本申請(qǐng)一般涉及偏振器。

背景技術(shù)：
偏振器例如線柵偏振器例如典型地具有位于基板上的長(zhǎng)薄肋。肋以及肋之間的間隔可以比入射光的波長(zhǎng)短得多。例如，對(duì)于可見光偏振器，肋寬度以及肋之間的間隔可以是大約70納米。但是，肋的長(zhǎng)度可以非常長(zhǎng)，例如幾毫米或幾厘米。因此，這些偏振器可以具有長(zhǎng)的窄通道。流體可以由于毛細(xì)管作用而容易地滲到這些通道中。這樣的流體實(shí)質(zhì)上降低了偏振器的性能。這樣的流體的典型來(lái)源是來(lái)自人的手。在處理時(shí)，人手上的天然油脂會(huì)滲到偏振器通道中，導(dǎo)致降低的偏振器性能。這樣的流體的另一來(lái)源是沿支持器邊緣的凝結(jié)或在存儲(chǔ)時(shí)的凝結(jié)。該凝結(jié)也會(huì)導(dǎo)致降低的偏振器性能。允許偏振器的處理、夾鉗或存儲(chǔ)但不會(huì)有油、水或其他流體滲到偏振器通道的問(wèn)題，這將是有益的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
已經(jīng)認(rèn)識(shí)到，提供可以被容易地處理、存儲(chǔ)、夾持等的偏振器，油、水或其他流體滲到偏振器通道的風(fēng)險(xiǎn)較小，這將是有利的。在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明涉及一種能滿足提升處理能力的需求的偏振器。該偏振器包括基板，其具有由邊緣界定的第一表面，在基板的第一表面的一部分之上放置的平行、延長(zhǎng)的肋的陣列，其包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域和肋調(diào)整區(qū)域。標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域可以包括具有標(biāo)準(zhǔn)特性的肋。標(biāo)準(zhǔn)區(qū)別被配置為偏振入射光。肋調(diào)整區(qū)域可以沿著基板的邊緣的至少一段被放置在邊緣和標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域的至少一部分之間。肋調(diào)整區(qū)域可以包括調(diào)整的肋，其從標(biāo)準(zhǔn)特性被調(diào)整以具有不同的特性。在另一實(shí)施例中，本發(fā)明涉及一種制造偏振器的方法，該偏振器滿足提升處理能力的需求。該方法包含提供偏振器，該偏振器包括在基板表面的大部分之上放置的平行、延長(zhǎng)的肋的陣列，以及沿著基板邊緣的至少一段來(lái)調(diào)整該肋。附圖說(shuō)明圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性頂視圖，包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12和肋調(diào)整區(qū)域11a；圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性頂視圖，包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12和肋調(diào)整區(qū)域11b-c；圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性頂視圖，包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12和肋調(diào)整區(qū)域11d；圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性頂視圖，包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12和肋調(diào)整區(qū)域11e-f；圖5是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12和肋調(diào)整區(qū)域11；圖6是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12和肋調(diào)整區(qū)域11；圖7是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12和肋調(diào)整區(qū)域11；圖8是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12、肋調(diào)整區(qū)域11以及過(guò)渡區(qū)域84；圖9是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，其具有的肋包括基板肋93、金屬布線92和分段介電肋94；以及肋調(diào)整區(qū)域11，其具有的肋包括基板肋93、金屬布線91和分段介電肋94；圖10是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，其具有的肋包括基板肋93、金屬布線92和分段介電肋94，以及肋調(diào)整區(qū)域11，其具有的肋包括基板肋93、金屬布線101和分段介電肋94；圖11是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，其具有的肋包括基板肋93和金屬布線92，以及肋調(diào)整區(qū)域11，其具有的肋包括基板肋93