專利名稱：一種曝光機(jī)及其工作臺(tái)安全測(cè)控裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及曝光機(jī)加工技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種曝光機(jī)及其工作臺(tái) 安全測(cè)控裝置。
背景技術(shù)：
PDP (Plasma Display Panel，等離子顯示板)的曝光工藝是利用紫外光照射產(chǎn)生 光化學(xué)反應(yīng)的原理進(jìn)行曝光的，即涂覆在PDP的玻璃上的光刻膠發(fā)生交聯(lián)作用，形成一層 耐腐蝕膜，然后通過顯影工藝和腐蝕工藝形成電路圖形。請(qǐng)參閱圖1，圖1為現(xiàn)有工作臺(tái)3的曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。曝光工藝中所用的設(shè)備為曝光機(jī)，曝光機(jī)包括底座1、可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在底座1上的 伺服絲杠2，伺服絲杠2的伸出端可轉(zhuǎn)動(dòng)的連接有工作臺(tái)3，底座1也和工作臺(tái)3可轉(zhuǎn)動(dòng)的 連接。在伺服絲杠2的伸出端伸出和縮回的過程中，工作臺(tái)3繞其與底座1的連接點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)， 從而能夠?qū)崿F(xiàn)工作臺(tái)3的水平和豎直設(shè)置。在等離子面板5曝光制作過程中，曝光機(jī)的工 作臺(tái)3接收并吸附顯示屏的玻璃后需由伺服絲杠2控制達(dá)到豎直位置，與垂直的光掩膜板4 對(duì)位，工作臺(tái)3與光掩膜板4之間的間隙調(diào)整后進(jìn)行紫外線平行曝光，然后再成水平或者傾 斜狀態(tài)從工作臺(tái)3上卸載。這種方式在生產(chǎn)中工作臺(tái)3需要重復(fù)到達(dá)豎直位置，且與光掩 膜板4距離很近，伺服絲杠2 —旦故障很容易造成工作臺(tái)3與光掩膜板4的碰撞。圖1即 示出了伺服絲杠2出線故障后，工作臺(tái)3與光掩膜板4發(fā)生碰撞，損壞等離子面板5和光掩 膜板4。
實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種曝光機(jī)及其工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，以保證曝光 機(jī)工作臺(tái)的位置精度和光掩膜板的安全。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種曝光機(jī)的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，包括檢測(cè)曝光機(jī)的工作臺(tái)位置的檢測(cè)裝置；控制曝光機(jī)的伺服絲杠停止的控制裝置。優(yōu)選的，在上述工作臺(tái)安全測(cè)控裝置中，所述檢測(cè)裝置為位移傳感器。優(yōu)選的，在上述工作臺(tái)安全測(cè)控裝置中，所述位移傳感器為激光位移傳感器。優(yōu)選的，在上述工作臺(tái)安全測(cè)控裝置中，還包括在所述檢測(cè)裝置檢測(cè)到所述工作 臺(tái)的位置超過預(yù)設(shè)范圍時(shí)報(bào)警的報(bào)警裝置。優(yōu)選的，在上述工作臺(tái)安全測(cè)控裝置中，所述報(bào)警裝置為蜂鳴報(bào)警器。一種曝光機(jī)，包括底座、可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在所述底座上的伺服絲杠以及與所述伺服 絲杠的伸出端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的工作臺(tái)，所述底座與所述工作臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，還包括如上所述 的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，所述檢測(cè)裝置設(shè)置在所述底座上。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的曝光機(jī)通過在原有曝光機(jī)的基礎(chǔ)上添加檢測(cè)裝置和控制裝置來避免現(xiàn)有曝光機(jī)的工作臺(tái)和光掩膜板的碰撞隱患。當(dāng) 檢測(cè)裝置檢測(cè)到工作臺(tái)的位置超過預(yù)設(shè)范圍時(shí)，控制裝置控制曝光機(jī)的伺服絲杠停止，從 而防止了碰撞意外的發(fā)生。保證了曝光機(jī)工作臺(tái)的位置精度和光掩膜板的安全。
為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有的曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型公開了一種曝光機(jī)及其工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，以保證曝光機(jī)工作臺(tái)的 位置精度和光掩膜板的安全。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的 實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下 所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖2，圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，1為底座，2為伺服絲杠，3為工作臺(tái)，4為光掩膜板，5為等離子面板，6為檢 測(cè)裝置。本實(shí)用新型提供的曝光機(jī)的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置包括檢測(cè)裝置6和測(cè)控裝置，檢 測(cè)裝置6用于檢測(cè)曝光機(jī)的工作臺(tái)3的位置。當(dāng)檢測(cè)裝置6檢測(cè)到工作臺(tái)3的位置超過預(yù) 設(shè)范圍(此預(yù)設(shè)范圍是自行設(shè)定的范圍，可以是檢測(cè)裝置6與工作臺(tái)3的距離范圍，也可以 是工作臺(tái)3與水平面的角度范圍，當(dāng)然也可以是工作臺(tái)3與其他面的角度范圍)時(shí)，控制裝 置控制曝光機(jī)的伺服絲杠2停止。