專(zhuān)利名稱(chēng)：二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，特別是有關(guān)于一種二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中，硅片臺(tái)和掩模臺(tái)等精密工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是極其重要的關(guān)鍵部件，其定位精度直接影響光刻設(shè)備的性能，其運(yùn)行速度直接影響光刻設(shè)備的生產(chǎn)效率。工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)通常需要完成的主要功能有物料傳輸、快速步進(jìn)、勻速掃描等，同時(shí)要求在X向及Y向具有較高的運(yùn)動(dòng)定位精度。其機(jī)械結(jié)構(gòu)也通常采用直線電機(jī)-氣浮式結(jié)構(gòu)。直線電機(jī)-氣浮式精密工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)典型的結(jié)構(gòu)形式如下承載臺(tái)與X向長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)部件相連，可沿X方向運(yùn)動(dòng)。X向?qū)к墦闲赃B接在兩側(cè)的Y向滑臺(tái)上，Y向?qū)к墳槎S導(dǎo)軌，X、Y方向?qū)к壋省癏”型布置。Y向滑臺(tái)上設(shè)置有垂向氣浮，并通過(guò)Y向?qū)к墝?shí)現(xiàn)沿Y向運(yùn)動(dòng)時(shí)的氣浮導(dǎo)向，此外，X向?qū)к壱粋?cè)的Y向滑臺(tái)通過(guò)采用具有Rz向柔性的柔性塊以及X向氣浮與側(cè)向?qū)к壝媛?lián)接，另一側(cè)的Y向滑臺(tái)則通過(guò)緩沖塊與該側(cè)的側(cè)向?qū)к壝媛?lián)接。當(dāng)Rz向的附加轉(zhuǎn)矩引起粗動(dòng)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，粗動(dòng)臺(tái)的扭轉(zhuǎn)將壓迫柔性塊一側(cè)的氣浮。由于柔性塊的存在，大大降低了對(duì)側(cè)向氣浮軸承氣浮剛度的要求，同時(shí)也降低了承載臺(tái)沿Y向運(yùn)動(dòng)時(shí)，對(duì)左右兩側(cè)Y向驅(qū)動(dòng)電機(jī)同步控制精度的要求。然而，基于該結(jié)構(gòu)形式的工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜；柔性塊設(shè)計(jì)、加工制造難度較大，同時(shí)也降低了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)剛度；Y向長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向采用二維導(dǎo)軌，成本較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，以改善現(xiàn)有技術(shù)的缺失。為解決所述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是本發(fā)明提供一種二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，包括承載臺(tái)、第一方向運(yùn)動(dòng)裝置以及兩個(gè)第二方向運(yùn)動(dòng)裝置。第一方向運(yùn)動(dòng)裝置包括第一方向?qū)к墶⒌谝环较蚧_(tái)以及第一方向電機(jī)。第一方向滑臺(tái)沿第一方向可滑動(dòng)地設(shè)置于第一方向?qū)к?，且第一方向滑臺(tái)連接于承載臺(tái)，第一方向電機(jī)連接于第一方向滑臺(tái)。兩個(gè)第二方向運(yùn)動(dòng)裝置分別連接于第一方向運(yùn)動(dòng)裝置的兩側(cè)。每一第二方向運(yùn)動(dòng)裝置包括第二方向?qū)к?、第二方向滑臺(tái)以及二維電機(jī)。第二方向滑臺(tái)沿第一方向與第二方向可滑動(dòng)地懸浮于第二方向?qū)к壍纳戏?，第二方向滑臺(tái)連接于第一方向?qū)к墸谝环较虼怪庇诘诙较?。二維電機(jī)連接于第二方向滑臺(tái)，驅(qū)動(dòng)第二方向滑臺(tái)以及第一方向運(yùn)動(dòng)裝置沿第二方向作長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)的同時(shí)能夠在第一方向作1 2mm的小行程運(yùn)動(dòng)。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，二維電機(jī)包括第一方向定子、第二方向定子、第一方向動(dòng)子以及第二方向動(dòng)子。第一方向定子設(shè)置于第二方向?qū)к?。第二方向定子設(shè)置于第二方向?qū)к?。第一方向?dòng)子設(shè)置于第二方向滑臺(tái)并對(duì)應(yīng)第一方向定子，第一方向動(dòng)子與第一方向定子相互吸引。第二方向動(dòng)子設(shè)置于第二方向滑臺(tái)并對(duì)應(yīng)第二方向定子，第二方向動(dòng)子與第二方向定子相互吸引。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第一方向定子與第二方向定子為線圈或磁鐵，第一方向動(dòng)子與第二方向動(dòng)子對(duì)應(yīng)為磁鐵或線圈。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第一方向定子在第一方向上的長(zhǎng)度小于第二方向定子在第二方向上的長(zhǎng)度。