專利名稱：一種大功率半導(dǎo)體激光陣列快慢軸光束質(zhì)量均勻化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體激光陣列光束整形，是一種將半導(dǎo)體激光陣列快慢軸光參 數(shù)乘積均勻化的裝置，屬于激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體激光器具有電光轉(zhuǎn)換效率高、體積小、重量輕等優(yōu)點(diǎn)，使得它的應(yīng)用變得越 來越廣泛。但是，與其他激光器相比，半導(dǎo)體激光器的光束質(zhì)量比較差，光束發(fā)散角較大，遠(yuǎn) 場光強(qiáng)呈橢圓高斯分布，聚焦難度較大，在一定程度上限制了它的進(jìn)一步發(fā)展。為滿足應(yīng)用 上的需求，必須首先對(duì)半導(dǎo)體激光的光束進(jìn)行整形處理。半導(dǎo)體激光器的研究朝著大功率 高光束質(zhì)量的方向發(fā)展，因此對(duì)于半導(dǎo)體激光二維陣列的整形，特別是快軸方向高填充因 子的大功率半導(dǎo)體激光陣列的整形，意義重大。半導(dǎo)體激光器的二維陣列也稱為堆棧(stack)，是由半導(dǎo)體激光一維陣列巴 條(Bar)沿快軸方向排列組成。快軸方向是指垂直于發(fā)光PN節(jié)的方向，慢軸方向是指平行 于發(fā)光PN節(jié)的方向。光束在快軸方向的發(fā)散角為50° 60°，慢軸方向發(fā)散角為5° 10°。評(píng)價(jià)激光光束質(zhì)量優(yōu)劣的光參數(shù)乘積BPP定義為某個(gè)方向上的束腰半徑乘以遠(yuǎn)場發(fā) 散角(半角)，單位是mm*mrad。對(duì)于半導(dǎo)體激光的Bar，經(jīng)過微透鏡快慢軸準(zhǔn)直之后，快 軸的束腰直徑在幾百個(gè)微米，快軸的發(fā)散角為幾個(gè)毫弧度，快軸的光參數(shù)乘積BPPf為1 2mm-mrad ；慢軸長度的典型值為10mm，慢軸的發(fā)散角為0. 2rad，慢軸的光參數(shù)乘積BPPs為 500mm mrad,快慢軸的光參數(shù)乘積在整形前相差上百倍。光參數(shù)乘積是衡量激光光束質(zhì)量 的一個(gè)重要指標(biāo)，它反映了激光的聚焦能力?？炻S的光參數(shù)乘積相差越大，表示激光的 聚焦能力就越差。光束整形就是將快慢軸的光參數(shù)乘積均勻化，方法是對(duì)光束進(jìn)行分割、旋 轉(zhuǎn)、重排，增加快軸的光參數(shù)乘積、降低慢軸的光參數(shù)乘積，從而達(dá)到快慢軸光參數(shù)乘積均 勻化的目的。通過調(diào)研發(fā)現(xiàn)，目前采用比較多的幾何整形方法主要有反射式整形法、折射式整 形法和折反射式整形法。階梯反射鏡法是將經(jīng)過微柱透鏡準(zhǔn)直后的光束，通過兩組完全對(duì)稱的階梯型發(fā)射 鏡，每組都由N個(gè)高反射率表面組成，光束通過第一組階梯反射鏡后在慢軸方向被分割成N 段，每個(gè)子光束經(jīng)過第二組階梯反射鏡，再被反射到快軸方向上。原本是一條線狀的光束就 在同一高度上沿慢軸方向被重新排列為平行的N條子光束。整形結(jié)果光場分布為一正方形 光斑，實(shí)現(xiàn)了快慢軸光參數(shù)乘積的均勻化。其缺點(diǎn)是階梯鏡鏡面的加工難度大，在國內(nèi)現(xiàn)有 的加工水平下難以實(shí)現(xiàn)。折射式整形法是利用光學(xué)元件對(duì)光束的一次或多次折射實(shí)現(xiàn)光束均衡的方式。能 實(shí)現(xiàn)折射式光束整形的光學(xué)元件很多，包括GRIN透鏡陣列、微柱透鏡陣列、棱鏡組合、光學(xué) 玻璃板片堆、分束堆置折射器等。它的基本原理是利用整形模塊將入射光束沿慢軸方向分 割，并沿快軸方向錯(cuò)位排列，然后通過另一組整形模塊進(jìn)一步將偏折后的光束沿慢軸方向 進(jìn)行重排，從而使出射光變成具有一定形狀的光束，實(shí)現(xiàn)光束整形的目的。這種方法的整形
