掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，用于將掩模版加載至掩模臺(tái)或自掩模臺(tái)卸載掩模版，其包括版庫(kù)、機(jī)械手以及預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置。版庫(kù)用于儲(chǔ)存掩模版。機(jī)械手沿版庫(kù)儲(chǔ)存掩模版的方向取放掩模版，并沿掩模臺(tái)加載掩模版的方向加載或卸載掩模版。預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置設(shè)置于機(jī)械手的傳輸路徑上，以在機(jī)械手自版庫(kù)取出掩模版后，對(duì)掩模版執(zhí)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)，在預(yù)對(duì)準(zhǔn)完成后，機(jī)械手將掩模版加載至掩模臺(tái)。版庫(kù)儲(chǔ)存掩模版的方向與掩模臺(tái)加載掩模版的方向相同，以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的直入直出。本發(fā)明公開(kāi)的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)可實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的直入直出，以避免圓弧運(yùn)動(dòng)，使得傳輸路徑簡(jiǎn)化，以降低系統(tǒng)風(fēng)險(xiǎn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種傳輸系統(tǒng),尤其涉及一種掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻設(shè)備是一種將掩模圖案曝光成像到硅片上的設(shè)備。已知的光刻設(shè)備包括步進(jìn)重復(fù)式和步進(jìn)掃描式。在上述的光刻設(shè)備中，需具有相應(yīng)的裝置作為掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，系統(tǒng)需高精確搬用掩模版以滿足光刻需要。上述掩模版的搬用系統(tǒng)被稱(chēng)之為傳輸系統(tǒng)。傳輸系統(tǒng)是光刻設(shè)備重要組成部分。在傳輸系統(tǒng)傳輸掩模版的高速運(yùn)動(dòng)中，須保證掩模版始終被可靠地定位，且保證掩模版安全，也即上述掩模版和硅片的六個(gè)自由度皆被限制住。
[0003]掩模版在搬用過(guò)程中如何高速、安全直接影響了系統(tǒng)的好壞，高端光刻機(jī)都要求掩模版在搬用過(guò)程中運(yùn)動(dòng)精度為微米級(jí)別，因此如何解決掩模版的高精度，高可靠性搬用攸關(guān)重要。
[0004]中國(guó)專(zhuān)利公開(kāi)說(shuō)明書(shū)CN 1493921A中公開(kāi)了一種具有掩模版庫(kù)的光刻設(shè)備，在正常工作之前，首先將要使用的掩模版送到處理區(qū)，對(duì)每一塊掩模版一一進(jìn)行識(shí)別、檢查、測(cè)量厚度、清潔和初步對(duì)準(zhǔn)處理，然后再送到真空掩模版庫(kù)內(nèi)，最后曝光時(shí)再送到曝光位置，各個(gè)位置之間的傳送均由裝有夾持裝置的機(jī)器人(機(jī)械手)來(lái)完成。該技術(shù)結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)是:從大氣區(qū)到處理區(qū)、從處理區(qū)到儲(chǔ)藏區(qū)、從儲(chǔ)藏區(qū)到曝光位置，都要通過(guò)一個(gè)過(guò)渡的真空區(qū)，為了保持掩模版清潔后不再被污染，這些區(qū)與區(qū)之間都設(shè)有閘門(mén)閥。缺點(diǎn)是機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)和控制相對(duì)比較繁瑣和復(fù)雜。
[0005]在美國(guó)專(zhuān)利公開(kāi)說(shuō)明書(shū)US2002/0089655中，使用了直線電機(jī)的方式實(shí)現(xiàn)傳輸?shù)墓δ?。該技術(shù)由直線電機(jī)攜帶娃片做直線運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)娃片在娃片臺(tái)、預(yù)對(duì)準(zhǔn)單元和下片臺(tái)之間傳輸。直線電機(jī)只能實(shí)現(xiàn)在直線方向上的運(yùn)動(dòng)，也就是硅片交接地點(diǎn)比較固定，使得硅片臺(tái)、預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)和下片臺(tái)需要布局在同一直線上，在機(jī)械手?jǐn)y帶硅片運(yùn)動(dòng)的時(shí)候需要避讓這些裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，能夠避免圓弧運(yùn)動(dòng)，使得傳輸路徑簡(jiǎn)化，以降低系統(tǒng)風(fēng)險(xiǎn)。