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第一方向定子在第二方向上的長(zhǎng)度等于第二方向定子在第二方向上的長(zhǎng)度。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，每一第二方向運(yùn)動(dòng)裝置還包括懸浮體，分別設(shè)置于第二方向滑臺(tái)，懸浮體懸浮于第二方向?qū)к壍纳戏健Ｔ诒景l(fā)明的一實(shí)施例中，懸浮體為磁鐵或空氣軸承。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，每一第二方向運(yùn)動(dòng)裝置還包括第一方向限位件，設(shè)置于第二方向?qū)к?。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，每一第二方向運(yùn)動(dòng)裝置還包括第一測(cè)量件，用以測(cè)量第二方向滑臺(tái)沿第二方向的滑動(dòng)行程。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第一測(cè)量件為一維光柵尺。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，每一第二方向運(yùn)動(dòng)裝置還包括第二測(cè)量件，用以測(cè)量第二方向滑臺(tái)沿第一方向的滑動(dòng)行程。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第二測(cè)量件為一維光柵尺或霍爾傳感器。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果可以是在本發(fā)明提供的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中，其第二方向長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)由兩個(gè)二維電機(jī)同步等速驅(qū)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)，從而可提高承載臺(tái)的運(yùn)動(dòng)定位精度，而且還省去了側(cè)向氣浮、側(cè)向?qū)к壱约叭嵝詨K，簡(jiǎn)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)，降低了成本。為讓本發(fā)明的所述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。


圖1為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的示意圖；圖2為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的正視圖；圖3為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的二維電機(jī)的正視圖；圖4為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的二維電機(jī)的俯視圖。
具體實(shí)施例方式圖1為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的示意圖。圖2為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的正視圖。請(qǐng)參考圖1與圖2。在本實(shí)施例中，二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)1包括承載臺(tái)10、第一方向運(yùn)動(dòng)裝置11以及兩個(gè)第二方向運(yùn)動(dòng)裝置12。承載臺(tái)10用于承載工件(圖未示)，且連接于第一方向運(yùn)動(dòng)裝置11。兩個(gè)第二方向運(yùn)動(dòng)裝置12分別對(duì)稱(chēng)地連接于第一方向運(yùn)動(dòng)裝置11的兩側(cè)，可實(shí)現(xiàn)同步等速運(yùn)動(dòng)。由此，工件可利用二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)1實(shí)現(xiàn)在大理石平臺(tái)2上的二維長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)。
在本實(shí)施例中，第一方向運(yùn)動(dòng)裝置11包括第一方向?qū)к?10、第一方向滑臺(tái)111以及第一方向電機(jī)(圖未示)。第一方向滑臺(tái)111沿第一方向可滑動(dòng)地設(shè)置于第一方向?qū)к?10。在此，第一方向即為圖1所示的X方向。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限定。在其他實(shí)施例中，第一方向也可為圖1所示的Y方向。在本實(shí)施例中，第一方向滑臺(tái)111連接于承載臺(tái)10，第一方向電機(jī)連接于第一方向滑臺(tái)111，以驅(qū)動(dòng)第一方向滑臺(tái)111沿第一方向運(yùn)動(dòng)。由此，承載臺(tái)10可在第一方向滑臺(tái)111的帶動(dòng)下，實(shí)現(xiàn)第一方向上的長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)。在本實(shí)施例中，第二方向運(yùn)動(dòng)裝置12包括第二方向?qū)к?20、第二方向滑臺(tái)121、二維電機(jī)122、懸浮體123、第一方向限位件124、第一測(cè)量件(圖未示)以及第二測(cè)量件(圖未示)。