專(zhuān)利名稱(chēng)：兩段式上下板影像精密對(duì)位方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于影像精密對(duì)位的方法及裝置，尤指一種可應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(如晶圓制造、LED、...)、液晶顯示器(如TFT-LCD)、太陽(yáng)能電池(Solar Cell)、印刷電路板(PCB/FPCB)、精密網(wǎng)版印刷、壓印、轉(zhuǎn)印、以及其它精密制程等技術(shù)領(lǐng)域中，并以?xún)啥问接跋駥?duì)位手段達(dá)到對(duì)位快速且高精密度等功效的對(duì)位方法及裝置。
背景技術(shù)：
—般雙層板上下對(duì)位的技術(shù)應(yīng)用甚廣，如半導(dǎo)體、平面顯示器、印刷電路板...等技術(shù)領(lǐng)域。由于前述各技術(shù)領(lǐng)域朝向小型精密化發(fā)展，故在前述各技術(shù)領(lǐng)域中，雙層板間上下對(duì)位的精密度，更是關(guān)鍵的所在。以電子產(chǎn)業(yè)各類(lèi)曝光機(jī)為例，光罩與下板間的精密對(duì)位，為其重要的關(guān)鍵技術(shù)，因此若能有效掌握此精密對(duì)位的關(guān)鍵技術(shù)，并能有效縮短其精密對(duì)位時(shí)間，即能大幅降低其制造成本。
目前已知上下板精密對(duì)位的相關(guān)技術(shù)概包含以下數(shù)種 其一、是應(yīng)用晶圓曝光系統(tǒng)中的曝光對(duì)位裝置，其實(shí)施方式是令晶圓與光罩于進(jìn)行曝光步驟前完成準(zhǔn)位固定，再透過(guò)影像擷取手段將晶圓與光罩間的對(duì)位情形呈現(xiàn)于顯示器的畫(huà)面上，再由人工以視覺(jué)判斷方式進(jìn)行調(diào)整晶圓與光罩間的相對(duì)位置誤差的修正。但該人工對(duì)位的作業(yè)方式，在操作上相當(dāng)耗時(shí)費(fèi)事。 其二、是應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)生的曝光制程中，其主要是于光罩及底層材料上各設(shè)置多個(gè)標(biāo)記，用以配合可視化計(jì)算機(jī)輔助判斷的方式達(dá)到對(duì)位的目的。但多數(shù)標(biāo)記同時(shí)以可視化計(jì)算機(jī)輔助判斷手段來(lái)對(duì)位，雖可達(dá)到減少對(duì)位的誤差，提高對(duì)位的精度，但是，這些標(biāo)記是一次同時(shí)進(jìn)行多個(gè)標(biāo)記的影像擷取及影像比對(duì)判斷的步驟，其優(yōu)點(diǎn)雖采取多組標(biāo)記進(jìn)行對(duì)位判斷，其對(duì)位程序及精度較為嚴(yán)謹(jǐn)，但是影像處理的協(xié)同作業(yè)較為復(fù)雜，對(duì)位時(shí)間相對(duì)較長(zhǎng)，而不符實(shí)際需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種兩段式上下板影像精密對(duì)位方法及裝置，以克服先前技術(shù)的對(duì)位精度不佳或進(jìn)行精密對(duì)位費(fèi)時(shí)等問(wèn)題，以期提供一項(xiàng)對(duì)位快速而精密且操作便利者。 為達(dá)成前述目的，本發(fā)明所設(shè)計(jì)的兩段式上下板影像精密對(duì)位方法是對(duì)上、下板
先行提供一組復(fù)合標(biāo)記，該復(fù)合標(biāo)記包含有設(shè)于上板預(yù)定位置處的數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位上標(biāo)記及數(shù)
個(gè)細(xì)對(duì)位上標(biāo)記，以及設(shè)于下板預(yù)定位置處的數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位下標(biāo)記及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位下標(biāo)記，該
精密對(duì)位方法的執(zhí)行程序是包含 確認(rèn)上板及下板是否進(jìn)入啟始對(duì)位位置； 預(yù)對(duì)位及位置誤差補(bǔ)償程序，是以低倍率影像判斷手段進(jìn)行上下板間的預(yù)對(duì)位，且于判斷下板的各預(yù)對(duì)位下標(biāo)記與上板相對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記有位置誤差時(shí)，令上、下板中的任一位移而進(jìn)行位置補(bǔ)償，直至每一預(yù)對(duì)位下標(biāo)記分別與相對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)； 細(xì)對(duì)位及位置誤差補(bǔ)償程序，是以高倍率影像判斷手段進(jìn)行上下板間的細(xì)對(duì)位， 且于判斷下板的各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記與上板相對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記有位置誤差時(shí)，令上、下板 中的任一位移進(jìn)行位置補(bǔ)償，直至每一細(xì)對(duì)位下標(biāo)記分別與相對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)， 完成上下板間的精密對(duì)位。
