專利名稱：洗凈裝置以及洗凈方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及洗凈裝置以及洗凈方法，特別是涉及用于向具有開閉自如的蓋的容器內(nèi)供給清潔氣體及從該容器排出來進(jìn)行洗凈的洗凈裝置以及洗凈方法。
背景技術(shù)：
一直以來，作為半導(dǎo)體制造中的用于輸送、保管光掩模、玻璃基板、晶片、中間掩模等基板的基板保持容器，公知有例如SMIFGtandardMechanical Interface 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口)盒。SMIF盒具有盒罩和開閉自如的蓋。在輸送、保管時，蓋被盒罩關(guān)閉，從而SMIF盒成為密封狀態(tài)而防止了塵埃向內(nèi)部的侵入。為了將蓋固定在盒罩上，設(shè)置有鎖機(jī)構(gòu)。從而，在基板的輸送、保管時，蓋通過鎖機(jī)構(gòu)而被固定。在基板取出時，鎖機(jī)構(gòu)的固定被解除，于是蓋能夠從盒罩脫離。在將基板搬入SMIF盒中或?qū)⑵鋸腟MIF盒中取出時，還公知有自動地進(jìn)行SMIF盒的開閉的開閉裝置。開閉裝置具有搭載SMIF盒的載物臺和用于在上下方向上驅(qū)動載物臺的升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)。在載物臺上設(shè)置有用于將SMIF盒定位在規(guī)定位置的銷。并且，開閉裝置還具有鎖操作機(jī)構(gòu)，通過該鎖操作機(jī)構(gòu)對鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行操作，而進(jìn)行鎖機(jī)構(gòu)的固定、解除固定動作。另外，在專利文獻(xiàn)1中記載有潔凈儲料器(clean stocker)內(nèi)的開閉裝置。專利文獻(xiàn)1 日本特開2008-30914號公報對于開閉裝置，若將盒搭載于載物臺上，那么最初，通過鎖操作機(jī)構(gòu)來解除鎖機(jī)構(gòu)的鎖。其次，升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)使載物臺下降。由此，蓋和基板一起向下方移動。若蓋下降到規(guī)定位置，則機(jī)械手向處理裝置側(cè)輸送基板。處理后的基板通過機(jī)械手返回載物臺上。然后， 升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)使載物臺上升。由此，蓋和基板一起向上方移動。若蓋鑲嵌于盒罩，則接下來鎖操作機(jī)構(gòu)鎖上鎖機(jī)構(gòu)的鎖。開閉裝置還具有洗凈機(jī)構(gòu)。洗凈機(jī)構(gòu)是用于利用氮氣等惰性氣體對盒內(nèi)部進(jìn)行置換的機(jī)構(gòu)。由此，能夠抑制基板表面的自然氧化等的化學(xué)變化或有機(jī)污染的發(fā)生。更具體地來說，洗凈機(jī)構(gòu)具有氣體供給罐、供給管、排出管、開閉閥、以及流量調(diào)整閥。供給管與盒的供給口連接，并向容器內(nèi)提供來自氣體供給罐的氣體。排出管與盒的排出口連接，并向外部排出盒內(nèi)的氣體。開閉閥以及流量調(diào)整閥，根據(jù)需要，設(shè)置于供給管以及排出管。若處理后的基板搭載于蓋上，則接著使基板和蓋一起上升，將蓋嵌入盒罩。進(jìn)一步進(jìn)行利用鎖機(jī)構(gòu)的上鎖，而將蓋固定于盒罩。之后，洗凈機(jī)構(gòu)對盒內(nèi)進(jìn)行洗凈。從而，存在以下情況，即，洗凈動作時間比較長，無法響應(yīng)提前將收納有基板的盒向下一個裝置輸送這樣的請求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題是縮短洗凈動作時間。
下面，對用于解決課題的方案進(jìn)行說明。以下對作為方案說明的多個方式，能夠根據(jù)需要任意組合。本發(fā)明涉及的洗凈裝置，是用于使用清潔氣體對具有容器主體和開閉自如的蓋的容器進(jìn)行洗凈的裝置，并具備裝卸部、移動機(jī)構(gòu)、固定部件、驅(qū)動機(jī)構(gòu)、以及氣體給排機(jī)構(gòu)。 裝卸部用于能夠?qū)⑸w安裝于容器主體，以及在蓋能夠從容器主體脫離時能夠?qū)⑸w卸下。移動機(jī)構(gòu)使裝卸部相對容器主體移動。固定部件用于將蓋固定于容器主體以及解除固定。驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動固定部件。