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限定。在本實(shí)施例中，第二方向滑臺(tái)121沿第一方向與第二方向可滑動(dòng)地懸浮于第二方向?qū)к?20的上方，第一方向垂直于第二方向。在此，第二方向即為圖1所示的Y方向。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限定。在其他實(shí)施例中，當(dāng)?shù)谝环较驗(yàn)閳D1所示的Y方向時(shí)，第二方向可對(duì)應(yīng)地為圖1所示的X方向。在本實(shí)施例中，第二方向滑臺(tái)121連接于第一方向?qū)к?10。由此，當(dāng)?shù)诙较蚧_(tái)121在第二方向?qū)к?20上方沿第一方向或第二方向滑動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)整個(gè)第一方向運(yùn)動(dòng)裝置11及連接于第一方向運(yùn)動(dòng)裝置11的承載臺(tái)10對(duì)應(yīng)地沿第一方向或第二方向滑動(dòng)。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限定。在本實(shí)施例中，二維電機(jī)122連接第二方向滑臺(tái)121，以驅(qū)動(dòng)第二方向滑臺(tái)121在第二方向?qū)к?20上方沿第一方向或第二方向滑動(dòng)。在此，二維電機(jī)122可驅(qū)動(dòng)第二方向滑臺(tái)121沿第一方向作小行程運(yùn)動(dòng)，而沿第二方向作長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)。S卩，二維電機(jī)122可驅(qū)動(dòng)第二方向滑臺(tái)121以及第一方向運(yùn)動(dòng)裝置11沿第二方向作長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)的同時(shí)能夠在第一方向作1 2mm的小行程運(yùn)動(dòng)。并且，二維電機(jī)122沿第二方向的驅(qū)動(dòng)力滿(mǎn)足二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)1沿第二方向的加速度要求，第一方向驅(qū)動(dòng)力滿(mǎn)足承載臺(tái)10沿第一方向的運(yùn)動(dòng)加速度的反力要求。關(guān)于二維電機(jī)122的具體結(jié)構(gòu)容后詳述。在本實(shí)施例中，每個(gè)第二方向運(yùn)動(dòng)裝置12可分別包括四個(gè)懸浮體123，分別設(shè)置于第二方向滑臺(tái)121，并靠近第二方向滑臺(tái)121的四個(gè)端角，以防止第二方向滑臺(tái)121在滑動(dòng)過(guò)程中出現(xiàn)上下擺動(dòng)的狀況。然而，本發(fā)明對(duì)懸浮體123的數(shù)目與在第二方向滑臺(tái)121的設(shè)置位置不作任何限定。在本實(shí)施例中，懸浮體123可懸浮于第二方向?qū)к?20的上方，以形成第二方向滑臺(tái)121與第二方向?qū)к?20之間的懸浮狀態(tài)。在此，懸浮體123可為磁鐵或空氣軸承。例如，第二方向?qū)к?20與懸浮體123可皆為磁鐵，且同極相對(duì)，例如以N極或S極相對(duì)以形成相互排斥的狀態(tài)?；蛘撸诙较?qū)к?20與懸浮體123可分別為線圈與磁鐵，在通電后，形成相斥的狀態(tài)。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限定?；蛘撸谄渌麑?shí)施例中，也可不設(shè)置懸浮體123，而在第二方向?qū)к?20上設(shè)置通氣孔，以利用空氣浮力直接將第二方向滑臺(tái)121懸浮于第二方向?qū)к?20的上方。本發(fā)明對(duì)此不作任何限定。在本實(shí)施例中，第一方向限位件IM設(shè)置于第二方向?qū)к?20，以對(duì)第二方向滑臺(tái)121在第一方向上的運(yùn)動(dòng)提供限位及安全保護(hù)。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限定。在其他實(shí)施例中，也可不設(shè)置此第一方向限位件124。
在本實(shí)施例中，第一測(cè)量件用以測(cè)量第二方向滑臺(tái)121沿第二方向的滑動(dòng)行程。在此，第一測(cè)量件即用以測(cè)量第二方向滑臺(tái)121的長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)，第一測(cè)量件例如可為一維光柵尺。第二測(cè)量件用以測(cè)量第二方向滑臺(tái)121沿第一方向的滑動(dòng)行程。在此，第二測(cè)量件即用以測(cè)量第二方向滑臺(tái)121的小行程運(yùn)動(dòng)，第二測(cè)量件例如可為一維光柵尺或霍爾傳感器。然而，本發(fā)明對(duì)第一測(cè)量件與第二測(cè)量件的類(lèi)型不作任何限定。圖3為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的二維電機(jī)的正視圖。圖4為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的二維電機(jī)的俯視圖。請(qǐng)參考圖2、圖3以及圖4。在本實(shí)施例中，二維電機(jī)122包括第一方向定子1221、第一方向動(dòng)子1222、第二方向定子1223以及第二方向動(dòng)子12M。在此，第一方向定子1221與第二方向定子1223皆設(shè)置于第二方向?qū)к?20，第一方向動(dòng)子1222與第二方向動(dòng)子12M皆設(shè)置于第二方向滑臺(tái)121。