[0007]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)用于將掩模版加載至掩模臺(tái)或自掩模臺(tái)卸載掩模版，其包括版庫(kù)、機(jī)械手以及預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置。版庫(kù)用于儲(chǔ)存掩模版。機(jī)械手沿版庫(kù)儲(chǔ)存掩模版的方向取放掩模版，并沿掩模臺(tái)加載掩模版的方向加載或卸載掩模版。預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置設(shè)置于機(jī)械手的傳輸路徑上，以在機(jī)械手自版庫(kù)取出掩模版后，對(duì)掩模版執(zhí)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)，在預(yù)對(duì)準(zhǔn)完成后，機(jī)械手將掩模版加載至掩模臺(tái)。版庫(kù)儲(chǔ)存掩模版的方向與掩模臺(tái)加載掩模版的方向相同，以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的直入直出。
[0008]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，機(jī)械手包括版叉、X向運(yùn)動(dòng)單元、Y向運(yùn)動(dòng)單元和Z向運(yùn)動(dòng)單元。版叉夾持掩模版。Y向運(yùn)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)版叉沿Y向運(yùn)動(dòng)，從版庫(kù)取放掩模版及從掩模臺(tái)加載或卸載掩模版。X向運(yùn)動(dòng)單元和Z向運(yùn)動(dòng)單元分別驅(qū)動(dòng)版叉沿X向和Z向運(yùn)動(dòng)，到達(dá)對(duì)應(yīng)版庫(kù)和掩模臺(tái)的位置。
[0009]在本發(fā)明的一實(shí)施例中,Z向運(yùn)動(dòng)單元包括Z向活動(dòng)體和Z向驅(qū)動(dòng)體。Z向活動(dòng)體負(fù)載版叉。Z向驅(qū)動(dòng)體連接于Z向活動(dòng)體，以驅(qū)動(dòng)Z向活動(dòng)體負(fù)載版叉沿Z向運(yùn)動(dòng)。X向運(yùn)動(dòng)單元包括X向活動(dòng)體和X向驅(qū)動(dòng)體。X向活動(dòng)體負(fù)載Z向活動(dòng)體。X向驅(qū)動(dòng)體連接于X向活動(dòng)體，以驅(qū)動(dòng)X向活動(dòng)體負(fù)載Z向活動(dòng)體沿X向運(yùn)動(dòng)。Y向運(yùn)動(dòng)單元包括Y向活動(dòng)體和Y向驅(qū)動(dòng)體。Y向活動(dòng)體負(fù)載X向驅(qū)動(dòng)體。Y向驅(qū)動(dòng)體連接于Y向活動(dòng)體，以驅(qū)動(dòng)Y向活動(dòng)體負(fù)載X向驅(qū)動(dòng)體沿Y向運(yùn)動(dòng)。
[0010]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，Z向驅(qū)動(dòng)體包括Z向?qū)к壱约膀?qū)動(dòng)Z向活動(dòng)體沿Z向?qū)к夁\(yùn)動(dòng)的Z向直線電機(jī)。X向驅(qū)動(dòng)體包括X向?qū)к壱约膀?qū)動(dòng)X向活動(dòng)體沿X向?qū)к夁\(yùn)動(dòng)的X向直線電機(jī)。
[0011]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，Y向活動(dòng)體設(shè)有兩個(gè)，Y向驅(qū)動(dòng)體包括沿Y向相對(duì)設(shè)置的Yl向?qū)к壓蚘2向?qū)к?，以及分別對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)Y向活動(dòng)體沿Yl向?qū)к壓蚘2向?qū)к夁\(yùn)動(dòng)的Yl向直線電機(jī)和Y2向直線電機(jī)。
[0012]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，X向驅(qū)動(dòng)體與兩個(gè)Y向活動(dòng)體之間分別通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸承對(duì)應(yīng)連接。當(dāng)沿Yl向?qū)к壓蚘2向?qū)к夁\(yùn)動(dòng)的兩個(gè)Y向活動(dòng)體沿Y向產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸承對(duì)應(yīng)旋轉(zhuǎn)，使X向驅(qū)動(dòng)體繞Z向作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0013]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，各旋轉(zhuǎn)軸承分別通過(guò)活動(dòng)導(dǎo)軌與X向驅(qū)動(dòng)體連接，活動(dòng)導(dǎo)軌沿Y向設(shè)置并隨旋轉(zhuǎn)軸承旋轉(zhuǎn)。
