專利名稱:液晶裝置以及具備它的電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及液晶裝置以及具備它的電子設(shè)備。
背景技術(shù):
邊緣場切換模式液晶顯示裝置(Fringe Field Switching mode Liquid Crystal Display: FFS模式LCD)是為了改善共面切換(In Plane Switching: IPS)模式LCD的低開口率以及透過率而提出的。
圖11是基于現(xiàn)有技術(shù)的表示FFS模式LCD的俯視圖。如圖所示, 多個柵極布線200以及數(shù)據(jù)布線202,以限定單位像素的方式,交叉排列 在第1光透過性絕緣基板(未圖示)上。薄膜晶體管204設(shè)置在柵極布線 200和數(shù)據(jù)布線202的交叉部。共享電極(未圖示),在通過如上所述地 進(jìn)行了交叉排列的柵極布線200以及數(shù)據(jù)布線202來限定的像素區(qū)域內(nèi), 以板狀進(jìn)行配置。
像素電極206,在像素區(qū)域內(nèi)與共享電極電絕緣,并且以與薄膜晶體 管204連接的方式進(jìn)行配置。像素電極206,在內(nèi)部設(shè)置了多個縫(slit) Sl、 S2和S3。此處,縫S1、 S2、 S3分類為在像素的長邊的中心與柵極 布線200平行配置的基準(zhǔn)縫Sl、基準(zhǔn)縫Sl的上下部以規(guī)定的傾角配置的 多個上部縫S2以及下部縫S3。
共享信號線208,為了在共享電極上施加共享信號,與柵極布線200 鄰接并在像素的邊緣部與柵極布線200平行地進(jìn)行排列。此外,共享信號 線208以與共享電極的一部分連接,并與像素電極206的一部分相重疊的 方式進(jìn)行排列。
雖未進(jìn)行圖示,但與所述的構(gòu)造的陣列基板以規(guī)定距離相隔離,在第 2光透過性絕緣基板上配置形成了包含黑色矩陣和彩色濾光片的規(guī)定的 元件的彩色濾光片基板,然后,在第1和第2光透過性絕緣基板之間介入 包含多個陽極或陰極的液晶分子的液晶層(未圖示)。此外,在陣列基板和彩色濾光片基板各內(nèi)測面上,形成第1以及第2
水平取向膜,在各外測面上設(shè)置第1以及第2偏振光板。
此處,第1以及第2水平取向膜在采用陽極的液晶的情況下,在與柵 極布線200平行的方向上進(jìn)行滑動,在采用陰極的液晶的情況下,在與數(shù) 據(jù)布線202平行的方向上進(jìn)行滑動。第1以及第2偏振光板,它們的透過 軸以常規(guī)黑色模式進(jìn)行動作的方式互相垂直地進(jìn)行設(shè)置,特別是它們中的 1個偏振光板,以具有與取向膜的滑動軸的方向平行的透過軸的方式進(jìn)行 設(shè)置。
在如此構(gòu)造的FFS模式LCD中,在共享電極與像素電極206之間形成 電場的情況下,由于陣列基板與彩色濾光片基板的間隔比共享電極與像素 電極206之間的距離大,所以在兩個電極之間以及電極上部形成了邊緣 場。由于此邊緣場涉及到包括共享電極以及像素電極206上部的整個區(qū) 域,驅(qū)動裝置時,不僅在共享電極以及像素電極206之間所配置的液晶分 子,而且位于各共享電極以及在像素電極206的上部的液晶分子也進(jìn)行動 作。
從而,在FFS模式LCD中,因為共享電極以及像素電極都是由光透過 性導(dǎo)電膜形成,所以具有高開口率,而且,由于位于電極的上部的液晶分 子也進(jìn)行動作,所以具有己提高的高透過率。進(jìn)而,在一個像素區(qū)域內(nèi), 或在鄰接的像素區(qū)域之間,因為形成對稱的兩個方向的電場,所以液晶分 子的折射率各相異性得以補償。由此,能夠防止色偏差。(例如,參照專 利文獻(xiàn)1)特開2002-182230號公報