在將蓋安裝于容器主體的動作中，在驅(qū)動機(jī)構(gòu)利用固定部件來完成將蓋固定于容器主體的動作之前，氣體給排機(jī)構(gòu)開始進(jìn)行容器的洗凈。在該洗凈裝置中，若移動機(jī)構(gòu)使裝卸部向容器主體側(cè)移動，則蓋不久就被安裝于容器主體。氣體給排機(jī)構(gòu)在驅(qū)動機(jī)構(gòu)利用固定部件來完成將蓋固定于容器主體的動作之前，開始進(jìn)行容器的洗凈。從而，能夠高效地進(jìn)行容器內(nèi)的洗凈，從而縮短對容器的洗凈動作的時間。另外，氣體給排機(jī)構(gòu)只要在固定部件完成固定之前則幾時開始進(jìn)行洗凈動作都可以。蓋能夠在鉛垂方向上與容器主體進(jìn)行裝卸，蓋也可以具有與氣體給排機(jī)構(gòu)連接的在該裝置中，從設(shè)置于蓋的口向容器內(nèi)供給清潔氣體，然后排出。從而，即使在完成將蓋安裝于容器主體的動作之前進(jìn)行洗凈，也能夠高效地進(jìn)行洗凈。也可以還具備用于檢測蓋部件的位置的第一檢測器，氣體給排機(jī)構(gòu)在移動機(jī)構(gòu)完成將蓋安裝于容器主體之前，基于蓋的位置，開始進(jìn)行容器的洗凈。也可以還具備用于檢測蓋部件的位置的第一檢測器，氣體給排機(jī)構(gòu)在移動機(jī)構(gòu)完成了將蓋安裝于容器主體之時，開始進(jìn)行容器的洗凈。也可以還具備用于檢測固定部件的位置的第二檢測器，氣體給排機(jī)構(gòu)基于驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動了固定部件之后的固定部件的位置，開始進(jìn)行容器的洗凈。也可以還具備用于檢測固定部件的位置的第二檢測器，氣體給排機(jī)構(gòu)基于驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動了固定部件之后的固定部件的位置，開始進(jìn)行容器的洗凈。一種用于使用清潔氣體對具有容器主體和開閉自如的蓋的容器進(jìn)行洗凈的洗凈方法。洗凈方法具有以下的步驟?！蜃陨w從容器主體離開的狀態(tài)開始，將蓋安裝于容器主體的安裝步驟◎在安裝步驟之后，將蓋固定于容器主體的固定步驟◎在固定步驟完成之前，開始進(jìn)行容器的洗凈的洗凈開始步驟在該洗凈方法中，在安裝步驟中，將蓋安裝于容器主體。雖然接下來執(zhí)行固定步驟，但在固定步驟完成之前，開始進(jìn)行容器的洗凈。從而，能夠高效地進(jìn)行容器內(nèi)的洗凈，從而縮短對容器的洗凈動作的時間。另外，洗凈動作只要在固定步驟完成之前則幾時開始進(jìn)行都可以。也可以在安裝步驟中將蓋安裝于容器主體之前開始進(jìn)行洗凈。也可以在將蓋安裝到容器主體后開始進(jìn)行洗凈。也可以在固定步驟的中途開始進(jìn)行洗凈。在本發(fā)明涉及的洗凈裝置以及洗凈方法中，縮短了洗凈動作的時間。


圖1是中間掩模盒以及開盒器的立體圖。圖2是表示中間掩模盒的盒罩和底蓋的分解立體圖。圖3是中間掩模盒的仰視圖。圖4是開盒器的立體圖。圖5是開盒器的內(nèi)部構(gòu)造的示意圖。圖6是開盒器的內(nèi)部構(gòu)造的示意圖。圖7是鎖機(jī)構(gòu)的局部放大圖。圖8是表示開盒器的控制結(jié)構(gòu)的框圖。圖9是表示罩開啟動作的控制的流程圖。圖10是表示罩關(guān)閉動作的控制的流程圖。圖11是表示第二實施方式中的罩關(guān)閉動作的控制的流程圖。
具體實施例方式對作為本發(fā)明的一個實施方式的中間掩模盒1以及開盒器21進(jìn)行說明。(1)中間掩模盒使用圖1 圖3，對中間掩模盒1進(jìn)行說明。圖1是中間掩模盒以及開盒器的立體圖，圖2是表示中間掩模盒的盒罩和底蓋的分解立體圖，圖3是中間掩模盒的仰視圖。中間掩模盒1是用于將中間掩模3以密封狀態(tài)收納的容器，并由其他裝置輸送。中間掩模3是在LSI的制造工序中，用于在晶片上對電路圖案進(jìn)行曝光而使用的光掩模。中間掩模盒1具有盒罩5和底蓋7。底蓋7在盒罩5上裝卸自如。更詳細(xì)地，如圖所示，盒罩5是比較扁平的部件，并且是雖具有上表面和側(cè)面但底部為開放的箱形的部件。底蓋7從下方鑲嵌于盒罩5并以構(gòu)成盒罩5的底部的方式將盒罩 5密封。底蓋7可相對于盒罩5在鉛垂方向上裝卸。在底蓋7的上表面，設(shè)置有放置中間掩模3的中間掩模放置部9。并且，在底蓋7 的下表面，設(shè)置有供開盒器21的定位銷M插入的三個定位孔11。中間掩模盒1還具有鎖機(jī)構(gòu)13。鎖機(jī)構(gòu)13主要設(shè)置在形成盒罩5的底面的邊部 14上，并具有可向內(nèi)側(cè)滑動的鎖部件15。