減少修正迭代次數(shù)的opc方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種減少修正迭代次數(shù)的OPC方法，包括：執(zhí)行OPC過(guò)程，經(jīng)過(guò)原始迭代次數(shù)，得到原始OPC修正圖形；對(duì)原始OPC修正圖形進(jìn)行驗(yàn)證；找出原始OPC修正圖形與目標(biāo)圖形的差距為原始OPC修正量，并設(shè)定原始OPC修正的臨界值；將原始OPC修正圖形中原始OPC修正量超過(guò)原始OPC修正的臨界值的目標(biāo)圖形進(jìn)行標(biāo)記；設(shè)定新的迭代次數(shù)，執(zhí)行新的OPC迭代過(guò)程，并在第一次迭代中，將原始OPC修正量賦值于標(biāo)記的目標(biāo)圖形；得到并驗(yàn)證新的OPC修正圖形；判斷新的OPC修正圖形的驗(yàn)證結(jié)果是否在誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)；是，則新的迭代次數(shù)為新的OPC的迭代次數(shù)；否則，使新的迭代次數(shù)再加1，并重新執(zhí)行新的OPC過(guò)程，直至新的OPC的驗(yàn)證結(jié)果在誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)。從而保證了OPC精度和節(jié)約了時(shí)間。
【專(zhuān)利說(shuō)明】減少修正迭代次數(shù)的OPC方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種減少修正迭代次數(shù)的OPC方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在深亞微米半導(dǎo)體制造過(guò)程中，隨著特征尺寸的不斷減小和圖形復(fù)雜程度變得越來(lái)越高，OPC技術(shù)已廣泛應(yīng)用與各關(guān)鍵層次的掩模版出版中。目前應(yīng)用最為廣泛的OPC方法是基于模型的OPC修正方法，其基本原理是通過(guò)建立基于特定光刻條件的曝光模型，對(duì)原始版圖或目標(biāo)版圖進(jìn)行模擬以得到模擬誤差，然后將原始版圖按一定的規(guī)則進(jìn)行分段切害I]，根據(jù)模擬誤差對(duì)片斷進(jìn)行偏移補(bǔ)償并重新模擬，經(jīng)過(guò)數(shù)個(gè)回合的模擬和修正和得到模擬結(jié)果與目標(biāo)版圖一致的修正后版圖。
[0003]基于模型OPC方法在修正過(guò)程中一般要經(jīng)歷多次修正(每一次修正稱(chēng)為一個(gè)迭代)，直到修正后的模擬結(jié)果符合目標(biāo)圖形，或者修正后的模擬值與目標(biāo)值的誤差在允許范圍內(nèi)。OPC修正的時(shí)間主要取決于迭代的次數(shù)，迭代的次數(shù)越多，修正和模擬的次數(shù)越多，總的OPC修正時(shí)間就越長(zhǎng)，如圖1所示，隨著迭代次數(shù)的減少，OPC修正時(shí)間也相應(yīng)減少；然而為了確保OPC修正的準(zhǔn)確度，多次迭代是必要的，如圖1所示，為不同迭代次數(shù)的OPC的驗(yàn)證結(jié)果的示意圖，當(dāng)?shù)螖?shù)從10次逐漸減少到5次時(shí)，Pinch報(bào)錯(cuò)數(shù)目急劇的增加，pinchCD的最小值也有所下降，這都表明了迭代次數(shù)減少對(duì)OPC準(zhǔn)確性的影響。
[0004]OPC修正通?？梢詰?yīng)用于微影工藝中。微影工藝中受到光學(xué)臨近效應(yīng)的影響導(dǎo)致的圖形變形或失真是非線性的，既與微影工藝條件有關(guān)，又受到圖形本身的影響，一般如果目標(biāo)圖形的失真比較小，需要進(jìn)行迭代的次數(shù)就比較少，因?yàn)槠湫拚恳蚕鄬?duì)較小，而如果目標(biāo)圖形的失真比較大，則需要較多的修正量去彌補(bǔ)圖形失真，由于圖形之間復(fù)雜的的相互影響，通常需要多次修正去逼近最佳的結(jié)果，也即需要多次OPC迭代。盡管如此，通常也難以保證所有圖形經(jīng)過(guò)OPC修正后都能夠達(dá)到預(yù)期的結(jié)果。