然而,F(xiàn)FS模式LCD,雖然具有高開口率以及高透過率以及防止色 偏差的優(yōu)點,但在共享電極與像素電極之間形成邊緣場時,若滑動軸的角 度為30度或45度等,則像素電極206的縫S2、 S3的邊緣部成為銳角, 因此縫內(nèi)的電場存在于多個方向上,并且一部分的液晶與其他的液晶面向 微妙不同的方向,在這些取向方向微妙不同的液晶的邊界區(qū)域稱為旋轉(zhuǎn)位 移(disclination)的顯示缺陷的發(fā)生更加位于顯示區(qū)域,有引起透過率 低下的缺點。
此外,F(xiàn)FS模式LCD,在像素電極206上設(shè)置有縫S1、 S2和S3。如此,像素電極206的縫的寬度W或間隔L會變得稀疏。例如,在電極寬度 大的地方,與IPS模式相同的透過率具有下降傾向,得到良好的LCD面板 并不容易。進(jìn)而,存在液晶分子動作的變化點,在該區(qū)域透過率會下降。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決所述課題的至少一部分,可作為以下的方式或適 用例來實現(xiàn)。所述的液晶裝置,包括第1基板;形成于所述第1基 板上的柵極布線;與所述柵極布線交差,定義矩形的像素的區(qū)域的數(shù)據(jù)布 線;與所述柵極布線以及所述數(shù)據(jù)布線連接的薄膜晶體管;與所述像素的 區(qū)域?qū)?yīng),并具有多個縫狀的開口部的共享電極;與所述薄膜晶體管連接 并與所述共享電極重疊的像素電極;以與所述第1基板對置的方式進(jìn)行配 置的第2基板;和設(shè)置于所述第1基板與所述第2基板之間的液晶層,其 特征在于,所述共享電極具有彎曲部,并且所述彎曲部具備抑制由液晶取 向的不連續(xù)點所引起的旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生的曲線部。
據(jù)此,通過對共享電極的形狀不設(shè)置明確的變化點(成為連續(xù)的變 化),將旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生抑制到最小限度,能夠不犧牲透過率得到視角特 性良好的液晶裝置。所述的液晶裝置,包括第l基板;形成于所述第l基板 上的柵極布線;與所述柵極布線交差,定義矩形的像素的區(qū)域的數(shù)據(jù)布線; 與所述柵極布線以及所述數(shù)據(jù)布線連接的薄膜晶體管;與所述像素的區(qū)域 相對應(yīng)而形成的共享電極;與所述薄膜晶體管連接并與所述共享電極重 疊,并具有多個縫狀開口部的像素電極;以與所述第1基板對置的方式進(jìn) 行配置的第2基板;和設(shè)置于所述第1基板與所述第2基板之間的液晶層, 其特征在于,所述像素電極具有多個彎曲部,并且所述彎曲部具備抑制由 液晶取向的不連續(xù)點所引起的旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生的曲線部。
據(jù)此,通過對共享電極的形狀不設(shè)置明確的變化點(成為連續(xù)的變 化),將旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生抑制到最小限度,能夠不犧牲透過率得到視角特 性良好的液晶裝置。所述的液晶裝置,其特征在于,所述共享電極是梳齒狀電極或縫狀電極,并且所述彎曲部的形狀是圓弧。
據(jù)此,施加電壓時,由于按照各電場在各種方向上對液晶進(jìn)行取向 (圓弧的垂線方向),所以從任何地方都可看到液晶的側(cè)面,視角變好。 此外,沒有明亮的液晶反轉(zhuǎn)區(qū)域,將改善視角特性。所述的液晶裝置,其特征在于,所述像素電極是梳齒狀 電極或縫狀電極,并且所述彎曲部的形狀為圓弧。
