專利名稱：光學(xué)多層膜帶通濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)多層膜帶通濾波器。
背景技術(shù)：
關(guān)于具有在玻璃基板等上交替層疊高折射率和低折射率的電介質(zhì)薄膜的構(gòu)造的光學(xué)多層膜帶通濾波器，作為一般的光學(xué)特性，具有一定波長(zhǎng)范圍的光透射的“透射波段”、阻止其前后的一定波長(zhǎng)范圍的光的“反射波段(或稱為阻止域)”、透射率在透射波段與反射波段的邊界處上升或下降的傾斜部分。在以下的說(shuō)明中，在透射波段與反射波段的邊界，將透射率在短波長(zhǎng)側(cè)上升的傾斜部分稱為“上升部”，將透射率在長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)下降的傾斜部分稱為“下降部”。針對(duì)這種光學(xué)多層膜帶通濾波器，在使對(duì)象光從傾斜方向入射的情況下，與入射面平行的方向的P波特性的光(以下省略為P波或P偏光)和與入射面垂直的方向的S波特性的光(以下省略為S波或P偏光)分離出現(xiàn)。關(guān)于該P(yáng)波，對(duì)象光相對(duì)于光學(xué)多層膜帶通濾波器的入射角越大，在帶通特性中，“上升部”和“下降部”越向外側(cè)擴(kuò)展，透射波段寬度越寬。與此相對(duì)，關(guān)于S波，入射角越大，“上升部”和“下降部”越接近內(nèi)側(cè)，透射波段寬度越窄。因此，關(guān)于“上升部”和“下降部”，對(duì)象光相對(duì)于光學(xué)多層膜帶通濾波器的入射角越大，P波與s波越分離而示出不同的波長(zhǎng)。關(guān)于這種P波與s波的分離，在對(duì)象光相對(duì)于光學(xué)多層膜帶通濾波器的入射角為O度 15度左右時(shí)，很少成為實(shí)用上的問(wèn)題，但是，當(dāng)對(duì)象光的入射角為15度以上時(shí)，可能成為實(shí)用上的問(wèn)題。這里，圖51是示出使對(duì)象光以入射角度15度入射到一般的光學(xué)多層膜帶通濾波器時(shí)的帶通特性的圖。圖52是示出使對(duì)象光以入射角度45度入射到一般的光學(xué)多層膜帶通濾波器時(shí)的帶通特性的圖。在圖51和圖52中，實(shí)線A表示P偏光透射特性(Tp)，虛線B表示s偏光透射特性(Ts)，單點(diǎn)劃線C表示P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean)。在表示帶通特性的圖中，縱軸取透射率(單位％)，橫軸取波長(zhǎng)(單位nm),示出偏振分離狀態(tài)。在圖51中，區(qū)域IA是短波長(zhǎng)側(cè)反射波段，區(qū)域IB是上升部，區(qū)域IC是透射波段，區(qū)域ID是下降部，區(qū)域IE是長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)反射波段。在圖52中，區(qū)域IIA是短波長(zhǎng)側(cè)反射波段，區(qū)域IIB是上升部，區(qū)域IIC是透射波段，區(qū)域IID是下降部，區(qū)域IIE是長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)反射波段。如圖51所示，在對(duì)象光的入射角為15度的情況下，P偏光的透射特性與s偏光的透射特性大致重合，所以，不會(huì)成為實(shí)用上的問(wèn)題。與此相對(duì)，如圖52所示，在對(duì)象光的入射角為45度的情況下，在P偏光的透射特性中，“上升部”和“下降部”向外側(cè)擴(kuò)展，透射波段寬度變寬，在s偏光的透射特性中，“上升部”和“下降部”接近內(nèi)側(cè)，透射波段寬度變窄。因此，與s偏光的透射特性相比，P偏光的透射特性成為較寬的形式，可能存在實(shí)用上的問(wèn)題。
因此，對(duì)應(yīng)于傾斜入射的對(duì)象光而使用光學(xué)多層膜帶通濾波器時(shí)，需要針對(duì)P波和s波減少分離的偏振依賴性。為了減少偏振依賴性，提出了以下的(1)、(2)的方法。(I)使用被稱為法布里珀羅型的帶通濾波器來(lái)減少偏振依賴性的方法。(2)在玻璃基板的一個(gè)面上附加減少上升部的偏振依賴性的膜，在另一個(gè)面上附加減少下降部的偏振依賴性的膜，得到作為在兩個(gè)面上附加的2個(gè)膜的合成特性而減少了偏振依賴的帶通濾波器的方法?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平7-104122號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2006-23602號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題但是，在上述(I)的利用法布里珀羅型的帶通濾波器的方法中，僅上升部或下降部中的某一方能夠減少偏振依賴，在另一方的上升部或下降部中，由于偏振依賴而引起P波與S波的分離。并且，在上述(2)的方法中，相對(duì)于反射光的利用，產(chǎn)生伴隨光通過(guò)玻璃基板時(shí)的光軸偏移的入射角度變化的影響、由于表面與背面的2面反射而產(chǎn)生重影等的問(wèn)題。本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于，提供如下的光學(xué)多層膜帶通濾波器:對(duì)傾斜入射減少偏振依賴性，通過(guò)僅形成在基板的單面上，能夠消除由于2面反射而產(chǎn)生重影等的問(wèn)題。用于解決課題的手段為了解決上述課題并實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明的光學(xué)多層膜帶通濾波器的特征在于，具有:對(duì)于對(duì)象光為透明的基板；LWPF部，其僅形成在基板的單面上，形成帶通特性中的短波長(zhǎng)側(cè)的上升部和反射波段；SWPF部，其形成帶通特性中的長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的下降部和反射波段；以及偏振依賴性改善部，其對(duì)由于對(duì)象光的傾斜入射而在LWPF部和SWPF部分別形成的上升部和下降部中產(chǎn)生的P波與S波的分離進(jìn)行控制，LffPF部、SffPF部和偏振依賴性改善部具有交替層疊多個(gè)由第I電介質(zhì)形成的高折射率層和由折射率低于該第I電介質(zhì)的第2電介質(zhì)形成的低折射率層的構(gòu)造。在本發(fā)明的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選偏振依賴性改善部?jī)H由2種物質(zhì)構(gòu)成。在本發(fā)明的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選偏振依賴性改善部、LWPF部和SWPF部分別具有帶通特性中的共同的透射波段，對(duì)應(yīng)于LWPF部和SWPF部中的上升部和下降部，偏振依賴性改善部具有上升部、下降部和透射率局部降低的波動(dòng)部中的至少一方，以減小由于對(duì)象光的傾斜入射而在LWPF部和SWPF部分別形成的上升部和下降部中產(chǎn)生的P波與S波的分離。在本發(fā)明的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選在偏振依賴性改善部的前后的一方或雙方具有匹配層，匹配層是由第I電介質(zhì)形成的層和由第2電介質(zhì)形成的層中的一方或雙方，這些層具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍厚度的厚膜層。
