碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置及制備方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置及制備方法，屬于材料制備【技術(shù)領(lǐng)域】。解決了現(xiàn)有技術(shù)中凝膠注模成型制備薄壁復(fù)雜形狀的碳化硅反射鏡鏡坯時(shí)，坯體內(nèi)部存在氣泡，坯體表面或內(nèi)部存在未固化漿料，導(dǎo)致坯體不完整的技術(shù)問題。本發(fā)明的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，包括真空腔、真空計(jì)、真空泵、三叉管、充氣裝置、模具、注漿管、漿料罐、閥門操作桿、帶頸法蘭、第一平板法蘭和第二平板法蘭；漿料在真空腔內(nèi)外氣壓差的作用下通過注漿管注入模具，消除了坯體表面和內(nèi)部的氧阻聚效應(yīng)，使坯體表面光潔，無凹坑；保證了坯體的完整性和尺寸準(zhǔn)確性。
【專利說明】碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置及制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于材料制備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置及制備方法。

【背景技術(shù)】
[0002]碳化硅(SiC)因其比剛度大，熱膨脹系數(shù)小，尺寸穩(wěn)定性好，熱導(dǎo)率高，良好的光學(xué)加工性能等特點(diǎn)被認(rèn)為是一種非常理想的空間反射鏡材料。但大尺寸均勻的碳化硅陶瓷坯體制備比較困難，而且由于輕量化結(jié)構(gòu)的需要，反射鏡的結(jié)構(gòu)一般較為復(fù)雜。
[0003]凝膠注模成型屬于濕法成型的一種，適合用于制備大尺寸復(fù)雜形狀的均勻陶瓷坯體。凝膠注模成型過程中最關(guān)鍵的步驟是單體的交聯(lián)反應(yīng)，但是單體的交聯(lián)反應(yīng)受O2的影響非常大，O2的存在會(huì)阻止交聯(lián)反應(yīng)的進(jìn)行(氧阻聚效應(yīng))，從而使成型的坯體內(nèi)部或表層有無法固化的漿料而形成缺陷。
[0004]現(xiàn)有凝膠注模工藝中氧阻聚效應(yīng)發(fā)生的情況有以下幾方面:
[0005]1、大氣環(huán)境下，由于模具表面的不完全平整，在漿料填充模具時(shí)候，模具表面凹坑處的空氣不能排出模具從而導(dǎo)致此處坯體表層漿料無法固化；這些無法固化的漿料很容易脫落而造成坯體表面缺陷。
[0006]2、在漿料制備過程中，不可避免的會(huì)裹入空氣產(chǎn)生氣泡，而氣泡中的O2會(huì)阻止氣泡周圍漿料固化，這些未固化的漿料可以看做坯體的缺陷，而且氣泡在漿料固化后形成的氣孔也是一種缺陷。
[0007]3、對(duì)于具有類似盲孔結(jié)構(gòu)的模具，大氣環(huán)境下很難保證漿料完全充滿模具，容易在模具的盲孔結(jié)構(gòu)末端形成空氣層，導(dǎo)致坯體在此處不完整；而且靠近盲孔末端的漿料會(huì)因?yàn)檠踝杈坌?yīng)而不能固化，進(jìn)一步導(dǎo)致坯體結(jié)構(gòu)不完整。
[0008]并且，在干燥過程中，未固化的漿料及其周圍坯體與其他正常固化的坯體收縮不一致，容易導(dǎo)致坯體出現(xiàn)裂紋。
[0009]上述的這些缺陷會(huì)破壞坯體的均勻性，降低坯體力學(xué)性能；而對(duì)于薄壁結(jié)構(gòu)的反射鏡，上述的各種缺陷會(huì)引起災(zāi)難性的后果，導(dǎo)致制備的SiC鏡坯無法使用。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)中凝膠注模成型制備薄壁復(fù)雜形狀的碳化硅鏡坯時(shí)，坯體內(nèi)部存在氣泡，坯體表面或內(nèi)部存在未固化漿料，導(dǎo)致坯體不完整的技術(shù)問題，提供一種碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置及制備方法。