[0005]從理論上說(shuō)，OPC迭代次數(shù)越多，能夠達(dá)到的OPC準(zhǔn)確度也越好。然而受產(chǎn)品出版周期的限制，OPC運(yùn)行時(shí)間必須在合理的范圍內(nèi)。為了在確保OPC準(zhǔn)確性的同時(shí)，還要OPC執(zhí)行時(shí)間在合理可接受的范圍內(nèi)，通常是根據(jù)特征尺寸的大小，圖形的復(fù)雜度，臨近效應(yīng)的影響等因素來(lái)制定一個(gè)合理的OPC迭代次數(shù)，從而執(zhí)行OPC過(guò)程。而傳統(tǒng)的基于模型的OPC方法一般考慮邊緣放置誤差的影響，而沒(méi)有考慮掩膜版尺寸誤差變化、光刻條件偏移變化等對(duì)OPC的精度帶來(lái)的影響。因此，減少迭代次數(shù)反而造成OPC精度的下降。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了克服以上問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種減少迭代次數(shù)的OPC方法，將目標(biāo)圖形與原始OPC修正后的圖形之間的差距形成的原始OPC修正量賦值于新的OPC過(guò)程的第一次迭代過(guò)程中的目標(biāo)圖形中，同時(shí)減少OPC迭代次數(shù)，從而在OPC精度不下降前提下減少OPC修正時(shí)間，
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供給了一種減少修正迭代次數(shù)的OPC方法，其包括以下步驟:
[0008]步驟01:執(zhí)行OPC過(guò)程，經(jīng)過(guò)一定的原始迭代次數(shù)后，得到原始OPC修正圖形；并對(duì)原始OPC修正圖形進(jìn)行驗(yàn)證，得到驗(yàn)證結(jié)果；
[0009]步驟02:找出原始OPC修正圖形與目標(biāo)圖形的差距為原始OPC修正量，并設(shè)定原始OPC修正的臨界值；
[0010]步驟03:將原始OPC修正圖形中的原始OPC修正量超過(guò)原始OPC修正的臨界值的目標(biāo)圖形進(jìn)行標(biāo)記；
[0011]步驟04:設(shè)定新的迭代次數(shù)，執(zhí)行新的OPC迭代過(guò)程；其中，在第一次迭代中，將所述原始OPC修正量賦值于所述標(biāo)記的目標(biāo)圖形；
[0012]步驟05:得到新的OPC修正圖形,并驗(yàn)證新的OPC修正圖形,得到驗(yàn)證結(jié)果；
[0013]步驟06:設(shè)定新的OPC修正圖形的驗(yàn)證結(jié)果的誤差標(biāo)準(zhǔn)，并判斷新的OPC修正圖形的驗(yàn)證結(jié)果是否在誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)；
[0014]步驟07:所述新的OPC驗(yàn)證結(jié)果在所述誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)，則所述新的迭代次數(shù)為所述新的OPC的迭代次數(shù)；否則，使所述新的迭代次數(shù)再加1，并重新執(zhí)行新的OPC過(guò)程，直至所述新的OPC的驗(yàn)證結(jié)果在所述誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)；
[0015]步驟08:結(jié)束新的OPC過(guò)程。
[0016]優(yōu)選地，所述原始OPC修正的臨界值為所述原始OPC修正圖形與所述目標(biāo)圖形的差距的最大值的1/3。
[0017]優(yōu)選地，所述步驟05中，設(shè)定新的迭代次數(shù)為原始迭代次數(shù)的一半。
[0018]優(yōu)選地，所述步驟03中，根據(jù)所述目標(biāo)圖形的圖形特征來(lái)進(jìn)行標(biāo)記。
[0019]優(yōu)選地，所述圖形特征包括所述目標(biāo)圖形的相鄰圖形的尺寸、與相鄰圖形的距離、以及所述目標(biāo)圖形的尺寸。
[0020]優(yōu)選地，所述目標(biāo)圖形的尺寸包括線寬或間距。
[0021]本發(fā)明的減少迭代次數(shù)的OPC方法，通過(guò)將將目標(biāo)圖形與原始OPC修正后的圖形之間的差距形成的原始OPC修正量賦值于第一次迭代過(guò)程中的目標(biāo)圖形中，并結(jié)合減少OPC迭代次數(shù)，從而可以在保證OPC準(zhǔn)確性的條件下，減少OPC修正時(shí)間，提高修正效率。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1為不同迭代次數(shù)的OPC的驗(yàn)證結(jié)果的示意圖
[0023]圖2為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的減少迭代次數(shù)的OPC方法的流程示意圖
[0024]圖3為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的目標(biāo)圖形與原始OPC修正后的圖形的對(duì)比示意圖
[0025]圖4為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的目標(biāo)圖形的圖形特征的示意圖
[0026]圖5a_5b為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的新的OPC的驗(yàn)證結(jié)果,其中，圖5a為pinch的驗(yàn)證結(jié)果，圖5b為bridge的驗(yàn)證結(jié)果