在本發(fā)明的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選在LWPF部與SWPF部之間、或LWPF部和SWPF部的更靠基板側(cè)或更靠外表面?zhèn)刃纬捎蠭個(gè)以上的偏振依賴改善部。在本發(fā)明的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選將所述LWPF部和所述SWPF部與其他LffPF部或SWPF部組合，所述其他LWPF部或SWPF部在帶通特性中形成比所述LWPF部和所述SWPF部更靠長(zhǎng)波長(zhǎng)域或更靠短波長(zhǎng)域的反射波段。發(fā)明效果本發(fā)明的光學(xué)多層膜帶通濾波器發(fā)揮如下效果:對(duì)傾斜入射減少偏振依賴性，能夠消除由于2面反射而產(chǎn)生重影等的問(wèn)題。


圖1是示出實(shí)施例1的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖2是示出實(shí)施例1的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖3是示出實(shí)施例1的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖4是示出比較例的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖5是示出比較例的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖6是示出比較例的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖7是示出實(shí)施例2的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖8是示出實(shí)施例2中的SWPF部、LffPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖9是示出實(shí)施例2的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖10是示出實(shí)施例2的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖11是示出實(shí)施例3的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖12是示出實(shí)施例3中的SWPF部、LWPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖13是示出實(shí)施例3的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖14是示出實(shí)施例3的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖15是示出實(shí)施例4的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖16是示出實(shí)施例4中的SWPF部、LWPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖17是示出實(shí)施例4的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖18是示出實(shí)施例4的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖19是示出實(shí)施例5的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖20是示出實(shí)施例5中的SWPF部、LWPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖21是示出實(shí)施例5的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖22是示出實(shí)施例5的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖23是示出實(shí)施例6的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖24是示出實(shí)施例6中的SWPF部、LWPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。
圖25是示出實(shí)施例6的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖26是示出實(shí)施例6的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖27是示出實(shí)施例7的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖28是示出實(shí)施例7中的SWPF部、LWPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖29是示出實(shí)施例7的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖30是示出實(shí)施例7的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖31是示出實(shí)施例8的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖32是示出實(shí)施例8中的SWPF部、LWPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖33是示出實(shí)施例8的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖34是示出實(shí)施例8的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖35是示出實(shí)施例9的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖36是示出實(shí)施例9中的SWPF部、LWPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖37是示出實(shí)施例9的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖38是示出實(shí)施例9的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖39是示出實(shí)施例10的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖40是示出實(shí)施例10中的SWPF部、LffPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖41是示出實(shí)施例10的