本發(fā)明另一設(shè)計(jì)的兩段式上下板影像精密對(duì)位裝置是包含 —承載組件，其包含一承載平臺(tái)及一用以驅(qū)動(dòng)承載平臺(tái)位移的驅(qū)動(dòng)器； —預(yù)對(duì)位取像組件，其包含數(shù)個(gè)低倍率影像擷取器，該數(shù)個(gè)低倍率影像擷取器分
別裝設(shè)于該承載平臺(tái)上方的預(yù)對(duì)位置處； —細(xì)對(duì)位取像組件，其包含數(shù)個(gè)高倍率影像擷取器，該數(shù)個(gè)高倍率影像擷取器分 別裝設(shè)于該承載平臺(tái)上方的細(xì)對(duì)位置處；以及 —控制組件，其包含一內(nèi)建有影像分析程序以及驅(qū)動(dòng)控制程序的處理器，該控制
組件分別電性連接該承載組件的驅(qū)動(dòng)器、預(yù)對(duì)位取像組件以及細(xì)對(duì)位取像組件。 本發(fā)明通過(guò)前述兩段式上下板影像精密對(duì)位方法及其裝置，其特點(diǎn)至少包含有 1.可對(duì)上、下板間的對(duì)位提供一項(xiàng)執(zhí)行簡(jiǎn)便且精密對(duì)位的方式。 2.本發(fā)明是先以低倍率影像判斷手段進(jìn)行上、下板的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記及預(yù)對(duì)位下標(biāo)
記間的預(yù)對(duì)位，并作初步性必要的位置補(bǔ)償，接著再以高倍率影像判斷手段進(jìn)行上、下板的
細(xì)對(duì)位上標(biāo)記、細(xì)對(duì)位下標(biāo)記間的細(xì)對(duì)位，及必要位置補(bǔ)償，作精密的對(duì)位，藉此，使該上、
下板間精密對(duì)位具有執(zhí)行快速，且具有高度的準(zhǔn)確度，相對(duì)于習(xí)知精密對(duì)位技術(shù)即具有大
幅縮短其精密對(duì)位的時(shí)間，進(jìn)而縮短上下板的制程時(shí)間，提升生產(chǎn)效率。 3.本發(fā)明是預(yù)對(duì)位及細(xì)對(duì)位采取同一的設(shè)計(jì)方法、同一類(lèi)對(duì)位標(biāo)記僅大小尺寸不
同，以及以相同的影像判斷處理方法，使其在執(zhí)行上具有高度的方便性。


圖1是本發(fā)明兩段式上下板影像精密對(duì)位裝置的一較佳實(shí)施例的方塊示意圖。
圖2是本發(fā)明兩段式上下板影像精密對(duì)位裝置的一較佳實(shí)施例的平面示意圖。
圖3-6是本發(fā)明于上下板上設(shè)置的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記、細(xì)對(duì)位上標(biāo)記、預(yù)對(duì)位下標(biāo)記 及細(xì)對(duì)位下標(biāo)記的各種較佳實(shí)施例平面示意圖。
圖7是本發(fā)明兩段式上下板影像精密對(duì)位方法的流程圖。主要組件符號(hào)說(shuō)明
承載平臺(tái) 1—承載組件 10- ll—驅(qū)動(dòng)器 2—預(yù)對(duì)位取像組件 20- 3—細(xì)對(duì)位取像組件 30- 4—控制組件 41- 42—示器 50—預(yù)對(duì)位上標(biāo)記 51-
0032] 50'—預(yù)對(duì)位下標(biāo)記 51' 6—上板
低倍率影像擷取器 高倍率影像擷取器 處理器
細(xì)對(duì)位上標(biāo)記 細(xì)對(duì)位下標(biāo)記
7—下板
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明是包含一種兩段式上下板影像精密對(duì)位方法及其裝置，該影像精密對(duì)位裝 置主要是包含一承載組件1、一預(yù)對(duì)位取像組件2、一細(xì)對(duì)位取像組件3以及一控制組件4， 該影像精密對(duì)位裝置是結(jié)合一組成形于上、下板67上的復(fù)合標(biāo)記，進(jìn)行上、下板67間的精 密對(duì)位，其中 該組復(fù)合標(biāo)記是包含數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50、數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51、數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位下 標(biāo)記50'以及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'，所述的數(shù)預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51是 分別成形于該上板6上的各預(yù)定位置處，所述的數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位下標(biāo) 記51'則是分別成形于該下板7上的各預(yù)定位置處，于上、下板67準(zhǔn)確對(duì)位時(shí)，所述的預(yù)對(duì) 