[0014]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置為沿X向開(kāi)口的U型結(jié)構(gòu)，掩模版由U型結(jié)構(gòu)開(kāi)口一側(cè)沿Y向通過(guò)預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，完成預(yù)對(duì)準(zhǔn)。
[0015]在本發(fā)明提供的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)中，版庫(kù)儲(chǔ)存掩模版的方向與掩模臺(tái)加載掩模版的方向相同，因此可實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的直入直出，以避免圓弧運(yùn)動(dòng)，使得傳輸路徑簡(jiǎn)化，以降低系統(tǒng)風(fēng)險(xiǎn)。另外，通過(guò)本發(fā)明實(shí)施例中旋轉(zhuǎn)軸承與活動(dòng)導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手繞Z向作小角度旋轉(zhuǎn)，減小調(diào)節(jié)分辨率，簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，便于鎖緊，同時(shí)增強(qiáng)穩(wěn)定性。同時(shí)，采用沿X向開(kāi)口的U型結(jié)構(gòu)的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，對(duì)于機(jī)械手版叉結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的約束降低。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0017]圖2是圖1中機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3是圖2的右側(cè)視圖；
[0019]圖4是圖2所示機(jī)械手的部分結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖5是圖1中預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的構(gòu)思、具體結(jié)構(gòu)及產(chǎn)生的技術(shù)效果作進(jìn)一步說(shuō)明，以充分地了解本發(fā)明的目的、特征和效果。
[0022]圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參考圖1。在本實(shí)施例中，掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)包括機(jī)械手101、版庫(kù)102以及預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置103，用于將掩模版沿圖1所示之順時(shí)針?lè)较蚣虞d至掩模臺(tái)104，或沿圖1所示之逆時(shí)針?lè)较蜃匝谀Ｅ_(tái)104卸載掩模版。
[0023]在本實(shí)施例中，版庫(kù)102用于儲(chǔ)存掩模版，并管理掩模版信息。版庫(kù)102儲(chǔ)存掩模版的方向與掩模臺(tái)104加載掩模版的方向相同。在此，例如可均為沿Y方向。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限制。在其它實(shí)施例中，也可沿其它任意方向，只要確保兩個(gè)方向相同即可。
[0024]在本實(shí)施例中，機(jī)械手101用于在版庫(kù)102與掩模臺(tái)104之間傳輸掩模版，其可沿版庫(kù)102儲(chǔ)存掩模版的方向取放掩模版，并沿掩模臺(tái)104加載掩模版的方向加載或卸載掩模版。由于版庫(kù)102儲(chǔ)存掩模版的方向與掩模臺(tái)104加載掩模版的方向相同，因此，可實(shí)現(xiàn)機(jī)械手101的直入直出，以避免圓弧運(yùn)動(dòng)，使得傳輸路徑簡(jiǎn)化，以降低系統(tǒng)風(fēng)險(xiǎn)。關(guān)于機(jī)械手101的具體結(jié)構(gòu)容后詳述。
[0025]在本實(shí)施例中，預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置103設(shè)置于機(jī)械手101的傳輸路徑上，以在機(jī)械手101自版庫(kù)102取出掩模版后，對(duì)掩模版執(zhí)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)，以提高上版精度。在預(yù)對(duì)準(zhǔn)完成后，機(jī)械手101將掩模版加載至掩模臺(tái)104。
[0026]圖2是圖1中機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參考圖2。在本實(shí)施例中，機(jī)械手101包括版叉1010、X向運(yùn)動(dòng)單元、Y向運(yùn)動(dòng)單元和Z向運(yùn)動(dòng)單元。版叉1010用于夾持掩模版。Y向運(yùn)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)版叉1010沿Y向運(yùn)動(dòng)，從版庫(kù)102取放掩模版及從掩模臺(tái)104加載或卸載掩模版。X向運(yùn)動(dòng)單元和Z向運(yùn)動(dòng)單元分別驅(qū)動(dòng)版叉1010沿X向和Z向運(yùn)動(dòng)，到達(dá)對(duì)應(yīng)版庫(kù)102和掩模臺(tái)104的位置。
