專利名稱：紫外線照射裝置及紫外線照射處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是涉及紫外線照射處理裝置，尤其是涉及在半導(dǎo)體基板或液晶 基板等的制造工序中，使用被利用在半導(dǎo)體基板或液晶基板的洗凈等的準(zhǔn) 分子燈的紫外線照射裝置及紫外線照射處理裝置。
背景技術(shù)：
在最近的半導(dǎo)體基板或是液晶基板等的制造工序中，作為除去附著于 半導(dǎo)體基板的硅片或液晶基板的玻璃基板的表面的有機(jī)化合物等的污垢的 方法，使用紫外線的干式洗凈方法被廣泛地利用。尤其是在使用從準(zhǔn)分子 燈所放射的真空紫外光的臭氧或活性氧氣的洗凈方法中，提案有更有效率 且在短時(shí)間洗凈的各種洗凈裝置，例如，公知有如專利文獻(xiàn)l。
圖13是表示公開(kāi)在同文獻(xiàn)的現(xiàn)有的紫外線照射處理裝置的結(jié)構(gòu)。根據(jù) 現(xiàn)有的紫外線照射處理裝置，在開(kāi)放燈罩A的頂部，例如在不銹鋼板形成 多個(gè)3mm間距的直徑2mm的孔，并成為開(kāi)口率40。％的多孔氣體擴(kuò)散板B 配置成與開(kāi)放燈罩A的開(kāi)放面平行。在支撐板C，在由該氣體擴(kuò)散板B所 區(qū)劃的空間形成有連續(xù)的氣體供給口 CA，而在支撐板C上從上方設(shè)有氣 體供給導(dǎo)管D來(lái)覆蓋上述氣體供給口 CA。在該氣體供給導(dǎo)管D，連接有 未圖示的氮?dú)夤┙o源，成為將清凈的氮?dú)?非活性氣體)經(jīng)氣體供給導(dǎo)管D 及氣體供給口 CA供給于氣體擴(kuò)散板B上方的空間，而這些結(jié)構(gòu)構(gòu)成了氣 體供給單元E。在運(yùn)送室F內(nèi)，構(gòu)成運(yùn)送機(jī)構(gòu)G的多根運(yùn)送機(jī)軸H為向與 工件W的運(yùn)送方向正交的方向設(shè)置成旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)，工件W載放于設(shè) 在這些各運(yùn)送機(jī)軸H的多個(gè)運(yùn)送滾子而被運(yùn)送。另外，在運(yùn)送室F的底部， 設(shè)有相連在未圖示的排氣裝置的排氣導(dǎo)管I，并作成可排出在內(nèi)部與向運(yùn)送 室F內(nèi)供給的氮?dú)庖黄鹚a(chǎn)生的臭氧等。
如圖13的箭號(hào)所示，依照上述構(gòu)成的紫外線照射處理裝置，氮?dú)怏w從 設(shè)于燈罩A內(nèi)的氣體擴(kuò)散板B的微細(xì)孔向下方被吐出。被吐出的氮?dú)怏w，是首先相撞于準(zhǔn)分子燈J的平坦面，在這里向橫方向改變流動(dòng)，從準(zhǔn)分子 燈的兩側(cè)部向工件W表面筆直地流動(dòng)掉落。所以，從準(zhǔn)分子燈J的周圍一 直到工件W的紫外線照射空間X，以氮?dú)獾牧鲃?dòng)充滿著全體，而被維持在 幾乎不存在氧氣的非活性氣體環(huán)境。因此，從準(zhǔn)分子燈J所放射的紫外光
是幾乎不會(huì)被氧氣所吸收而到達(dá)至紫外線照射空間x，工件w表面的紫外
線強(qiáng)度是與現(xiàn)有情況相比較會(huì)長(zhǎng)足地變高。
專利文獻(xiàn)l:日本特開(kāi)2005-197291號(hào)。
可是，根據(jù)上述的現(xiàn)有的紫外線照射處理裝置，為了快速地進(jìn)行工件 W的處理，成為必須從準(zhǔn)分子燈J的周圍一直到準(zhǔn)分子燈J與工件W之間 的紫外線空間X用氮?dú)饪焖俚爻錆M的情形。然而，如圖13所示，在現(xiàn)有紫 外線照射處理裝置中，互相地鄰接的多個(gè)準(zhǔn)分子燈J配置成隔著規(guī)定間隔， 因而不得不增大開(kāi)放燈罩A的內(nèi)容積。所以，從配置于開(kāi)放燈罩A的內(nèi)部 的多個(gè)準(zhǔn)分子燈J的周圍一直到工件W的紫外線照射空間X以非活性氣體 的流動(dòng)來(lái)充滿，而成為必須經(jīng)氣體供給導(dǎo)管D及氣體供給口 CA供給大量 的非活性氣體，并存在成本變高的這樣的問(wèn)題。另外，用于將大量的非活 性氣體經(jīng)氣體擴(kuò)散板B的微細(xì)孔因?qū)⒎腔钚詺怏w充滿于準(zhǔn)分子燈J的周圍 需要長(zhǎng)時(shí)間，而不得不降低工件W的運(yùn)送速度，存在降低生產(chǎn)量的這樣的 問(wèn)題。
