1.一種感光性樹脂組合物，其含有：
(A)成分：具有酚性羥基的樹脂；
(B)成分：光敏性產(chǎn)酸劑；
(C)成分：具有選自芳香環(huán)、雜環(huán)及脂環(huán)中的至少1種以及選自羥甲基及烷氧基烷基中的至少1種的化合物；以及
(D)成分：具有2個(gè)以上的選自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、縮水甘油基氧基、氧雜環(huán)丁烷基烷基醚基、乙烯基醚基及羥基中的至少1種官能團(tuán)的脂肪族化合物，
所述(B)成分是含有具有選自四苯基硼酸鹽骨架、碳數(shù)為1～20的烷基磺酸鹽骨架、苯基磺酸鹽骨架及10-樟腦磺酸鹽骨架中的至少1種骨架的陰離子的锍鹽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(B)成分的所述陰離子為選自四(五氟苯基)硼酸鹽、三氟甲烷磺酸鹽、九氟丁烷磺酸鹽、對(duì)甲苯磺酸鹽及10-樟腦磺酸鹽中的至少1種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(D)成分的含量相對(duì)于所述(A)成分100質(zhì)量份為1～70質(zhì)量份。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其進(jìn)一步含有具有Si-O鍵的化合物。
5.一種感光性元件，其具備支撐體和設(shè)置在該支撐體上的感光層，所述感光層含有權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物。
6.一種固化物，其為權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物的固化物。
7.一種半導(dǎo)體裝置，其具備權(quán)利要求6所述的感光性樹脂組合物的固化物。
8.一種抗蝕圖案的形成方法，其具備以下工序：
在基材上形成含有權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物的感光層的工序；
將所述感光層曝光成規(guī)定的圖案的曝光工序；
在所述曝光工序之后對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影而獲得樹脂圖案的顯影工序；以及
對(duì)所述樹脂圖案進(jìn)行加熱處理的熱處理工序。
9.一種抗蝕圖案的形成方法，其具備以下工序：
在基材上配置權(quán)利要求5所述的感光性元件的所述感光層的工序；
將所述感光層曝光成規(guī)定的圖案的曝光工序；
在所述曝光工序之后對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影而獲得樹脂圖案的顯影工序；以及
對(duì)所述樹脂圖案進(jìn)行加熱處理的熱處理工序。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的抗蝕圖案的形成方法，其中，在所述曝光工序與所述顯影工序之間還具備對(duì)所述感光層進(jìn)行加熱處理的工序。
11.一種電路基材的制造方法，其具備以下工序：
通過(guò)對(duì)權(quán)利要求8～10中任一項(xiàng)所述的抗蝕圖案的形成方法中所述熱處理工序后的所述樹脂圖案的露出部的至少一部分及所述基材的露出部的至少一部分進(jìn)行鍍覆處理、從而形成導(dǎo)體層的導(dǎo)體層形成工序；和
將所述導(dǎo)體層的一部分除去而形成導(dǎo)體圖案的導(dǎo)體圖案形成工序，
所述電路基材具備樹脂圖案及導(dǎo)體圖案。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電路基材的制造方法，其中，所述導(dǎo)體層形成工序含有通過(guò)在進(jìn)行非電解鍍之后進(jìn)行電鍍來(lái)形成所述導(dǎo)體層的工序。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的電路基材的制造方法，其中，所述導(dǎo)體層形成工序含有通過(guò)在進(jìn)行濺射之后進(jìn)行電鍍來(lái)形成所述導(dǎo)體層的工序。
14.根據(jù)權(quán)利要求11～13中任一項(xiàng)所述的電路基材的制造方法，其中，所述導(dǎo)體圖案形成工序含有通過(guò)刻蝕將所述導(dǎo)體層的一部分除去而形成所述導(dǎo)體圖案的工序。
15.根據(jù)權(quán)利要求11～14中任一項(xiàng)所述的電路基材的制造方法，其中，所述導(dǎo)體圖案形成工序含有通過(guò)研磨將所述導(dǎo)體層的一部分除去而形成所述導(dǎo)體圖案的工序。