在本實(shí)施例中，第二方向?qū)к?20上的第一方向定子1221與第二方向滑臺(tái)121上的第一方向動(dòng)子1222對(duì)應(yīng)設(shè)置，且形成相互吸引的狀態(tài)。相應(yīng)地，第二方向定子1223與第二方向動(dòng)子12M對(duì)應(yīng)設(shè)置，也形成相互吸引的狀態(tài)。由此產(chǎn)生的吸力可與懸浮體123與第二方向?qū)к?20之間的斥力達(dá)到平衡，以使第一方向定子1221、第二方向定子1223與第一方向動(dòng)子1222、第二方向動(dòng)子12 之間形成懸浮狀態(tài)，有效地隔離外部振動(dòng)。在本實(shí)施例中，第一方向定子1221與第二方向定子1223可為線圈，第一方向動(dòng)子1222與第二方向動(dòng)子12M可對(duì)應(yīng)地為磁鐵。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限定。在其他實(shí)施例中，第一方向定子1221與第二方向定子1223可為磁鐵，第一方向動(dòng)子1222與第二方向動(dòng)子12 可對(duì)應(yīng)地為線圈。具體而言，在本實(shí)施例中，當(dāng)?shù)谝环较蚨ㄗ?221通入交流電源時(shí)，便產(chǎn)生行波磁場(chǎng)，由此，第一方向動(dòng)子1222在行波磁場(chǎng)切割下，將感應(yīng)出電動(dòng)勢(shì)并產(chǎn)生電流。此電流與磁場(chǎng)相作用便產(chǎn)生第一方向(即X方向)的電磁推力。由于第一方向定子1221的位置固定，因此，第一方向動(dòng)子1222即帶動(dòng)第二方向滑臺(tái)121在電磁推力作用下做第一方向上的直線運(yùn)動(dòng)。同理，在本實(shí)施例中，當(dāng)?shù)诙较蚨ㄗ?223通入交流電源時(shí)，也產(chǎn)生行波磁場(chǎng)，由此，第二方向動(dòng)子12M在行波磁場(chǎng)切割下，將感應(yīng)出電動(dòng)勢(shì)并產(chǎn)生電流。此電流與磁場(chǎng)相作用便產(chǎn)生第二方向(即Y方向)的電磁推力。由于第二方向定子1223的位置固定，因此，第二方向動(dòng)子12M即帶動(dòng)第二方向滑臺(tái)121在電磁推力作用下做第二方向上的直線運(yùn)動(dòng)。在本實(shí)施例中，第一方向定子1221在第一方向上的長(zhǎng)度可小于第二方向定子1223在第二方向上的長(zhǎng)度。由此，二維電機(jī)122在第一方向上的運(yùn)動(dòng)行程即小于在第二方向上的運(yùn)動(dòng)行程。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限定。在其他實(shí)施例中，使用者可根據(jù)所需運(yùn)動(dòng)行程的需要，將第一方向定子1221在第一方向上的長(zhǎng)度設(shè)定成等于或大于第二方向定子1223在第二方向上的長(zhǎng)度。另外，在本實(shí)施例中，第一方向定子1221在第二方向上的長(zhǎng)度可等于第二方向定子1223在第二方向上的長(zhǎng)度，且第二方向定子1223在第一方向上的長(zhǎng)度等于第一方向定子1221在第一方向上的長(zhǎng)度。由此，二維電機(jī)122可達(dá)成在第一方向與第二方向上的同步運(yùn)動(dòng)。換言之，在本實(shí)施例中，二維電機(jī)122在第二方向上進(jìn)行大行程移動(dòng)的同時(shí)可在第一方向上進(jìn)行微調(diào)，由此，使得承載臺(tái)10定位更加精確。然而，本發(fā)明對(duì)此不作任何限定。在本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中，其第二方向長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)由兩個(gè)二維電機(jī)同步等速驅(qū)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)，從而可提高承載臺(tái)的運(yùn)動(dòng)定位精度，而且還省去了側(cè)向氣浮、側(cè)向?qū)к壱约叭嵝詨K，簡(jiǎn)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)，降低了成本。另外，驅(qū)動(dòng)承載臺(tái)作第二方向長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)的二維電機(jī)中，第二方向?qū)к壟c懸浮體相互排斥，第一方向定子、第二方向定子分別與第一方向動(dòng)子、第二方向動(dòng)子相互吸引，從而可使第一方向定子、第二方向定子與第一方向動(dòng)子、第二方向動(dòng)子之間形成懸浮狀態(tài)，有效地隔離外部振動(dòng)。由此，可有效地提高運(yùn)動(dòng)精度，使得承載臺(tái)在運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中更加精確和靈活。 雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書(shū)所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，包括承載臺(tái)；第一方向運(yùn)動(dòng)裝置，包括第一方向?qū)к?、第一方向滑臺(tái)以及第一方向電機(jī)，所述第一方向滑臺(tái)沿第一方向可滑動(dòng)地設(shè)置于所述第一方向?qū)к?