光阻層的色度發(fā)生嚴(yán)重變異，降低顯示器的顯示品質(zhì)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明提供了一種內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片及其制備方法，在彩色光阻層上制備觸控電極的工藝過(guò)程中，可以有效地保護(hù)彩色光阻層不受刻蝕液的影響，使得顯示器保持良好的顯示品質(zhì)。

為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明采用了如下的技術(shù)方案：

一種內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片，其包括：

襯底基板，包括多個(gè)顯示區(qū)域以及包圍所述顯示區(qū)域的非顯示區(qū)域；

黑色矩陣，形成在所述襯底基板上且位于所述非顯示區(qū)域中；

第一金屬層，包括圖案化的多條觸控連接線，所述觸控連接線設(shè)置在所述非顯示區(qū)域中并位于所述黑色矩陣上；

彩色光阻層，形成在所述襯底基板上且位于所述顯示區(qū)域中；

透明光阻層，形成在所述彩色光阻層上并覆蓋所述觸控連接線；

第二金屬層，包括圖案化的多個(gè)觸控電極，所述觸控電極設(shè)置在所述非顯示區(qū)域中并相對(duì)位于所述黑色矩陣上；

其中，所述多個(gè)觸控電極和所述多條觸控連接線一一對(duì)應(yīng)連接，所述觸控電極通過(guò)設(shè)置在所述透明光阻層中的過(guò)孔電性連接到對(duì)應(yīng)的觸控連接線。

具體地，所述第一金屬層為依次疊層的al、nd和mo材料層或者是依次疊層的al和mo材料層。

具體地，所述第二金屬層為mo材料層。

具體地，所述彩色光阻層包括紅色光阻單元、綠色光阻單元和藍(lán)色光阻單元，所述黑色矩陣間隔出多個(gè)開(kāi)口部，每一個(gè)開(kāi)口部對(duì)應(yīng)一個(gè)所述顯示區(qū)域，所述紅色光阻單元、綠色光阻單元和藍(lán)色光阻單元分別形成在一個(gè)所述開(kāi)口部中。

具體地，所述第二金屬層上還覆設(shè)有透明保護(hù)層。

本發(fā)明還提供了如上所述的內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片的制備方法，其包括步驟：

s1、提供襯底基板，在所述襯底基板上制備形成黑色矩陣，所述黑色矩陣對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述襯底基板的非顯示區(qū)域中，所述黑色矩陣間隔出多個(gè)開(kāi)口部，所述開(kāi)口部對(duì)應(yīng)于所述襯底基板的顯示區(qū)域；

s2、在具有黑色矩陣的襯底基板上沉積第一金屬層，應(yīng)用光刻工藝將所述第一金屬層刻蝕形成圖案化的多條觸控連接線，所述觸控連接線設(shè)置在所述非顯示區(qū)域中并位于所述黑色矩陣上；

s3、在所述開(kāi)口部中制備形成彩色光阻層；

s4、在所述彩色光阻層上制備透明光阻層，所述透明光阻層覆蓋所述彩色光阻層和所述觸控連接線；

s5、應(yīng)用光刻工藝，在所述透明光阻層中的預(yù)定位置刻蝕形成暴露出所述觸控連接線的過(guò)孔；

s6、在所述透明光阻層上沉積第二金屬層，應(yīng)用光刻工藝將所述第二金屬層刻蝕形成圖案化的多個(gè)觸控電極，所述觸控電極設(shè)置在所述非顯示區(qū)域中并相對(duì)位于所述黑色矩陣上；其中，所述多個(gè)觸控電極和所述多條觸控連接線一一對(duì)應(yīng)連接，所述觸控電極通過(guò)設(shè)置在所述透明光阻層中的過(guò)孔電性連接到對(duì)應(yīng)的觸控連接線。

本發(fā)明實(shí)施例提供的內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片及其制備方法，首先在彩色光阻層設(shè)置一層透明光阻層作為保護(hù)，然后在透明光阻層通過(guò)刻蝕工藝制備形成圖案化的觸控電極，因此，制備觸控電極的工藝過(guò)程中，可以有效地保護(hù)彩色光阻層不受刻蝕液的影響，使得顯示器保持良好的顯示品質(zhì)。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是如圖1中a部分的放大示意圖；