如圖3以及圖7所示，鎖部件15被配置在設(shè)置于盒罩5的底面的槽部17內(nèi)，并可在規(guī)定范圍內(nèi)向內(nèi)側(cè)和外側(cè)移動。在底蓋7的底面，在與槽部17對應(yīng)的位置設(shè)置有槽部19。鎖部件15在向內(nèi)側(cè)移動時可向槽部19內(nèi)移動。這樣， 在鎖部件15向外側(cè)移動的狀態(tài)下鎖部件15從槽部19離開，從而底蓋7可從盒罩5脫離。 而且，在鎖部件15向內(nèi)側(cè)移動的狀態(tài)下，鎖部件15的一部分插入槽部19內(nèi)，從而底蓋7不能從容器主體脫離。另外，在鎖部件15設(shè)置有卡合孔20 (后述)。另外，由未圖示的施力部件總是對鎖部件15施力以使得其與槽部19卡合。(2)開盒器開盒器21，例如被使用于在半導(dǎo)體工廠或液晶工廠等的潔凈室內(nèi)設(shè)置的潔凈儲料器。開盒器21打開中間掩模盒1的底蓋7，未圖示的機(jī)械手可將中間掩模3向處理裝置輸送。并且，開盒器21將未圖示的機(jī)械手輸送過來的處理后的中間掩模3返回至盒罩5內(nèi)。
對開盒器21的構(gòu)造進(jìn)行說明。開盒器21具有箱狀的框體23和載物臺25。在框體23的上表面形成有四邊形的開口部27。載物臺25具有與開口部27同等的形狀，并如圖4所示，配置于與構(gòu)成開口部27的上側(cè)邊部四構(gòu)成大概相同的平面的位置。圖4是開盒器的立體圖。在框體23內(nèi)設(shè)置有未圖示的風(fēng)扇，通過風(fēng)扇吸引潔凈儲料器內(nèi)的清潔的空氣來保持框體23內(nèi)清潔。在將中間掩模盒1放置于開盒器21的上部時，底蓋7被放置于載物臺25的上表面并通過定位銷M與定位孔11的卡合來定位，形成盒罩5的底部的邊部14被放置在框體 23的上側(cè)邊部四的上面。在該狀態(tài)下，將鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)63的鎖操作銷64插入鎖部件15的卡合孔20。另外，鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)63的其他機(jī)構(gòu)(未圖示)能夠使鎖操作銷64向外側(cè)和內(nèi)側(cè)移動，于是鎖部件15向外側(cè)和內(nèi)側(cè)移動。另外，如圖7所示，其中，設(shè)置有用于檢測鎖部件15的移動狀態(tài)的第一鎖傳感器65 以及第二鎖傳感器66。第一鎖傳感器65是用于檢測鎖部件15向外側(cè)移動而進(jìn)行解鎖的狀態(tài)的傳感器。第二鎖傳感器66是用于檢測鎖部件15向內(nèi)側(cè)移動而進(jìn)行上鎖的狀態(tài)的傳感
ο在底蓋7形成有貫通上下表面的第一供給孔31以及第一排出孔33。在該第一供給孔31以及第一排出孔33配置有未圖示的止回閥或過濾器，從而外部的污濁的空氣難以進(jìn)入內(nèi)部。并且，在載物臺25上，在與第一供給孔31以及第一排出孔33對應(yīng)的位置分別形成有第二供給孔35以及第二排出孔37。第一供給孔31以及第一排出孔33與第二供給孔35以及第二排出孔37 —致，并由未圖示的連結(jié)構(gòu)造相互連結(jié)。在載物臺25上，設(shè)置有用于檢測中間掩模盒1的搭載情況的盒搭載傳感器71 (圖 8)。開盒器21還具有用于使載物臺25升降的升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41。升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41是氣缸機(jī)構(gòu)，并具有固定于載物臺25的下表面的桿43和驅(qū)動桿43的氣缸驅(qū)動部45。通過升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41，載物臺25能夠在圖5所示的上方位置與圖6所示的下方位置之間移動。 圖5以及圖6是開盒器的內(nèi)部構(gòu)造的示意圖。在框體23內(nèi)設(shè)置有第一位置傳感器67和第二位置傳感器69。第一位置傳感器 67是用于對載物臺25處于上方位置的情況進(jìn)行檢測的傳感器，第二位置傳感器69是用于對載物臺25處于下方位置的情況進(jìn)行檢測的傳感器。更具體地，在載物臺25處于高位置 (底蓋7即將或已經(jīng)鑲嵌到盒罩5上時的位置)時，第一位置傳感器67生成檢測信號。在載物臺25處于最低位置(機(jī)械手能夠輸送中間掩?；脮r，第二位置傳感器69生成檢測信號。(3)洗凈裝置給排部49與開盒器21組裝，是用于利用清潔空氣對中間掩模盒1內(nèi)進(jìn)行洗凈的