由此，在本發(fā)明中，其目的是提供可將非活性氣體快速地充滿于準(zhǔn)分 子燈的周圍的紫外線照射裝置及具備紫外線照射裝置的紫外線照射處理裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的紫外線照射裝置，具有多個(gè)準(zhǔn)分子燈，所述準(zhǔn)分子燈在被 形成于放電容器內(nèi)的密閉空間封入有放電氣體，并且隔著該密閉空間在上 述放電容器的外表面形成有一對(duì)電極；燈罩，包圍該多個(gè)準(zhǔn)分子燈且垂直 方向的一個(gè)方向開(kāi)口；及氣體供給機(jī)構(gòu)，用于將非活性氣體供給給該燈罩 的內(nèi)部，該紫外線照射裝置其特征為在上述燈罩內(nèi)，空間封閉體被配置 由上述準(zhǔn)分子燈所占有的空間以外的空間。
另外，本發(fā)明的紫外線照射裝置，其特征為是在互相鄰接的上述準(zhǔn)分子燈之間配置有上述空間封閉體，而該空間封閉體的基端部被固定于上 述燈罩的頂部。
本發(fā)明的紫外線照射裝置，是在近年來(lái)，被要求對(duì)于大面積的被處理 體照射紫外線，因此，就必須增加被收容于燈罩內(nèi)的準(zhǔn)分子燈的發(fā)光長(zhǎng)度。 例如， 一邊運(yùn)送被處理體一邊對(duì)于被處理體照射紫外線時(shí)，準(zhǔn)分子燈的發(fā) 光長(zhǎng)度必須作成對(duì)于被處理體的運(yùn)送方向正交的方向的全長(zhǎng)度還要長(zhǎng)。
增長(zhǎng)準(zhǔn)分子燈的發(fā)光長(zhǎng)度，則必須增長(zhǎng)構(gòu)成發(fā)光管的合成石英玻璃管 的長(zhǎng)度。要增長(zhǎng)準(zhǔn)分子燈1支的全長(zhǎng)度，如下所述，存在合成石英玻璃管 的制造上的問(wèn)題、或是準(zhǔn)分子燈設(shè)置上的問(wèn)題，因而較困難。
所謂合成石英玻璃管的制造上的問(wèn)題，為將要制作全長(zhǎng)度較長(zhǎng)的合成 石英玻璃管，則會(huì)變形彎曲，而很難加工成特性穩(wěn)定的燈。另外，隨著合 成石英玻璃管的全長(zhǎng)度變長(zhǎng)，不易于運(yùn)送(作業(yè)性)，而會(huì)傷及合成石英玻 璃管，會(huì)成為高成本的燈。
所謂準(zhǔn)分子燈的設(shè)置上的問(wèn)題，是指將全長(zhǎng)度長(zhǎng)的準(zhǔn)分子燈設(shè)在燈罩 時(shí)，使得準(zhǔn)分子燈翹曲而準(zhǔn)分子燈的中心部接近于工件，會(huì)發(fā)生紫外線放 射的參差不齊而產(chǎn)生基板的處理參差不齊，或者進(jìn)一步翹曲時(shí)，則準(zhǔn)分子 燈接觸于工件而摩擦工件表面而對(duì)于工件有帶來(lái)機(jī)械性損壞的問(wèn)題。
所以，如圖4所示，準(zhǔn)備其全長(zhǎng)比被處理體的運(yùn)送方向正交的方向的
全長(zhǎng)度還要短的準(zhǔn)分子燈1A、 1B，形成各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A、 1B的發(fā)光區(qū)域 SA、 SB重疊的區(qū)域Q，由此，通常來(lái)進(jìn)行著增長(zhǎng)發(fā)光長(zhǎng)度。然而，如圖4 所示，與全長(zhǎng)較短的準(zhǔn)分子燈相比較，則在各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A、 1B的中心 軸方向形成有多余的空間。
因此，為了減少形成于上述的準(zhǔn)分子燈1A、 1B的中心軸方向的多余 空間，本發(fā)明的紫外線照射裝置其特征為是上述空間封閉體配置在上述 準(zhǔn)分子燈的中心軸上，而互相地鄰接的上述準(zhǔn)分子燈的各個(gè)發(fā)光區(qū)域，重 疊在對(duì)于上述準(zhǔn)分子燈的中心軸正交的假想直線上。
另外，上述紫外線照射裝置其特征為是具有用于將上述準(zhǔn)分子燈固
定在上述燈罩內(nèi)的支撐體，且對(duì)于該支撐體固定有上述準(zhǔn)分子燈與上述空 間封閉體的雙方。
另外，本發(fā)明的紫外線照射處理裝置，其特征為具備上述紫外線照射裝置，而且具有向上述準(zhǔn)分子燈的中心軸正交的方向運(yùn)送被處理體的運(yùn) 送機(jī)構(gòu)。
依照本發(fā)明的紫外線照射裝置，在燈罩內(nèi)，空間封閉體被配置于由準(zhǔn) 分子燈所占有的空間以外的空間，因此準(zhǔn)分子燈的周圍空間的容積變少。 從而，即使不將多量非活性氣體供給于燈罩內(nèi)也可將準(zhǔn)分子燈的周圍作成 非活性氣體氣氛，而可減少供給非活性氣體所必需的成本。另外，如上所 述，通過(guò)減小準(zhǔn)分子燈的周圍空間的容積，可將準(zhǔn)分子燈的周圍快速地作 成非活性氣體氣氛，因此可提升生產(chǎn)量。
另外，在本發(fā)明的紫外線照射裝置中，在互相鄰接的上述準(zhǔn)分子燈之 間配置有上述空間封閉體，而該空間封閉體的基端部被固定于上述燈罩的 頂部，因此可將空間封閉體確實(shí)地固定在燈罩的內(nèi)部。
