專利名稱：一種光阻瓶更換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種光阻瓶更換裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是涉及一種光阻瓶更換裝置。
背景技術(shù)：
[0002]光阻(Photo Resist，PR)，亦稱為光阻劑或光刻膠，是一種用在許多工業(yè)制程上的光敏材料，比如光刻技術(shù)，利用光阻的光化學(xué)反應(yīng)，鏡曝光、顯影將所需要的微細(xì)圖形從研磨版轉(zhuǎn)移至待加工的基片上。因此，光阻是電子工業(yè)中關(guān)鍵性的基礎(chǔ)化工材料。光阻可以分為正光阻和負(fù)光阻。正光阻是照到光的部分會(huì)溶于光阻顯影液。而沒有照到光的部分不會(huì)溶于光阻顯影液；負(fù)光阻剛好相反，其照到光的部分不會(huì)溶于光阻顯影液，而沒有照到光的部分會(huì)溶于光阻顯影液。在半導(dǎo)體制造車間內(nèi)，每天需要消耗大量的光阻，當(dāng)光阻用完時(shí)，制程設(shè)備則要更換光阻，這時(shí)需要將空的光阻瓶換下，新的光阻瓶換上。[0003]傳統(tǒng)的用于更換光阻瓶的裝置如圖1所示，該裝置包括一主架2A和一側(cè)架3A，所述側(cè)架3A的底板與主架2A活動(dòng)連接，側(cè)架3A的側(cè)面還設(shè)有與主架2A連接的側(cè)邊。當(dāng)光阻用完需要更換空光阻瓶IA時(shí)，要完成三個(gè)步驟:，首先將側(cè)架3A放下(如圖1 (2))，把新光阻瓶4A放在側(cè)架3A上(如圖1 (3))，然后將空光阻瓶IA瓶口上的泵管5A安裝到新光阻瓶4A瓶口上并將空光阻瓶IA從主架2A上取下(如圖1 (4))，最后手動(dòng)將新光阻瓶4A搬運(yùn)到主架2A上(如圖1 (5))，并收起側(cè)架3A。在最后搬運(yùn)新光阻4A瓶至主架2A上時(shí)，由于光阻瓶陳列柜的空間非常有限，操作員只能抓住光阻瓶的瓶口來實(shí)施搬運(yùn)，這樣就很容易引起瓶口的泵管5A脫落，使瓶口的光阻和粘在泵管5A上的光阻受到污染。[0004]因此，設(shè)計(jì)一種改進(jìn)型的光阻瓶更換裝置實(shí)屬必要。實(shí)用新型內(nèi)容[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種光阻瓶更換裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中更換光阻瓶時(shí)泵管脫落引起光阻受到污染的問題。[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種光阻瓶更換裝置，所述更換裝置至少包括:[0007]主架和用于輔助更換光阻瓶的抽屜式側(cè)架；[0008]所述主架包括主架底板、位于主架底板邊緣上的主架側(cè)壁和一個(gè)活動(dòng)擋板；所述主架底板設(shè)置有空心層，所述空心層側(cè)面具有一個(gè)入口 ；[0009]所述抽屜式側(cè) 架 包括側(cè)架底板和位于側(cè)架底板邊緣上的側(cè)架側(cè)壁，所述側(cè)架底板從空心層的入口推入；藉由所述抽屜式側(cè)架將光阻瓶推到主架上。[0010]優(yōu)選地，主架底板上設(shè)置有支撐所述活動(dòng)擋板的支柱。[0011]優(yōu)選地，所述主架底板為長(zhǎng)方形，其三個(gè)邊緣上設(shè)置為主架側(cè)壁，另一個(gè)邊緣上設(shè)置為活動(dòng)擋板，其中，與所述活動(dòng)擋板相鄰的兩個(gè)主架側(cè)壁為主架橫梁，該主架橫梁固定于所述支柱和與活動(dòng)擋板相對(duì)的另一主架側(cè)壁之間。[0012]優(yōu)選地，所述側(cè)架底板為長(zhǎng)方形，其三個(gè)邊緣設(shè)置為側(cè)架側(cè)壁，其中兩個(gè)相對(duì)的側(cè)架側(cè)壁為側(cè)架橫梁。[0013]優(yōu)選地，所述主架底板由上底板、空心層和下底板組成，所述上底板呈U字型。[0014]優(yōu)選地，所述側(cè)架底板的表面設(shè)有凸起，所述凸起的高度與主架底板的上底板厚度相問。[0015]優(yōu)選地，側(cè)架推入主架后，所述側(cè)架底板的凸起匹配卡于主架底板的U字型上底板間。[0016]優(yōu)選地，所述空心層設(shè)有一個(gè)與所述入口相對(duì)應(yīng)的出口。[0017]優(yōu)選地，側(cè)架推入主架后，側(cè)架的側(cè)架底板有一部分從主架的空心層出口露出。[0018]優(yōu)選地，所述側(cè)架底板的下表面還設(shè)有滾輪。[0019]如上所述，本實(shí)用新型的光阻瓶更換裝置，具有以下有益效果:通過在主架的一側(cè)設(shè)置一抽屜式側(cè)架，操作員不需要將新的光阻瓶提起而只需將新的光阻瓶推到主架上，便可完成光阻瓶的更換，本實(shí)用新型提供的光阻瓶更換裝置，操作方便，降低了操作員的操作風(fēng)險(xiǎn)，避免了光阻受到污染。