圖3a～3i是本發(fā)明實(shí)施例提供的內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片的制備方法中，各個(gè)步驟對(duì)應(yīng)獲得的器件結(jié)構(gòu)的示例性圖示。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。這些優(yōu)選實(shí)施方式的示例在附圖中進(jìn)行了例示。附圖中所示和根據(jù)附圖描述的本發(fā)明的實(shí)施方式僅僅是示例性的，并且本發(fā)明并不限于這些實(shí)施方式。

在此，還需要說(shuō)明的是，為了避免因不必要的細(xì)節(jié)而模糊了本發(fā)明，在附圖中僅僅示出了與根據(jù)本發(fā)明的方案密切相關(guān)的結(jié)構(gòu)和/或處理步驟，而省略了與本發(fā)明關(guān)系不大的其他細(xì)節(jié)。

本實(shí)施例提供了一種內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片，如圖1和圖2所示，所述內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片包括襯底基板1、黑色矩陣2、第一金屬層3、彩色光阻層4、透明光阻層5和第二金屬層6。

其中，所述襯底基板1包括多個(gè)顯示區(qū)域11以及包圍所述顯示區(qū)域11的非顯示區(qū)域12，所述襯底基板1例如可以選擇是玻璃基板。所述黑色矩陣2形成在所述襯底基板1上且位于所述非顯示區(qū)域12中，所述黑色矩陣2用于防止相鄰的兩個(gè)顯示區(qū)域11產(chǎn)生漏光。所述第一金屬層3包括圖案化的多條觸控連接線31，所述觸控連接線31設(shè)置在所述非顯示區(qū)域12中并位于所述黑色矩陣2上。所述彩色光阻層4形成在所述襯底基板1上且位于所述顯示區(qū)域11中。所述透明光阻層5形成在所述彩色光阻層4上并覆蓋所述觸控連接線31。所述第二金屬層6包括圖案化的多個(gè)觸控電極61，所述觸控電極61設(shè)置在所述非顯示區(qū)域12中并相對(duì)位于所述黑色矩陣2上。

具體地，所述黑色矩陣2間隔出多個(gè)開(kāi)口部21，每一個(gè)開(kāi)口部21對(duì)應(yīng)一個(gè)所述顯示區(qū)域11。所述彩色光阻層4包括紅色光阻單元r、綠色光阻單元g和藍(lán)色光阻單元b，所述紅色光阻單元r、綠色光阻單元g和藍(lán)色光阻單元b分別形成在一個(gè)所述開(kāi)口部21中。所述第二金屬層6中，圖案化的多個(gè)觸控電極61呈陣列排布，每個(gè)觸控電極61在所述黑色矩陣2的上方對(duì)應(yīng)環(huán)繞于一個(gè)所述顯示區(qū)域11，也可以是對(duì)應(yīng)環(huán)繞于多個(gè)所述顯示區(qū)域11。所述第一金屬層3中，圖案化的多條觸控連接線31在所述黑色矩陣2的上方沿同一方向并行排列。其中，所述多個(gè)觸控電極61和所述多條觸控連接線31一一對(duì)應(yīng)連接，所述觸控電極61通過(guò)設(shè)置在所述透明光阻層5中的過(guò)孔51電性連接到對(duì)應(yīng)的觸控連接線31。

所述觸控連接線31和所述觸控電極61構(gòu)成內(nèi)嵌在所述彩色濾光片中的觸摸屏結(jié)構(gòu)，所述觸控連接線31將所述觸控電極61電性連接到觸控驅(qū)動(dòng)芯片(附圖中未示出)。具體地，所述第一金屬層3(每一條觸控連接線31)可以是依次疊層的al、nd和mo材料層或者是依次疊層的al和mo材料層。所述第二金屬層6(每一個(gè)觸控電極61)為mo材料層。