另外，在本發(fā)明的紫外線照射裝置中，上述空間封閉體被配置于上述 準(zhǔn)分子燈的中心軸上，而互相地鄰接的上述準(zhǔn)分子燈的各個(gè)發(fā)光區(qū)域，重 疊在對(duì)于上述準(zhǔn)分子燈的中心軸正交的假想直線上，因此在使用全長(zhǎng)較短 的準(zhǔn)分子燈時(shí)，由空間封閉體來(lái)封閉被形成于準(zhǔn)分子燈的中心軸方向的空 間，在燈罩的內(nèi)部可減小準(zhǔn)分子燈的周圍空間的容積，而且可將紫外線確 實(shí)地照射在大面積的被處理體。
另外，根據(jù)本發(fā)明的紫外線照射裝置，具備用以將上述準(zhǔn)分子燈固定 在上述燈罩的支撐體，且對(duì)于該支撐體固定有上述準(zhǔn)分子燈與上述空間封 閉體的雙方，因此對(duì)于其運(yùn)送方向的寬度不相同的多種被處理體使用共同 的燈罩來(lái)進(jìn)行紫外線照射處理時(shí)，可減低供給非活性氣體所必需的成本， 而且可將準(zhǔn)分子燈的周圍快速地作成非活性氣體氣氛。
另外，根據(jù)本發(fā)明的紫外線照射處理裝置，具備對(duì)準(zhǔn)分子燈的中心軸 朝正交的方向運(yùn)送被處理體的運(yùn)送機(jī)構(gòu)，因此可減少被處理體的紫外線照 射處理上所必需的準(zhǔn)分子燈的支數(shù)。


圖1是表示本發(fā)明的紫外線照射裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖2(a)及圖2(b)是表示準(zhǔn)分子燈的結(jié)構(gòu)的截面圖。 圖3是表示從垂直方向觀看紫外線照射裝置時(shí)的圖。圖4是概念地表示準(zhǔn)分子燈，空間封閉體及被處理體的配置的圖。
圖5是表示空間封閉體的結(jié)構(gòu)的圖。
圖6是概念地表示比較例的紫外線照射裝置的圖。
圖7是表示本發(fā)明的紫外線照射裝置的第2實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖8是表示從垂直方向觀看在圖7示出的紫外線照射裝置時(shí)的圖。
圖9是表示本發(fā)明的紫外線照射裝置的第3實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖10是表示從斜上方觀看紫外線照射裝置的一部分時(shí)的立體圖。
圖11是用于說(shuō)明準(zhǔn)分子燈的支撐體的結(jié)構(gòu)的圖。
圖12是用于說(shuō)明間點(diǎn)亮燈的立體圖。
圖13是表示現(xiàn)有的紫外線照射處理裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。
主要元件符號(hào)說(shuō)明 1:準(zhǔn)分子燈
2:空間封閉體
3-氣體供給機(jī)構(gòu) 5:燈罩
6:運(yùn)送機(jī)構(gòu)
7:支撐體
20:空間封閉體
W:被處理體
1B:準(zhǔn)分子燈
1D:準(zhǔn)分子燈
2A、 2C:空間封閉體
3B、 3D、 3F、 3H:氣體供給機(jī)構(gòu)
5:燈罩
6:運(yùn)送機(jī)構(gòu)
31B、 31D、 31F、 31H:開(kāi)口
51:開(kāi)口 52:頂部 61:多個(gè)滾子100:紫外線照射裝置
具體實(shí)施方式
(第1實(shí)施方式)
以下，針對(duì)于本發(fā)明的紫外線照射裝置的第1實(shí)施方式使用圖1至圖5
進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示本發(fā)明的紫外線照射裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。圖2是 表示準(zhǔn)分子燈的結(jié)構(gòu)的截面圖。圖2(a)表示向中心軸方向切斷準(zhǔn)分子燈的 截面圖。圖2(b)是表示向與中心軸正交的方向切斷準(zhǔn)分子燈的截面圖。圖3 是表示從垂直方向觀看本發(fā)明的紫外線照射裝置時(shí)的圖。圖4是概念性地 表示準(zhǔn)分子燈，空間封閉體及被處理體的配置的圖。圖5是表示空間封閉 體的結(jié)構(gòu)的圖。
紫外線照射裝置100是在垂直方向的下方側(cè)具有開(kāi)口 51的金屬制筐體 構(gòu)成的燈罩5的內(nèi)部，互相地隔著平行地配置有多個(gè)準(zhǔn)分子燈1，并且在燈 罩5的頂部52設(shè)有用于供給氮?dú)獾鹊姆腔钚詺怏w的氣體供給管3，如下所 述地配置有互相地鄰接的準(zhǔn)分子燈I(IB， 1D)與塊狀的空間封閉體2(2A， 2C)，各個(gè)的準(zhǔn)分子燈1為了將與被處理體W的距離作成均等，使各個(gè)光 出射面配置于同一平面上。在紫外線照射裝置100垂直方向的下方，設(shè)有 具有用于將液晶基板、半導(dǎo)體基板等的被處理體W朝向圖1中的箭號(hào)方向 運(yùn)送的多個(gè)滾子61的運(yùn)送機(jī)構(gòu)6。另外，在下面將具有紫外線照射裝置與 運(yùn)送機(jī)構(gòu)的兩者作為紫外線照射處理裝置。
