本發(fā)明屬于液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種佳能光罩制作色組層的擋板標(biāo)識(shí)及其使用方法。

背景技術(shù)：

液晶顯示裝置(LCD，Liquid Crystal Display)具有機(jī)身薄、省電、無輻射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)有市場上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示裝置，其包括液晶顯示面板及背光模組(backlight module)。通常液晶顯示面板由彩膜基板(CF，Color Filter)、薄膜晶體管基板(TFT，Thin Film Transistor)、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封框膠(Sealant)組成。

CF基板是LCD用來實(shí)現(xiàn)彩色顯示的主要器件，其基本構(gòu)成通常包括：玻璃基板、黑色矩陣、彩色色阻層等等。背光源發(fā)出的光經(jīng)過液晶分子的調(diào)制入射到CF基板，通過CF基板上彩色色阻層的紅色色阻、綠色色阻、以及藍(lán)色色阻的濾光作用，分別顯示紅，綠，藍(lán)三種光線，不同顏色的色阻分別透射對(duì)應(yīng)顏色波段的光，從而實(shí)現(xiàn)顯示器的彩色顯示。

光罩(Mask)，又稱為光掩膜板、掩膜板，是由石英玻璃作為襯底，在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠的感光材料。把已設(shè)計(jì)好的電路圖形通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上，被曝光的區(qū)域會(huì)被顯影出來，在金屬鉻上形成電路圖形，成為類似曝光后底片的光掩模版，然后應(yīng)用于集成電路的投影定位，通過集成電路光刻機(jī)對(duì)所投影的電路進(jìn)行光蝕刻。生產(chǎn)加工工序?yàn)椋浩毓?，顯影，去感光膠，最后應(yīng)用于光蝕刻。

佳能光罩的對(duì)位精度較高，當(dāng)使用佳能光罩制作色阻層時(shí)，由于色阻的顯影精度較低，若套用佳能光罩常用的擋板標(biāo)識(shí)，會(huì)導(dǎo)致該標(biāo)識(shí)上的數(shù)字、小線寬標(biāo)尺等細(xì)節(jié)無法成型，因而佳能光罩常用的擋板標(biāo)識(shí)無法正常使用。若該標(biāo)識(shí)不能正常使用，會(huì)導(dǎo)致?lián)醢鍩o法進(jìn)行對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)，影響色阻曝光范圍的控制和補(bǔ)償。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種佳能光罩制作色組層的擋板標(biāo)識(shí)及其使用方法，利用該標(biāo)識(shí)替代原本無法用于色阻制作的擋板標(biāo)識(shí)，能夠?qū)醢宓恼趽醴秶M(jìn)行估算，進(jìn)而對(duì)色阻的曝光范圍進(jìn)行控制和補(bǔ)償。

為此，本發(fā)明提供了一種佳能光罩制作色阻層的擋板標(biāo)識(shí)，其包括前制程層和色阻層，所述的前制程層上形成有刻度標(biāo)尺，且所述刻度標(biāo)尺至少有一部分與色阻層重疊。

在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述的色阻層為間隔設(shè)置的平行條帶結(jié)構(gòu)，且相鄰條帶在水平方向上的投影相接和/或部分重疊。

在本發(fā)明的另一些實(shí)施例中，所述的前制程層為金屬層或黑矩陣。

本發(fā)明還提供了一種佳能光罩制作色阻層的擋板標(biāo)識(shí)的使用方法，其包括以下步驟：

步驟A：利用佳能光罩上的刻度標(biāo)尺圖形在基板上形成帶有刻度標(biāo)尺的前制程層；

步驟B：利用另一佳能光罩上的色阻層圖形在前制程層上形成色阻層；

步驟C：通過讀取色阻層與前制程層上刻度標(biāo)尺重疊部分的讀數(shù)，判斷色阻層制備時(shí)擋板的遮擋范圍是否合理。

在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述前制程層上的刻度標(biāo)尺至少有一部分與色阻層重疊。

在本發(fā)明的另一些實(shí)施例中，所述色阻層圖形為間隔設(shè)置的平行條帶，且相鄰條帶在水平方向上的投影相接和/或部分重疊。

在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述的前制程層為金屬層或黑矩陣。

在本發(fā)明的另一些實(shí)施例中，所述的基板為玻璃基板。

由于色阻材料的曝光解析度較低，當(dāng)使用佳能光罩制作色組層時(shí)，若套用佳能光罩常用的刻度標(biāo)尺作為擋板標(biāo)識(shí)，會(huì)使該標(biāo)識(shí)上的數(shù)字、小線寬標(biāo)尺等細(xì)節(jié)無法成型，使得佳能光罩常用的刻度標(biāo)尺擋板標(biāo)識(shí)無法正常使用，進(jìn)而導(dǎo)致?lián)醢鍩o法進(jìn)行對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)，影響色阻曝光范圍的控制和補(bǔ)償。

將佳能光罩常用的刻度標(biāo)尺刻蝕在曝光解析度好的前制程層上，使得前制程層上形成有結(jié)構(gòu)完整的刻度標(biāo)尺，然后再將色阻層制備在前制程層上，并且色阻層覆蓋前制程層上的刻度標(biāo)尺，色阻層制作完成后通過觀察色阻層對(duì)下方前制程層刻度標(biāo)尺的覆蓋情況，就能判斷色阻層制作時(shí)擋板的遮擋距離是否合理，是否需要補(bǔ)償。本發(fā)明正是基于上述方法做出的。