3模塊是由多個(gè)光學(xué)玻璃薄板片緊密排列而成，能夠?qū)崿F(xiàn)光束整形，且效率較高。但是這種方 法有一定的局限，隨著半導(dǎo)體激光陣列bar條數(shù)量的增多，需要用的到光學(xué)玻璃薄板片的 數(shù)量隨之成倍增加，光學(xué)玻璃薄板片的累積誤差越來越大，超出了整形模塊的承受范圍，整 形效果變差。與上述方法類似的還有Laserline公司發(fā)明的專利US5986794，同樣存在累積 誤差的問題。折反射整形法的整形思想是利用棱鏡組的折反射，通過兩組棱鏡來分割和重排光 束。兩組棱鏡中各片棱鏡以斜邊為基準(zhǔn)，依次按一定距離錯(cuò)位放置。線光源出射光束從第一 個(gè)棱鏡組斜邊入射，線光源與棱鏡組的內(nèi)表面成一定的角度，在各片棱鏡中反射兩次后從 斜邊出，沿著慢軸方向被分成η段，由于棱鏡片錯(cuò)位，所以出射光束段也順次產(chǎn)生錯(cuò)位。沿 快軸方向成臺(tái)階形分布。然后出射光進(jìn)入第2個(gè)棱鏡組，按著相同的原理將光束在快軸方 向進(jìn)行重排。結(jié)果出射光經(jīng)過棱鏡組以后，光參數(shù)積在慢軸方向被減小1/η倍，而快方向上 增加了 η倍，從而達(dá)到光束整形的目的。這種方法的缺點(diǎn)是棱鏡間的精確定位不好控制，裝 配困難。此方法是由Apllo instrument公司的Peter Y. Wang提出的。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述幾種方案的技術(shù)缺點(diǎn)，提供了一種大功率半導(dǎo)體 激光陣列棱鏡反射式整形裝置。本裝置能夠?qū)崿F(xiàn)大功率半導(dǎo)體激光的整形目的，減少光功 率的損耗，而且更易于加工、裝調(diào)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取了以下技術(shù)方案大功率半導(dǎo)體激光陣列棱鏡反射式整形裝置，包括一組經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡 組，等腰直角棱鏡組由N個(gè)尺寸結(jié)構(gòu)相同的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡組成，其中N為激光束
在慢軸方向被分割的份數(shù)，由公式#計(jì)算得出，其中，BPPs為慢軸的光參數(shù)乘積，
BPPf為快軸的光參數(shù)乘積。每個(gè)經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡組的具體結(jié)構(gòu)如下所述的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡是在一個(gè)大等腰直角棱鏡其中的一個(gè)直角面上 多出一個(gè)小等腰直角棱鏡，小等腰直角棱鏡的直角邊長度等于大等腰直角棱鏡的厚度，小 等腰直角棱鏡的厚度H2等于大等腰直角棱鏡直角邊的長度，小等腰直角棱鏡的一個(gè)直角 面D1D2D5D4與大等腰直角棱鏡的一個(gè)直角面C3C4C6C5完全重合。大等腰直角棱鏡直角邊 的長度等于待整形的半導(dǎo)體激光陣列快軸方向的尺寸，大等腰直角棱鏡的厚度Hl等于半 導(dǎo)體激光陣列慢軸方向尺寸的1/N。大等腰直角棱鏡和小等腰直角棱鏡合成一個(gè)統(tǒng)一的結(jié)構(gòu)，一次性加工完成，形成 經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡。所述的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡組中包括的N個(gè)尺寸結(jié)構(gòu)完全相同的經(jīng)過改進(jìn) 的等腰直角棱鏡，各個(gè)棱鏡的放置位置不同，具體放置方法為所有的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角 棱鏡厚度方向沿慢軸方向平行放置，相鄰兩個(gè)經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡在厚度方向上的邊 界面有且僅有一個(gè)保持共面，即N個(gè)尺寸完全相同的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡沿慢軸方向 的總厚度等于半導(dǎo)體激光陣列慢軸方向的尺寸；所有的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡在高度上 保持同一水平；所有的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡在垂直于激光陣列發(fā)光面方向上呈階梯狀依次錯(cuò)開，錯(cuò)開的距離等于半導(dǎo)體激光陣列快軸方向的尺寸。所述的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角 棱鏡的厚度即指大等腰直角棱鏡的厚度。本裝置通過棱鏡中的兩個(gè)全反射面改變光束傳輸?shù)姆较?，?duì)半導(dǎo)體激光光束進(jìn)行 切割旋轉(zhuǎn)重排。整個(gè)整形過程在棱鏡組內(nèi)部完成，從棱鏡組出射的光束即為完成整形的光 束，全反射面沒有功率損耗，整個(gè)過程只有兩個(gè)介質(zhì)交換的界面，大大提高了整形效率，從 而解決了金屬階梯反射鏡整形效率低，功率損耗大的問題。由于該棱鏡反射式整形裝置只 有一個(gè)入射面和一個(gè)出射面，降低了功率的損耗，整形效率好于其他類型的棱鏡整形方法。 該裝置的效率比較高，特別適合于bar間距較小的大功率半導(dǎo)體激光光束整形，同時(shí)該裝 置還具有成本低、加工難度小、結(jié)構(gòu)緊湊、裝調(diào)方便等優(yōu)點(diǎn)。