如圖2所示，準(zhǔn)分子燈1是由介質(zhì)材料的硅玻璃構(gòu)成，具有在四角部 圓的扁平的方筒形狀的放電容器10。在形成于放電容器10的內(nèi)部的密閉空 間S，例如氙氣等的稀有氣體，或是將氯氣等的鹵素氣體混合于稀有氣體 作為放電氣體來(lái)充填。根據(jù)放電氣體的種類而產(chǎn)生不相同波長(zhǎng)的準(zhǔn)分子光。 放電氣體一般是以約10 100KPa的壓力被填充。
如圖2所示，放電容器10，位于紙面的上方側(cè)的平坦壁11與位于紙面 的下方側(cè)的平坦壁12為互相地隔開(kāi)而平行地伸展，而且位于紙面的左邊的 平坦壁13與位于紙面的右邊的平坦壁14為互相地隔開(kāi)而平行地伸展，這 些平坦壁11至14的各個(gè)端部由彎曲部15而連結(jié)。此種放電容器10是位 于紙面上下的平坦壁11、 12的任一個(gè)形成向被處理體W出射紫外線所用的光出射面，例如在將被處理體W配置于放電容器10下方時(shí)，平坦壁12 成為光出射面。
在平坦壁ll、 12，分別配置有電極17、 18。電極17、 18例如是將金、 銀、銅、鎳、鉻等的耐蝕性金屬通過(guò)進(jìn)行印刷或蒸鍍?cè)谄教贡趌l， 12上， 例如厚度形成成為0.1um 數(shù)10nm，覆蓋著平坦壁11， 12的寬度方向 的大約全區(qū)域。位于下方的電極18，在平坦壁12成為光出射面時(shí)，將上述 金屬通過(guò)進(jìn)行印刷或蒸鍍成為格子狀并形成具有透光性。發(fā)光區(qū)域SA是 如圖2(a)中以虛線所示，放電容器10內(nèi)的密閉空間S中以電極17、 18所 夾著的區(qū)域。
如圖l、 2所示，在對(duì)于被處理體W較遠(yuǎn)一邊的平坦壁ll的內(nèi)面lla， 形成有例如硅(silica)粒子與氧化鋁粒子所成的紫外線反射膜16。在圖2 所示的例子中，紫外線反射膜16延伸至連續(xù)于平坦壁11的兩端的彎曲部 15及平坦壁12 14的內(nèi)面。紫外線反射膜16是硅粒子的質(zhì)量含有比率為 30 99%，而優(yōu)選氧化鋁粒子的質(zhì)量含有比率為1 70%。
使用圖3，針對(duì)于本發(fā)明的紫外線照射裝置進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。
在燈罩5內(nèi)，多個(gè)(圖3所示的例子為4個(gè))的準(zhǔn)分子燈1A 1D，及與 準(zhǔn)分子燈1A 1D相同個(gè)數(shù)的空間封閉體2A 2D為各個(gè)空間封閉體2A 2D位于各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1D的中心軸X上，并且在與準(zhǔn)分子燈1A 1D 的中心軸X正交方向上準(zhǔn)分子燈1A 1D與空間封閉體2A 2D具體如下 地配置成交互地排列。
準(zhǔn)分子燈1A與1B配置為位于燈罩5的側(cè)壁附近的準(zhǔn)分子燈1A的 一端是超過(guò)延伸鄰接于該準(zhǔn)分子燈1A的準(zhǔn)分子燈1B的另一端延伸，而未 超過(guò)準(zhǔn)分子燈1B的一端。準(zhǔn)分子燈1A的發(fā)光區(qū)域SA與準(zhǔn)分子燈1B的 發(fā)光區(qū)域SB互相重疊在圖3中以Q所示的區(qū)域。在準(zhǔn)分子燈1A的一端側(cè)， 形成有由該準(zhǔn)分子燈1A未占有的空間，而在該空間配置有空間封閉體2A。
準(zhǔn)分子燈1B與1C配置為準(zhǔn)分子燈1B的另一端超過(guò)延伸鄰接于該 準(zhǔn)分子燈1B的準(zhǔn)分子燈1C的一端，而未超過(guò)準(zhǔn)分子燈1C的另一端。準(zhǔn) 分子燈1B的發(fā)光區(qū)域SB與準(zhǔn)分子燈1C的發(fā)光區(qū)域SC重疊在圖3中以Q 所示的區(qū)域。在準(zhǔn)分子燈1B的另一端側(cè)，形成有由該準(zhǔn)分子燈1B未占有 的空間，而在該空間配置有空間封閉體2B。準(zhǔn)分子燈1C與ID配置為準(zhǔn)分子燈1C的一端超過(guò)延伸鄰接于該準(zhǔn)
分子燈1C的準(zhǔn)分子燈ID的另一端，而未超過(guò)準(zhǔn)分子燈ID的一端。準(zhǔn)分 子燈1C的發(fā)光區(qū)域SC與準(zhǔn)分子燈ID的發(fā)光區(qū)域SD互相重疊在圖3中 以Q所示的區(qū)域。在準(zhǔn)分子燈1C的一端側(cè)，形成有由該準(zhǔn)分子燈1C未占 有的空間，而在該空間配置有空間封閉體2C。在位于燈罩5的側(cè)壁附近的 準(zhǔn)分子燈1D的另一端側(cè)，形成有由該準(zhǔn)分子燈1D未占有的空間，而在該 空間配置有空間封閉體2D。
