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標(biāo)本觀察裝置和標(biāo)本觀察方法與流程

文檔序號:12040209閱讀:來源:國知局
標(biāo)本觀察裝置和標(biāo)本觀察方法與流程

技術(shù)特征:
1.一種標(biāo)本觀察裝置,其具備照明光學(xué)系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng),其中,所述照明光學(xué)系統(tǒng)和所述觀察光學(xué)系統(tǒng)相對配置,所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有光源、聚光透鏡和開口部件,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡和成像透鏡,所述開口部件具有遮光部或減光部、和透射部,所述開口部件被配置成所述遮光部或所述減光部包含所述照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸,所述透射部位于所述遮光部或所述減光部的外緣的外側(cè),所述透射部的像形成在所述物鏡的光瞳位置,在所述物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè),形成所述透射部的內(nèi)緣的像,在所述物鏡的光瞳的外緣的外側(cè),形成所述透射部的外緣的像,所述標(biāo)本觀察裝置滿足以下的條件式,(Rob-R0×β)/(R1×β-Rob)<1這里,R0是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的內(nèi)緣的長度,R1是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的外緣的長度,Rob是所述物鏡的光瞳的半徑,β是所述物鏡的焦距除以所述聚光透鏡的焦距而得的值。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述物鏡的光瞳位置處的所述遮光部或所述減光部的像的面積為所述物鏡的光瞳的面積的50%以上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,R0×β<Rob<R1×β這里,R0是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的內(nèi)緣的長度,R1是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的外緣的長度,Rob是所述物鏡的光瞳的半徑,β是所述物鏡的焦距除以所述聚光透鏡的焦距而得的值。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,在所述物鏡的光瞳位置處,所述透射部的像的中心與所述物鏡的光瞳的中心一致。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,0.7≦(R0×β)/Rob<11<(R1×β)/Rob≦2這里,R0是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的內(nèi)緣的長度,R1是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的外緣的長度,Rob是所述物鏡的光瞳的半徑,β是所述物鏡的焦距除以所述聚光透鏡的焦距而得的值。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述透射部的透射率根據(jù)部位而不同。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,Tin<Tout這里,Tin是所述透射部的內(nèi)緣附近的透射率,Tout是所述透射部的外側(cè)附近的透射率。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,具有多個所述光源,多個所述光源配置于所述透射部。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,具有與所述開口部件分體的開口部件,并具有使所述開口部件和所述分體的開口部件移動的移動機(jī)構(gòu)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述開口部件是第1開口部件,所述分體的開口部件是第2開口部件,所述第1開口部件和所述第2開口部件是不同的開口,以能夠在第1物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè)形成所述第1開口部件的透射部的內(nèi)緣的像、且在所述第1物鏡的光瞳的外緣的外側(cè)形成所述第1開口部件的透射部的外緣的像的方式,形成有所述第1開口部件的透射部。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述第2開口部件具有與第2物鏡對應(yīng)的透射部,所述第2物鏡具有與所述第1物鏡不同的倍率,以能夠在所述第2物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè)形成所述第2開口部件的透射部的內(nèi)緣的像、且在所述第2物鏡的光瞳的外緣的外側(cè)形成所述第2開口部件的透射部的外緣的像的方式,形成有所述第2開口部件的透射部。12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述第1物鏡是在光瞳位置處具有相位膜的相位差用物鏡,所述第2開口部件在與所述第1物鏡的相位膜共軛的位置處,具有所述透射部。