[0027]具體而言，在本實(shí)施例中，Z向運(yùn)動(dòng)單元可包括Z向活動(dòng)體1011和Z向驅(qū)動(dòng)體1012。在此，Z向驅(qū)動(dòng)體1012包括Z向?qū)к壱约癦向直線電機(jī)。Z向活動(dòng)體1011負(fù)載版叉1010。Z向驅(qū)動(dòng)體1012連接于Z向活動(dòng)體1011。系統(tǒng)工作時(shí)，Z向驅(qū)動(dòng)體1012的Z向直線電機(jī)會(huì)驅(qū)動(dòng)Z向活動(dòng)體1011負(fù)載版叉1010沿Z向?qū)к壸鲉巫杂啥鹊腪向直線運(yùn)動(dòng)。
[0028]在本實(shí)施例中，X向運(yùn)動(dòng)單元可包括X向活動(dòng)體1013和X向驅(qū)動(dòng)體1014。在此，X向驅(qū)動(dòng)體1014包括X向?qū)к壱约癤向直線電機(jī)。X向活動(dòng)體1013負(fù)載Z向活動(dòng)體1011。X向驅(qū)動(dòng)體1014連接于X向活動(dòng)體1013，系統(tǒng)工作時(shí)，X向驅(qū)動(dòng)體1014的X向直線電機(jī)會(huì)驅(qū)動(dòng)X向活動(dòng)體1013負(fù)載Z向活動(dòng)體1011沿X向?qū)к壸鲉巫杂啥鹊腦向直線運(yùn)動(dòng)。
[0029]在本實(shí)施例中，Y向運(yùn)動(dòng)單元可包括Y向活動(dòng)體1015以及Y向驅(qū)動(dòng)體1016。在此，Y向活動(dòng)體1015可設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)Y軸活動(dòng)體1015可分別從兩端負(fù)載X向驅(qū)動(dòng)體1014。Y向驅(qū)動(dòng)體1016連接于Y向活動(dòng)體1015。在此，Y向驅(qū)動(dòng)體1016可包括沿Y向相對(duì)設(shè)置的Yl向?qū)к壓蚘2向?qū)к?、Yl向直線電機(jī)和Y2向直線電機(jī)。系統(tǒng)工作時(shí)，Y向驅(qū)動(dòng)體1016的Yl向直線電機(jī)和Y2向直線電機(jī)會(huì)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)Y向活動(dòng)體1015負(fù)載X向驅(qū)動(dòng)體1014分別沿Yl向?qū)к壓蚘2向?qū)к壸鲉巫杂啥鹊腨向直線運(yùn)動(dòng)。在上述結(jié)構(gòu)的配合下，可實(shí)現(xiàn)機(jī)械手101沿圖1所示之順時(shí)針?lè)较蚣虞d掩模版至掩模臺(tái)104，并沿圖1所示之逆時(shí)針?lè)较蛐遁d掩模版至版庫(kù)102。在此，Z向驅(qū)動(dòng)體1012、X向驅(qū)動(dòng)體1014以及兩個(gè)Y向驅(qū)動(dòng)體1016可皆采用伺服馬達(dá)直驅(qū)的方式，并用光柵測(cè)量其行程，因此，在全行程內(nèi)精度可達(dá)8um。然而，本發(fā)明對(duì)上述四個(gè)驅(qū)動(dòng)體的形式不作任何限制。
[0030]在本實(shí)施例中，機(jī)械手101還可實(shí)現(xiàn)繞Z向的小角度旋轉(zhuǎn)，具體結(jié)構(gòu)可參見(jiàn)圖3與圖4。圖3是圖2的右側(cè)視圖，圖4是圖2所示機(jī)械手的部分結(jié)構(gòu)示意圖。在此，機(jī)械手101還包括兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸承1017與兩個(gè)活動(dòng)導(dǎo)軌1018，設(shè)置于Y向活動(dòng)體1015與X向驅(qū)動(dòng)體1014之間。在此，旋轉(zhuǎn)軸承1017與活動(dòng)導(dǎo)軌1018可通過(guò)連接板1019連接。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限制。在本實(shí)施例中，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸承1017分別與兩個(gè)Y向活動(dòng)體1015 —一對(duì)應(yīng)設(shè)置，兩個(gè)活動(dòng)導(dǎo)軌1018分別與兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸承1017 —一對(duì)應(yīng)設(shè)置，并連接于X向驅(qū)動(dòng)體1014。當(dāng)沿Yl向?qū)к壓蚘2向?qū)к夁\(yùn)動(dòng)的兩個(gè)Y向活動(dòng)體1015沿Y向產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸承1017對(duì)應(yīng)旋轉(zhuǎn)，且兩個(gè)活動(dòng)導(dǎo)軌1018隨旋轉(zhuǎn)軸承1017旋轉(zhuǎn)。在這些元件的共同作用下可使得X向驅(qū)動(dòng)體1014繞Z向作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)機(jī)械手101繞Z向作小角度旋轉(zhuǎn)，從而使得掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)滿足在預(yù)對(duì)準(zhǔn)時(shí)作高精度的小角度調(diào)整。