[0011]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案如下。
[0012]碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，包括真空腔、真空計(jì)、真空泵、三叉管、充氣裝置、模具、注漿管、漿料罐、閥門操作桿、帶頸法蘭、第一平板法蘭和第二平板法蘭；
[0013]所述真空腔上安裝有觀察窗；
[0014]所述真空計(jì)用于檢測真空腔的真空度；
[0015]所述三叉管的第一導(dǎo)管端口與真空腔連通，第二導(dǎo)管端口與真空泵連接，第三導(dǎo)管端口與充氣裝置連接，且第二導(dǎo)管上設(shè)有第一閥門，第三導(dǎo)管上設(shè)有第二閥門；
[0016]所述模具放置在真空腔內(nèi)；
[0017]所述注漿管由上注漿管、中注漿管和下注漿管組成，所述中注漿管的一端與上注漿管的一端連接，另一端與下注漿管的一端連接，中注漿管的內(nèi)徑小于等于上注漿管的內(nèi)徑，且大于下注漿管的內(nèi)徑，中注漿管穿過真空腔的下底板，并通過第一平板法蘭固定在真空腔的下底板上，且通過第一 O型密封圈密封配合間隙，真空腔內(nèi)的注漿管上設(shè)有第三閥門，下注漿管的另一端插入漿料罐中；
[0018]所述帶頸法蘭的頸部嵌入模具的注漿口，且頸部的端口與模具的內(nèi)表面平齊，上注漿管的另一端伸入帶頸法蘭的頸部且與模具連通，第二平板法蘭套裝在上注漿管外，且?guī)ьi法蘭和第二平板法蘭通過螺栓固定在模具上，帶頸法蘭和第二平板法蘭間設(shè)有第二 O型密封圈；
[0019]所述閥門操作桿的一端與第三閥門的閥桿連接，另一端伸到真空腔外。
[0020]進(jìn)一步的，所述真空腔由上底板、下底板和側(cè)壁構(gòu)成，所述觀察窗安裝在側(cè)壁上。[0021 ] 進(jìn)一步的，所述真空腔內(nèi)設(shè)有第一支撐架，模具放置在第一支撐架上。
[0022]進(jìn)一步的，所述真空腔內(nèi)設(shè)有照明裝置。
[0023]進(jìn)一步的，所述真空計(jì)一端伸入真空腔內(nèi)，另一端與顯示器連接。
[0024]進(jìn)一步的，所述中注漿管和下注漿管間通過變徑接頭連接，所述上注漿管和中注漿管通過第三閥門連接。
[0025]進(jìn)一步的，所述裝置還包括用于支撐真空腔的第二支撐架和用于支撐漿料罐的支撐塊。
[0026]采用上述碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置制備碳化硅反射鏡鏡坯的方法，包括以下步驟:
[0027]步驟一、關(guān)閉第二閥門和第三閥門，打開第一閥門，對(duì)真空腔抽真空，然后關(guān)閉第一閥門，打開第二閥門，通過充氣裝置向真空腔中充入N2至大氣壓，再關(guān)閉第二閥門，打開第一閥門，再次對(duì)真空腔抽真空；
[0028]步驟二、關(guān)閉第一閥門，將漿料倒入漿料罐，下注漿管的末端沒入漿料內(nèi)；
[0029]步驟三、打開第三閥門，漿料在真空腔內(nèi)外氣壓差的作用下通過注漿管注入模具中，通過觀察窗觀察模具冒口涌出漿料后關(guān)閉第三閥門；
[0030]步驟四、打開第二閥門，通過充氣裝置向真空腔中充入空氣使真空腔內(nèi)氣壓與外界大氣壓相同；
[0031]步驟五、待漿料固化后，取出模具，切除模具注漿口外的多余素坯；
[0032]步驟六、去除模具，經(jīng)干燥、脫脂、燒結(jié)后，得到碳化硅反射鏡鏡坯。
[0033]進(jìn)一步的，在步驟一之前還包括，將上注漿管的內(nèi)壁涂覆上脫模劑。
[0034]進(jìn)一步的，所述步驟一中，第二次抽真空后真空腔內(nèi)的氣壓為lKPa_60KPa。
[0035]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于:
[0036]1、本發(fā)明的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置和方法，消除了由于模具表面不平整而導(dǎo)致的坯體表面氧阻聚效應(yīng)，使坯體表面光潔，無凹坑；
[0037]2、本發(fā)明的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置和方法，真空環(huán)境的低氣壓使?jié){料中的氣泡劇烈膨脹并破裂，避免坯體內(nèi)部產(chǎn)生氣孔和氧阻聚效應(yīng)，消除坯體內(nèi)部缺陷，且真空環(huán)境下漿料能完全充滿模具，保證坯體的完整性和尺寸準(zhǔn)確性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0038]圖1為本發(fā)明的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖2為本發(fā)明碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置中上注漿管與模具連接示意圖；
[0040]圖中，1、真空腔，1-1、觀察窗，1-2、照明裝置，1-3、第一支撐架，2、真空計(jì)，3、真空泵，4、三叉管，4-1、第一閥門，4-2，第二閥門，5、充氣裝置、6、模具，7、注漿管，7-1、上注漿管，7-2、中注漿管，7-3、下注漿管，7-4、第三閥門，8、漿料罐，9、閥門操作桿，10、帶頸法蘭，11、第二平板法蘭，12、第二支撐架，13、支撐塊，14、第二 0型密封圈。

【具體實(shí)施方式】
[0041]以下結(jié)合圖1和圖2及【具體實(shí)施方式】進(jìn)一步說明本發(fā)明。
[0042]本發(fā)明的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，包括真空腔1、真空計(jì)2、真空泵3、三叉管
4、充氣裝置5、模具6、注漿管7、漿料罐8、閥門操作桿9、帶頸法蘭10、第一平板法蘭和第二平板法蘭11 ;其中,真空腔1為密封結(jié)構(gòu)，由上底板、下底板和側(cè)壁構(gòu)成，真空腔1上安裝有觀察窗1-1，用于觀察真空腔1的內(nèi)部情況，觀察窗1-1 一般安裝在側(cè)壁上，為了便于觀察，真空腔1內(nèi)可以設(shè)有照明裝置1-2，照明裝置1-2 —般安裝在上底板上，真空腔1內(nèi)還可以設(shè)有用于支撐模具6的第一支撐架1-3。真空計(jì)2的一端伸入真空腔1內(nèi)，另一端留在真空腔1外，用于檢測真空腔1的真空度，為了顯示更清楚，真空計(jì)2留在外面的一端可以與顯示器連接。三叉管4為本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知結(jié)構(gòu)，由第一導(dǎo)管、第二導(dǎo)管和第三導(dǎo)管組成，第一導(dǎo)管的端口與真空腔1連通，第二導(dǎo)管的端口與真空泵3連接，第三導(dǎo)管的端口與充氣裝置5連接，且為了實(shí)現(xiàn)抽真空與充氣的單獨(dú)操作，第二導(dǎo)管上設(shè)有第一閥門4-1，第三導(dǎo)管上設(shè)有第二閥門4-2。模具6的結(jié)構(gòu)沒有特殊限制，為碳化硅反射鏡鏡坯常用模具即可，模具6上設(shè)有注漿口和冒口，模具6放置在真空腔1內(nèi)，如果真空腔1內(nèi)設(shè)有第一支撐架1-3，模具6放置在第一支撐架1-3上。