【具體實(shí)施方式】
[0027]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說(shuō)明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0028]以下將結(jié)合附圖2-5和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的減少迭代次數(shù)的OPC方法作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、清晰地達(dá)到輔助說(shuō)明本實(shí)施例的目的。
[0029]請(qǐng)參閱圖2，為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的減少迭代次數(shù)的OPC方法的流程示意圖，本實(shí)施的減少迭代次數(shù)的OPC方法，具體包括以下步驟:
[0030]步驟01:執(zhí)行OPC過(guò)程，經(jīng)過(guò)一定的原始迭代次數(shù)后，得到原始OPC修正圖形；并對(duì)原始OPC修正圖形進(jìn)行驗(yàn)證，得到驗(yàn)證結(jié)果；
[0031]具體的，OPC過(guò)程可以采用現(xiàn)有的OPC方法，在本實(shí)施例中，原始迭代次數(shù)可以為10。OPC迭代過(guò)程和OPC驗(yàn)證過(guò)程可以使用Mentor的Calibre軟件,本發(fā)明對(duì)此不作限制。
[0032]步驟02:找出原始OPC修正圖形與目標(biāo)圖形的差距為原始OPC修正量，并設(shè)定原始OPC修正的臨界值；
[0033]具體的，原始OPC修正的臨界值可以設(shè)定為原始OPC修正圖形與目標(biāo)圖形的差距的最大值的1/3，例如，原始OPC修正圖形與目標(biāo)圖形的差距有2nm、3nm、5nm、15nm、22nm、47nm、60nm，這些差距的最大值為60nm，此時(shí)將原始OPC修正的臨界值設(shè)定為20nm ;原始OPC修正的臨界值太小對(duì)于后面第一次迭代賦值沒(méi)有意義，太大影響第一次迭代賦值的效果。請(qǐng)參閱圖3，為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的目標(biāo)圖形與原始OPC修正后的圖形的對(duì)比示意圖。原始OPC修正圖形為實(shí)線，目標(biāo)圖形為虛線，虛線和實(shí)線之間的差距即為原始OPC修正圖形與目標(biāo)圖形的差異也即是原始OPC修正量，設(shè)定這些差距中的最大值的1/3為原始OPC修正的臨界值。在新的OPC過(guò)程中，對(duì)于原始OPC修正量超過(guò)原始OPC修正臨界值的目標(biāo)圖形采用在第一次OPC迭代中賦值的方式，可以確保OPC精度的情況下減少OPC迭代次數(shù)。
[0034]步驟03:將原始OPC修正圖形中的原始OPC修正量超過(guò)原始OPC修正的臨界值的目標(biāo)圖形進(jìn)行標(biāo)記；
[0035]具體的，可以根據(jù)目標(biāo)圖形的圖形特征來(lái)進(jìn)行標(biāo)記。圖形特征包括目標(biāo)圖形的相鄰圖形的尺寸、與相鄰圖形的距離、以及目標(biāo)圖形的尺寸。目標(biāo)圖形的尺寸包括線寬或間距。
[0036]需要說(shuō)明的是，之所以要將原始OPC修正圖形中的原始OPC修正量超過(guò)原始OPC修正的臨界值的目標(biāo)圖形進(jìn)行標(biāo)記是因?yàn)?原始OPC修正過(guò)程修正后的圖形和目標(biāo)圖形之間的差距，是通過(guò)多次修正和模擬得到的；這些差距越大的地方，需要的迭代次數(shù)也越多，而這些差距越小的地方，需要的迭代次數(shù)越少；因此，把這些差距超過(guò)原始OPC修正的臨界值的圖形進(jìn)行標(biāo)記，以便后續(xù)進(jìn)行賦值和減少迭代次數(shù)。
[0037]例如，原始OPC修正圖形與目標(biāo)圖形的差距有2nm、3nm、5nm、15nm、22nm、47nm、60nm,這些為原始OPC修正量；這些差距的最大值為60nm，此時(shí)將原始OPC修正的臨界值設(shè)定為20nm ;將差距為22nm、47nm、60nm所對(duì)應(yīng)的目標(biāo)圖形進(jìn)行標(biāo)記。
[0038]請(qǐng)參閱圖4，為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的目標(biāo)圖形的圖形特征的示意圖；在圖4中目標(biāo)圖形為線段A，線段A的圖形特征包括:相鄰線段B和C的尺寸、線段A與周?chē)鷪D形的距離S和T、以及線段A的圖形線寬。