，且所述第一方向滑臺(tái)連接于所述承載臺(tái)，所述第一方向電機(jī)連接于所述第一方向滑臺(tái)；以及兩個(gè)第二方向運(yùn)動(dòng)裝置，分別連接于所述第一方向運(yùn)動(dòng)裝置的兩側(cè)，每一所述第二方向運(yùn)動(dòng)裝置包括第二方向?qū)к?；第二方向滑臺(tái)，沿所述第一方向與第二方向可滑動(dòng)地懸浮于所述第二方向?qū)к壍纳戏?，所述第二方向滑臺(tái)連接于所述第一方向?qū)к?，所述第一方向垂直于所述第二方向；以及二維電機(jī)，連接于所述第二方向滑臺(tái)，驅(qū)動(dòng)所述第二方向滑臺(tái)以及所述第一方向運(yùn)動(dòng)裝置沿所述第二方向作長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)的同時(shí)能夠在所述第一方向作1 2mm的小行程運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述二維電機(jī)包括第一方向定子，設(shè)置于所述第二方向?qū)к墸坏诙较蚨ㄗ?，設(shè)置于所述第二方向?qū)к墸坏谝环较騽?dòng)子，設(shè)置于所述第二方向滑臺(tái)并對(duì)應(yīng)所述第一方向定子，所述第一方向動(dòng)子與所述第一方向定子相互吸引；以及第二方向動(dòng)子，設(shè)置于所述第二方向滑臺(tái)并對(duì)應(yīng)所述第二方向定子，所述第二方向動(dòng)子與所述第二方向定子相互吸引。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一方向定子與所述第二方向定子為線圈或磁鐵，所述第一方向動(dòng)子與所述第二方向動(dòng)子對(duì)應(yīng)為磁鐵或線圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一方向定子在所述第一方向上的長(zhǎng)度小于所述第二方向定子在所述第二方向上的長(zhǎng)度。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一方向定子在所述第二方向上的長(zhǎng)度等于所述第二方向定子在所述第二方向上的長(zhǎng)度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，每一所述第二方向運(yùn)動(dòng)裝置還包括懸浮體，分別設(shè)置于所述第二方向滑臺(tái)，所述懸浮體懸浮于所述第二方向?qū)к壍纳戏健?br> 7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述懸浮體為磁鐵或空氣軸承。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，每一所述第二方向運(yùn)動(dòng)裝置還包括第一方向限位件，設(shè)置于所述第二方向?qū)к墶?br> 9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，每一所述第二方向運(yùn)動(dòng)裝置還包括第一測(cè)量件，用以測(cè)量所述第二方向滑臺(tái)沿所述第二方向的滑動(dòng)行程。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一測(cè)量件為一維光柵尺。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，每一所述第二方向運(yùn)動(dòng)裝置還包括第二測(cè)量件，用以測(cè)量所述第二方向滑臺(tái)沿所述第一方向的滑動(dòng)行程。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述第二測(cè)量件為一維光柵尺或霍爾傳感器。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，包括承載臺(tái)、第一方向運(yùn)動(dòng)裝置以及兩個(gè)第二方向運(yùn)動(dòng)裝置。第一方向運(yùn)動(dòng)裝置包括第一方向?qū)к?、第一方向滑臺(tái)以及第一方向電機(jī)。兩個(gè)第二方向運(yùn)動(dòng)裝置分別連接于第一方向運(yùn)動(dòng)裝置的兩側(cè)。每一第二方向運(yùn)動(dòng)裝置包括第二方向?qū)к?、第二方向滑臺(tái)以及二維電機(jī)。第二方向滑臺(tái)沿第一方向與第二方向可滑動(dòng)地懸浮于第二方向?qū)к壍纳戏?，第二方向滑臺(tái)連接于第一方向?qū)к?。二維電機(jī)連接于第二方向滑臺(tái)，驅(qū)動(dòng)第二方向滑臺(tái)以及第一方向運(yùn)動(dòng)裝置沿第二方向作長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)的同時(shí)能夠在第一方向作1～2mm的小行程運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明公開(kāi)的二維長(zhǎng)行程工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，簡(jiǎn)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)，降低了成本。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102566293SQ20101061842
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2010年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者袁志揚(yáng), 陳軍 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司