[0020]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的光阻瓶更換裝置流程示意圖。[0021]圖2顯示為本實(shí)用新型的光阻瓶更換裝置流程示意圖。[0022]圖3顯示為本實(shí)用新型的光阻瓶更換裝置中側(cè)架底板下表面裝有滾輪的示意圖。[0023]圖4顯示為本實(shí)用新型的光阻瓶更換裝置中活動(dòng)擋板關(guān)閉和打開的示意圖。[0024]圖5a顯示為本實(shí)用新型的光阻瓶更換裝置中主架和側(cè)架運(yùn)動(dòng)過程的局部示意圖。[0025]圖5b顯示為本實(shí)用新型的光阻瓶更換裝置中主架和側(cè)架運(yùn)動(dòng)過程俯視圖。[0026]圖5c顯示為本實(shí)用新型的光阻瓶更換裝置中主架和側(cè)架運(yùn)動(dòng)過程側(cè)視圖。[0027]元件標(biāo)號(hào)說 明[0028]
權(quán)利要求1.一種光阻瓶更換裝置，其特征在于，所述更換裝置至少包括: 主架和用于輔助更換光阻瓶的抽屜式側(cè)架； 所述主架包括主架底板、位于主架底板邊緣上的主架側(cè)壁和一個(gè)活動(dòng)擋板；所述主架底板設(shè)置有空心層，所述空心層側(cè)面具有一個(gè)入口 ； 所述抽屜式側(cè)架包括側(cè)架底板和位于側(cè)架底板邊緣上的側(cè)架側(cè)壁，所述側(cè)架底板從空心層的入口推入；藉由所述抽屜式側(cè)架將光阻瓶推到主架上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻瓶更換裝置，其特征在于:主架底板上設(shè)置有支撐所述活動(dòng)擋板的支柱。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光阻瓶更換裝置，其特征在于:所述主架底板為長(zhǎng)方形，其三個(gè)邊緣上設(shè)置為主架側(cè)壁，另一個(gè)邊緣上設(shè)置為活動(dòng)擋板，其中，與所述活動(dòng)擋板相鄰的兩個(gè)主架側(cè)壁為主架橫梁，該主架橫梁固定于所述支柱和與活動(dòng)擋板相對(duì)的另一主架側(cè)壁之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻瓶更換裝置，其特征在于:所述側(cè)架底板為長(zhǎng)方形，其三個(gè)邊緣設(shè)置為側(cè)架側(cè)壁，其中兩個(gè)相對(duì)的側(cè)架側(cè)壁為側(cè)架橫梁。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻瓶更換裝置，其特征在于:所述主架底板由上底板、空心層和下底板組成，所述上底板呈U字型。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻瓶更換裝置，其特征在于:所述側(cè)架底板的表面設(shè)有凸起，所述凸起的高度與主架底板的上底板厚度相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的光阻瓶更換裝置，其特征在于:側(cè)架推入主架后，所述側(cè)架底板的凸起匹配卡于主 架底板的U字型上底板間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻瓶更換裝置，其特征在于:所述空心層設(shè)有一個(gè)與所述入口相對(duì)應(yīng)的出口。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光阻瓶更換裝置，其特征在于:側(cè)架推入主架后，側(cè)架底板有一部分從主架的空心層出口露出。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻瓶更換裝置，其特征在于:所述側(cè)架底板的下表面還設(shè)有滾輪。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種光阻瓶更換裝置，該更換裝置至少包括主架和用于輔助更換光阻瓶的抽屜式側(cè)架；所述主架包括主架底板、位于主架底板邊緣上的主架側(cè)壁和一個(gè)活動(dòng)擋板；所述主架底板設(shè)置有空心層，所述空心層側(cè)面具有一個(gè)入口；所述抽屜式側(cè)架包括側(cè)架底板和位于側(cè)架底板邊緣上的側(cè)架側(cè)壁，所述側(cè)架底板從空心層的入口推入；藉由所述抽屜式側(cè)架將光阻瓶推到主架上。本實(shí)用新型提供的光阻瓶更換裝置，通過在主架上設(shè)計(jì)一抽屜式的側(cè)架，可方便地進(jìn)行光阻瓶的更換，避免操作員搬運(yùn)光阻瓶時(shí)失誤導(dǎo)致泵管脫落而使光阻受到污染。
文檔編號(hào)G03F7/00GK203101811SQ20132010979
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2013年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月11日
發(fā)明者岳力挽, 邢濱 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司