注漿管7由上注漿管7-1、中注漿管7-2和下注漿管7-3組成，中注漿管7-2的一端與上注漿管7-1的一端連接，中注漿管7-2的另一端與下注漿管7-3的一端連接，且上注漿管7-1、中注漿管7-2和下注漿管7-3均為不銹鋼圓管；其中，上注漿管7-1的內(nèi)徑大于等于中注漿管7-2的內(nèi)徑，中注漿管7-2的內(nèi)徑大于下注漿管7-3的內(nèi)徑；中注漿管7-2穿過真空腔1的下底板(上注漿管7-1留在真空腔1內(nèi)，下注漿管7-3伸出至真空腔1外)，第一 0型密封圈和第一平板法蘭依次套裝在中注漿管7-2外，且第一平板法蘭通過螺栓固定在真空腔1的下底板上，第一平板法蘭用于固定中注漿管7-2，第一 0型密封圈密封配合間隙；下注漿管7-3的另一端插入漿料罐8中；帶頸法蘭10的頸部嵌入模具6的注漿口，頸部的端口與模具6的底部的內(nèi)表面平齊，上注漿管7-1的另一端穿過帶頸法蘭10與模具6連通，第二平板法蘭11套裝在上注漿管7-1外，且第二平板法蘭11和帶頸法蘭10通過螺栓固定在模具6上，為實(shí)現(xiàn)密封，第二平板法蘭11和帶頸法蘭10之間設(shè)有第二 0型密封圈14 (第二 0型密封圈14套裝在上注漿管7-1外)；在真空腔1內(nèi)部的注漿管7上的任意位置設(shè)有第三閥門7-4，閥門操作桿9的一端與第三閥門7-4的閥桿連接，另一端伸到真空腔1外；漿料罐8用于容納漿料，且與大氣連通。
[0043]本實(shí)施方式中，上注漿管7-1和中注漿管7-2可以一體化成型，也可以通過第三閥門7-4連接，中注漿管7-2和下注漿管7-3可以一體化成型，也可以通過變徑接頭連接。
[0044]本實(shí)施方式中，為便于操作，真空腔1可以放置在第二支撐架12上，漿料罐8放置在支撐塊13上。
[0045]本發(fā)明還提供采用上述碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置制備碳化硅反射鏡鏡坯的方法，包括以下步驟:
[0046]步驟一、將上注漿管7-1的內(nèi)壁涂覆上脫模劑；
[0047]如果上注漿管7-1與中注漿管7-2通過閥門連接，取下上注漿管7-1，將上注漿管7-1內(nèi)壁涂覆脫模劑后再通過帶頸法蘭10、第二 0型密封圈14和第二平板法蘭11連接于模具6的注漿口處；如果上注漿管7-1與中注漿管7-2和/或下注漿管7-3 —體化成型，取下上注漿管7-1時(shí)，連帶取下中注漿管7-2和/或下注漿管7-3，上注漿管7-1內(nèi)壁涂覆脫模劑后，將中注漿管7-2和/或下注漿管7-3也安裝回原位；
[0048]步驟二、關(guān)閉第二閥門4-2和第三閥門7-4，打開第一閥門4_1，對(duì)真空腔1抽真空至其內(nèi)部氣壓為lKPa，除去真空腔1內(nèi)的大部分02，然后關(guān)閉第一閥門4-1，打開第二閥門4-2，通過充氣裝置5向真空腔1中充入N2至大氣壓，稀釋真空腔1內(nèi)殘留的02，再關(guān)閉第二閥門4-2，打開第一閥門4-1，再次對(duì)真空腔1抽真空至其內(nèi)部氣壓為lKPa-60KPa，以進(jìn)一步降低真空腔1內(nèi)的02含量；
[0049]步驟三、關(guān)閉第二閥門4-2，將漿料倒入漿料罐8，下注漿管7-3的下端沒入漿料中，其中，漿料可以按照專利CN101941231B制備固相含量為67.5vol %的漿料并加入催化劑和引發(fā)劑得到(即按照CN101941231B中權(quán)利要求步驟1)_4)制備)；
[0050]步驟四、打開第三閥門7-4，漿料在真空腔1內(nèi)外氣壓差的作用下通過注漿管7注入模具6中，通過觀察窗1-1觀察模具6冒口涌出漿料后關(guān)閉第三閥門7-4 ；
[0051]步驟五、打開第二閥門4-2，通過充氣裝置5向真空腔1中充入空氣使真空腔1內(nèi)氣壓與外界大氣壓相同；
[0052]步驟六、待衆(zhòng)料固化后，一般固化時(shí)間為2h以上，取出模具6 ；
[0053]如果上注漿管7-1與中注漿管7-2通過閥門連接，將第三閥門7-4從注漿管7上拆除，然后去除第二平板法蘭11和第二 0型密封圈14，再旋轉(zhuǎn)拆除帶頸法蘭10，最后去除上注漿管7-1，取出模具6 ;如果上注漿管7-1與中注漿管7-2和/或下注漿管7-3 —體化成型，將第三閥門7-4從注漿管7上拆除后，先將第一平板法蘭和第一 0型密封圈拆除，再去除第二平板法蘭11、第二 0型密封圈14和帶頸法蘭10，最后，去除上注漿管7-1 (連帶去除中注漿管7-2和/或下注漿管7-3)，取出模具6 ；
[0054]步驟七、切除模具6注漿口外漿料固化形成的多余素坯；