直ο給排部49利用規(guī)定的空氣(例如，潔凈干燥空氣或N2等惰性氣體)對中間掩模盒1內(nèi)進(jìn)行洗凈。給排部49具有空氣供給罐51和空氣供給管53?？諝夤┙o罐51在內(nèi)部具有例如潔凈干燥空氣?？諝夤┙o管53從空氣供給罐51與載物臺25的第二供給孔35連接。并且，在空氣供給管53的中途還設(shè)置有流量調(diào)整閥55和開閉閥57。
在該實施方式中，第二排出孔37向框體23內(nèi)開口。也可以在第二排出孔37連接排出管，以使空氣向框體23的外部排出。并且，也可以在排出管上連接排氣用泵來積極地排氣。另外，雖然圖中沒有記載，但在各部件彼此的接觸部分設(shè)置有密封件。(4)控制結(jié)構(gòu)使用圖8，對開盒器21的控制結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖8是表示開盒器的控制結(jié)構(gòu)的框圖?？刂撇?1是計算機(jī)，其具有CPU、RAM、R0M等硬件，并通過執(zhí)行程序的命令，進(jìn)行各種控制動作?？刂撇?1作為各功能，具有升降驅(qū)動部61a、氣體給排控制部61b、以及鎖控制部61c?？刂撇?1與升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41、流量調(diào)整閥55、開閉閥57、以及鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)63連接，并可向它們發(fā)送控制信號。并且，控制部61還與第一鎖傳感器65、第二鎖傳感器66、第一位置傳感器67及第二位置傳感器69、盒搭載傳感器71、以及中間掩模搭載傳感器73連接，并可接收來自這些部件的檢測信號。(5)罩開啟動作的控制 使用圖9，對可通過打開底蓋7來將中間掩模3向處理裝置側(cè)輸送的控制動作進(jìn)行說明。圖9是表示罩開啟動作的控制的流程圖。下面，對控制部61的動作進(jìn)行說明。在最初的階段，載物臺25如圖5所示地被配置于最高的位置。在步驟Sl中，等待中間掩模盒1被搭載到開盒器21的上表面。若控制部61接收到來自盒搭載傳感器71的檢測信號，則向步驟S2轉(zhuǎn)移。在步驟S2中，控制部61的鎖控制部61c向鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)63發(fā)送解鎖信號。由此， 鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)63驅(qū)動鎖部件15并解鎖。在步驟S3中，控制部61的升降驅(qū)動部61a向升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41發(fā)送下降動作信號。 由此，升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41使載物臺25向下方移動。此時，中間掩模3與載物臺25 —起向下方移動，而在更下方從盒罩5將中間掩膜3取出。在步驟S4中，等待載物臺25到達(dá)規(guī)定位置。若控制部61接收到來自第二位置傳感器69的檢測信號，則向步驟S4轉(zhuǎn)移。在步驟S5中，控制部61的升降驅(qū)動部61a向升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41發(fā)送下降停止信號。 由此，升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41停止載物臺25的下降動作。其結(jié)果，成為圖6所示的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，未圖示的機(jī)械手將中間掩模3向處理裝置輸送，處理裝置對中間掩模3進(jìn)行處理。(6)罩關(guān)閉動作的控制使用圖10，對通過關(guān)閉底蓋7來將中間掩模3收納于中間掩模盒1內(nèi)的控制動作進(jìn)行說明。圖10是表示罩關(guān)閉動作的控制的流程圖。在最初的階段，載物臺25如圖6所示地被配置于最低的位置，雖然底蓋7被搭載于載物臺25的上表面，但中間掩模3沒有被搭載于底蓋7。在步驟Sll中，等待機(jī)械手將中間掩模3返回至底蓋7上。若控制部61接收到來自中間掩模搭載傳感器73的中間掩模檢測信號，則向步驟S12轉(zhuǎn)移。