位下標(biāo)記50'是對(duì)應(yīng)于預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50，所述的細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'是對(duì)應(yīng)于細(xì)對(duì)位上標(biāo)記 51，所述的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51小于預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50，預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'及細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51' 的大小，是分別對(duì)應(yīng)于預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50及細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51的尺寸大小；前述的預(yù)對(duì)位上標(biāo) 記50、細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51的形狀可為圓形、多邊形或其它可取得其形心坐標(biāo)的幾何形狀，較 佳地，前述預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50、細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51的形狀為左右及上下對(duì)稱(chēng)的幾何形狀，該預(yù) 對(duì)位下標(biāo)記50'、細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'的形狀可為十字形、方形、三角形或其它可取得其形心 坐標(biāo)的幾何形狀，較佳地，前述預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'、細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'的形狀為左右及上下 對(duì)稱(chēng)的幾何形狀，如圖3所示的較佳實(shí)施例，所述的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50、細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51可為 方形標(biāo)記，所述的預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'、細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'為十字形標(biāo)記，前述的預(yù)對(duì)位上標(biāo) 記50、細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51以設(shè)于上板6周側(cè)邊或角隅處為佳，前述的預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'、細(xì)對(duì) 位下標(biāo)記51'以設(shè)于下板7周側(cè)邊或角隅處為佳。 請(qǐng)參考圖1、2，該承載組件1是包含一承載平臺(tái)10以及一驅(qū)動(dòng)器ll，該承載平臺(tái) 10可為所述的下板7，或提供下板7置放固定其上的載體，該驅(qū)動(dòng)器11可連接該承載平臺(tái) IO，用以驅(qū)動(dòng)該承載平臺(tái)位移，其中該驅(qū)動(dòng)器11可驅(qū)動(dòng)該承載平臺(tái)10于X、 Y軸方向移動(dòng)， 或進(jìn)一步作e角度旋轉(zhuǎn)等位移，或可進(jìn)一步驅(qū)動(dòng)該承載平臺(tái)IO作Z軸方向的位移，且該驅(qū) 動(dòng)器11電性連接該控制組件4。 該預(yù)對(duì)位取像組件2是包含數(shù)個(gè)低倍率或低分辨率影像擷取器20，該數(shù)個(gè)低倍率 影像擷取器20分別裝設(shè)于該承載平臺(tái)10上方的預(yù)對(duì)位置處，且連接該控制組件4，該數(shù)個(gè) 低倍率影像擷取器20可分別對(duì)承載平臺(tái)10上的上、下板67預(yù)定位置各預(yù)對(duì)位上標(biāo)記位置 擷取影像，并將其擷取所得的影像資料傳送至該控制組件4中。 該細(xì)對(duì)位取像組件3是包含數(shù)個(gè)高倍率或高分辨率影像擷取器30，該數(shù)個(gè)高倍率 影像擷取器30分別裝設(shè)于該承載平臺(tái)10上方的細(xì)對(duì)位置處，且連接該控制組件4，該數(shù)個(gè) 高倍率影像擷取器30可分別對(duì)承載平臺(tái)10上方的上、下板67預(yù)定位置各細(xì)對(duì)位上標(biāo)記位 置擷取影像，并將其擷取所得的影像資料傳送至該控制組件4中，所述的數(shù)個(gè)高倍率影像 擷取器30可分別配置于各低倍率影像擷取器20側(cè)邊。 該控制組件4是包含一內(nèi)建有影像分析程序以及驅(qū)動(dòng)控制程序的處理器，其中利 用影像分析程序分別對(duì)預(yù)對(duì)位取像組件2及細(xì)對(duì)位取像組件3所擷取的影像進(jìn)行分析判 斷，另以驅(qū)動(dòng)控制程序執(zhí)行上下板7的任一進(jìn)行位置補(bǔ)償?shù)目刂?