[0031]圖5是圖1中預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參考圖5。在本實(shí)施例中，預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置103為沿X向開(kāi)口的U型結(jié)構(gòu)，掩模版由U型結(jié)構(gòu)開(kāi)口一側(cè)沿Y向通過(guò)預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置103，完成預(yù)對(duì)準(zhǔn)，由此可降低對(duì)機(jī)械手101的版叉1010結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)約束，且可有效地減少版叉1010的懸臂長(zhǎng)度，否則當(dāng)對(duì)準(zhǔn)位置與上版位置距離很遠(yuǎn)時(shí)，如果使用結(jié)構(gòu)封閉的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，將使得版叉1010結(jié)構(gòu)很長(zhǎng)，懸臂過(guò)大，導(dǎo)致剛度不足，影響上版精度。
[0032]綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，版庫(kù)儲(chǔ)存掩模版的方向與掩模臺(tái)加載掩模版的方向相同，因此可實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的直入直出，以避免圓弧運(yùn)動(dòng)，使得傳輸路徑簡(jiǎn)化，以降低系統(tǒng)風(fēng)險(xiǎn)。另外，通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸承與活動(dòng)導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械手繞Z向作小角度旋轉(zhuǎn)，減小調(diào)節(jié)分辨率，簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，便于鎖緊，同時(shí)增強(qiáng)穩(wěn)定性。同時(shí)，采用沿X向開(kāi)口的U型結(jié)構(gòu)的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，對(duì)于機(jī)械手版叉結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的約束降低。
[0033]以上詳細(xì)描述了本發(fā)明的較佳具體實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解，本領(lǐng)域的普通技術(shù)無(wú)需創(chuàng)造性勞動(dòng)就可以根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)思作出諸多修改和變化。因此，凡本【技術(shù)領(lǐng)域】中技術(shù)人員依本發(fā)明的構(gòu)思在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過(guò)邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在由權(quán)利要求書(shū)所確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，用于將掩模版加載至掩模臺(tái)或自所述掩模臺(tái)卸載所述掩模版，其特征是，所述掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)包括: 版庫(kù)，用于儲(chǔ)存所述掩模版； 機(jī)械手，其沿所述版庫(kù)儲(chǔ)存所述掩模版的方向取放所述掩模版，并沿所述掩模臺(tái)加載所述掩模版的方向加載或卸載所述掩模版；以及 預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其設(shè)置于所述機(jī)械手的傳輸路徑上，以在所述機(jī)械手自所述版庫(kù)取出所述掩模版后，對(duì)所述掩模版執(zhí)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)，在所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)完成后，所述機(jī)械手將所述掩模版加載至所述掩模臺(tái)， 