如此地，如圖3、圖4所示，在紫外線照射裝置100中，各個(gè)準(zhǔn)分子燈 1A 1D，是各個(gè)中心軸X排列于與被處理體W的運(yùn)送方向正交的方向， 并且互相地鄰接的準(zhǔn)分子燈1A 1D的各個(gè)發(fā)光區(qū)域SA SD，重疊在對(duì)于 準(zhǔn)分子燈1A 1D的各個(gè)中心軸正交的假想直線K上來(lái)進(jìn)行配置。由此， 如第4圖所示，即使對(duì)于被處理體W的運(yùn)送方向正交的方向的全長(zhǎng)度與各 個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1D的全長(zhǎng)度相比較還長(zhǎng)，也由從準(zhǔn)分子燈1A 1D所放 射的紫外線被照射在對(duì)于被處理體W的運(yùn)送方向正交的方向整個(gè)全長(zhǎng)度， 可確實(shí)地進(jìn)行被處理體W的表面處理，而且對(duì)應(yīng)于被處理體W全長(zhǎng)度不 必制作全長(zhǎng)度較長(zhǎng)的準(zhǔn)分子燈，因而具有將準(zhǔn)分子制造燈變得簡(jiǎn)單這樣的 優(yōu)點(diǎn)。
如圖1、圖3所示，在各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1D的垂直方向的上方，配置 有用以將非活性氣體供給于該準(zhǔn)分子燈1A 1D的周圍的氣體供給機(jī)構(gòu) 3A 3H。各個(gè)氣體供給機(jī)構(gòu)3A 3H，是由截面呈方筒的管狀構(gòu)件所構(gòu)成 而用于吹出非活性氣體的多個(gè)開(kāi)口 31A 31H，互相地隔開(kāi)而依次排列形成 于氣體供給機(jī)構(gòu)3A 3H的長(zhǎng)度方向，而可從各個(gè)開(kāi)口 31A 31H均等地 吹出非活性氣體。非活性氣體是為了避免由存在于燈罩5內(nèi)的氧氣吸收從 準(zhǔn)分子燈1A 1D所放射的紫外光而供給的，例如優(yōu)選使用氮?dú)獾取?br> 針對(duì)于空間封閉體2A 2D的構(gòu)成說(shuō)明如下。為了方便，僅對(duì)空間封 閉體2A的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明，但對(duì)于空間封閉體2B 2D也是與空間封閉體 2A相同的結(jié)構(gòu)。
如圖5所示，空間封閉體2A是由被安裝于燈罩5的頂部52的棒狀 體21A、覆蓋該棒狀體周圍的有底筒狀體22A、及固定該棒狀體21A與該 有底筒狀體22A的固定構(gòu)件23A所構(gòu)成。棒狀體21A是基端側(cè)被固定于燈罩5的頂部52，而在位于靠近被處理體W的前端側(cè)形成有有底螺孔211A。 有底筒狀體22A是抵接于頂部52的基端側(cè)被開(kāi)放，并且在底板部221A的 中央形成有用以插通固定構(gòu)件23A的開(kāi)口 222A。固定構(gòu)件23A是由被螺 合于棒狀體21A的螺孔211A的棒狀螺旋部231A，及連續(xù)于該螺旋部231A 而領(lǐng)環(huán)狀地?cái)U(kuò)展的凸緣部232A來(lái)構(gòu)成。
空間封閉體2A 2D，是如下地來(lái)制作。由有底筒狀體22A覆蓋棒狀 體21A的周圍，而且將有底筒狀體22A的基端部抵接于燈罩5的內(nèi)面來(lái)進(jìn) 行配置，從有底筒狀體22A的開(kāi)口 222A插通著固定構(gòu)件23A的螺旋部 231A， 一直到固定構(gòu)件23A的凸緣部232A抵接于有底筒狀體22A的前端 部為止，對(duì)于棒狀體21A的螺旋孔211A通過(guò)螺合螺旋部231A來(lái)形成。另 外，空間封閉體2A的形狀是并未特別加以限制，但在燈罩5內(nèi)部，為了減 少準(zhǔn)分子燈未占有的區(qū)域的容積，優(yōu)選具有長(zhǎng)方體形狀。另外，有底筒狀 體及固定構(gòu)件是露出于燈罩5內(nèi)的空間，因而優(yōu)選利用耐紫外光，耐臭氧 性上優(yōu)異的物質(zhì)來(lái)構(gòu)成，例如SUS，在鋁板施以防蝕鋁處理，由陶瓷等來(lái) 構(gòu)成。
在本發(fā)明的紫外線照射裝置中，優(yōu)選各個(gè)空間封閉體2A 2D的前端 面(有底筒狀體的前端面)，配置于比包含各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1D的光出射面 的平面還要靠近被處理體W，且比位于燈罩5的垂直方向的下方側(cè)的前端 面的平面還要靠近垂直方向的上方。由此，在燈罩5的內(nèi)部空間，可減小 由各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1D所占有的空間以外的空間的容積，而且，對(duì)于各 個(gè)空間封閉體2A 2D不會(huì)有被處理體W相撞的顧慮。
