基板檢查裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種基板檢查裝置及方法。該基板檢查裝置包括：傳送臺(tái)，用于在其表面上承載所述基板；區(qū)域掃描相機(jī)，其位于所述傳送臺(tái)的第一側(cè)，與所述表面相對(duì)設(shè)置，用于檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格；線掃描相機(jī)，其位于所述傳送臺(tái)的第一側(cè)，與所述表面相對(duì)設(shè)置，用于檢查所述基板的邊緣線及尺寸；光源，其位于與所述傳送臺(tái)的第一側(cè)相反的第二側(cè)，用于將光線照射到所述基板上，供所述區(qū)域掃描相機(jī)及所述線掃描相機(jī)檢查所述基板使用。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例提供的基板檢查裝置及方法，可以檢查多種多樣形態(tài)基板的規(guī)格，特別是對(duì)有著異形特性的基板進(jìn)行檢查，從而能夠準(zhǔn)確的判定不良的基板。
【專利說(shuō)明】基板檢查裝置及方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種基板檢查裝置及方法。

【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，顯示設(shè)備中通常需要使用基板，例如，LCD顯示設(shè)備中一般會(huì)使用陣列基板、彩膜基板，等等。因此，基板的選用對(duì)顯示設(shè)備非常重要，如果基板是不良產(chǎn)品，顯示設(shè)備很可能在使用中會(huì)出現(xiàn)故障。為此，基板在出廠前通常需要進(jìn)行嚴(yán)格的檢查，而現(xiàn)有技術(shù)中，用于檢查基板的設(shè)備一般只能對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的正四角形形態(tài)的基板進(jìn)行檢查，而不能對(duì)正四角形以外的異形基板進(jìn)行有效的檢查，從而導(dǎo)致異形基板的合格率大大降低。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是:如何能夠?qū)φ慕切我酝庑螒B(tài)的基板進(jìn)行有效的檢查。
[0005]( 二 )技術(shù)方案
[0006]為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種基板檢查裝置，包括:傳送臺(tái)，用于在其表面上承載所述基板；區(qū)域掃描相機(jī)，其位于所述傳送臺(tái)的第一側(cè)，與所述表面相對(duì)設(shè)置，用于檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格；線掃描相機(jī)，其位于所述傳送臺(tái)的第一側(cè)，與所述表面相對(duì)設(shè)置，用于檢查所述基板的邊緣線及尺寸；光源，其位于與所述傳送臺(tái)的第一側(cè)相反的第二側(cè)，用于將光線照射到所述基板上，供所述區(qū)域掃描相機(jī)及所述線掃描相機(jī)檢查所述基板使用。
[0007]優(yōu)選地，所述區(qū)域掃描相機(jī)檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格具體包括:所述區(qū)域掃描相機(jī)通過(guò)掃描所述基板上的校準(zhǔn)標(biāo)記，獲取所述校準(zhǔn)標(biāo)記的位置坐標(biāo)，通過(guò)掃描所述基板的圓形區(qū)域和/或C形切削區(qū)域，獲取所述圓形區(qū)域和/或所述C形切削區(qū)域的數(shù)據(jù)，并結(jié)合所述基板的圖形設(shè)計(jì)的實(shí)際坐標(biāo)，檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。
[0008]優(yōu)選地，所述線掃描相機(jī)檢查所述基板的邊緣線包括:檢查所述基板是否存在毛刺、裂紋、缺口，并根據(jù)檢查結(jié)果判斷所述基板是否良好。
[0009]優(yōu)選地，還包括:運(yùn)行控制器，用于控制所述傳送臺(tái)、所述區(qū)域掃描相機(jī)、以及所述線掃描相機(jī)的移動(dòng)。
[0010]優(yōu)選地，還包括:光源控制器，用于控制所述光源發(fā)光。
[0011]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種利用上述任一種所述基板檢查裝置對(duì)所述基板進(jìn)行檢查的方法，包括:在所述傳送臺(tái)的表面上裝載所述基板；利用所述區(qū)域掃描相機(jī)檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格；利用所述線掃描相機(jī)檢查所述基板的邊緣線及尺寸。
[0012]優(yōu)選地，利用所述區(qū)域掃描相機(jī)檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格具體包括:所述區(qū)域掃描相機(jī)通過(guò)掃描所述基板上的校準(zhǔn)標(biāo)記，獲取所述校準(zhǔn)標(biāo)記的位置坐標(biāo)，通過(guò)掃描所述基板的圓形區(qū)域和/或C形切削區(qū)域，獲取所述圓形區(qū)域和/或所述C形切削區(qū)域的數(shù)據(jù)，并結(jié)合所述基板的圖形設(shè)計(jì)的實(shí)際坐標(biāo)，檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。