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在步驟S12中，控制部61的升降驅(qū)動部61a向升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41發(fā)送上升動作開始信號。由此，升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41使載物臺25上升。在步驟S13中，等待第一位置傳感器67對載物臺25進(jìn)行檢測。若控制部61接收到來自第一位置傳感器67的檢測信號，則向步驟S14轉(zhuǎn)移。在步驟S14中，控制部61的氣體給排控制部61b向開閉閥57發(fā)送開通動作信號。 由此，潔凈干燥空氣開始從給排部49的空氣供給罐51向中間掩模盒1內(nèi)供給。即，在底蓋 7鑲嵌于盒罩5之前，開始進(jìn)行洗凈動作。在步驟S15中，控制部61的升降驅(qū)動部61a向升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41發(fā)送上升動作停止信號。由此，升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41停止載物臺25的移動。在步驟S16中，控制部61的鎖控制部61c向鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)63發(fā)送鎖動作信號。由此，鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)63通過鎖操作銷64使鎖部件15向內(nèi)側(cè)移動。由此，鎖部件15與底蓋7的槽部19卡合，從而底蓋7被固定于盒罩5。在步驟S17中，控制部61等待從潔凈干燥空氣供給開始起經(jīng)過規(guī)定時間。若經(jīng)過規(guī)定時間，則向步驟S18轉(zhuǎn)移。另外，也可以在洗凈動作中，對中間掩模盒1內(nèi)的壓力進(jìn)行測定，并控制流量調(diào)整閥55而使壓力成為規(guī)定值。在步驟S18中，控制部61的氣體給排控制部61b向開閉閥57發(fā)送關(guān)閉信號。由此，停止來自給排部49的空氣供給罐51的潔凈干燥空氣向中間掩模盒1內(nèi)的供給。在上述控制動作中，洗凈動作在將底蓋7鑲嵌于盒罩5之前開始進(jìn)行。從而，能夠高效地進(jìn)行中間掩模盒1內(nèi)的洗凈，從而縮短對中間掩模盒1的洗凈動作時間。其結(jié)果，能夠使中間掩模盒1盡早地從開盒器21向其他的裝置移動。而且，能夠減少氣體供給量。另外，洗凈開始時機(jī)，可以是將底蓋7鑲嵌于盒罩5的瞬間、即將鑲嵌之前，并且也可以是鑲嵌的幾秒之前。(7)第二實施方式使用圖11，對其他實施方式中的、通過關(guān)閉底蓋7而將中間掩模3收納于中間掩模盒1內(nèi)的控制動作進(jìn)行說明。圖11是表示第二實施方式中的罩關(guān)閉動作的控制的流程圖。 其中，對動作內(nèi)容與圖10相同的步驟使用相同的附圖標(biāo)記。在步驟Sll中，等待機(jī)械手將中間掩模3返回至載物臺25上。若控制部61從中間掩模搭載傳感器73接收到中間掩模檢測信號，則向步驟S12轉(zhuǎn)移。在步驟S12中，控制部61的升降驅(qū)動部61a向升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41發(fā)送上升動作開始信號。由此，升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41使載物臺25上升。在步驟S19中，等待第一位置傳感器67對載物臺25進(jìn)行檢測。若控制部61接收到來自第一位置傳感器67的檢測信號，則向步驟S15轉(zhuǎn)移。在步驟S15中，控制部61的升降驅(qū)動部61a向升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41發(fā)送上升動作停止信號。由此，升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)41停止載物臺25的移動。在步驟S20中，控制部61的鎖控制部61c向鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)63發(fā)送鎖動作信號。由此，鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)63通過鎖操作銷64而使鎖部件15向內(nèi)側(cè)移動。因此，鎖部件15與底蓋7 的槽部19卡合。于是，底蓋7被固定于盒罩5。在步驟S14中，在鎖部件15的上述的鎖動作完成之前(在鎖部件15向最內(nèi)側(cè)移動之前)，控制部61的氣體給排控制部61b向開閉閥57發(fā)送開通動作信號。