專利名稱：干涉測量物鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及測量領(lǐng)域的一種物鏡，特別涉及一種非接觸干涉測量物鏡。
背景技術(shù)：
干涉測量物鏡是一種非接觸測量物鏡，主要應(yīng)用于顯微鏡的機(jī)體部分。然而，現(xiàn)有的干涉物鏡，卻不能在物鏡上進(jìn)行干涉條紋的調(diào)節(jié)，因此當(dāng)需要調(diào)節(jié)干涉條紋時(shí)，要在物鏡下方安裝調(diào)角工作臺(tái)(X軸Y軸)才能調(diào)節(jié)干涉條紋寬度。這樣操作調(diào)節(jié)難度很高，一般人很難操作，使調(diào)節(jié)過程變的非常復(fù)雜。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有的干涉測量物鏡，它不能在物鏡上進(jìn)行干涉條紋寬度的調(diào)節(jié)，要調(diào)節(jié)干涉條紋的寬度，要在物鏡下方安裝調(diào)角工作臺(tái)(X軸Y軸)才能調(diào)節(jié)干涉條紋的寬度，其操作調(diào)節(jié)難度高，一般人很難操作。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是提供一種干涉測量物鏡，其特征包含物鏡、分光鏡、參照鏡三部分；所述的分光鏡，位于物鏡下方且可360度旋轉(zhuǎn)；所述的參照鏡，包含一零位光闌與兩個(gè)干涉條紋調(diào)節(jié)手輪，且與所述的分光鏡相連，所述的零位光闌與所述的干涉條紋調(diào)節(jié)手輪都可自由調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型的有益效果是采用本實(shí)用新型，不需要在物鏡下方安裝調(diào)角工作臺(tái) (X軸Y軸)，只需在物鏡上調(diào)節(jié)干涉條紋手輪，即可實(shí)現(xiàn)對干涉條紋的寬度、干涉條紋的旋轉(zhuǎn)角度等參數(shù)的調(diào)節(jié)，操作方便，任何人都能操作它。另外，本干涉測量物鏡在不需要使用干涉條紋時(shí)，可以關(guān)掉零位光闌，就是無限遠(yuǎn)平場復(fù)消色差物鏡，一只物鏡，二種用途，經(jīng)濟(jì)頭惠。

圖I是本干涉測量物鏡結(jié)構(gòu)示意圖；其中1、物鏡，2、分光鏡，3、零位光闌，4、干涉條紋調(diào)節(jié)手輪。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。如圖I所示干涉測量物鏡，包含物鏡I、分光鏡2、零位光闌3、干涉條紋調(diào)節(jié)手輪4，其中零位光闌3和干涉條紋調(diào)節(jié)手輪4組成參照鏡；所述的分光鏡，位于物鏡下方且可360度旋轉(zhuǎn)；所述的零位光闌與所述的干涉條紋調(diào)節(jié)手輪都可自由調(diào)節(jié)。使用時(shí)，只需要調(diào)節(jié)干涉條紋手輪，就可以改變干涉條紋的寬度和干涉條紋的旋轉(zhuǎn)角度等參數(shù)。另外，在不需要使用干涉條紋時(shí)，可以關(guān)掉零位光闌，就是無限遠(yuǎn)平場復(fù)消色差物鏡。[0013]所述的干涉測量物鏡是非接觸測量物鏡，只要顯微鏡部機(jī)體是鏡筒長(F = 200mm)、無限遠(yuǎn)鏡筒和帶有同軸照明的，都可以使用本干涉物鏡。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型在漢語應(yīng)用中的部分有效方式，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型適用于任何利用中文語言特征的驗(yàn)證內(nèi)容，這些驗(yàn)證內(nèi)容都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種干涉測量物鏡，其特征包含物鏡、分光鏡、參照鏡三部分；所述的分光鏡，位于物鏡下方且可360度旋轉(zhuǎn)；所述的參照鏡，包含一零位光闌與兩個(gè)干涉條紋調(diào)節(jié)手輪，且與所述的分光鏡相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的干涉測量物鏡，其特征在于，所述的零位光闌與所述的干涉條紋調(diào)節(jié)手輪都可自由調(diào)節(jié)。
專利摘要一種干涉測量物鏡，其特征包含物鏡、分光鏡、參照鏡三部分；所述的分光鏡，位于物鏡下方且可360度旋轉(zhuǎn)；所述的參照鏡，包含一零位光闌與兩個(gè)干涉條紋調(diào)節(jié)手輪，所述的零位光闌與所述的干涉條紋調(diào)節(jié)手輪都可自由調(diào)節(jié)。采用本實(shí)用新型，不需要在物鏡下方安裝調(diào)角工作臺(tái)，只需在物鏡上調(diào)節(jié)干涉條紋手輪，即可實(shí)現(xiàn)對干涉條紋的寬度、干涉條紋的旋轉(zhuǎn)角度等參數(shù)的調(diào)節(jié)，操作方便，任何人都能操作它。另外，本干涉測量物鏡在不需要使用干涉條紋時(shí)，可以關(guān)掉零位光闌，就是無限遠(yuǎn)平場復(fù)消色差物鏡，一只物鏡，二種用途，經(jīng)濟(jì)實(shí)惠。
文檔編號(hào)G02B21/02GK202351500SQ201120353670
公開日2012年7月25日 申請日期2011年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月20日
發(fā)明者小坂春男 申請人:小坂春男