[0055]步驟八、去除模具6，將素坯干燥、脫脂、燒結(jié)后，得到碳化硅反射鏡鏡坯，其中，干燥、脫脂可以按專利CN101941231B中的工藝操作。
[0056]實(shí)施例1
[0057]步驟一、上注衆(zhòng)管7-1內(nèi)徑21mm,中注衆(zhòng)管7-2內(nèi)徑19mm,下注衆(zhòng)管7-3內(nèi)徑16mm,上注漿管7-1的一端和中注漿管7-2的一端通過第三閥門7-4連接，中注漿管7-2的另一端與下注漿管7-3的一端通過變徑接頭連接，將上注漿管7-1從裝置中拆下，內(nèi)壁涂覆脫模劑后，將裝置按原樣安裝好；
[0058]步驟二、關(guān)閉第二閥門4-2和第三閥門7-4，打開第一閥門4_1，對(duì)真空腔I抽真空至lKPa，然后關(guān)閉第一閥門4-1，打開第二閥門4-2，通過充氣裝置5向真空腔I中充入N2至lOOKPa，再關(guān)閉第二閥門4-2，打開第一閥門4_1，再次對(duì)真空腔I抽真空到IKPa ；
[0059]步驟三、關(guān)閉第一閥門4-1，按專利CN101941231B中的方法配制17.8Kg固相含量為67.5vol %的SiC漿料，并球磨5h ;然后取出漿料，在2000KPa氣壓下除泡5min ;再將漿料倒入Φ200_的圓柱狀容器中并使其溫度降至18°C ;之后一邊攪拌一邊加入2mL四甲基乙二胺和25mL的1wt %過硫酸銨溶液，得到待成型漿料，將待成型漿料倒入漿料罐8，下注漿管7-3的下端沒入待成型漿料中，距漿料罐8底部約5mm ；
[0060]步驟四、打開第三閥門7-4，待成型漿料在真空腔I內(nèi)外氣壓差的作用下注入模具6中，通過觀察窗1-1觀察模具6冒口涌出待成型漿料后關(guān)閉第三閥門7-4 ；
[0061]步驟五、打開第二閥門4-2，通過充氣裝置5向真空腔I中充入空氣使真空腔I內(nèi)氣壓與外界大氣壓相同；
[0062]步驟六、室溫下固化2h后，將第三閥門7-4從注漿管7上拆除，然后去除第二平板法蘭11和第二 O型密封圈14，再旋轉(zhuǎn)拆除帶頸法蘭10，最后去除上注漿管7-1，取出模具6 ；
[0063]步驟七、切除模具6注漿口外漿料固化形成的多余素坯；
[0064]步驟八、去除模具6，素坯經(jīng)干燥、脫脂、反復(fù)燒結(jié)后(按專利CN101941231B中的方法)，得到碳化硅反射鏡鏡坯。
[0065]顯然，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于所述【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，其特征在于，包括真空腔(I)、真空計(jì)(2)、真空泵(3)、三叉管(4)、充氣裝置(5)、模具￠)、注漿管(7)、漿料罐(8)、閥門操作桿(9)、帶頸法蘭(10)、第一平板法蘭和第二平板法蘭(11)； 所述真空腔(I)上安裝有觀察窗(1-1)； 所述真空計(jì)(2)用于檢測真空腔(I)的真空度； 所述三叉管(4)的第一導(dǎo)管端口與真空腔(I)連通，第二導(dǎo)管端口與真空泵(3)連接，第三導(dǎo)管端口與充氣裝置(5)連接，且第二導(dǎo)管上設(shè)有第一閥門(4-1)，第三導(dǎo)管上設(shè)有第二閥門(4-2)； 所述模具(6)放置在真空腔(I)內(nèi)； 所述注漿管(7)由上注漿管(7-1)、中注漿管(7-2)和下注漿管(7-3)組成，所述中注漿管(7-2)的一端與上注漿管(7-1)的一端連接，另一端與下注漿管(7-3)的一端連接，中注漿管(7-2)的內(nèi)徑小于等于上注漿管(7-1)的內(nèi)徑，且大于下注漿管(7-3)的內(nèi)徑，中注漿管(7-2)穿過真空腔(I)的下底板，并通過第一平板法蘭固定在真空腔(I)的下底板上，且通過第一 O型密封圈密封配合間隙，真空腔(I)內(nèi)的注漿管(7)上設(shè)有第三閥門(7-4)，下注漿管(7-3)的另一端插入漿料罐(8)中； 