其中所述版庫(kù)儲(chǔ)存所述掩模版的方向與所述掩模臺(tái)加載所述掩模版的方向相同，以實(shí)現(xiàn)所述機(jī)械手的直入直出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，其特征是，所述機(jī)械手包括版叉、X向運(yùn)動(dòng)單元、Y向運(yùn)動(dòng)單元和Z向運(yùn)動(dòng)單元，所述版叉夾持所述掩模版，所述Y向運(yùn)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述版叉沿Y向運(yùn)動(dòng)，從所述版庫(kù)取放掩模版及從所述掩模臺(tái)加載或卸載掩模版，所述X向運(yùn)動(dòng)單元和所述Z向運(yùn)動(dòng)單元分別驅(qū)動(dòng)所述版叉沿X向和Z向運(yùn)動(dòng)，到達(dá)對(duì)應(yīng)所述版庫(kù)和所述掩模臺(tái)的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，其特征是，所述Z向運(yùn)動(dòng)單元包括: Z向活動(dòng)體，負(fù)載所述版叉； Z向驅(qū)動(dòng)體，連接于所述Z向活動(dòng)體，以驅(qū)動(dòng)所述Z向活動(dòng)體負(fù)載所述版叉沿Z向運(yùn)動(dòng)； 所述X向運(yùn)動(dòng)單元包括: X向活動(dòng)體，負(fù)載所述Z向驅(qū)動(dòng)體； X向驅(qū)動(dòng)體，連接于所述X向活動(dòng)體，以驅(qū)動(dòng)所述X向活動(dòng)體負(fù)載所述Z向活動(dòng)體沿X向運(yùn)動(dòng)； 所述Y向運(yùn)動(dòng)單元包括: Y向活動(dòng)體，負(fù)載所述X向驅(qū)動(dòng)體； Y向驅(qū)動(dòng)體，連接于所述Y向活動(dòng)體，以驅(qū)動(dòng)所述Y向活動(dòng)體負(fù)載所述X向驅(qū)動(dòng)體沿Y向運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，其特征是，所述Z向驅(qū)動(dòng)體包括Z向?qū)к壱约膀?qū)動(dòng)所述Z向活動(dòng)體沿所述Z向?qū)к夁\(yùn)動(dòng)的Z向直線電機(jī)；所述X向驅(qū)動(dòng)體包括X向?qū)к壱约膀?qū)動(dòng)所述X向活動(dòng)體沿所述X向?qū)к夁\(yùn)動(dòng)的X向直線電機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，其特征是，所述Y向活動(dòng)體設(shè)有兩個(gè)，所述Y向驅(qū)動(dòng)體包括沿Y向相對(duì)設(shè)置的Yl向?qū)к壓蚘2向?qū)к?，以及分別對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)所述兩個(gè)Y向活動(dòng)體沿所述Yl向?qū)к壓退鯵2向?qū)к夁\(yùn)動(dòng)的Yl向直線電機(jī)和Y2向直線電機(jī)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，其特征是，所述X向驅(qū)動(dòng)體與所述兩個(gè)Y向活動(dòng)體之間分別通過(guò)一旋轉(zhuǎn)軸承對(duì)應(yīng)連接，當(dāng)沿所述Yl向?qū)к壓退鯵2向?qū)к夁\(yùn)動(dòng)的所述兩個(gè)Y向活動(dòng)體沿Y向產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述旋轉(zhuǎn)軸承對(duì)應(yīng)旋轉(zhuǎn)，使所述X向驅(qū)動(dòng)體繞Z向作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，其特征是，所述各旋轉(zhuǎn)軸承分別通過(guò)一活動(dòng)導(dǎo)軌與所述X向驅(qū)動(dòng)體連接，所述活動(dòng)導(dǎo)軌沿Y向設(shè)置并隨所述旋轉(zhuǎn)軸承旋轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，其特征是，所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置為沿X向開(kāi)口的U型結(jié)構(gòu)，所述掩模版 由所述U型結(jié)構(gòu)開(kāi)口一側(cè)沿Y向通過(guò)所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，完成預(yù)對(duì)準(zhǔn)。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK103984208SQ201310049274
【公開(kāi)日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2013年2月7日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月7日
【發(fā)明者】程永鋒, 王邵玉 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司, 上海微高精密機(jī)械工程有限公司