若將檢測(cè)裝置6與工作臺(tái)3的距離作為檢測(cè)的基準(zhǔn)，則檢測(cè)裝置6選擇位移傳感 器。位移傳感器可以精確的檢測(cè)到其與被測(cè)物體的位置關(guān)系，能夠精確地檢測(cè)到被測(cè)物體 的微小移動(dòng)。檢測(cè)裝置6優(yōu)選為激光位移傳感器，激光位移傳感器可精確非接觸測(cè)量被測(cè) 物體的位置、位移等變化。為了凸顯報(bào)警功能，本實(shí)用新型提供的安全測(cè)控裝置還包括在檢測(cè)裝置6檢測(cè)到 所述工作臺(tái)的位置超過預(yù)設(shè)范圍時(shí)報(bào)警的報(bào)警裝置。該報(bào)警裝置可以為蜂鳴報(bào)警器或聲光 報(bào)警器。在控制裝置控制伺服絲杠2停止時(shí)，同時(shí)報(bào)警裝置報(bào)警，以提醒操作人員及時(shí)維修 和調(diào)整。本實(shí)用新型提供的曝光機(jī)，包括底座1、可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在該底座1上的伺服絲杠 2以及與所述伺服絲杠2的伸出端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的工作臺(tái)3，所述底座1與所述工作臺(tái)3可轉(zhuǎn) 動(dòng)連接，通過伺服絲杠2伸出端的伸縮運(yùn)動(dòng)，控制工作臺(tái)的位置及角度。本實(shí)用新型提供 的曝光機(jī)還包括上面所述的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置。其中，檢測(cè)裝置6設(shè)置在底座1上，通過檢測(cè)其和工作臺(tái)3的距離，并將檢測(cè)到的結(jié)果和預(yù)設(shè)范圍對(duì)比，當(dāng)超出該范圍時(shí)，控制裝置 控制伺服絲杠2停止，并控制報(bào)警裝置報(bào)警。綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的曝光機(jī)通過在原有曝光機(jī)的基礎(chǔ)上添加檢測(cè) 裝置和控制裝置來避免現(xiàn)有曝光機(jī)的工作臺(tái)和光掩膜板的碰撞隱患。當(dāng)檢測(cè)裝置檢測(cè)到工 作臺(tái)的位置超過預(yù)設(shè)范圍時(shí)，控制裝置控制曝光機(jī)的伺服絲杠停止，從而防止了碰撞意外 的發(fā)生。保證了曝光機(jī)工作臺(tái)的位置精度和光掩膜板的安全。本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他 實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新 型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因 此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理 和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種曝光機(jī)的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，其特征在于，包括 檢測(cè)曝光機(jī)的工作臺(tái)位置的檢測(cè)裝置；控制曝光機(jī)的伺服絲杠停止的控制裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，其特征在于，所述檢測(cè)裝置為位移傳感ο
3.如權(quán)利要求2所述的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，其特征在于，所述位移傳感器為激光位 移傳感器。
4.如權(quán)利要求1所述的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，其特征在于，還包括在所述檢測(cè)裝置檢 測(cè)到所述工作臺(tái)的位置超過預(yù)設(shè)范圍時(shí)報(bào)警的報(bào)警裝置。
5.如權(quán)利要求5所述的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，其特征在于，所述報(bào)警裝置為蜂鳴報(bào)警ο
6.一種曝光機(jī)，包括底座、可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在所述底座上的伺服絲杠以及與所述伺服 絲杠的伸出端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的工作臺(tái)，所述底座與所述工作臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，其特征在于，還包 括如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，所述檢測(cè)裝置設(shè)置在所述底座上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種曝光機(jī)的工作臺(tái)安全測(cè)控裝置，包括檢測(cè)曝光機(jī)的工作臺(tái)位置的檢測(cè)裝置；在所述檢測(cè)裝置檢測(cè)到所述工作臺(tái)的位置超過預(yù)設(shè)范圍時(shí)，控制曝光機(jī)的伺服絲杠停止的控制裝置。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的曝光機(jī)通過在原有曝光機(jī)的基礎(chǔ)上添加檢測(cè)裝置和控制裝置來避免現(xiàn)有曝光機(jī)的工作臺(tái)和光掩膜板的碰撞隱患。當(dāng)檢測(cè)裝置檢測(cè)到工作臺(tái)的位置超過預(yù)設(shè)范圍時(shí)，控制裝置控制曝光機(jī)的伺服絲杠停止，從而防止了碰撞意外的發(fā)生。保證了曝光機(jī)工作臺(tái)的位置精度和光掩膜板的安全。本實(shí)用新型還公開了一種具有上述安全測(cè)控裝置的曝光機(jī)。
文檔編號(hào)G03F7/20GK201828769SQ20102029218
公開日2011年5月11日 申請(qǐng)日期2010年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月9日
發(fā)明者何斌, 陳龍豪 申請(qǐng)人:安徽鑫昊等離子顯示器件有限公司