[0013]優(yōu)選地，利用所述線掃描相機(jī)檢查所述基板的邊緣線包括:檢查所述基板是否存在毛刺、裂紋、缺口，并根據(jù)檢查結(jié)果判斷所述基板是否良好。
[0014](三)有益效果
[0015]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例提供的基板檢查裝置及方法，可以檢查多種多樣形態(tài)基板的規(guī)格，特別是對(duì)有著異形特性的基板進(jìn)行檢查，從而能夠準(zhǔn)確的判定不良的基板。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的基板檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的基板檢查方法的流程示意圖；
[0018]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的測(cè)定基板的圓形區(qū)域以及C形切削區(qū)域的示意圖；
[0019]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的測(cè)定基板的圓形區(qū)域的示意圖；
[0020]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的測(cè)定基板的C形切削區(qū)域的示意圖；
[0021]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的基板檢查方法實(shí)際操作流程示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明如下。
[0023]如圖1所示，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例提供了一種基板檢查裝置，其包括:區(qū)域掃描相機(jī)1、線掃描相機(jī)2、光源3、以及傳送臺(tái)4。
[0024]其中，所述傳送臺(tái)4用于在其表面上承載基板5。
[0025]可選地，所述傳送臺(tái)4可以是圓形旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)。
[0026]其中，所述區(qū)域掃描相機(jī)I位于所述傳送臺(tái)4的第一側(cè)，與所述表面相對(duì)設(shè)置，用于檢查所述基板5的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。
[0027]其中，所述線掃描相機(jī)2位于所述傳送臺(tái)4的第一側(cè)，與所述表面相對(duì)設(shè)置，用于檢查所述基板5的邊緣線及尺寸。
[0028]其中，所述光源3位于與所述傳送臺(tái)4的第一側(cè)相反的第二側(cè)，用于將光線照射到所述基板5上，供所述區(qū)域掃描相機(jī)I及所述線掃描相機(jī)2檢查所述基板5使用。
[0029]優(yōu)選地，所述光源3可以是頻閃閃光燈。
[0030]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述區(qū)域掃描相機(jī)I檢查所述基板5的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格具體可以包括:所述區(qū)域掃描相機(jī)I通過(guò)掃描所述基板5上的校準(zhǔn)標(biāo)記，獲取所述校準(zhǔn)標(biāo)記的位置坐標(biāo)，通過(guò)掃描所述基板5的圓形區(qū)域和/或C形切削區(qū)域，獲取所述圓形區(qū)域和/或所述C形切削區(qū)域的數(shù)據(jù)，并結(jié)合所述基板5的圖形設(shè)計(jì)的實(shí)際坐標(biāo)，檢查所述基板5的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。
[0031]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述線掃描相機(jī)2檢查所述基板5的邊緣線可以包括:檢查所述基板5是否存在毛刺、裂紋、缺口，并根據(jù)檢查結(jié)果判斷所述基板5是否良好。
[0032]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述基板檢查裝置還可以包括:運(yùn)行控制器6，用于控制所述傳送臺(tái)4、所述區(qū)域掃描相機(jī)1、以及所述線掃描相機(jī)2的移動(dòng)。
[0033]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述基板檢查裝置還可以包括:光源控制器7，用于控制所述光源3發(fā)光。
[0034]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述基板檢查裝置還可以包括:用戶接口 8，用于供用戶控制所述基板檢查裝置進(jìn)行工作，具體地，可以包括控制所述運(yùn)行控制器6以及所述光源控制器7工作，另外，還可以供用戶將所述基板5的圖形設(shè)計(jì)的有關(guān)數(shù)據(jù)提供給所述基板檢查裝置，并且將所述區(qū)域掃描相機(jī)I以及所述線掃描相機(jī)2獲取的有關(guān)圖像提供給用戶。