，或者，該控制組件4尚可進(jìn)一步包含一顯示器42，該顯示器42且電性連接該處理器41 ，用以顯示該預(yù)對(duì)位取像組件 2及細(xì)對(duì)位取像組件3所擷取的影像畫(huà)面。 本發(fā)明所設(shè)計(jì)的兩段式上下板影像精密對(duì)位方法，其是用以令上、下板67得以達(dá) 到高精密度對(duì)位的目的，該精密對(duì)位方法可搭配前述的影像精密對(duì)位裝置來(lái)執(zhí)行，而該方 法是先對(duì)欲待精密對(duì)位的上、下板67提供一組復(fù)合標(biāo)記，該復(fù)合標(biāo)記包含有設(shè)于上板6上 的數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51，以及設(shè)于下板7上的數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位下標(biāo)記 50'及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'，當(dāng)上板6及下板7于正確對(duì)位的狀態(tài)下，各預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50' 是恰好位于相對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50下方處，各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'則是恰好位于相對(duì)應(yīng)的 細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51下方處。如圖7所示，該精密對(duì)位方法的執(zhí)行程序是包含
確認(rèn)上板6及下板7是否進(jìn)入啟始對(duì)位位置，所述的上板6及下板7可透過(guò)機(jī)械 傳動(dòng)手段進(jìn)入啟始對(duì)位位置處，而被確認(rèn)，其中可令上板6、下板7中的一設(shè)定為固定的板 體，另一設(shè)定為可被驅(qū)動(dòng)位移的板體，以便于進(jìn)行上、下板67間相對(duì)位置的位置補(bǔ)償位移， 于本較佳實(shí)施例中，可設(shè)定該上板6為固定的板體，下板7為可被驅(qū)動(dòng)位移的板體，并設(shè)置 于前述裝置的承載平臺(tái)10上； 預(yù)對(duì)位及位置誤差補(bǔ)償程序，其是以低倍率影像判斷手段進(jìn)行預(yù)對(duì)位，并于判斷 任一預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'相對(duì)于所對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50有位置誤差時(shí)，即驅(qū)動(dòng)上、下板67 中的任一位移以進(jìn)行位置補(bǔ)償，其中，是以數(shù)個(gè)低倍率影像擷取器20分別擷取上板6各預(yù) 對(duì)位上標(biāo)記50處的影像，并傳送至控制組件4的處理器中，由處理器以其內(nèi)建的影像分析 處理程序判斷各預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'是否完全與所對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50對(duì)準(zhǔn)，在本較佳實(shí) 施例中，是以一預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50的形心坐標(biāo)與所對(duì)應(yīng)預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'的形心坐標(biāo)來(lái)判斷 該預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50與所對(duì)應(yīng)預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'兩者是否對(duì)準(zhǔn)，當(dāng)兩者的形心坐標(biāo)相同時(shí)， 即表示該預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50與所對(duì)應(yīng)預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'兩者對(duì)準(zhǔn)，經(jīng)判斷任一預(yù)對(duì)位下標(biāo)記 50'未與所對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50對(duì)準(zhǔn)時(shí)，由處理器計(jì)算出預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'相對(duì)于所對(duì) 應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50的偏移量，進(jìn)而由處理器內(nèi)建的驅(qū)動(dòng)程序驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)的板(上板或下 板)位移進(jìn)行位置補(bǔ)償，直至各預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'與相對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50對(duì)準(zhǔn)為止， 