進(jìn)一步地，本實(shí)施例中，如圖1所示，所述第二金屬層6上還覆設(shè)有透明保護(hù)層7，所述透明保護(hù)層7覆蓋所述透明光阻層5和所述觸控電極61。

本實(shí)施例還提供了如上所述的內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片的制備方法，參閱圖3a～3i，所述制備方法包括步驟：

s1、如圖3a所示，提供襯底基板1，在所述襯底基板1上制備形成黑色矩陣2。所述黑色矩陣2對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述襯底基板1的非顯示區(qū)域12中，所述黑色矩陣2間隔出多個(gè)開(kāi)口部21，所述開(kāi)口部21對(duì)應(yīng)于所述襯底基板1的顯示區(qū)域11。

s2、如圖3b和3c所示，在具有黑色矩陣2的襯底基板1上沉積第一金屬層3，應(yīng)用光刻工藝將所述第一金屬層3刻蝕形成圖案化的多條觸控連接線31，所述觸控連接線31設(shè)置在所述非顯示區(qū)域12中并位于所述黑色矩陣2上。所述第一金屬層3為多層金屬材料層，例如是依次疊層的al、nd和mo材料層或者是依次疊層的al和mo材料層。

s3、如圖3d所示，在所述開(kāi)口部21中制備形成彩色光阻層4。所述彩色光阻層4包括紅色光阻單元r、綠色光阻單元g和藍(lán)色光阻單元b，所述紅色光阻單元r、綠色光阻單元g和藍(lán)色光阻單元b分別形成在一個(gè)所述開(kāi)口部21中。其中，通常地，按照順序先后依次制備形成紅色光阻單元r、綠色光阻單元g和藍(lán)色光阻單元b。

s4、如圖3e所示，在所述彩色光阻層4上制備透明光阻層5，所述透明光阻層5覆蓋所述顯示區(qū)域11中的彩色光阻層4和所述非顯示區(qū)域12中的所述觸控連接線31。

s5、如圖3f所示，應(yīng)用光刻工藝，在所述透明光阻層5中的預(yù)定位置刻蝕形成暴露出所述觸控連接線31的過(guò)孔51。需要說(shuō)明的是，所述預(yù)定位置是指需要將之后形成的觸控電極61與對(duì)應(yīng)的觸控連接線31相互電性連接的位置。

s6、如圖3g和3h所示，在所述透明光阻層5上沉積第二金屬層6，應(yīng)用光刻工藝將所述第二金屬層6刻蝕形成圖案化的多個(gè)觸控電極61，所述觸控電極61設(shè)置在所述非顯示區(qū)域12中并相對(duì)位于所述黑色矩陣2上。其中，所述多個(gè)觸控電極61和所述多條觸控連接線31一一對(duì)應(yīng)連接，所述觸控電極61通過(guò)預(yù)定位置的所述過(guò)孔51電性連接到對(duì)應(yīng)的觸控連接線31。由于彩色光阻層4上設(shè)置有透明光阻層5，在將第二金屬層6刻蝕形成觸控電極61時(shí)，透明光阻層5對(duì)彩色光阻層4形成保護(hù)，防止刻蝕工藝中的刻蝕液對(duì)彩色光阻層4造成破壞。其中，所述第二金屬層6為mo材料層。

s7、如圖3i所示，在所述觸控電極61上制備透明保護(hù)層7，所述透明保護(hù)層7整面覆蓋所述透明光阻層5和所述觸控電極61。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的內(nèi)嵌觸摸屏的彩色濾光片及其制備方法，首先在彩色光阻層設(shè)置一層透明光阻層作為保護(hù)，然后在透明光阻層通過(guò)刻蝕工藝制備形成圖案化的觸控電極，因此，制備觸控電極的工藝過(guò)程中，可以有效地保護(hù)彩色光阻層不受刻蝕液的影響，使得顯示器保持良好的顯示品質(zhì)。

需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類(lèi)的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

以上所述僅是本申請(qǐng)的具體實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本申請(qǐng)?jiān)淼那疤嵯?，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本申請(qǐng)的保護(hù)范圍。