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖42是示出實(shí)施例10的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖43是示出實(shí)施例11的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖44是示出實(shí)施例11中的SWPF部、LffPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖45是示出實(shí)施例11的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖46是示出實(shí)施例11的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖47是示出實(shí)施例12的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖48是示出實(shí)施例12中的SWPF部、LffPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖49是示出實(shí)施例12的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖50是示出實(shí)施例12的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。圖51是示出使對(duì)象光以入射角度15度入射到一般的光學(xué)多層膜帶通濾波器時(shí)的帶通特性的圖。圖52是示出使對(duì)象光以入射角度45度入射到一般的光學(xué)多層膜帶通濾波器時(shí)的帶通特性的圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的光學(xué)多層膜帶通濾波器的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另夕卜，本發(fā)明并不由以下的實(shí)施方式限定。在實(shí)施例的說(shuō)明之前，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器提供如下的光學(xué)多層膜帶通濾波器:僅形成在對(duì)于對(duì)象光為透明的基板的一面上，針對(duì)規(guī)定角度的傾斜入射光，在透射波段與反射波段的邊界的上升部和下降部中減少了偏振依賴性。本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器的特征在于，具有:對(duì)于對(duì)象光為透明的基板；LWPF部，其僅形成在所述基板的單面上，形成帶通特性中的短波長(zhǎng)側(cè)的上升部和反射波段；SWPF部，其形成帶通特性中的長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的下降部和反射波段；以及偏振依賴性改善部，其對(duì)由于對(duì)象光的傾斜入射而在所述LWPF部和所述SWPF部分別形成的上升部和下降部中產(chǎn)生的P波與S波的分離進(jìn)行控制，所述LWPF部、所述SWPF部和所述偏振依賴性改善部具有交替層疊多個(gè)由第I電介質(zhì)形成的高折射率層和由折射率低于該第I電介質(zhì)的第2電介質(zhì)形成的低折射率層的構(gòu)造。在本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選所述偏振依賴性改善部?jī)H由2種物質(zhì)構(gòu)成。在本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選所述偏振依賴性改善部、所述LffPF部和所述SWPF部分別具有帶通特性中的共同的透射波段，對(duì)應(yīng)于所述LWPF部和所述SWPF部中的所述上升部和所述下降部，所述偏振依賴性改善部具有上升部、下降部和透射率局部降低的波動(dòng)部中的至少一方，以減小由于對(duì)象光的傾斜入射而在所述LWPF部和所述SWPF部分別形成的上升部和下降部中產(chǎn)生的P波與S波的分離。在本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選在所述偏振依賴性改善部的前后的一方或雙方具有匹配層，所述匹配層是由所述第I電介質(zhì)形成的層和由所述第2電介質(zhì)形成的層中的一方或雙方，這些層具有構(gòu)成所述偏振依賴性改善部的所述高折射率層和所述低折射率層的數(shù)倍厚度的厚膜層。在本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選在所述LWPF部與所述SWPF部之間、或所述LWPF部和所述SWPF部的更靠基板側(cè)或更靠外表面?zhèn)刃纬捎蠭個(gè)以上的所述偏振依賴改善部。在本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，優(yōu)選將所述LWPF部和所述SWPF部與在帶通特性中形成比所述LWPF部和所述SWPF部更靠長(zhǎng)波長(zhǎng)域或更靠短波長(zhǎng)域的反射波段的另外的LWPF部或SWPF部進(jìn)行組合。在本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，作為對(duì)于所述對(duì)象光為透明的基板，例如可以從無(wú)堿玻璃、硼酸玻璃、石英玻璃或水晶、BK7 (商品名)、Tempax (商品名)等的光學(xué)玻璃、藍(lán)寶石等的結(jié)晶材料、半導(dǎo)體基板和合成樹(shù)脂中進(jìn)行選擇。在本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，關(guān)于第I電介質(zhì)和第2電介質(zhì)，作為構(gòu)成高折射率層的物質(zhì)和構(gòu)成折射率低于該高折射率層的低折射率層的物質(zhì)的組合，例如可以從 TiO、TiO2, Y2O3> Ta2O5' ZrO, ZrO2, S1、Si02、HfO2, Ge、Nb2O5' Nb2O6' CeO2, Cef3> ZnS, ZnO,Fe2O3> MgF2' AlF3、CaF2' LiF、Na3AlF6' Na5Al3Fl4, Al2O3, MgO, LaF、PbF2 和 NdF3' 以及它們的混合材料中選擇至少2種。在本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，作為層疊所述高折射率層和折射率小于該高折射率層的低折射率層的方法，例如可以采用真空蒸鍍、濺射、離子鍍敷的PVD法(物理膜厚氣相沉積法)、電阻加熱蒸鍍、電子束(EB)加熱蒸鍍、高頻加熱蒸鍍、激光束加熱蒸鍍、離子化濺射、離子束濺射、等離子體濺射、離子輔助、自由基輔助濺射中的任一種。接著，對(duì)本實(shí)施方式的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。以下的實(shí)施例是例示，例如，構(gòu)成光學(xué)多層膜帶通濾波器的層的數(shù)量不限于實(shí)施例所示的數(shù)量，可以根據(jù)所要求的技術(shù)條件而增減。在以下的實(shí)施例中，作為基板的材質(zhì)，使用BK7 (商標(biāo))。在各實(shí)施例所使用的電介質(zhì)中，TiO2和Ta2O5是由第I電介質(zhì)形成的高折射率層，Al203、Si02是由折射率低于第I電介質(zhì)的第2電介質(zhì)形成的低折射率層。