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,0.01<(S1×T1)/(S2×T2×Tob)<100這里,S1是所述第1開口部件的透射部中的、通過所述第1物鏡的光瞳的區(qū)域的面積,T1是所述第1開口部件的透射部中的、通過所述第1物鏡的光瞳的區(qū)域的透射率,以百分比表示,S2是所述第2開口部件的透射部的面積,T2是所述第2開口部件的透射部的透射率,以百分比表示,Tob是所述第1物鏡的相位膜的透射率,以百分比表示。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有開口部件,所述開口部件被配置在所述物鏡的光瞳位置、或與所述物鏡的光瞳位置共軛的位置處。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述光源是單色光源,或者所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有波長選擇單元。16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,該標(biāo)本觀察裝置具有圖像處理裝置。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,根據(jù)多個圖像生成合成圖像。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,改變所述物鏡與對象物的間隔來取得所述多個圖像。19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,使用兩個不同的標(biāo)本觀察方法來取得所述多個圖像。20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述開口部件由不透明的部件構(gòu)成,所述透射部具有形成于所述不透明的部件上的多個開口。21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述透射部的像由于在標(biāo)本中產(chǎn)生的折射,相對于所述物鏡的光瞳偏心,所述開口部件和所述物鏡被配置為,通過所述物鏡的光瞳的光量由于所述偏心而增加,而與所述偏心的方向無關(guān),當(dāng)所述透射部的內(nèi)緣的像與所述物鏡的光瞳的外緣相接時(shí),所述透射部的外緣的像與所述物鏡的光瞳的外緣分離。22.一種標(biāo)本觀察裝置,其具備照明光學(xué)系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng),其中,所述照明光學(xué)系統(tǒng)和所述觀察光學(xué)系統(tǒng)相對配置,所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有光源、聚光透鏡和開口部件,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡和成像透鏡,所述開口部件具有遮光部或減光部、和透射部,所述開口部件被配置成所述遮光部或所述減光部包含所述照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸,所述透射部位于所述遮光部或所述減光部的外緣的外側(cè),所述透射部的像形成在所述物鏡的光瞳位置,在所述物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè),形成所述透射部的內(nèi)緣的像,在所述物鏡的光瞳的外緣的外側(cè),形成所述透射部的外緣的像,所述標(biāo)本觀察裝置具有與所述開口部件分體的開口部件,并具有使所述開口部件和所述分體的開口部件移動的移動機(jī)構(gòu),所述開口部件是第1開口部件,所述分體的開口部件是第2開口部件,所述第1開口部件和所述第2開口部件是不同的開口,以能夠在第1物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè)形成所述第1開口部件的透射部的內(nèi)緣的像、且在所述第1物鏡的光瞳的外緣的外側(cè)形成所述第1開口部件的透射部的外緣的像的方式,形成有所述第1開口部件的透射部,所述第2開口部件具有與第2物鏡對應(yīng)的透射部,所述第2物鏡具有與所述第1物鏡不同的倍率,以能夠在所述第2物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè)形成所述第2開口部件的透射部的內(nèi)緣的像、且在所述第2物鏡的光瞳的外緣的外側(cè)形成所述第2開口部件的透射部的外緣的像的方式,形成有所述第2開口部件的透射部。23.一種標(biāo)本觀察裝置,其具備照明光學(xué)系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng),其中,所述照明光學(xué)系統(tǒng)和所述觀察光學(xué)系統(tǒng)相對配置,所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有光源、聚光透鏡和開口部件,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡和成像透鏡,所述開口部件具有遮光部或減光部、第1透射部以及第2透射部,所述第1透射部的像和所述第2透射部的像形成在所述物鏡的光瞳位置,所述開口部件形成為所述第1透射部包含所述照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸,所述遮光部或所述減光部位于所述第1透射部的外緣的外側(cè),所述第2透射部位于所述遮光部或所述減光部的外緣的外側(cè),在所述物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè),形成所述第2透射部的內(nèi)緣的像,在所述物鏡的光瞳的外緣的外側(cè),形成所述第2透射部的外緣的像。