于本較佳實(shí)施例中，可驅(qū)動(dòng)下板7位移進(jìn)行位置補(bǔ)償；以及 細(xì)對(duì)位及位置誤差補(bǔ)償程序，其是以高倍率影像判斷手段進(jìn)行細(xì)對(duì)位，并于判斷 任一細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'相對(duì)于所對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51有位置誤差時(shí)，即驅(qū)動(dòng)上、下板67 中的任一位移以進(jìn)行位置補(bǔ)償，其中，是以數(shù)個(gè)高倍率影像擷取器30分別擷取上板6各較 小的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51處的影像，并傳送至控制組件4的處理器中，由其處理器以?xún)?nèi)建的影 像分析處理程序判斷各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'是否都與所對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51對(duì)準(zhǔn)，在本較 佳實(shí)施例中，是以一細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51的形心坐標(biāo)與所對(duì)應(yīng)細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'的形心坐標(biāo)來(lái) 判斷該細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51與所對(duì)應(yīng)細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'兩者是否對(duì)準(zhǔn)，當(dāng)兩者的形心坐標(biāo)相同 時(shí)，即表示該細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51與所對(duì)應(yīng)細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'兩者對(duì)準(zhǔn)，經(jīng)判斷任一細(xì)對(duì)位下 標(biāo)記51'未與所對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51對(duì)準(zhǔn)時(shí)，由處理器計(jì)算出各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'相對(duì) 于所對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51的偏移量，接著由處理器內(nèi)建驅(qū)動(dòng)程序驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)的板(上板 或下板)位移進(jìn)行位置補(bǔ)償，直至各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'與相對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51對(duì)準(zhǔn)為 止，于本較佳實(shí)施例中，是驅(qū)動(dòng)下板7位移進(jìn)行位置補(bǔ)償，并經(jīng)判斷各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'與 相對(duì)應(yīng)細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51對(duì)準(zhǔn)時(shí)，即表示該上、下板67已達(dá)到精密對(duì)位。
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之后，待上、下板67進(jìn)行加工程序完成后，再進(jìn)一步判斷是否有下一組上、下板67 進(jìn)行精密對(duì)位，如此，反復(fù)循環(huán)，直至結(jié)束。 前述中，處理器計(jì)算各預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'相對(duì)于所對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50的偏移 量，以及各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'相對(duì)于所對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51的偏移量時(shí)，是通過(guò)幾何運(yùn) 算技術(shù)手段，求得上、下板67各預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'及細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'的形心坐標(biāo)與相對(duì) 應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50、細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51的形心坐標(biāo)間的X方向、Y方向位置偏差量以及角 度偏差量，接著由處理器內(nèi)建的驅(qū)動(dòng)程序依據(jù)前述的位置偏差量及角度偏差量，驅(qū)動(dòng)可移 動(dòng)的板(上板或下板)移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行位置的修正。 