具體地，通過在鎖部件15的鎖動作中接收來自第二鎖傳感器66的檢測信號，控制部61的氣體給排控制部61b使開閉閥57打開。由此，在底蓋7鑲嵌于盒罩5之后、在鎖動作結(jié)束之前，潔凈干燥空氣開始從給排部49的空氣供給罐51向中間掩模盒1內(nèi)供給。在步驟S17中，控制部61等待從潔凈干燥空氣供給開始起經(jīng)過規(guī)定時間。若經(jīng)過規(guī)定時間，則向步驟S18轉(zhuǎn)移。在步驟S18中，控制部61的氣體給排控制部61b即控制部61向開閉閥57發(fā)送關(guān)閉信號。由此，停止來自給排部49的空氣供給罐51的潔凈干燥空氣向中間掩模盒1內(nèi)的供給。在上述的控制動作中，洗凈動作在底蓋7鑲嵌于盒罩5之后、在鎖動作結(jié)束之前開始進(jìn)行。從而，能夠高效地進(jìn)行中間掩模盒1內(nèi)的洗凈，從而縮短對中間掩模盒1的洗凈動作時間。其結(jié)果，能夠使中間掩模盒1盡早地從開盒器21向其他的裝置移動。而且，能夠減少氣體供給量。(8)其他實施方式以上，雖然對本發(fā)明的一個實施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限定于上述實施方式，在不脫離發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更。特別是，本說明書所述的多個實施方式以及變形例可根據(jù)需要任意地組合。雖然在上述實施方式中，中間掩模盒為保持一張中間掩模的類型，但也可以是對收納多張中間掩模的盒子進(jìn)行保持的類型。雖然在上述實施方式中，盒為中間掩模盒，但也可以是收納其他物品的盒。例如， 物品也可以是光掩模、玻璃基板、以及半導(dǎo)體晶片。雖然在上述實施方式中，設(shè)置于罩上的供給孔和排出孔各為一個，但也可以是多個。在上述實施方式中使用的各種傳感器，可以是透過型或反射型的光電傳感器，也可以是非接觸式傳感器或限位開關(guān)。不特別限定傳感器種類。工業(yè)上應(yīng)用可行性本發(fā)明能夠廣泛應(yīng)用在用于向具有開閉自如的蓋的容器內(nèi)供給清潔氣體以及排出來進(jìn)行洗凈的洗凈裝置以及洗凈方法中。附圖標(biāo)記說明1…中間掩模盒(容器)；3…中間掩模；5…盒罩(容器主體)；7…底蓋(蓋)；9··· 中間掩模放置部；11…定位孔；13…鎖機(jī)構(gòu)(驅(qū)動機(jī)構(gòu))；14…邊部；15…鎖部件(固定部件)；17…槽部；19···槽部；20···卡合孔；21···開盒器(洗凈裝置)；23…框體；24···定位銷; 25…載物臺(裝卸部)；27…開口部；29···上側(cè)邊部；31···第一供給孔(口)；33…第一排出孔(口)；35···第二供給孔；37…第二排出孔；41···升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)(移動機(jī)構(gòu))；43···桿； 45…氣缸驅(qū)動部；49…給排部(氣體給排機(jī)構(gòu))；51…空氣供給罐；53…空氣供給管；55··· 流量調(diào)整閥；57…開閉閥；61…控制部；63…鎖驅(qū)動機(jī)構(gòu)；64…鎖操作銷；65…第一鎖傳感器；66…第二鎖傳感器(檢測器)；67…第一位置傳感器；69…第二位置傳感器；71···盒搭載傳感器；73…中間掩模搭載傳感器。
權(quán)利要求
1.一種洗凈裝置，該洗凈裝置用于使用清潔氣體對具有容器主體和開閉自如的蓋的容器進(jìn)行洗凈，其特征在于，具備裝卸部，該裝卸部用于能夠?qū)⑸鲜錾w安裝于上述容器主體，以及在上述蓋能夠從上述容器主體脫離時能夠?qū)⑸鲜錾w卸下；移動機(jī)構(gòu)，該移動機(jī)構(gòu)使上述裝卸部相對上述容器移動； 固定部件，該固定部件用于將上述蓋固定于上述容器主體以及解除固定； 驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動上述固定部件；以及氣體給排機(jī)構(gòu)，在將上述蓋安裝于上述容器主體的動作中，在上述驅(qū)動機(jī)構(gòu)完成利用上述固定部件來將上述蓋固定于上述容器主體的動作之前，該氣體給排機(jī)構(gòu)開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗凈裝置，其特征在于， 上述蓋能夠在鉛垂方向上與上述容器主體進(jìn)行裝卸， 