并且，構(gòu)成光學(xué)多層膜帶通濾波器的電介質(zhì)各層的厚度利用設(shè)為“λ/4=1”的光學(xué)膜厚來(lái)表現(xiàn)。這里，λ是對(duì)象光的波長(zhǎng)。在各實(shí)施例和比較例中，在示出帶通特性的圖中，縱軸取透射率(單位％)，橫軸取波長(zhǎng)(單位nm),不出偏振分尚狀態(tài)。(實(shí)施例1)圖1是示出實(shí)施例1的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖2是示出實(shí)施例1的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖3是示出實(shí)施例1的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。在圖1中，實(shí)線A表示P偏光透射特性(Tp)，虛線B表示s偏光透射特性(Ts)，單點(diǎn)劃線C表示P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean)0并且，在圖3中，示出設(shè)入射角度為45度、對(duì)象光的波長(zhǎng)λ為498nm時(shí)的光學(xué)膜厚(λ/4=1)。如圖2、圖3所示，實(shí)施例1的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有如下結(jié)構(gòu):從對(duì)于對(duì)象光為透明的基板側(cè)朝向空氣側(cè)依次層疊SWPF部、偏振依賴改善部和LWPF部。換言之，僅在基板的單面形成SWPF部，在該SWPF部上依次層疊偏振依賴改善部和LWPF部。這里，空氣側(cè)是指離基板最遠(yuǎn)的外表面?zhèn)?。SWPF部由層I 層62的62層構(gòu)成，形成在長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)從透射波段下降的下降部和反射波段。偏振依賴改善部由層63 層76的14層構(gòu)成，通過(guò)該層結(jié)構(gòu)，對(duì)在LWPF部和SWPF部分別形成的上升部和下降部中產(chǎn)生的帶通特性中的P波與S波的分離進(jìn)行控制。LffPF部由層77 層136的60層構(gòu)成，僅形成在基板的單面上，形成在短波長(zhǎng)側(cè)向透射波段上升的上升部和反射波段。SffPF部、偏振依賴改善部和LWPF部具有如下結(jié)構(gòu):交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的Ta2O5構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的SiO2構(gòu)成的低折射率層。(比較例)圖4是示出比較例的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖5是示出比較例的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖6是示出比較例的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。在圖4中，實(shí)線A表示P偏光透射特性(Τρ)，虛線B表示s偏光透射特性(Ts)，單點(diǎn)劃線C表示P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean)。并且，在圖6中，示出設(shè)入射角度為45度、對(duì)象光的波長(zhǎng)λ為498nm時(shí)的光學(xué)膜厚(λ/4=1)。如圖5、圖6所示，比較例的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有從基板側(cè)朝向空氣側(cè)依次層疊SWPF部和LWPF部的結(jié)構(gòu)。這是從實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)中除去偏振依賴改善部而得到的結(jié)構(gòu)。具體而言，SWPF部由層I 層62的62層構(gòu)成，LWPF部由層63 層122的60層構(gòu)成。SffPF部和LWPF部具有如下結(jié)構(gòu):交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的Ta2O5構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的SiO2構(gòu)成的低折射率層。對(duì)圖1和圖4進(jìn)行比較時(shí)，與比較例相比，實(shí)施例1改善了上升部和下降部的偏振依賴性。因此，表示組入偏振依賴改善部發(fā)揮了改善偏振依賴性的效果。在實(shí)施例1中，在組入偏振依賴性改善部時(shí)，不對(duì)與LWPF部和SWPF部之間的匹配進(jìn)行調(diào)整，所以，在透射波段中，較大地產(chǎn)生透射率局部下降的部位(波動(dòng)部)。在以下的實(shí)施例2以后，在組入偏振依賴性改善部時(shí)，為了對(duì)與LWPF部和SWPF部之間的匹配進(jìn)行調(diào)整，形成為作為匹配層的厚膜層。(實(shí)施例2 實(shí)施例5)圖7、圖11、圖15和圖19是分別示出實(shí)施例2、實(shí)施例3、實(shí)施例4和實(shí)施例5的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖8、圖12、圖16和圖20是分別示出實(shí)施例2、實(shí)施例3、實(shí)施例4和實(shí)施例5中的SWPF部、LffPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖9、圖13、圖17和圖21是分別示出實(shí)施例2、實(shí)施例3、實(shí)施例4和實(shí)施例5的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖10、圖14、圖18和圖22是分別示出實(shí)施例2、實(shí)施例3、實(shí)施例4和實(shí)施例5的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。在圖7、圖11、圖15和圖19中，實(shí)線A表示p偏光透射特性(Tp)，虛線B表示s偏光透射特性(Ts)，單點(diǎn)劃線C表示P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean)。在圖8、圖12、圖16和圖20中，實(shí)線D表示SWPF部的透射特性(P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，虛線E表示LWPF部的透射特性(p偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean)),單點(diǎn)劃線F表示偏振依賴改善部的透射特性(P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))。并且，在圖10、圖14、圖18和圖22中示出設(shè)入射角度為45度、對(duì)象光的波長(zhǎng)λ為498nm時(shí)的光學(xué)膜厚(λ /4=1)。