本發(fā)明的有益效果為：色阻層制作完成后，通過觀察色阻層對(duì)前制程層中的刻度標(biāo)尺的覆蓋情況，既可判斷色阻層制作時(shí)擋板的遮擋距離是否合理，是否需要補(bǔ)償。利用該標(biāo)識(shí)替代原本無法用于色阻制作的擋板標(biāo)識(shí)，進(jìn)而對(duì)色阻層的曝光范圍進(jìn)行控制和補(bǔ)償。另外，所述擋板標(biāo)識(shí)中的色阻層為間隔設(shè)置的平行條帶結(jié)構(gòu)，相鄰條帶在水平方向上的投影相接和/或部分重疊，既能使色阻層的至少一部分與前制程層上的刻度標(biāo)尺重疊，又克服了色阻曝光解析度低的問題。

附圖說明

下面將結(jié)合附圖來說明本發(fā)明。

圖1為佳能光罩上的刻度標(biāo)尺圖形。

圖2為本發(fā)明的佳能光罩制作色阻層的擋板標(biāo)識(shí)在基板上形成的所述擋板標(biāo)識(shí)的俯視圖；圖中附圖標(biāo)記的含義如下：1利用佳能光罩上的刻度標(biāo)尺圖形在基板上形成帶有刻度標(biāo)尺的金屬層；2利用另一佳能光罩上的色阻層圖形在金屬層上形成的色阻層。

圖3為本發(fā)明的佳能光罩制作色阻層的擋板標(biāo)識(shí)在基板上形成的所述擋板標(biāo)識(shí)的俯視圖；圖中附圖標(biāo)記的含義如下：3利用佳能光罩上的刻度標(biāo)尺圖形在基板上形成帶有刻度標(biāo)尺的黑矩陣；4利用另一佳能光罩上的色阻層圖形在黑矩陣上形成的色阻層。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明容易理解，下面將結(jié)合附圖和實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明，這些實(shí)施例僅起說明性作用，并不局限于本發(fā)明的應(yīng)用范圍。本發(fā)明中所使用的原料或組分若無特殊說明均可以通過商業(yè)途徑或常規(guī)方法制得。

具體實(shí)施方式一：

一種佳能光罩制作色阻層的擋板標(biāo)識(shí)：

所述佳能光罩制作色阻層的擋板標(biāo)識(shí)包括前制程層和色阻層，所述的前制程層上形成有刻度標(biāo)尺，且所述刻度標(biāo)尺至少有一部分與色阻層重疊。

佳能光罩上的刻度標(biāo)尺圖形如圖1。

在一些實(shí)施例中，所述的色阻層為間隔設(shè)置的平行條帶結(jié)構(gòu)，且相鄰條帶在水平方向上的投影相接和/或部分重疊。

在一些實(shí)施例中，所述的前制程層為金屬層或黑矩陣。

在一些實(shí)施例中，所述的基板為玻璃基板。

具體實(shí)施方式二

圖2為本發(fā)明的佳能光罩制作色阻層的擋板標(biāo)識(shí)在基板上形成的所述擋板標(biāo)識(shí)的俯視圖，佳能光罩制作色阻層的擋板標(biāo)識(shí)的使用方法包括以下步驟：

(1)利用佳能光罩上的刻度標(biāo)尺圖形(如圖1所示)在玻璃基板上形成帶有刻度標(biāo)尺的金屬層1。

(2)另一佳能光罩上的色阻層圖形在金屬層1上形成色阻層2，且所述金屬層1上的刻度標(biāo)尺至少有一部分與色阻層2重疊；所述佳能光罩上的色阻層圖形為間隔設(shè)置的平行條帶，且相鄰條帶在水平方向上的投影相接或部分重疊；形成的擋板標(biāo)識(shí)的俯視圖如圖2所示。

(3)通過讀取色阻層2與金屬層1上刻度標(biāo)尺重疊部分的度數(shù)，判讀色阻層制備時(shí)擋板的遮擋范圍是否合理。

具體實(shí)施方式三

佳能光罩制作色阻層的擋板標(biāo)識(shí)的使用方法包括以下步驟：

(1)利用佳能光罩上的刻度標(biāo)尺圖形(如圖1所示)在玻璃基板上形成帶有刻度標(biāo)尺的黑矩陣3。

(2)另一佳能光罩上的色阻層圖形在黑矩陣3上形成色阻層4，且所述黑矩陣3上的刻度標(biāo)尺至少有一部分與色阻層4重疊；所述佳能光罩上的色阻層圖形為間隔設(shè)置的平行條帶，且相鄰條帶在水平方向上的投影部分相接或部分重疊；形成的擋板標(biāo)識(shí)的俯視圖如圖3所示。

(3)通過讀取色阻層4與黑矩陣3上刻度標(biāo)尺重疊部分的度數(shù)，判讀色阻層制備時(shí)擋板的遮擋范圍是否合理。

應(yīng)當(dāng)注意的是，以上所述的實(shí)施例僅用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的任何限制。通過參照典型實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但應(yīng)當(dāng)理解為其中所用的詞語為描述性和解釋性詞匯，而不是限定性詞匯?？梢园匆?guī)定在本發(fā)明權(quán)利要求的范圍內(nèi)對(duì)本發(fā)明作出修改，以及在不背離本發(fā)明的范圍和精神內(nèi)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行修訂。盡管其中描述的本發(fā)明涉及特定的方法、材料和實(shí)施例，但是并不意味著本發(fā)明限于其中公開的特定例，相反，本發(fā)明可擴(kuò)展至其他所有具有相同功能的方法和應(yīng)用。