在本較佳實(shí)施例中，預(yù)對(duì)位及位置誤差補(bǔ)償程序是以各預(yù)對(duì)位下標(biāo)記50'的形心 坐標(biāo)及所對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記50的形心坐標(biāo)來(lái)判斷上、下板67間的偏移量；細(xì)對(duì)位及位置 誤差補(bǔ)償程序是以各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記51'的形心坐標(biāo)及所對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記51的形心坐 標(biāo)來(lái)判斷上、下板67間的偏移量，然而，可供判斷上、下標(biāo)記間的偏移量的方法尚有多種， 因此不應(yīng)以本較佳實(shí)施例所述的特定態(tài)樣而囿限的。 綜上所述，本發(fā)明通過(guò)前述兩段式上下板影像精密對(duì)位方法及裝置，其是令預(yù)對(duì) 位及細(xì)對(duì)位采取同一的方法、同一類(lèi)對(duì)位標(biāo)記僅大小尺寸不同，以及使用相同的影像判斷 處理方法，故在執(zhí)行上具有高度的方便性，故能提供一項(xiàng)執(zhí)行簡(jiǎn)便且高準(zhǔn)確度的方法及裝置。 再者，本發(fā)明是先以低倍率影像判斷手段進(jìn)行上、下板的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記及預(yù)對(duì)位 下標(biāo)記間的預(yù)對(duì)位，并作初步的位置補(bǔ)償，接著再以高倍率影像判斷手段進(jìn)行上、下板的細(xì) 對(duì)位上標(biāo)記、細(xì)對(duì)位下標(biāo)記間的細(xì)對(duì)位及必要位置補(bǔ)償，使該上、下板間可以快速且高精確 度地完成精密對(duì)位作業(yè)，且因其執(zhí)行速度快，并可大幅縮短其精密對(duì)位的時(shí)間，縮短上下板 的制程作業(yè)時(shí)間，提升生產(chǎn)效率，因此，本發(fā)明在所屬領(lǐng)域確可提供一項(xiàng)極具產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值 的精密對(duì)位方法及裝置。
權(quán)利要求
一種兩段式上下板影像精密對(duì)位方法，其特征在于，是對(duì)上、下板先行提供一組復(fù)合標(biāo)記，該復(fù)合標(biāo)記包含有設(shè)于上板預(yù)定位置處的數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位上標(biāo)記及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位上標(biāo)記，以及設(shè)于下板預(yù)定位置處的數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位下標(biāo)記及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位下標(biāo)記，該精密對(duì)位方法的執(zhí)行程序是包含確認(rèn)上板及下板是否進(jìn)入啟始對(duì)位位置；預(yù)對(duì)位及位置誤差補(bǔ)償程序，是以低倍率影像判斷手段進(jìn)行上下板間的預(yù)對(duì)位，且于判斷下板的各預(yù)對(duì)位下標(biāo)記與上板相對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記有位置誤差時(shí)，令上、下板中的任一位移而進(jìn)行位置補(bǔ)償，直至每一預(yù)對(duì)位下標(biāo)記分別與相對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)；細(xì)對(duì)位及位置誤差補(bǔ)償程序，是以高倍率影像判斷手段進(jìn)行上下板間的細(xì)對(duì)位，且于判斷下板的各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記與上板相對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記有位置誤差時(shí)，令上、下板中的任一位移進(jìn)行位置補(bǔ)償，直至每一細(xì)對(duì)位下標(biāo)記分別與上板相對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)，完成上下板間的精密對(duì)位。