上述蓋具有與上述氣體給排機(jī)構(gòu)連接的口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測上述蓋部件的位置的第一檢測器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)在上述移動機(jī)構(gòu)完成將上述蓋安裝于上述容器主體之前，基于上述蓋的位置，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測上述蓋部件的位置的第一檢測器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)在上述移動機(jī)構(gòu)完成了將上述蓋安裝于上述容器主體之時，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測上述蓋部件的位置的第一檢測器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)在上述移動機(jī)構(gòu)完成將上述蓋安裝于上述容器主體之前，基于上述蓋的位置，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測上述蓋部件的位置的第一檢測器， 上述氣體給排機(jī)構(gòu)在上述移動機(jī)構(gòu)完成了將上述蓋安裝于上述容器主體之時，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測上述固定部件的位置的第二檢測器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)基于上述驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動了上述固定部件之后的上述固定部件的位置，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測上述固定部件的位置的第二檢測器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)基于上述驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動了上述固定部件之后的上述固定部件的位置，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
9.一種洗凈方法，該洗凈方法用于使用清潔氣體對具有容器主體和開閉自如的蓋的容器進(jìn)行洗凈，其特征在于，具備自上述蓋從上述容器主體離開的狀態(tài)開始，將上述蓋安裝于上述容器主體的安裝步驟；在上述安裝步驟之后，將上述蓋固定于上述容器主體的固定步驟； 在上述固定步驟完成之前，開始進(jìn)行上述容器的洗凈的洗凈開始步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的洗凈方法，其特征在于，在上述安裝步驟中將上述蓋安裝于上述容器主體之前開始進(jìn)行上述洗凈。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的洗凈方法，其特征在于， 在將上述蓋安裝到上述容器主體后開始進(jìn)行上述洗凈。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的洗凈方法，其特征在于， 在上述固定步驟的中途開始進(jìn)行上述洗凈。
全文摘要
在洗凈裝置中縮短洗凈動作時間。開盒器(21)是用于向具有盒罩(5)和開閉自如的底蓋(7)的中間掩模盒(1)內(nèi)供給清潔氣體以及從中排出而進(jìn)行洗凈的裝置，并具備載物臺(25)、升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)(41)、鎖機(jī)構(gòu)(13)、以及給排部(49)。載物臺(25)能夠?qū)⒌咨w(7)從盒罩(5)上卸下以及將其安裝于盒罩(5)。升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)(41)能夠移動載物臺(25)。鎖機(jī)構(gòu)(13)使鎖部件(15)動作，該鎖部件(15)將底蓋(7)不能脫落地固定于盒罩(5)以及解除固定。給排部(49)在完成鎖部件(15)將底蓋(7)固定于盒罩(5)的動作之前，開始進(jìn)行洗凈。
文檔編號G03F1/00GK102422408SQ20108002051
公開日2012年4月18日 申請日期2010年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月12日
發(fā)明者泉孝憲, 鹿田延秀 申請人:村田機(jī)械株式會社