實(shí)施例2 實(shí)施例5的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有如下結(jié)構(gòu):從基板側(cè)朝向空氣側(cè)依次層疊SWPF部、第I厚膜層、偏振依賴改善部、第2厚膜層和LWPF部。并且，實(shí)施例2 實(shí)施例5的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有如下結(jié)構(gòu):作為SWPF部、偏振依賴改善部和LWPF部，交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的Ta2O5構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的SiO2構(gòu)成的低折射率層。在實(shí)施例2中，SWPF部由層I 層50的50層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為偏振依賴改善部的前后的兩個(gè)層51、72。偏振依賴改善部由層52 層71的20層構(gòu)成。LWPF部由層73 層122的50層構(gòu)成。另外，在實(shí)施例2以后的說(shuō)明中，省略光學(xué)多層膜帶通濾波器的各部的作用中的與實(shí)施例1相同的作用的記載。關(guān)于厚膜層，SffPF部側(cè)的層51由Ta2O5形成，LffPF部側(cè)的層72由SiO2形成。這里，與厚膜層51相鄰的層50、52由SiO2形成，與厚膜層72相鄰的層71、73由Ta2O5形成。并且，這些厚膜層具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。
在實(shí)施例3中，SWPF部由層I 層50的50層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為偏振依賴改善部的前后的兩個(gè)層51、72。偏振依賴改善部由層52 層71的20層構(gòu)成。LWPF部由層73 層122的50層構(gòu)成。關(guān)于厚膜層，SffPF部側(cè)的層51由Ta2O5形成，LffPF部側(cè)的層72由SiO2形成。這里，與厚膜層51相鄰的層50、52由SiO2形成，與厚膜層72相鄰的層71、73由Ta2O5形成。并且，這些厚膜層具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。在實(shí)施例4中，SWPF部由層I 層49的49層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為偏振依賴改善部的前后的兩個(gè)層50、71。偏振依賴改善部由層51 層70的20層構(gòu)成。LWPF部由層72 層122的51層構(gòu)成。關(guān)于厚膜層，SffPF部側(cè)的層50由SiO2形成，LffPF部側(cè)的層71由Ta2O5形成。這里，與厚膜層50相鄰的層49、51由Ta2O5形成，與厚膜層71相鄰的層70、72由SiO2形成。并且，這些厚膜層具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。在實(shí)施例5中，SWPF部由層I 層50的50層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為偏振依賴改善部的前后的兩個(gè)層51、78。偏振依賴改善部由層52 層77的26層構(gòu)成。LWPF部由層79 層128的50層構(gòu)成。關(guān)于厚膜層，SffPF部側(cè)的層51由Ta2O5形成，LffPF部側(cè)的層78由SiO2形成。這里，與厚膜層51相鄰的層50、52由SiO2形成，與厚膜層78相鄰的層77、79由Ta2O5形成。并且，這些厚膜層具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。在實(shí)施例2 5中，構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的膜厚的比率如下設(shè)定。(I)實(shí)施例2:高折射率層 > 低折射率層(圖7)(2)實(shí)施例3:高折射率層N低折射率層(圖11)(3)實(shí)施例4:高折射率層〈低折射率層(圖15)(4)實(shí)施例5:高折射率層 > 低折射率層(圖19)圖8、圖12、圖16、圖20示出這些條件下的LWPF部、SffPF部和偏振依賴性改善部各自的特性。在實(shí)施例2 5中的帶通特性(圖7、11、15、19)中示出偏振依賴性改善的效果，所以，可知，偏振依賴性改善部與高折射率層和低折射率層的厚度的比率無(wú)關(guān)，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振依賴性改善的效果。并且，在實(shí)施例2 5中，偏振依賴改善部在與LWPF部和SWPF部形成的透射波段相同的范圍內(nèi)具有透射波段。在實(shí)施例2中，如圖8所示，偏振依賴性改善部的下降部與SWPF部形成的下降部重合。在實(shí)施例3中，如圖12所示，偏振依賴性改善部的波動(dòng)部分別與LWPF部形成的上升部和SWPF部形成的下降部重合。在實(shí)施例4中，如圖16所示，偏振依賴性改善部的波動(dòng)部和下降部分別與LWPF部形成的上升部和SWPF部形成的下降部重合。在實(shí)施例5中，如圖20所示，偏振依賴性改善部的上升部和波動(dòng)部分別與LWPF部形成的上升部和SWPF部形成的下降部重合。偏振依賴改善部的特性滿足所述條件。
根據(jù)圖7、11、15、19可知，通過(guò)組入偏振依賴性改善部，改善了光學(xué)多層膜帶通濾波器的偏振依賴性。這是因?yàn)椋ㄟ^(guò)使偏振依賴性改善部形成的上升部、下降部和波動(dòng)部與LffPF部和SWPF部分別形成的上升部和下降部重合，在分離為P波和s波的LWPF部和SWPF部形成的上升部和下降部中，P波的特性曲線成為向s波的特性曲線側(cè)按壓的形狀，其結(jié)果，得到改善了偏振依賴性的帶通特性。這里，P波的特性曲線向s波的特性曲線側(cè)按壓是指，在視為帶通濾波器的特性的情況下，通過(guò)在(I) P波形成的上升部和下降部、(2) P波形成的上升部與s波形成的上升部之間的P波形成的透射波段、(3)p波形成的下降部與s波形成的下降部之間的P波形成的透射波段中重合(4)偏振依賴改善部形成的上升部、下降部和波動(dòng)部，在重合的區(qū)域中降低P波的透射率，其結(jié)果，P波的透射波段變窄。(實(shí)施例6 7)上述實(shí)施例1 5均構(gòu)成為交替層疊由Ta2O5構(gòu)成的高折射率層和由SiO2構(gòu)成的低折射率層，但是，在實(shí)施例6、7中，設(shè)為除此之外的電介質(zhì)的組合。圖23和圖27是分別示出實(shí)施例6和實(shí)施例7的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖24和圖28是分別示出實(shí)施例6和實(shí)施例7中的SWPF部、LffPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖25和圖29是分別示出實(shí)施例6和實(shí)施例7的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖26和圖30是分別示出實(shí)施例6和實(shí)施例7的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。