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,0.01<(ST2×TT2)/(ST1×TT1)<100這里,ST1是所述第1透射部的面積,TT1是所述第1透射部的透射率,以百分比表示,ST2是所述第2透射部中的、通過所述物鏡的光瞳的區(qū)域的面積,TT2是所述第2透射部中的、通過所述物鏡的光瞳的區(qū)域的透射率,以百分比表示。25.一種標(biāo)本觀察裝置,其具備照明光學(xué)系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng),其中,所述照明光學(xué)系統(tǒng)和所述觀察光學(xué)系統(tǒng)相對配置,所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有光源、聚光透鏡和開口部件,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡和成像透鏡,所述開口部件具有第1遮光部或減光部、第2遮光部或減光部、第1透射部以及第2透射部,所述第1透射部的像和所述第2透射部的像形成在所述物鏡的光瞳位置,所述開口部件被配置成所述第1遮光部或減光部包含所述照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸,所述第1透射部位于所述第1遮光部或減光部的外緣的外側(cè),所述第2遮光部或減光部位于所述第1透射部的外緣的外側(cè),所述第2透射部位于所述第2遮光部或減光部的外緣的外側(cè),在所述物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè),形成所述第2透射部的內(nèi)緣的像,在所述物鏡的光瞳的外緣的外側(cè),形成所述第2透射部的外緣的像。26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述物鏡是相位差物鏡,所述第1透射部是相位差觀察用的照明環(huán)。27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,0.01<(SOUT×TOUT)/(SIN×TIN×T1ob)<100這里,SIN是所述第1透射部的面積,TIN是所述第1透射部的透射率,以百分比表示,T1ob是所述物鏡的相位膜的透射率,以百分比表示,SOUT是所述第2透射部中的、通過所述物鏡的光瞳的區(qū)域的面積,TOUT是所述第2透射部中的、通過所述物鏡的光瞳的區(qū)域的透射率,以百分比表示。28.一種標(biāo)本觀察裝置,其具備照明光學(xué)系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng),其中,所述照明光學(xué)系統(tǒng)和所述觀察光學(xué)系統(tǒng)相對配置,所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有光源、具有反射面的聚光部、和開口部件,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡和成像透鏡,所述開口部件具有遮光部或減光部、和透射部,所述開口部件被配置成所述遮光部或所述減光部包含所述照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸,所述透射部位于所述遮光部或所述減光部的外緣的外側(cè),所述透射部的像形成在所述物鏡的光瞳位置,在所述物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè),形成所述透射部的內(nèi)緣的像,在所述物鏡的光瞳的外緣的外側(cè),形成所述透射部的外緣的像。29.一種標(biāo)本觀察裝置,其具備照明光學(xué)系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng),其中,所述照明光學(xué)系統(tǒng)和所述觀察光學(xué)系統(tǒng)相對配置,所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有光源和聚光透鏡,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡、開口部件和成像透鏡,所述開口部件具有遮光部或減光部、和透射部,所述開口部件被配置成所述遮光部或所述減光部包含所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸,所述透射部位于所述遮光部或所述減光部的外緣的外側(cè),在所述透射部的內(nèi)緣與所述透射部的外緣之間,形成所述聚光透鏡的光瞳的外緣的像。30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述遮光部或所述減光部的面積為所述聚光透鏡的光瞳的像的面積的50%以上。31.根據(jù)權(quán)利要求29所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,R’0<Roc×β<R’1這里,R’0是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的內(nèi)緣的長度,R’1是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的外緣的長度,Roc是所述聚光透鏡的光瞳的半徑,β是所述物鏡的焦距除以所述聚光透鏡的焦距而得的值。32.根據(jù)權(quán)利要求29所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,在所述透射部的位置處,所述聚光透鏡的光瞳的像的中心與所述透射部的中心一致。