[0035]如圖2所示，本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例提供了一種利用上述任一種所述基板檢查裝置對(duì)所述基板進(jìn)行檢查的方法，包括步驟:
[0036]S1、在所述傳送臺(tái)的表面上裝載所述基板；
[0037]S2、利用所述區(qū)域掃描相機(jī)檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格；
[0038]S3、利用所述線掃描相機(jī)檢查所述基板的邊緣線及尺寸。
[0039]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述步驟S2具體可以包括:
[0040]所述區(qū)域掃描相機(jī)通過(guò)掃描所述基板上的校準(zhǔn)標(biāo)記，獲取所述校準(zhǔn)標(biāo)記的位置坐標(biāo)，通過(guò)掃描所述基板的圓形區(qū)域和/或C形切削區(qū)域，獲取所述圓形區(qū)域和/或所述C形切削區(qū)域的數(shù)據(jù)，并結(jié)合所述基板的圖形設(shè)計(jì)的實(shí)際坐標(biāo)，檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。
[0041]如圖3和圖4所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，測(cè)定所述基板的圓形區(qū)域具體可以包括:
[0042]以所述玻璃基板(glass)上的校準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)，作出所述校準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)線〃A〃 ；
[0043]再作出與其相對(duì)稱的虛擬的線102 ；
[0044]以此線105為基準(zhǔn)，設(shè)定與線106的圓形區(qū)間；
[0045]把這個(gè)作為CAD上登錄的坐標(biāo)地點(diǎn)的數(shù)，作出等間距的圓形坐標(biāo)點(diǎn)B ；
[0046]把這個(gè)與CAD上的等間距比較后，測(cè)定所述基板的圓形區(qū)域。
[0047]如圖3和圖5所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，測(cè)定所述基板的C形切削區(qū)域具體可以包括:
[0048]設(shè)定(C，D)和(G，H)作為開始和結(jié)束的I?5的測(cè)定點(diǎn)；
[0049]測(cè)定點(diǎn)的選定是由從(C，D)到下面的(G，H)，把X方向的Y以等間距劃分的點(diǎn)；
[0050](這時(shí)CAD上的測(cè)定坐標(biāo)點(diǎn)也是由CAD上從(C，D)到下面的(G，H)，把X方向的Y以等間距劃分的點(diǎn)作為其測(cè)定坐標(biāo)點(diǎn))
[0051]在視圖檢出的曲線和從直線的邊界(E，F(xiàn))到所述基板內(nèi)側(cè)的垂直距離，通過(guò)位移量與所述基板的邊界相遇的(A，B)；
[0052]在視圖檢出的曲線和從直線的邊界(G，H)到所述基板內(nèi)側(cè)的垂直距離，通過(guò)偏移量與所述基板的邊界相遇的(C，D)；
[0053]從(A, B)和(C，D)的交叉點(diǎn)(X，Y)開始，測(cè)定各自的距離。
[0054]本實(shí)施例中取得從校準(zhǔn)標(biāo)記到測(cè)定坐標(biāo)的加號(hào)之后，把其作為基準(zhǔn)點(diǎn)，以此為基準(zhǔn)，取得測(cè)定坐標(biāo)和坐標(biāo)之間的距離，再和CAD軟件中讀取的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，并計(jì)算實(shí)際對(duì)象物和設(shè)計(jì)圖面上的差異。
[0055]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述步驟S3具體可以包括:
[0056]檢查所述基板是否存在毛刺、裂紋、缺口，并根據(jù)檢查結(jié)果判斷所述基板是否良好。
[0057]如圖6所示，下面具體描述實(shí)際操作中基板檢查裝置對(duì)所述基板進(jìn)行檢查的應(yīng)用流程:
[0058]步驟S1:開始檢查玻璃基板(glass)；
[0059]步驟S2:檢查裝置的初始化；
[0060]步驟S3:對(duì)glass的校準(zhǔn)，CAD軟件坐標(biāo)自動(dòng)輸入；
[0061]該步驟中，把CAD設(shè)計(jì)成帶有在主檢查設(shè)備打開后自動(dòng)設(shè)定檢查數(shù)據(jù)的功能。
[0062]步驟S4:利用區(qū)域掃描相機(jī)檢查glass上面形成的校準(zhǔn)標(biāo)記，該步驟中，需要利用區(qū)域掃描相機(jī)的Vis1n Alignment功能。
[0063]步驟S5:檢測(cè)該校準(zhǔn)標(biāo)記是否良好；
[0064]步驟S6:若良好，則檢查線掃描相機(jī)的邊緣區(qū)域，該步驟中，應(yīng)用對(duì)稱算法的CAD設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)與實(shí)際拍攝的影像上的數(shù)據(jù)相比較的功能；