在圖23和圖27中，實(shí)線A表示P偏光透射特性(Tp )，虛線B表示s偏光透射特性(Ts),單點(diǎn)劃線C表示P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean)。在圖24和圖28中，實(shí)線D表示SWPF部的透射特性(p偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，虛線E表示LWPF部的透射特性(p偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，單點(diǎn)劃線F表示偏振依賴改善部的透射特性(P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))。并且，在圖26和圖30中示出設(shè)入射角度為45度、對(duì)象光的波長(zhǎng)λ為498nm時(shí)的光學(xué)膜厚(λ/4=1)。實(shí)施例6、7的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有從基板側(cè)朝向空氣側(cè)依次層疊SWPF部、厚膜層、偏振依賴改善部、厚膜層和LWPF部的結(jié)構(gòu)。在實(shí)施例6中，SWPF部由層I 層50的50層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為偏振依賴改善部的前后的兩個(gè)層51、72。偏振依賴改善部由層52 層71的20層構(gòu)成。LWPF部由層73 層122的50層構(gòu)成。實(shí)施例6的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有如下結(jié)構(gòu):作為SWPF部、偏振依賴改善部和LWPF部，交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的TiO2構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的SiO2構(gòu)成的低折射率層。關(guān)于厚膜層，SffPF部側(cè)的層51由TiO2形成，LffPF部側(cè)的層72由SiO2形成。這里，與厚膜層51相鄰的層50、52由SiO2形成，與厚膜層72相鄰的層71、73由TiO2形成。并且，這些厚膜層具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。
在實(shí)施例7中，SffPF部由層I 層40的40層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為偏振依賴改善部的前后的兩個(gè)層41、66。偏振依賴改善部由層42 層65的24層構(gòu)成。LWPF部由層67 層106的40層構(gòu)成。實(shí)施例7的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有如下結(jié)構(gòu):作為SWPF部、偏振依賴改善部和LWPF部，交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的TiO2構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的Al2O3構(gòu)成的低折射率層。關(guān)于厚膜層，SffPF部側(cè)的層41由TiO2形成，LffPF部側(cè)的層66由Al2O3形成。這里，與厚膜層41相鄰的層40、42由Al2O3形成，與厚膜層66相鄰的層65、67由TiO2形成。并且，這些厚膜層具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。根據(jù)圖23、27可知，即使是與實(shí)施例1 5不同的高折射率層和低折射率層的組合(實(shí)施例6、實(shí)施例7)，也能夠得到改善了偏振依賴性的特性。因此，表示可以應(yīng)用各種物質(zhì)的組合作為第I電介質(zhì)和第2電介質(zhì)。(實(shí)施例8)圖31是示出實(shí)施例8的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖32是示出實(shí)施例8中的SWPF部、LWPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖33是示出實(shí)施例8的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖34是示出實(shí)施例8的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。在圖31中，實(shí)線A表示P偏光透射特性(Tp )，虛線B表示s偏光透射特性(Ts )，單點(diǎn)劃線C表示P偏光透射特性與s偏光透射特性(P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))的平均。在圖32中，實(shí)線D表示SWPF部的透射特性(p偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，虛線E表示LWPF部的透射特性(p偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，單點(diǎn)劃線F表示偏振依賴改善部的透射特性(P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))。并且，在圖34中示出設(shè)入射角度為45度、對(duì)象光的波長(zhǎng)λ為498nm時(shí)的光學(xué)膜厚(λ/4=1)。實(shí)施例8的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有從基板側(cè)朝向空氣側(cè)依次層疊SWPF部、偏振依賴改善部和LWPF部的結(jié)構(gòu)。SWPF部由層I 層52的52層構(gòu)成。偏振依賴改善部由層53 層71的19層構(gòu)成。LWPF部由層72 層122的51層構(gòu)成。SffPF部、偏振依賴改善部和LWPF部具有交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的Ta2O5構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的SiO2構(gòu)成的低折射率層的結(jié)構(gòu)。在實(shí)施例8的光學(xué)多層膜帶通濾波器中，雖然未形成厚膜層，但是，如圖31所示，改善了上升部和下降部的偏振依賴性。其中，由于存在在上升部的起始部分之前形成小山狀的突起的傾向，所以，為了得到上升部或下降部的更加優(yōu)良的特性，優(yōu)選具有厚膜層。(實(shí)施例9)圖35是示出實(shí)施例9的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖36是示出實(shí)施例9中的SWPF部、LWPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖37是示出實(shí)施例9的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖38是示出實(shí)施例9的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。