[0039]步驟04:設(shè)定新的迭代次數(shù)，執(zhí)行新的OPC迭代過(guò)程；其中，在第一次迭代中，將原始OPC修正量賦值于標(biāo)記的目標(biāo)圖形；具體的，請(qǐng)?jiān)俅螀㈤唸D3，線段Xl和X2為標(biāo)記的目標(biāo)圖形，在新的OPC過(guò)程的第一次迭代中，將原始OPC修正量賦值于線段Xl和X2，線段Xl在第一次迭代中的原始OPC修正量為負(fù)的Ml，線段X2在第一次迭代中的原始OPC修正量為正的M2。
[0040]例如，原始OPC修正圖形與目標(biāo)圖形的差距有2nm、3nm、5nm、15nm、22nm、47nm、60nm,這些為原始OPC修正量；這些差距的最大值為60nm，此時(shí)將原始OPC修正的臨界值設(shè)定為20nm ;將差距為22nm、47nm、60nm所對(duì)應(yīng)的目標(biāo)圖形進(jìn)行標(biāo)記；在第一次迭代過(guò)程中，將原始OPC修正量22nm、47nm、60nm分別賦值于其對(duì)應(yīng)的目標(biāo)圖形。
[0041]這里，設(shè)定新的迭代次數(shù)可以為原始迭代次數(shù)的一半，這里為5次。新的OPC迭代過(guò)程和新的OPC驗(yàn)證過(guò)程可以使用Mentor的Calibre軟件，本發(fā)明對(duì)此不作限制。步驟05:得到新的OPC修正圖形，并驗(yàn)證新的OPC修正圖形，得到驗(yàn)證結(jié)果；
[0042]具體的，對(duì)新的OPC圖形的驗(yàn)證結(jié)果可以包括:對(duì)新的OPC圖形進(jìn)行模擬并檢查是否存在圖形間距變小(bridge)和圖形線寬變窄(pinch)的地方。
[0043]步驟06:設(shè)定新的OPC修正圖形的驗(yàn)證結(jié)果的誤差標(biāo)準(zhǔn)，并判斷新的OPC修正圖形的驗(yàn)證結(jié)果是否在誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)；
[0044]具體的，請(qǐng)參閱圖5a_5b，為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的新的OPC的驗(yàn)證結(jié)果，其中，圖5a為pinch的驗(yàn)證結(jié)果，圖5b為bridge的驗(yàn)證結(jié)果。設(shè)定新的OPC的驗(yàn)證結(jié)果中bridge和pinch的報(bào)錯(cuò)數(shù)目均不超過(guò)150,也即是誤差標(biāo)準(zhǔn)為150。
[0045]步驟07:新的OPC驗(yàn)證結(jié)果在誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)，則新的迭代次數(shù)為新的OPC的迭代次數(shù)；否則，使新的迭代次數(shù)再加1，并重新執(zhí)行新的OPC過(guò)程，直至新的OPC驗(yàn)證結(jié)果在誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)。
[0046]具體的,參閱圖5a和圖5b,在新的迭代次數(shù)為5次時(shí)，bridge的報(bào)錯(cuò)數(shù)目為97,而pinch的報(bào)錯(cuò)數(shù)目為453，超過(guò)了所設(shè)定的誤差標(biāo)準(zhǔn)150，不在誤差標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，則將新的迭代次數(shù)再增加I次，即為6次，重新執(zhí)行新的OPC過(guò)程；再次參閱圖5a和圖5b，在新的迭代次數(shù)為6次時(shí),bridge的報(bào)錯(cuò)數(shù)目為98,而pinch的報(bào)錯(cuò)數(shù)目為230,還是超過(guò)了 150,則繼續(xù)增加I次迭代次數(shù)，則新的迭代次數(shù)為7次，并重新執(zhí)行新的OPC過(guò)程；再次參閱圖5a和圖5b,在新的迭代次數(shù)為7次時(shí)，bridge報(bào)錯(cuò)數(shù)目為97, pinch報(bào)錯(cuò)數(shù)目為125, bridge和pinch的報(bào)錯(cuò)數(shù)目均小于150，則確定新的迭代次數(shù)為7次。為了確定是否還有更小的報(bào)錯(cuò)數(shù)目，再繼續(xù)增加I次迭代次數(shù)，則新的迭代次數(shù)為8次時(shí)，發(fā)現(xiàn)bridge報(bào)錯(cuò)數(shù)目為324，Pinch報(bào)錯(cuò)數(shù)目為47，超出了誤差標(biāo)準(zhǔn)，則舍去。因此，最后確定新的迭代次數(shù)為7次。
[0047]步驟08:結(jié)束新的OPC過(guò)程。