和金屬布線101；圖12是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，其具有的肋包括基板肋93和金屬布線92，以及肋調(diào)整區(qū)域11，其具有的肋包括基板肋93，該基板肋93具有的頂部121和側(cè)面122基本上沒有其他肋材料；圖13是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，其具有的肋包括基板肋93和介電肋94，以及肋調(diào)整區(qū)域11，其具有的肋包括基板肋93，該基板肋93具有的頂部121和側(cè)面122基本上沒有其他肋材料；圖14是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，其具有的肋包括基板肋93、金屬布線92和介電肋94，以及肋調(diào)整區(qū)域11，其具有的肋包括基板肋93，該基板肋93具有的頂部121和側(cè)面122基本上沒有其他肋材料；圖15是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，其具有的肋具有基本上矩形的橫截面輪廓，以及肋調(diào)整區(qū)域11，其具有的肋具有不規(guī)則的橫截面輪廓；圖16是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，以及肋調(diào)整區(qū)域11，其中，熔合的肋附著到鄰近的肋并從基板分離；圖17是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，以及肋調(diào)整區(qū)域11，其中，材料171被放置在肋173之間；圖18是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，該偏振器包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12，以及肋調(diào)整區(qū)域11，其中，材料被放置在肋173之間以及在肋181的頂上；圖19是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，顯示在標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域前面的肋調(diào)整區(qū)域；圖20是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的在調(diào)整肋之前的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D；圖21是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的偏振器的示意性橫截面?zhèn)纫晥D，包括標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12以及無(wú)肋區(qū)域211，其中，肋的整個(gè)肋結(jié)構(gòu)已經(jīng)在整個(gè)無(wú)肋區(qū)域211中被燒蝕。具體實(shí)施方式定義如這里所使用，術(shù)語(yǔ)“肋調(diào)整區(qū)域”是指偏振器上肋被調(diào)整的區(qū)域，例如通過(guò)將鄰近的的肋熔合到一起、減少肋的高度、增加肋的寬度、改變肋的形狀、燒蝕肋的一部分或在肋之間放置材料，從而“肋調(diào)整區(qū)域”中的肋基本上不同于標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域中的肋。如這里所使用，術(shù)語(yǔ)“無(wú)肋區(qū)域”是指偏振器上肋基本被移除的區(qū)域。如這里所使用，術(shù)語(yǔ)“基本上”是指作用、特征、特性、狀態(tài)、結(jié)構(gòu)、條目或結(jié)果的完全或幾乎完全的程度。例如，“基本上”被圍繞的物體將表示該物體被完全圍繞或幾乎被完全圍繞。與絕對(duì)完全性的確切允許程度的偏離在某些情形下依賴于特定的上下文。但是，一般來(lái)說(shuō)，接近完全將具有與達(dá)到絕對(duì)和整個(gè)完全時(shí)一樣的總體結(jié)果。在負(fù)面含義中使用以表示完全或接近完全缺少作用、特征、特性、狀態(tài)、結(jié)構(gòu)、條目或結(jié)果時(shí)，“基本上”的使用同樣可用。現(xiàn)在將參考圖中示出的示例性實(shí)施例，且特定的語(yǔ)言在這里將被用于描述該示例性實(shí)施例。但是可以理解由此不限制本發(fā)明的范圍。對(duì)在此描述的發(fā)明性特點(diǎn)的改變和進(jìn)一步修改，以及在此描述的本發(fā)明原理的額外應(yīng)用（其可被本領(lǐng)域并具有本公開文本的技術(shù)人員意識(shí)到），被認(rèn)為在本發(fā)明的范圍內(nèi)。如圖1-19所示，偏振器被示為包含具有由邊緣13界定的第一表面54基板53、被放置在基板53的第一表面54的一部分上的平行、延長(zhǎng)的肋51的陣列，包括中心的標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12和肋調(diào)整區(qū)域11。標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12可以包括肋51a-e，其具有標(biāo)準(zhǔn)特性且可被配置為使入射光偏振。