在圖35中，實(shí)線A表示P偏光透射特性(Tp )，虛線B表示s偏光透射特性(Ts )，單點(diǎn)劃線C表示P偏光透射特性與S偏光透射特性的平均(Tmean)。在圖36中，實(shí)線D表示SffPF部的透射特性(P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，虛線E表示LWPF部的透射特性(P偏光透射特性與S偏光透射特性的平均(Tmean)),單點(diǎn)劃線Fl表示第I偏振依賴改善部的透射特性(P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))、虛線F2表示第2偏振依賴改善部的透射特性(P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))。并且，在圖38中示出設(shè)入射角度為45度、對(duì)象光的波長(zhǎng)λ為498nm時(shí)的光學(xué)膜厚(λ/4=1)。實(shí)施例9的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有如下結(jié)構(gòu):組入多個(gè)偏振依賴改善部，從基板側(cè)朝向空氣側(cè)依次層疊SWPF部、第I厚膜層、第I偏振依賴改善部、第2厚膜層、第2偏振依賴改善部、第3厚膜層和LWPF部。SWPF部由層I 層50的50層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為第I和第2偏振依賴改善部的前后的層51、60、71。第I偏振依賴改善部由層52 層59的8層構(gòu)成。第2偏振依賴改善部由層61 層70的10層構(gòu)成。LWPF部由層72 層122的51層構(gòu)成。SffPF部、2個(gè)偏振依賴改善部和LWPF部具有如下結(jié)構(gòu):交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的Ta2O5構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的SiO2構(gòu)成的低折射率層。關(guān)于厚膜層，SWPF部側(cè)的層51由Ta2O5形成，層60由SiO2形成，層71由Ta2O5形成。這里，與厚膜層51相鄰的層50、52由SiO2形成，與厚膜層60相鄰的層59、61由Ta2O5形成，與厚膜層71相鄰的層70、72由SiO2形成。并且，這些厚膜層具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。如圖36所示，第I偏振依賴性改善部具有如下特性:具有與SWPF部形成的下降部重合的下降部，第2偏振依賴性改善部具有如下特性:具有與LWPF部形成的上升部重合的上升部。根據(jù)圖35可知，組入多個(gè)偏振依賴性改善部，也能夠獲得作為目標(biāo)的改善了偏振依賴性的特性。因此，可知能夠組入多個(gè)偏振依賴性改善部。(實(shí)施例10 11)在上述實(shí)施例1 9中，在SWPF部與LWPF部之間設(shè)置偏振依賴改善部，但是，在實(shí)施例10中，在SWPF部和LWPF部的更靠基板側(cè)組入偏振依賴性改善部，在實(shí)施例11中，在SWPF部和LWPF部的更靠外表面?zhèn)?空氣側(cè))組入偏振依賴性改善部。圖39、圖43是分別示出實(shí)施例10、11的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖40、圖44是分別示出實(shí)施例10、11中的SWPF部、LffPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖41、45是分別示出實(shí)施例10、11的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖42、46是分別示出實(shí)施例10、11的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。在圖39、圖43中，實(shí)線A表示ρ偏光透射特性(Tp)，虛線B表示s偏光透射特性(Ts)，單點(diǎn)劃線C表示ρ偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean)。在圖40、圖44中，實(shí)線D表示SWPF部的透射特性(ρ偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，虛線E表示LWPF部的透射特性(ρ偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，單點(diǎn)劃線F表示偏振依賴改善部的透射特性(P偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))。并且，在圖42和圖46中示出設(shè)入射角度為45度、對(duì)象光的波長(zhǎng)λ為500nm時(shí)的光學(xué)膜厚(λ/4=1)。
實(shí)施例10的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有從基板側(cè)朝向空氣側(cè)依次層疊偏振依賴改善部、厚膜層、SffPF部和LWPF部的結(jié)構(gòu)。偏振依賴改善部由層I 層29的29層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為偏振依賴改善部之后的層30。SWPF部由層31 層72的42層構(gòu)成。LWPF部由層73 層122的50層構(gòu)成。偏振依賴改善部、SWPF部和LWPF部具有如下結(jié)構(gòu):交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的Ta2O5構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的SiO2構(gòu)成的低折射率層。厚膜層30由SiO2形成，相鄰的層29、31由Ta2O5形成。并且，厚膜層30具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。實(shí)施例11的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有從基板側(cè)朝向空氣側(cè)依次層疊SWPF部、LffPF部、厚膜層和偏振依賴改善部的結(jié)構(gòu)。SWPF部由層I 層50的50層構(gòu)成。LWPF部由層51 層92的42層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為偏振依賴改善部之前的層93。偏振依賴改善部由層94 層122的29層構(gòu)成。SffPF部、LffPF部和偏振依賴改善部具有如下結(jié)構(gòu):交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的Ta2O5構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的SiO2構(gòu)成的低折射率層。厚膜層93由Ta2O5形成，相鄰的層92、94由SiO2形成。并且，厚膜層93具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。如圖39、圖43所示，可知偏振依賴改善部位于SWPF部和LWPF部的前后的任意一方也能夠改善偏振依賴性，偏振依賴性改善部的組入位置不限于SWPF部與LWPF部之間。