[0048]由此可見(jiàn)，相比于傳統(tǒng)的OPC方法，本發(fā)明的減少迭代次數(shù)的OPC方法，通過(guò)將將目標(biāo)圖形與原始OPC修正后的圖形之間的差距形成的原始OPC修正量賦值于第一次迭代過(guò)程中的目標(biāo)圖形中，減少了 OPC迭代次數(shù)，從而可以在不降低OPC精度的條件下，減少OPC修正時(shí)間，提高修正效率。
[0049]雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述實(shí)施例僅為了便于說(shuō)明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動(dòng)與潤(rùn)飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書(shū)所述為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種減少修正迭代次數(shù)的OPC方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟01:執(zhí)行OPC過(guò)程，經(jīng)過(guò)一定的原始迭代次數(shù)后，得到原始OPC修正圖形；并對(duì)原始OPC修正圖形進(jìn)行驗(yàn)證，得到驗(yàn)證結(jié)果； 步驟02:找出原始OPC修正圖形與目標(biāo)圖形的差距為原始OPC修正量，并設(shè)定原始OPC修正的臨界值； 步驟03:將原始OPC修正圖形中的原始OPC修正量超過(guò)原始OPC修正的臨界值的目標(biāo)圖形進(jìn)行標(biāo)記； 步驟04:設(shè)定新的迭代次數(shù)，執(zhí)行新的OPC迭代過(guò)程；其中，在第一次迭代中，將所述原始OPC修正量賦值于所述標(biāo)記的目標(biāo)圖形； 步驟05:得到新的OPC修正圖形，并驗(yàn)證新的OPC修正圖形，得到驗(yàn)證結(jié)果； 步驟06:設(shè)定新的OPC修正圖形的驗(yàn)證結(jié)果的誤差標(biāo)準(zhǔn)，并判斷新的OPC修正圖形的驗(yàn)證結(jié)果是否在誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)； 步驟07:所述新的OPC驗(yàn)證結(jié)果在所述誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)，則所述新的迭代次數(shù)為所述新的OPC的迭代次數(shù)；否則，使所述新的迭代次數(shù)再加1，并重新執(zhí)行新的OPC過(guò)程，直至所述新的OPC的驗(yàn)證結(jié)果在所述誤差標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)； 步驟08:結(jié)束新的OPC過(guò)程。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少修正迭代次數(shù)的OPC方法，其特征在于，所述原始OPC修正的臨界值為所述原始OPC修正圖形與所述目標(biāo)圖形的差距的最大值的1/3。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少修正迭代次數(shù)的OPC方法，其特征在于，所述步驟05中，設(shè)定新的迭代次數(shù)為原始迭代次數(shù)的一半。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少修正迭代次數(shù)的OPC方法，其特征在于，所述步驟03中，根據(jù)所述目標(biāo)圖形的圖形特征來(lái)進(jìn)行標(biāo)記。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的減少修正迭代次數(shù)的OPC方法，其特征在于，所述圖形特征包括所述目標(biāo)圖形的相鄰圖形的尺寸、與相鄰圖形的距離、以及所述目標(biāo)圖形的尺寸。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的減少修正迭代次數(shù)的OPC方法，其特征在于，所述目標(biāo)圖形的尺寸包括線寬或間距。
【文檔編號(hào)】G03F1/36GK104166305SQ201410428712
【公開(kāi)日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2014年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月27日
【發(fā)明者】何大權(quán), 顧婷婷, 魏芳, 朱駿, 張旭昇 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司