標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域中的肋51a-e可以覆蓋基板的第一表面54的大部分。標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12可以是單個(gè)未劃分的區(qū)域。肋調(diào)整區(qū)域11可沿著基板53的邊緣13的至少一段被放置在邊緣13和標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12的至少一部分之間。肋調(diào)整區(qū)域11可包括調(diào)整的肋51g-r，該肋從標(biāo)準(zhǔn)特性調(diào)整為具有不同的特性。由于肋調(diào)整區(qū)域11的不同特性，肋調(diào)整區(qū)域的毛細(xì)管作用基本上可比標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12的毛細(xì)管作用更少。例如，肋調(diào)整區(qū)域11中的肋51g-r可以比標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12中的肋51a-e更圓、更寬或更短。肋調(diào)整區(qū)域11中的肋51g-r可被熔合在一起、部分移除、或形成不規(guī)則的形狀。肋調(diào)整區(qū)域11中的肋51g-r可以包括在肋之間放置的材料。這些調(diào)整將導(dǎo)致減少的毛細(xì)管作用。如圖1所示，偏振器10的邊緣13可包括圍繞偏振器10的周邊的四段13a-d。每一段可以是邊緣13在邊緣兩個(gè)拐角之間的基本直線的部分。肋調(diào)整區(qū)域11a可以沿著整個(gè)邊緣13延伸，或沿著偏振器10的整個(gè)周邊延伸。在另一實(shí)施例中，肋調(diào)整區(qū)域11可以僅沿著邊緣13的一部分延伸，例如邊緣13的20%到60%之間。在另一實(shí)施例中，肋調(diào)整區(qū)域可以將標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12從基板的邊緣13的至少50%處分離。肋調(diào)整區(qū)域11可以沿著邊緣的單個(gè)段延伸或沿著邊緣的多段延伸。如圖2所示，偏振器20的肋調(diào)整區(qū)域11可以包括沿著偏振器20的相對(duì)側(cè)上的邊緣13的兩個(gè)不同段13a和13c延伸。兩段13a和13c可以和標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域中的肋陣列垂直。肋調(diào)整區(qū)域11可以在和邊緣基本垂直的方向上從邊緣13向內(nèi)延伸，在一個(gè)實(shí)施例中延伸距離De至少是1微米，在另一實(shí)施例中距離De至少是10微米，在另一實(shí)施例中距離De至少是100微米，在另一實(shí)施例中距離De至少為1毫米，或在另一實(shí)施例中距離De至少為5毫米。在另一實(shí)施例中，肋調(diào)整區(qū)域可以在和邊緣基本垂直的方向上從邊緣向內(nèi)延伸1微米到1毫米的距離De。距離De的長(zhǎng)度可依賴于偏振器處理和所需的有用偏振面積。注意到盡管圖2中示出了該距離De，其中具有沿著偏振器20的對(duì)側(cè)上的邊緣13的兩個(gè)不同段13a和13c延伸的兩個(gè)肋調(diào)整區(qū)域11b-c，該距離De以及上面關(guān)于該距離的討論可被用于這里描述的任意實(shí)施例。例如，如果如圖1所示肋調(diào)整區(qū)域圍繞著偏振器10的邊緣13一直延伸，或者如果如圖3-4所示肋調(diào)整區(qū)域僅沿著邊緣的段的部分延伸，該距離De可適用。如圖3所示，偏振器30的肋調(diào)整區(qū)域11可以沿著邊緣13的段13e的一部分延伸，其中，該段被定義為邊緣13在該邊緣的拐角之間的基本直線的部分。在一個(gè)實(shí)施例中肋調(diào)整區(qū)域11可以沿著該段的至少50%延伸在另一實(shí)施例中沿著該段的至少70%延伸在另一實(shí)施例中沿著該段的至少90%延伸或者在另一實(shí)施例中在該段的50%和90%之間延伸如圖4所示，偏振器40的肋調(diào)整區(qū)域11e-f可以沿著邊緣13的多段來(lái)部分延伸。如圖1-4所示，標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12可以基本上比基板53的第一表面54的肋調(diào)整區(qū)域11覆蓋更多。在一個(gè)實(shí)施例中，標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12的覆蓋是基板53的第一表面54的肋調(diào)整區(qū)域11的覆蓋的至少10倍，或在另一實(shí)施例中是基板53的第一表面54的肋調(diào)整區(qū)域11的覆蓋的至少100倍。如圖1-4所示，肋調(diào)整區(qū)域11和標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12一起基本上可以覆蓋基板53的所有第一表面54?；蛘?，另一區(qū)域在基板53的第一表面54的部分之上存在。如圖5中的偏振器50所示，不同的特性可以包括肋高度。肋調(diào)整區(qū)域11中的肋51g可以包括基本上比標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域12中的肋51a更短的肋（h1<h2）。在一個(gè)實(shí)施例中肋調(diào)...