(實(shí)施例12)在實(shí)施例12中，為了擴(kuò)大反射波段，設(shè)置多個(gè)LWPF部。圖47是示出實(shí)施例12的光學(xué)多層膜帶通濾波器的帶通特性的曲線圖。圖48是示出實(shí)施例12中的SWPF部、LffPF部和偏振依賴改善部的帶通特性的曲線圖。圖49是示出實(shí)施例12的光學(xué)多層膜帶通濾波器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖50是示出實(shí)施例12的光學(xué)多層膜帶通濾波器的各層的膜厚和構(gòu)成物質(zhì)的圖。在圖47中，實(shí)線A表示ρ偏光透射特性(Tp)，虛線B表示s偏光透射特性(Ts)，單點(diǎn)劃線C表示ρ偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean)。在圖48中，實(shí)線D表示SWPF部的透射特性(ρ偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，虛線E2表示第2LWPF部的透射特性(ρ偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，單點(diǎn)劃線El表示第ILWPF部的透射特性(ρ偏光透射特性與s偏光透射特性的平均(Tmean))，虛線F表示偏振依賴改善部的透射特性(Tmean)。并且，在圖50中示出設(shè)入射角度為45度、對(duì)象光的波長(zhǎng)λ為498nm時(shí)的光學(xué)膜厚(λ/4=1)。實(shí)施例12的光學(xué)多層膜帶通濾波器具有從基板側(cè)朝向空氣側(cè)依次層疊SWPF部、第I厚膜層、偏振依賴改善部、第2厚膜層、第ILWPF部和第2LWPF部的結(jié)構(gòu)。第ILWPF部構(gòu)成上升部，第2LWPF部在第ILWPF部的短波長(zhǎng)側(cè)形成反射波段。SWPF部由層I 層50的50層構(gòu)成。厚膜層設(shè)為偏振依賴改善部的前后的層51、72。偏振依賴改善部由層52 層71的20層構(gòu)成。第ILWPF部由層73 層118的46層構(gòu)成。第2LWPF部由層119 層152的34層構(gòu)成。SffPF部、偏振依賴改善部、第ILWPF部和第2LWPF部具有如下結(jié)構(gòu):交替層疊多個(gè)由作為第I電介質(zhì)的Ta2O5構(gòu)成的高折射率層和由作為第2電介質(zhì)的SiO2構(gòu)成的低折射率層。關(guān)于厚膜層，SffPF部側(cè)的層51由Ta2O5形成，第ILWPF部側(cè)的層72由SiO2形成。這里，與厚膜層51相鄰的層50、52由SiO2形成，與厚膜層72相鄰的層71、73由Ta2O5形成。并且，這些厚膜層具有構(gòu)成偏振依賴性改善部的高折射率層和低折射率層的數(shù)倍的厚度。根據(jù)圖47可知，得到改善了偏振依賴性的特性，除了形成上升部和下降部的LWPF部和SWPF部、以及改善它們的偏振依賴性的偏振依賴改善部以外，還可以采用組合多個(gè)LWPF部或SWPF部的結(jié)構(gòu)。產(chǎn)業(yè)上的可利用性如上所述，本發(fā)明的光學(xué)多層膜帶通濾波器在要求對(duì)傾斜入射減少偏振依賴性的用途中是有用的。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)多層膜帶通濾波器，其特征在于，具有: 對(duì)于對(duì)象光為透明的基板； LWPF部，其僅形成在所述基板的單面上，形成帶通特性中的短波長(zhǎng)側(cè)的上升部和反射波段； SffPF部，其形成帶通特性中的長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的下降部和反射波段；以及 偏振依賴性改善部，其對(duì)由于對(duì)象光的傾斜入射而在所述LWPF部和所述SWPF部分別形成的上升部和下降部中產(chǎn)生的P波與S波的分離進(jìn)行控制， 所述LWPF部、所述SWPF部和所述偏振依賴性改善部具有交替層疊多個(gè)由第I電介質(zhì)形成的高折射率層和由折射率低于該第I電介質(zhì)的第2電介質(zhì)形成的低折射率層的構(gòu)造。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多層膜帶通濾波器，其特征在于， 所述偏振依賴性改善部?jī)H由2種物質(zhì)構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多層膜帶通濾波器，其特征在于， 所述偏振依賴性改善部、所述LWPF部和所述SWPF部分別具有帶通特性中的共同的透射波段，對(duì)應(yīng)于所述LWPF部和所述SWPF部中的所述上升部和所述下降部，所述偏振依賴性改善部具有上升部、下降部和透射率局部降低的波動(dòng)部中的至少一方，以減小由于對(duì)象光的傾斜入射而在所述LWPF部和所述SWPF部分別形成的上升部和下降部中產(chǎn)生的P波與S波的分離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多層膜帶通濾波器，其特征在于， 在所述偏振依賴性改善部的前后的一方或雙方具有匹配層， 所述匹配層是由所述第I電介質(zhì)形成的層和由所述第2電介質(zhì)形成的層中的一方或雙方，這些層具有構(gòu)成所述偏振依賴性改善部的所述高折射率層和所述低折射率層的數(shù)倍厚度的厚膜層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多層膜帶通濾波器，其特征在于， 在所述LWPF部與所述SWPF部之間、或所述LWPF部和所述SWPF部的更靠基板側(cè)或更靠外表面?zhèn)刃纬捎蠭個(gè)以上的所述偏振依賴改善部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多層膜帶通濾波器，其特征在于， 所述LWPF部和所述SWPF部被與其他LWPF部或SWPF部組合，所述其他LWPF部或SWPF部在帶通特性中形成比所述LWPF部和所述SWPF部更靠長(zhǎng)波長(zhǎng)域或更靠短波長(zhǎng)域的反射波段。
全文摘要
對(duì)傾斜入射減少偏振依賴性、消除由于2面反射產(chǎn)生重影等的問(wèn)題。光學(xué)多層膜帶通濾波器具有對(duì)于對(duì)象光為透明的基板；LWPF部，其僅形成在基板的單面上，形成帶通特性中的短波長(zhǎng)側(cè)的上升部和反射波段；SWPF部，其形成帶通特性中的長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的下降部和反射波段；以及偏振依賴性改善部，其對(duì)由于對(duì)象光的傾斜入射而在所述LWPF部和所述SWPF部分別形成的上升部和下降部中產(chǎn)生的P波與S波的分離進(jìn)行控制，LWPF部、SWPF部和偏振依賴性改善部具有交替層疊多個(gè)由第1電介質(zhì)形成的高折射率層和由折射率低于該第1電介質(zhì)的第2電介質(zhì)形成的低折射率層的構(gòu)造。
文檔編號(hào)G02B5/26GK103210325SQ201280003701
公開(kāi)日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月15日
發(fā)明者小川晃一 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社