圖1大功率半導(dǎo)體激光陣列反射式棱鏡結(jié)構(gòu)原理圖圖2大功率半導(dǎo)體激光陣列棱鏡反射式整形原理圖圖3大功率半導(dǎo)體激光陣列反射式棱鏡組裝置圖圖4大功率半導(dǎo)體激光陣列反射式棱鏡組裝置TL平面視圖圖5大功率半導(dǎo)體激光陣列反射式棱鏡組裝置TL平面視圖圖6大功率半導(dǎo)體激光陣列反射式棱鏡組裝置XY平面視圖圖7大功率半導(dǎo)體激光陣列整形前的光斑示意圖圖8大功率半導(dǎo)體激光陣列整形后的光斑示意圖圖中S、大功率半導(dǎo)體激光陣列，L、經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡，B、半導(dǎo)體激光光 束，Ml、大等腰直角棱鏡的一條直角邊，M2、大等腰直角棱鏡的一條斜邊，M3、小等腰直角棱 鏡的一條直角邊，M4、小等腰直角棱鏡的一條斜邊，HI、大等腰直角棱鏡的厚度，H2、小等腰 直角三角形的厚度，Si、經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡入射面，S卩，大等腰直角棱鏡的一個(gè)直角 面，S2、經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡的第一個(gè)反射面，即大等腰直角棱鏡的斜邊所在的面，S3、 經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡的第二個(gè)反射面，即小等腰直角棱鏡的斜邊所在的面，S4、經(jīng)過改 進(jìn)的等腰直角棱鏡的出射面，即小等腰棱鏡的直角邊所在的面，Li、經(jīng)過改進(jìn)的第一等腰直 角棱鏡，L2、經(jīng)過改進(jìn)的第二等腰直角棱鏡，L3、經(jīng)過改進(jìn)的第三等腰直角棱鏡，Bl B3、被 經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡分割的多條光斑，Cl C6、大等腰直角棱鏡的6個(gè)頂點(diǎn)，Dl D6、 小等腰直角棱鏡的6個(gè)頂點(diǎn)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖，具體說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式本實(shí)施例中半導(dǎo)體激光光束在慢軸方向被分割為3份，整形裝置的結(jié)構(gòu)如圖3所 示，包括沿光的傳播方向依次放置的半導(dǎo)體激光陣列S、經(jīng)過改進(jìn)的第一等腰直角棱鏡Li、 經(jīng)過改進(jìn)的第二等腰直角棱鏡L2、經(jīng)過改進(jìn)的第三等腰直角棱鏡L3。經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角 棱鏡L1、L2、L3的結(jié)構(gòu)完全相同，只是放置位置不同。所有的棱鏡沿半導(dǎo)體激光陣列的慢軸 方向平行放置，前后錯(cuò)開一定的距離，呈階梯狀分布。前后錯(cuò)開一定距離的所有棱鏡的第一 個(gè)面Si，即面C1C2C4C3，對(duì)激光陣列的慢軸進(jìn)行光束切割，經(jīng)過與第一個(gè)反射面呈45°的 第二個(gè)面S2，即面C1C2C4C3，光束發(fā)生全反射，經(jīng)過一次全反射后的光束，遇到與第一個(gè)面Sl和第二個(gè)面S2都呈45°的第三個(gè)面S3，即面D1D4D6D3，再次發(fā)生全反射，達(dá)到使光束切 割重排的效果。半導(dǎo)體激光陣列反射式棱鏡裝置由N塊結(jié)構(gòu)尺寸完全相同的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直
角棱鏡組成，N是激光束在慢軸方向被分割的份數(shù)，N由公式給出，BPPf和