2. 如權(quán)利要求l所述的兩段式上下板影像精密對(duì)位方法，其特征在于，其中 預(yù)對(duì)位及位置誤差補(bǔ)償程序中，是以數(shù)個(gè)低倍率影像擷取器分別擷取上板各預(yù)對(duì)位上標(biāo)記處的影像，并通過(guò)控制組件以其處理器內(nèi)建的影像分析處理程序依據(jù)該影像判斷各預(yù) 對(duì)位下標(biāo)記是否完全與所對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)，經(jīng)判斷任一預(yù)對(duì)位下標(biāo)記未完全與所 對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)時(shí)，由處理器計(jì)算出預(yù)對(duì)位下標(biāo)記相對(duì)于所對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記 的偏移量，進(jìn)而由處理器內(nèi)建的驅(qū)動(dòng)程序驅(qū)動(dòng)上、下板中的任一位移進(jìn)行位置補(bǔ)償，直至各 預(yù)對(duì)位下標(biāo)記都與所對(duì)應(yīng)的預(yù)對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)；細(xì)對(duì)位及位置誤差補(bǔ)償程序中，是以數(shù)個(gè)高倍率影像擷取器分別擷取上板各細(xì)對(duì)位 上標(biāo)記處的影像，并通過(guò)控制組件以其處理器內(nèi)建的影像分析處理程序判斷各細(xì)對(duì)位下標(biāo) 記是否完全與所對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)，經(jīng)判斷任一細(xì)對(duì)位下標(biāo)記未完全與所對(duì)應(yīng)的細(xì) 對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)時(shí)，由處理器計(jì)算出各細(xì)對(duì)位下標(biāo)記相對(duì)于所對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記的偏移 量，接著由處理器內(nèi)建的驅(qū)動(dòng)程序驅(qū)動(dòng)上、下板中的任一位移進(jìn)行位置補(bǔ)償，直至各細(xì)對(duì)位 下標(biāo)記都與所對(duì)應(yīng)的細(xì)對(duì)位上標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)。
3. —種兩段式上下板影像精密對(duì)位裝置，其特征在于，其包含 一承載組件，其包含一承載平臺(tái)及一用以驅(qū)動(dòng)承載平臺(tái)位移的驅(qū)動(dòng)器； 一預(yù)對(duì)位取像組件，其包含數(shù)個(gè)低倍率影像擷取器，該數(shù)個(gè)低倍率影像擷取器分別裝設(shè)于該承載平臺(tái)上方的預(yù)對(duì)位置處；一細(xì)對(duì)位取像組件，其包含數(shù)個(gè)高倍率影像擷取器，該數(shù)個(gè)高倍率影像擷取器分別裝 設(shè)于該承載平臺(tái)上方的細(xì)對(duì)位置處；以及一控制組件，其包含一內(nèi)建有影像分析程序以及驅(qū)動(dòng)控制程序的處理器，該控制組件 分別電性連接該承載組件的驅(qū)動(dòng)器、預(yù)對(duì)位取像組件以及細(xì)對(duì)位取像組件。
4. 如權(quán)利要求3所述的兩段式上下板影像精密對(duì)位裝置，其特征在于，其中，該數(shù)個(gè)高 倍率影像擷取器分別配置于各低倍率影擷取器側(cè)邊。
5. 如權(quán)利要求3或4所述的兩段式上下板影像精密對(duì)位裝置，其特征在于，其中，該控 制組件尚包含一顯示器，該顯示器電性連接該處理器。
全文摘要
本發(fā)明是一種兩段式上下板影像精密對(duì)位方法及其裝置，該影像精密對(duì)位裝置主要是包括一承載平臺(tái)、一組預(yù)對(duì)位取像組件、一組細(xì)對(duì)位取像組件以及一內(nèi)建影像分析程序及驅(qū)動(dòng)控制程序的控制組件，該影像精密對(duì)位方法是先提供一組復(fù)合標(biāo)記，該復(fù)合標(biāo)記包含有設(shè)于上板的數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位上標(biāo)記及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位上標(biāo)記，以及設(shè)于下板的數(shù)個(gè)預(yù)對(duì)位下標(biāo)記及數(shù)個(gè)細(xì)對(duì)位下標(biāo)記，之后，于確認(rèn)上下板進(jìn)入啟始對(duì)位位置后，先以低倍率影像判斷及位置補(bǔ)償手段進(jìn)行上下板間的快速預(yù)對(duì)位，接著再以高倍率影像判斷及位置補(bǔ)償手段進(jìn)行上下板間的精密對(duì)位，藉此兩段式影像精密對(duì)位的機(jī)制，使其在上下板間對(duì)位控制過(guò)程，具有對(duì)位快速而精密且操作便利等功效。
文檔編號(hào)G03F9/00GK101738881SQ20081017647
公開(kāi)日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2008年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月13日
發(fā)明者劉冠志, 張成仲, 林崇田 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人金屬工業(yè)研究發(fā)展中心