依照如上的本發(fā)明的紫外線照射裝置，如圖1、圖3所示，在燈罩5 的內(nèi)部由準(zhǔn)分子燈1A 1D所占有的空間以外的空間配置有空間封閉體， 因而在燈罩5內(nèi)的多余的空間的容積變小。因此，通過(guò)供給少量的非活性 氣體就可將燈罩5的內(nèi)部空間作成非活性氣體氣氛，因而可削減供給非活 性氣體所需的成本，而且對(duì)于燈罩5的內(nèi)部空間可快速地充滿非活性氣體。
尤其是，如圖1所示，在具備運(yùn)送機(jī)構(gòu)的紫外線照射處理裝置中，為 了提升生產(chǎn)量，考慮運(yùn)送完成處理的被處理體W之后把燈罩5內(nèi)的氣氛成 為空氣氣氛，而被處理體位于燈罩5的開(kāi)口 51的正下方時(shí)，必須將燈罩5 內(nèi)的氣氛快速地作成非活性氣體氣氛。因此，如本發(fā)明，在燈罩5的內(nèi)部，減小由準(zhǔn)分子燈l所占有的空間以外的空間，由此，當(dāng)被處理體w位于燈 罩5的開(kāi)口 51的正下方時(shí)，可將非活性氣體快速地充滿于燈罩5內(nèi)，因而 與比較例涉及的紫外線照射裝置相比較生產(chǎn)量會(huì)顯著地提高。
對(duì)此，在如圖6所示的比較例的紫外線照射裝置中，在燈罩5的內(nèi)部， 由準(zhǔn)分子燈1A 1D所占有的空間以外的空間TA TD未配置空間封閉體， 因而若未將多量的非活性氣體供給于燈罩5內(nèi)的空間，則無(wú)法將燈罩5內(nèi) 的空間作成非活性氣體氣氛，并會(huì)把成本變高，另外，將非活性氣體充滿 在燈罩5內(nèi)的空間需要較久時(shí)間，因而會(huì)降低生產(chǎn)量。
(第2實(shí)施方式)
以下，對(duì)于紫外線照射裝置的第2實(shí)施方式使用圖7至圖8進(jìn)行說(shuō)明。 該實(shí)施方式是優(yōu)選適用于對(duì)于被處理體的運(yùn)送方向正交的方向的全長(zhǎng)度較 短的情形。圖7是表示本發(fā)明的紫外線照射裝置的第2實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的 截面圖。圖8是表示從垂直方向觀看圖7所示的紫外線照射裝置時(shí)的圖。 在圖7、圖8中，在與圖1至圖5相同的部位給予與圖1至圖5相同的符號(hào)。
紫外線照射裝置200,在垂直方向的下方側(cè)具有開(kāi)口的金屬制筐體所成 的燈罩5的內(nèi)部，互相隔離而平行地配置有多個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1C，而且在 燈罩5的頂部52設(shè)有用以供給氮?dú)獾确腔钚詺怏w的氣體供給管3A 3F， 而在互相鄰接的準(zhǔn)分子燈之間配置有塊狀的空間封閉體2A， 2B。各個(gè)準(zhǔn)分 子燈1A 1C為了使與被處理體的距離作成均等，而將各個(gè)光出射面配置 在同一平面上。
空間封閉體2A 2B是作成與圖5相同，被固定在燈罩5的頂部52， 而優(yōu)選各個(gè)空間封閉體2A 2B的前端面(有底筒狀體的前端面)，為比包含 各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1C的光出射面的平面還靠近被處理體，且配置于比包 含位于燈罩5的垂直方向的下方側(cè)的前端面的平面還要靠近垂直方向的上 方。
如圖8所示，在本發(fā)明的紫外線照射裝置中，多個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1C 以等間隔互相地隔開(kāi)并使各個(gè)中心軸平行地排列來(lái)進(jìn)行配置。在各個(gè)準(zhǔn)分 子燈1A 1C的垂直方向的上方，配置有用于向該準(zhǔn)分子燈1A 1C的周 圍供給非活性氣體的氣體供給機(jī)構(gòu)3A 3F。如圖7、圖8所示，空間封閉體2A 2B是被配置于不可避免地存在于 互相地鄰接的準(zhǔn)分子燈1A 1C之間的、由準(zhǔn)分子燈1A 1C所占有的空 間以外的空間。如此，在本發(fā)明的紫外線照射裝置的第2實(shí)施方式中，在 與各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1C的中心軸正交的方向，各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1C與 各個(gè)空間封閉體2A 2B被交互地排列配置。