NBPPs分別是給定的半導(dǎo)體激光陣列的快慢軸光參數(shù)乘積，在本實(shí)施例中取N= 3。各棱鏡 的厚度相同，為半導(dǎo)體激光陣列慢軸寬度d的1/N，即d/N。經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡的大 等腰直角棱鏡的直角邊長度等于待整形的半導(dǎo)體激光陣列快軸方向的光斑尺寸h，經(jīng)過改 進(jìn)的等腰直角棱鏡的小等腰直角棱鏡的直角邊長度等于待整形的半導(dǎo)體激光陣列慢軸方 向的尺寸d的1/N，即d/N，如圖4所示。N片棱鏡沿厚度方向平行放置，沿Z方向依次錯(cuò)開 的距離為半導(dǎo)體激光陣列快軸方向的尺寸h，如圖5所示。各個(gè)經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡的結(jié)構(gòu)相同，為一個(gè)大等腰直角棱鏡和一個(gè)小等腰 直角棱鏡的組合結(jié)構(gòu)，如圖2所示，經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡是在一個(gè)大等腰直角棱鏡其 中一個(gè)直角面上多出一個(gè)小等腰直角棱鏡，小等腰直角棱鏡的直角邊長度等于大等腰直角 棱鏡的厚度，小等腰直角棱鏡的厚度等于大等腰直角棱鏡直角邊的長度，小等腰直角棱鏡 的一個(gè)直角面D1D2D5D4與大等腰直角棱鏡的一個(gè)直角面C3C4C6C5完全重合。大等腰直角 棱鏡直角邊的長度等于待整形的半導(dǎo)體激光陣列快軸方向的尺寸，大等腰直角棱鏡的厚度 等于半導(dǎo)體激光陣列慢軸方向尺寸的1/N。各個(gè)經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡的厚度d/N相同， 棱鏡直角邊的長度h也相同，只是沿光的傳播方向放置的位置不同，如圖3所示。經(jīng)過改進(jìn) 的等腰直角棱鏡的數(shù)量N、每片的厚度d/N、等腰直角邊h都需要根據(jù)半導(dǎo)體激光陣列參數(shù) 的不同，通過計(jì)算得出。半導(dǎo)體激光陣列的參數(shù)主要包括陣列發(fā)光區(qū)域的快慢軸尺寸、快慢
軸發(fā)散角、快慢軸的束腰半徑、快慢軸的光參數(shù)乘積等等。由^l = MOxV計(jì)算出所用棱
鏡的數(shù)量N，由d/N計(jì)算出棱鏡的厚度。計(jì)算的依據(jù)為整形后的快慢軸的光參數(shù)乘積相等。本實(shí)施例中，從半導(dǎo)體激光陣列發(fā)出的半導(dǎo)體激光光束，通光棱鏡的入射面Sl進(jìn) 入到N塊不同的棱鏡中，經(jīng)過棱鏡的第一個(gè)反射面S2，光束發(fā)生全反射，被分割成N份在棱 鏡中傳輸。被分割后的光束入射到棱鏡第二個(gè)反射面S3，再次發(fā)生全反射，從棱鏡的出射面 S4出射，光束被重排，如圖7所示。本裝置是通過設(shè)置棱鏡的尺寸，利用光束在棱鏡內(nèi)部的 兩次全反射來達(dá)到對(duì)光束切割、重排的目的。本整形裝置中各部分的放置方式如下先建立一個(gè)直角坐標(biāo)系，X軸為半導(dǎo)體激 光陣列的慢軸方向，y軸為半導(dǎo)體激光陣列的快軸方向，ζ軸為半導(dǎo)體激光的初始傳輸方 向。如圖3所示，經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡厚度方向沿χ軸方向，小等腰直角棱鏡的厚 度方向沿ζ軸方向。大等腰直角棱鏡沿ζ軸方向，直角邊在前，斜邊在后。N個(gè)經(jīng)過改進(jìn)的 等腰直角棱鏡平行放置，沿χ方向緊貼放置，棱鏡Ll的出射面S4,即C2C6D6D3與棱鏡L2的 面C1C3C5共面，以此類推。沿y軸方向，N個(gè)棱鏡的高度一致。沿ζ軸方向，N個(gè)棱鏡前后 錯(cuò)開一定的距離，呈階梯狀放置，錯(cuò)開距離的大小與單個(gè)棱鏡沿ζ軸的長度一致。假定根據(jù)半導(dǎo)體激光陣列的參數(shù)計(jì)算出的光束在慢軸方向被分割的份數(shù)N = 3， 如圖3所示。根據(jù)半導(dǎo)體激光陣列給定的光束的高度h和寬度d，可以得出需要加工的棱鏡 的參數(shù)直角邊長度h和棱鏡的厚度d/N，由于光束在棱鏡中發(fā)生全反射，因此棱鏡的折射率η的取值要是半導(dǎo)體經(jīng)過光束能夠發(fā)生全反射。本實(shí)施例中，光束B從半導(dǎo)體激光器陣列S 發(fā)出后，光束B的形狀如圖7所示，陣列光束B沿ζ軸正方向傳輸，經(jīng)過棱鏡的入射面Sl入 射到N個(gè)棱鏡中，光束B在慢軸方向分割成N份分別在N個(gè)棱鏡中傳輸，在棱鏡內(nèi)部鏡面S2 處發(fā)生全反射，光束Bl BN的傳輸方向由沿ζ軸正方向傳輸改為沿y軸正方向傳輸，沿y 軸正方向傳輸?shù)墓馐阽R面S3處再次發(fā)生全反射，被分割的N段光束Bl BN的傳輸方向 由沿y軸正方向傳輸改為沿χ軸負(fù)方向傳輸，最后通過棱鏡的出射面S4，得到最后的整形光 斑，完成了對(duì)整個(gè)激光陣列整形的目的，如圖8所示。