33.根據(jù)權(quán)利要求29所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,(Roc×β-R’0)/(R’1-Roc×β)<1這里,R’0是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的內(nèi)緣的長度,R’1是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的外緣的長度,Roc是所述聚光透鏡的光瞳的半徑,β是所述物鏡的焦距除以所述聚光透鏡的焦距而得的值。34.根據(jù)權(quán)利要求29所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,0.7≦R’0/(Roc×β)<11<R’1/(Roc×β)≦2這里,R’0是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的內(nèi)緣的長度,R’1是從所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸到所述透射部的外緣的長度,Roc是所述聚光透鏡的光瞳的半徑,β是所述物鏡的焦距除以所述聚光透鏡的焦距而得的值。35.根據(jù)權(quán)利要求29所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述透射部的透射率根據(jù)部位而不同。36.根據(jù)權(quán)利要求29所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,T’in<T’out這里,T’in是所述透射部的內(nèi)緣附近的透射率,T’out是所述透射部的外側(cè)附近的透射率。37.根據(jù)權(quán)利要求29所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述開口部件由不透明的部件構(gòu)成,所述透射部具有形成于所述不透明的部件上的多個開口。38.根據(jù)權(quán)利要求29所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,0.01<(S’T×T’T)/(S’ND×T’ND)<100這里,S’ND是所述減光部的面積,T’ND是所述減光部的透射率,以百分比表示,S’T是通過所述聚光透鏡的光瞳的光中的、通過所述透射部的光的區(qū)域的面積,T’T是通過所述聚光透鏡的光瞳的光中的、通過所述透射部的光的區(qū)域的透射率,以百分比表示。39.一種標(biāo)本觀察裝置,其具備照明光學(xué)系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng),其中,所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有光源和聚光透鏡,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡、開口部件和成像透鏡,所述開口部件具有遮光部或減光部、第1透射部以及第2透射部,所述開口部件形成為所述第1透射部包含所述觀察光學(xué)系統(tǒng)的光軸,所述遮光部或所述減光部位于所述第1透射部的外緣的外側(cè),所述第2透射部位于所述遮光部或所述減光部的外緣的外側(cè),在所述第2透射部的內(nèi)緣與所述第2透射部的外緣之間,形成所述聚光透鏡的光瞳的外緣的像。40.根據(jù)權(quán)利要求39所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,滿足以下的條件式,0.01<(S’T2×T’T2)/(S’T1×T’T1)<100這里,S’T1是所述第1透射部的面積,T’T1是所述第1透射部的透射率,以百分比表示,S’T2是通過所述聚光透鏡的光瞳的光中的、通過所述第2透射部的光的區(qū)域的面積,T’T2是通過所述聚光透鏡的光瞳的光中的、通過所述第2透射部的光的區(qū)域的透射率,以百分比表示。41.一種標(biāo)本觀察裝置,其具備照明光學(xué)系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng),其中,所述照明光學(xué)系統(tǒng)和所述觀察光學(xué)系統(tǒng)相對配置,所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有光源、聚光透鏡和照明側(cè)開口部件,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡、觀察側(cè)開口部件和成像透鏡,所述照明側(cè)開口部件具有多個帶狀透射部,所述觀察側(cè)開口部件具有與所述帶狀透射部相同數(shù)量的透射部,所述透射部的外形與所述帶狀透射部的外形是相似形狀,各個所述帶狀透射部和所述透射部被配置為成對的所述帶狀透射部和所述透射部彼此的中心共軛,在所述透射部的外緣的內(nèi)側(cè),形成所述帶狀透射部的內(nèi)緣的像,在所述透射部的外緣的外側(cè),形成所述帶狀透射部的外緣的像。42.一種標(biāo)本觀察裝置,其具備照明光學(xué)系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng),其中,所述照明光學(xué)系統(tǒng)和所述觀察光學(xué)系統(tǒng)相對配置,所述照明光學(xué)系統(tǒng)具有光源、聚光透鏡和開口部件,所述觀察光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡和成像透鏡,所述開口部件具有遮光部和透射部,所述開口部件被配置成所述遮光部包含所述照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸,所述遮光部具有遮擋規(guī)定波段的光的特性,所述透射部位于所述遮光部的外緣的外側(cè),所述透射部的像形成在所述物鏡的光瞳位置,在所述物鏡的光瞳的外緣的內(nèi)側(cè),形成所述透射部的內(nèi)緣的像,在所述物鏡的光瞳的外緣的外側(cè),形成所述透射部的外緣的像。