艮P，在紫外線照射裝置200中，無(wú)法確保與饋電側(cè)電極的絕緣距離， 因而無(wú)法極端地接近各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1C，而在互相地鄰接的各個(gè)準(zhǔn)分子 燈1A 1C之間不可避免地形成有空間。這樣，通過(guò)將空間封閉體2A 2B 配置于不可避免地形成于互相地鄰接的準(zhǔn)分子燈1A 1C之間的空間，與 上述的本發(fā)明的紫外線照射裝置的第1實(shí)施方式相同，可減小在燈罩5內(nèi) 部中由準(zhǔn)分子燈1A 1C所占有的空間以外的空間的容積，從而，通過(guò)供 給少量的非活性氣體，就可將燈罩5的內(nèi)部空間作成非活性氣體氣氛，因 而可削減供給非活性氣體所需的成本，并且可對(duì)于燈罩5的內(nèi)部空間快速 地充滿非活性氣體。
(第3實(shí)施方式)
以下，針對(duì)于本發(fā)明的紫外線照射裝置的第3實(shí)施方式使用圖9至圖 11進(jìn)行說(shuō)明。圖9是表示紫外線照射裝置的截面圖。圖10是表示從斜上方 觀看紫外線照射裝置的一部分時(shí)的立體圖。圖9、圖10中，在與圖l至圖 5共同的部位給予與圖1至圖5同一符號(hào)。圖11是用于對(duì)準(zhǔn)分子燈的支撐 體的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖12是表示用于對(duì)間點(diǎn)亮燈進(jìn)行說(shuō)明的立體圖。
在紫外線照射裝置300中，燈罩5的規(guī)格被統(tǒng)一成多種，不管被處理 體W的大小，當(dāng)處理多種的被處理體W時(shí)， 一般進(jìn)行共同使用燈罩5，燈 罩5的大小及在該燈罩5內(nèi)容納的準(zhǔn)分子燈1的個(gè)數(shù)，是多種的被處理體 W中對(duì)應(yīng)于運(yùn)送方向的寬度最大的來(lái)決定。因此，被處理體W的運(yùn)送方向 的寬度與該方向的燈罩的寬度相比較還要小時(shí)，則從支撐體7拆下幾個(gè)準(zhǔn) 分子燈l，來(lái)進(jìn)行所謂的間點(diǎn)亮燈(間引含點(diǎn)燈)。
如圖12所示，間點(diǎn)亮燈是在位于準(zhǔn)分子燈1C的右方側(cè)的支撐體7D、 7E作成準(zhǔn)分子燈1未被支撐的狀態(tài)，并且如圖10所示，通過(guò)將具有與各 準(zhǔn)分子燈1大約相同體積的空間封閉體20A、 20B分別固定在支撐體7D、7E來(lái)進(jìn)行。本發(fā)明的紫外線照射裝置的第3實(shí)施方式，是在進(jìn)行這樣的間 點(diǎn)亮燈時(shí)特別有效。
在圖9、圖IO所示的紫外線照射裝置，是在垂直方向的下方側(cè)具有開(kāi) 口 51的金屬制筐體構(gòu)成的燈罩5內(nèi)部，多個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1C互相地隔離 成為平行而分別固定于支撐體7A 7C，并且在燈罩5的頂部52設(shè)有用以 供給氮?dú)獾鹊姆腔钚詺怏w的氣體供給管3A 3F。在圖10的紙面位于準(zhǔn)分 子燈1C的右邊側(cè)，塊狀空間封閉體20A， 20B與準(zhǔn)分子燈1A 1C平行來(lái) 分別固定在支撐體7D， 7E。各個(gè)準(zhǔn)分子燈1A 1C，是為了將與被處理體 W的距離作成均等，而使各個(gè)光出射面被配置于同一平面上。
空間封閉體20A， 20B是具有與準(zhǔn)分子燈l相同體積，例如是金屬、木 材等構(gòu)成的棒狀構(gòu)件。如圖10所示，準(zhǔn)分子燈1A 1C與空間封閉體20A、 20B不必分別配置于不相同的區(qū)域。例如，準(zhǔn)分子燈1A 1C與空間封閉 體20A， 20B也可以在圖10的紙面中從左邊開(kāi)始以準(zhǔn)分子燈1A、空間封 閉體20A、準(zhǔn)分子燈1B、空間封閉體20B、準(zhǔn)分子燈1C的順序配置。
如圖11所示，支撐體7A是具有第1保持構(gòu)件71A，被安裝在準(zhǔn)分 子燈1A的一端部10A;及第2保持構(gòu)件72A，被安裝在準(zhǔn)分子燈1A的另 一端部IOB。第1保持構(gòu)件71A是通過(guò)具備與準(zhǔn)分子燈1A的管軸平行地 延伸的固定部711A，及連續(xù)于固定部711A而朝向于固定部711A正交的 方向延伸的突出部712A，而使得斷面形成L形狀，而在固定部711A的前 端面713A，形成有用于插入準(zhǔn)分子燈1A的一端部的有底孔714A。
第2保持構(gòu)件72A是由柱部722A， 723A， 724A而連續(xù)形成為斷面-形，而由圍繞準(zhǔn)分子燈1A的另一端部來(lái)配置的框體部721A，及以柱部724A 作為中心而成為旋轉(zhuǎn)自如地被連結(jié)于框體部721A的推壓部725A所構(gòu)成。 推壓部725A是由被連結(jié)于柱部724A的端部的基體部726A，及連續(xù)于該 基體部726A的垂直方向所延伸的突出部727A所形成，而斷面形成C形狀 的板簧728A被固定于突出部727A。