權(quán)利要求1.大功率半導(dǎo)體激光陣列棱鏡反射式整形裝置，其特征在于包括一組經(jīng)過改進(jìn)的等 腰直角棱鏡組，等腰直角棱鏡組由N個(gè)尺寸結(jié)構(gòu)相同的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡組成，其中N為激光束在慢軸方向被分割的份數(shù)，由公式# =計(jì)算得出，其中，BPf^s為慢軸的光參數(shù)乘積，BPPf為快軸的光參數(shù)乘積；每個(gè)經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡組的具體結(jié)構(gòu)如下所述的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡是在一個(gè)大等腰直角棱鏡其中一個(gè)直角面上設(shè)置有 一個(gè)小等腰直角棱鏡，小等腰直角棱鏡的直角邊長度等于大等腰直角棱鏡的厚度，小等腰 直角棱鏡的厚度等于大等腰直角棱鏡直角邊的長度，小等腰直角棱鏡的一個(gè)直角面與大等 腰直角棱鏡的一個(gè)直角面完全重合；大等腰直角棱鏡直角邊的長度等于待整形的半導(dǎo)體激 光陣列快軸方向的尺寸，大等腰直角棱鏡的厚度等于半導(dǎo)體激光陣列慢軸方向尺寸的1/ N；大等腰直角棱鏡和小等腰直角棱鏡合成一個(gè)統(tǒng)一的結(jié)構(gòu)，一次性加工完成，形成經(jīng)過 改進(jìn)的等腰直角棱鏡；所述的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡組中包括的N個(gè)尺寸結(jié)構(gòu)完全相同的經(jīng)過改進(jìn)的等 腰直角棱鏡的放置位置不同，具體放置方法為所有的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡厚度方向 沿快軸方向平行放置，相鄰兩個(gè)經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡在厚度方向上的邊界面有且僅有 一個(gè)保持共面，即N個(gè)尺寸完全相同的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡沿慢軸方向的總厚度等于 半導(dǎo)體激光陣列慢軸方向的尺寸；所有的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡在高度上保持同一水 平，即都等于半導(dǎo)體激光陣列快軸方向的尺寸；所有的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡在垂直于 激光陣列發(fā)光面方向上呈階梯狀依次錯(cuò)開，錯(cuò)開的距離等于半導(dǎo)體激光陣列快軸方向的尺 寸；經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡的厚度即指大等腰直角棱鏡的厚度。
專利摘要本實(shí)用新型是大功率半導(dǎo)體激光陣列整形裝置，屬于激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域。該裝置包括一組經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡。該棱鏡組中的經(jīng)過改進(jìn)的等腰直角棱鏡的尺寸結(jié)構(gòu)完全相同，只是放置位置不同，所有的棱鏡沿半導(dǎo)體激光陣列的慢軸方向平行放置，前后錯(cuò)開一定的距離，呈階梯狀分布。前后錯(cuò)開一定距離的所有棱鏡的第一個(gè)面對(duì)激光陣列的慢軸進(jìn)行光束切割，經(jīng)過與第一個(gè)面呈45°的第二個(gè)面，光束發(fā)生全反射，經(jīng)過一次全反射后的光束，遇到與第一個(gè)面和第二個(gè)面都呈45°的第三個(gè)面，再次發(fā)生全反射，達(dá)到使光束切割重排的效果。該裝置的效率比較高，特別適合于大功率半導(dǎo)體激光光束整形，同時(shí)該裝置還具有成本低、裝調(diào)方便等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G02B27/09GK201820035SQ20102055585
公開日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2010年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者劉友強(qiáng), 曹銀花, 王智勇 申請(qǐng)人:山西飛虹激光科技有限公司