所述帶頸法蘭(10)的頸部嵌入模具￠)的注漿口，且頸部的端口與模具(6)的內(nèi)表面平齊，上注漿管(7-1)的另一端伸入帶頸法蘭(10)的頸部且與模具(6)連通，第二平板法蘭(11)套裝在上注漿管(7-1)外，且?guī)ьi法蘭(10)和第二平板法蘭(11)通過螺栓固定在模具(6)上，帶頸法蘭(10)和第二平板法蘭(11)間設(shè)有第二 O型密封圈(14)； 所述閥門操作桿(9)的一端與第三閥門(7-4)的閥桿連接，另一端伸到真空腔(I)夕卜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，其特征在于，所述真空腔(I)由上底板、下底板和側(cè)壁構(gòu)成，所述觀察窗(1-1)安裝在側(cè)壁上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，其特征在于，所述真空腔(I)內(nèi)設(shè)有第一支撐架(1-3)，模具(6)放置在第一支撐架(1-3)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，其特征在于，所述真空腔(I)內(nèi)設(shè)有照明裝置(1-2)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，其特征在于，所述真空計(jì)(2)—端伸入真空腔(I)內(nèi)，另一端與顯示器連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，其特征在于，所述中注漿管(7-2)和下注漿管(7-3)間通過變徑接頭連接，所述上注漿管(7-1)和中注漿管(7-2)通過第三閥門(7-4)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置，其特征在于，所述裝置還包括用于支撐真空腔⑴的第二支撐架(12)和用于支撐漿料罐⑶的支撐塊(13)。
8.采用權(quán)利要求1所述的碳化硅反射鏡鏡坯制備裝置制備碳化硅反射鏡鏡坯的方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟一、關(guān)閉第二閥門(4-2)和第三閥門(7-4)，打開第一閥門(4-1)，對(duì)真空腔(I)抽真空，然后關(guān)閉第一閥門(4-1)，打開第二閥門(4-2)，通過充氣裝置(5)向真空腔⑴中充入N2至大氣壓，再關(guān)閉第二閥門(4-2)，打開第一閥門(4-1)，再次對(duì)真空腔(I)抽真空； 步驟二、關(guān)閉第一閥門(4-1)，將漿料倒入漿料罐(8)，下注漿管(7-3)的末端沒入漿料內(nèi)；步驟三、打開第三閥門(7-4)，漿料在真空腔(I)內(nèi)外氣壓差的作用下通過注漿管(7)注入模具(6)中，通過觀察窗(1-1)觀察模具(6)冒口涌出漿料后關(guān)閉第三閥門(7-4)；步驟四、打開第二閥門(4-2)，通過充氣裝置(5)向真空腔(I)中充入空氣使真空腔(I)內(nèi)氣壓與外界大氣壓相同； 步驟五、待漿料固化后，取出模具￠)，切除模具(6)注漿口外的多余素坯； 步驟六、去除模具￠)，經(jīng)干燥、脫脂、燒結(jié)后，得到碳化硅反射鏡鏡坯。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的碳化硅反射鏡鏡坯的制備方法，其特征在于，在步驟一之前還包括，將上注漿管(7-1)的內(nèi)壁涂覆上脫模劑。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的碳化硅反射鏡鏡坯的制備方法，其特征在于，所述步驟一中，第二次抽真空后真空腔(I)內(nèi)的氣壓為lKPa_60KPa。
【文檔編號(hào)】G02B5/08GK104400882SQ201410604521
【公開日】2015年3月11日 申請(qǐng)日期:2014年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月29日
【發(fā)明者】董斌超, 張舸 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所