[0065]步驟S7:判斷Glass在CAD上的坐標(biāo)數(shù)據(jù)和測(cè)定的坐標(biāo)數(shù)據(jù)是否一致，若是，則正常判斷glass狀態(tài)。
[0066]步驟S6:檢查結(jié)束。
[0067]其中，在步驟S5中，若校準(zhǔn)不合格，則返回步驟S3中。
[0068]在步驟S7中，若不合格，則破損的區(qū)域通過(guò)校準(zhǔn)線檢查并移送到線掃描相機(jī)的下部，進(jìn)而利用校準(zhǔn)檢查鏡頭，在拍照破損的區(qū)域，判斷是否可以進(jìn)行下一個(gè)工藝，若可以，則進(jìn)入正常判斷glass狀態(tài),若不可以,貝U判定glass狀態(tài)不良,進(jìn)入步驟S6,檢查結(jié)束。
[0069]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例提供的基板檢查裝置及方法，可以檢查多種多樣形態(tài)基板的規(guī)格，特別是對(duì)有著異形特性的基板進(jìn)行檢查，從而能夠準(zhǔn)確的判定不良的基板。
[0070]以上實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
【權(quán)利要求】
1.一種基板檢查裝置，其特征在于，包括: 傳送臺(tái)，用于在其表面上承載所述基板； 區(qū)域掃描相機(jī)，其位于所述傳送臺(tái)的第一側(cè)，與所述表面相對(duì)設(shè)置，用于檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格； 線掃描相機(jī)，其位于所述傳送臺(tái)的第一側(cè)，與所述表面相對(duì)設(shè)置，用于檢查所述基板的邊緣線及尺寸； 光源，其位于與所述傳送臺(tái)的第一側(cè)相反的第二側(cè)，用于將光線照射到所述基板上，供所述區(qū)域掃描相機(jī)及所述線掃描相機(jī)檢查所述基板使用。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述區(qū)域掃描相機(jī)檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格具體包括: 所述區(qū)域掃描相機(jī)通過(guò)掃描所述基板上的校準(zhǔn)標(biāo)記，獲取所述校準(zhǔn)標(biāo)記的位置坐標(biāo)，通過(guò)掃描所述基板的圓形區(qū)域和/或C形切削區(qū)域，獲取所述圓形區(qū)域和/或所述C形切削區(qū)域的數(shù)據(jù)，并結(jié)合所述基板的圖形設(shè)計(jì)的實(shí)際坐標(biāo)，檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述線掃描相機(jī)檢查所述基板的邊緣線包括: 檢查所述基板是否存在毛刺、裂紋、缺口，并根據(jù)檢查結(jié)果判斷所述基板是否良好。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括: 運(yùn)行控制器，用于控制所述傳送臺(tái)、所述區(qū)域掃描相機(jī)、以及所述線掃描相機(jī)的移動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括: 光源控制器，用于控制所述光源發(fā)光。
6.一種利用權(quán)利要求1?5任一項(xiàng)所述的基板檢查裝置對(duì)所述基板進(jìn)行檢查的方法，其特征在于，包括: 在所述傳送臺(tái)的表面上裝載所述基板； 利用所述區(qū)域掃描相機(jī)檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格； 利用所述線掃描相機(jī)檢查所述基板的邊緣線及尺寸。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，利用所述區(qū)域掃描相機(jī)檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格具體包括: 所述區(qū)域掃描相機(jī)通過(guò)掃描所述基板上的校準(zhǔn)標(biāo)記，獲取所述校準(zhǔn)標(biāo)記的位置坐標(biāo)，通過(guò)掃描所述基板的圓形區(qū)域和/或C形切削區(qū)域，獲取所述圓形區(qū)域和/或所述C形切削區(qū)域的數(shù)據(jù)，并結(jié)合所述基板的圖形設(shè)計(jì)的實(shí)際坐標(biāo)，檢查所述基板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。
8.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，利用所述線掃描相機(jī)檢查所述基板的邊緣線包括: 檢查所述基板是否存在毛刺、裂紋、缺口，并根據(jù)檢查結(jié)果判斷所述基板是否良好。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK104391390SQ201410803896
【公開日】2015年3月4日 申請(qǐng)日期:2014年12月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月18日
【發(fā)明者】李庸珍, 李彥燮, 尹泰赫 申請(qǐng)人:合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司