43.一種標(biāo)本觀察裝置,其具有光源、光學(xué)系統(tǒng)和保持物體的保持部件,其中,所述光學(xué)系統(tǒng)具有第1光學(xué)系統(tǒng)和第2光學(xué)系統(tǒng),所述第1光學(xué)系統(tǒng)和所述第2光學(xué)系統(tǒng)隔著所述保持部件相對配置,所述第1光學(xué)系統(tǒng)具有開口部件,以將所述開口部件的透射部的像形成在所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳位置處的方式,構(gòu)成所述光學(xué)系統(tǒng),所述透射部的像由于在物體中產(chǎn)生的折射,相對于所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳偏心,所述開口部件和所述第2光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)成為,通過所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳的光量由于所述偏心而增加,而與所述偏心的方向無關(guān)。44.根據(jù)權(quán)利要求43所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述透射部的像和所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳均是旋轉(zhuǎn)對稱的形狀。45.根據(jù)權(quán)利要求10-13、20、23~44中的任意一項(xiàng)所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,該標(biāo)本觀察裝置具有圖像處理裝置。46.根據(jù)權(quán)利要求45所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,具有配置于所述觀察光學(xué)系統(tǒng)側(cè)的攝像裝置,所述圖像處理裝置具有區(qū)域分離部和分析部,所述區(qū)域分離部將由所述攝像裝置取得的圖像的整個區(qū)域分離為符合規(guī)定條件的特定區(qū)域、和所述特定區(qū)域以外的非特定區(qū)域,所述分析部對所述特定區(qū)域的圖像進(jìn)行分析,取得與特定區(qū)域相關(guān)的信息。47.根據(jù)權(quán)利要求46所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,按照規(guī)定的時(shí)間間隔進(jìn)行所述圖像的取得,從多個所述圖像取得與所述特定區(qū)域相關(guān)的信息隨時(shí)間的變化。48.根據(jù)權(quán)利要求43所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述開口部件和所述第2光學(xué)系統(tǒng)被配置為,通過所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳的光量由于所述偏心而增加,所述開口部件具有遮光部,該遮光部的像的一部分由于所述偏心而出到所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳之外。49.一種標(biāo)本觀察裝置,其具有光源、光學(xué)系統(tǒng)和保持物體的保持部件,其中,所述光學(xué)系統(tǒng)具有第1光學(xué)系統(tǒng)和第2光學(xué)系統(tǒng),所述第1光學(xué)系統(tǒng)和所述第2光學(xué)系統(tǒng)隔著所述保持部件相對配置,所述第1光學(xué)系統(tǒng)具有光學(xué)部件,所述光學(xué)部件形成規(guī)定的照明光,以將所述規(guī)定的照明光的像形成在所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳位置處的方式,構(gòu)成所述光學(xué)系統(tǒng),所述規(guī)定的照明光的像由于在物體中產(chǎn)生的折射,相對于所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳偏心,所述第1光學(xué)系統(tǒng)和所述第2光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)成為,通過所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳的光量由于所述偏心而增加,而與所述偏心的方向無關(guān)。50.根據(jù)權(quán)利要求49所述的標(biāo)本觀察裝置,其中,所述光學(xué)部件和第2光學(xué)系統(tǒng)被配置為,通過所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳的光量由于所述偏心而增加,所述標(biāo)本觀察裝置構(gòu)成為,由所述光學(xué)部件形成的所述照明光的一部分由于所述偏心而成為進(jìn)入所述第2光學(xué)系統(tǒng)的光瞳內(nèi)的照明光。
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