準(zhǔn)分子燈1A是對(duì)于上述的支撐體7，被如下地固定。將準(zhǔn)分子燈1A 的一端部IOA，插入于被設(shè)置在第1保持構(gòu)件71A的有底孔714A之后， 由框體部721A圍繞準(zhǔn)分子燈1A的另一端部10B的周圍來(lái)配置第2保持構(gòu) 件72A,并且向柱部724A的周方向旋轉(zhuǎn)推壓部725A并由板簧728A來(lái)推壓準(zhǔn)分子燈1A的另一端部10B的端面。推壓部725A是通過(guò)將在柱部722A 的端部形成的突起部(未圖示)卡合于設(shè)在基體部726A的切除部(未圖示)， 被控制著向周方向的旋轉(zhuǎn)，并固定在框體部721A。準(zhǔn)分子燈1A是由板簧 728A所發(fā)生的相斥力而被推向有底孔714A的底部，進(jìn)而，有底孔714A 及框體部721A的寬度與準(zhǔn)分子1A的寬度大致相等，由此，可靠地控制著 向管軸方向及管軸正交方向移動(dòng)。
另外，支撐體7B 7E是具有與上述的支撐體7A相同的結(jié)構(gòu)，如上所 述，分別固定有準(zhǔn)分子燈1B、 1C，以及空間封閉體20A、 20B。
紫外線照射裝置中，有在支撐體7A 7E全部分別固定有準(zhǔn)分子燈1A 1E的狀態(tài)下對(duì)被處理體W照射紫外線而實(shí)施被處理體W的處理的情形， 及從支撐體7A 7E中的任一個(gè)拆下準(zhǔn)分子燈1A 1E的任一個(gè)的狀態(tài)下對(duì) 被處理體W照射紫外線來(lái)實(shí)施被處理體W的處理的情形。在后者的情形， 如圖10所示，根據(jù)本發(fā)明的紫外線照射裝置300，對(duì)于未設(shè)置有準(zhǔn)分子燈 1的支撐體7D、 7E固定有空間封閉體20A、 20B，因此可減少燈罩5內(nèi)部 的多余空間。從而，根據(jù)紫外線照射裝置300，能夠與上述的第1實(shí)施方式 的紫外線照射裝置100、 200相同，以少量的非活性氣體就可將燈罩5的內(nèi) 部空間作成非活性氣體氣氛，因此可削減供給非活性氣體所需要的成本。
權(quán)利要求
1.一種紫外線照射裝置，其具有多個(gè)準(zhǔn)分子燈，所述準(zhǔn)分子燈是在放電容器內(nèi)形成的密閉空間中封入放電氣體，并且隔著該密閉空間在上述放電容器的外表面形成有一對(duì)電極；燈罩，包圍該多個(gè)準(zhǔn)分子燈并在垂直方向的一個(gè)方向開(kāi)口；及氣體供給機(jī)構(gòu)，用于將非活性氣體供給該燈罩的內(nèi)部，該紫外線照射裝置其特征為在上述燈罩內(nèi)，空間封閉體被配置于由上述準(zhǔn)分子燈所占有的空間以外的空間。
2. 如權(quán)利要求1所述的紫外線照射裝置，其特征在于，在互相鄰接的上述準(zhǔn)分子燈之間配置有上述空間封閉體，而該空間封 閉體的基端部被固定于上述燈罩的頂部。
3. 如權(quán)利要求1所述的紫外線照射裝置，其特征在于， 上述空間封閉體被配置于上述準(zhǔn)分子燈的中心軸上，而互相地鄰接的上述準(zhǔn)分子燈的各個(gè)發(fā)光區(qū)域，重疊在與上述準(zhǔn)分子燈的中心軸正交的假 想直線上。
4. 如權(quán)利要求1所述的紫外線照射裝置，其特征在于， 上述紫外線照射裝置是具有用于將上述準(zhǔn)分子燈固定在上述燈罩內(nèi)的支撐體，并對(duì)于該支撐體固定有上述準(zhǔn)分子燈與上述空間封閉體的兩者。
5. —種紫外線照射處理裝置，其特征在于，具有如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的紫外線照射裝置，并且具有向 與上述準(zhǔn)分子燈的中心軸正交的方向運(yùn)送被處理體的運(yùn)送機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供可將非活性氣體快速地充滿于準(zhǔn)分子燈的周圍的紫外線照射裝置。本發(fā)明的紫外線照射裝置，具有多個(gè)準(zhǔn)分子燈，所述準(zhǔn)分子燈在放電容器內(nèi)形成的密閉空間中封入有放電氣體，并且隔著該密閉空間在上述放電容器的外表面形成有一對(duì)電極；燈罩，包圍該多個(gè)準(zhǔn)分子燈且垂直方向的一個(gè)方向被開(kāi)口，及氣體供給機(jī)構(gòu)，用來(lái)將非活性氣體供給給該燈罩的內(nèi)部。其特征為在上述燈罩內(nèi)，空間封閉體被配置于由上述準(zhǔn)分子燈所占有的空間以外的空間。
文檔編號(hào)G03F1/82GK101527255SQ200910004700
公開(kāi)日2009年9月9日 申請(qǐng)日期2009年3月6日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月6日
發(fā)明者石原肇, 菅敏幸, 遠(yuǎn)藤真一 申請(qǐng)人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社