據(jù)此,施加電壓時,由于按照各電場在各種方向上對液晶進(jìn)行取向 (圓弧的垂線方向),所以從任何地方都可看到液晶的側(cè)面,視角變好。 此外,沒有明亮的液晶反轉(zhuǎn)區(qū)域,將改善視角特性。所述的液晶裝置,其特征在于,在所述第1基板以及所 述第2基板的各內(nèi)側(cè)面,在所述液晶面板的上下方向或左右方向上形成滑 動后的第1以及第2水平取向膜,所述圓弧形狀是以所述滑動方向的軸作 為弦。
據(jù)此,表示黑色時,按照滑動方向液晶同樣地排列并進(jìn)行OFF顯示。 [適用例6]所述的液晶裝置,其特征在于,多個所述圓弧形狀是同 心圓。
據(jù)此,施加電壓時,由于按照各電場在各種方向上對液晶進(jìn)行取向 (圓弧的垂線方向),所以從任何地方都可看到液晶的側(cè)面,視角變好。 此外,沒有明亮的液晶反轉(zhuǎn)區(qū)域,將改善視角特性。所述的液晶裝置,其特征在于,所述圓弧形狀是以像素 的長邊為中心相對稱的。
據(jù)此,施加電壓時,由于按照各電場在各種方向上對液晶進(jìn)行取向 (圓弧的垂線方向),所以從任何地方都可看到液晶的側(cè)面,視角變好。 此外,沒有明亮的液晶反轉(zhuǎn)區(qū)域,將改善視角特性。所述的液晶裝置,其特征在于,所述圓弧形狀是以像素 的短邊為中心相對稱的。
據(jù)此,施加電壓時,由于按照各電場在各種方向上對液晶進(jìn)行取向 (圓弧的垂線方向),所以從任何地方都可看到液晶的側(cè)面,視角變好。 此外,沒有明亮的液晶反轉(zhuǎn)區(qū)域,將改善視角特性。所述的液晶裝置,其特征在于,所述圓弧形狀是以像素的重心為中心相對稱的。
據(jù)此,施加電壓時,由于按照各電場在各種方向上對液晶進(jìn)行取向 (圓弧的垂線方向),所以從任何地方都可看到液晶的側(cè)面,視角變好。 此外,沒有明亮的液晶反轉(zhuǎn)區(qū)域,將改善視角特性。所述的液晶裝置,其特征在于所述第2基板在與所述像 素電極的縱橫的邊界區(qū)域相對置的區(qū)域上具有遮光膜,并使所述像素電極 或所述共享電極的至少一部分與所述遮光膜進(jìn)行疊加。
據(jù)此,將旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生抑制到最小限度,在現(xiàn)有技術(shù)以上地有效 利用像素區(qū)域,并謀求液晶面板亮度的提高。所述的液晶裝置,其特征在于,所述像素電極以及所述 共享電極由光透過性導(dǎo)電膜構(gòu)成。
據(jù)此,在現(xiàn)有以上地有效利用像素區(qū)域,并謀求液晶面板亮度的提咼。 —種電子設(shè)備,其特征在于,具備上述任一項所述的液 晶裝置。
據(jù)此,抑制旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生,能夠提供得到良好的透過率的電子設(shè)備。
圖1是將各個該實施方式的液晶裝置10與形成于其上的各結(jié)構(gòu)要素
同時從對置基板12的一側(cè)看到的俯視圖,以及其I-I剖面圖。
圖2是表示用于本實施方式的液晶裝置上的元件基板的畫像顯示區(qū)
域的電構(gòu)成的等效電路圖。
圖3是本實施方式的液晶裝置的一個像素的剖視圖以及在元件基板 上相鄰接的像素的俯視圖。
圖4是表示用于本實施方式的液晶裝置的元件基板的制造方法的工 序剖視圖。
圖5是其他實施方式的像素的俯視圖。 圖6是其他實施方式的像素的俯視圖。圖7是其他實施方式的像素的俯視圖。
圖8是其他實施方式的像素的俯視圖。
圖9是其他實施方式的像素的俯視圖。
圖IO是采用了本實施方式的液晶裝置的電子設(shè)備的說明圖。
圖11是現(xiàn)有的液晶裝置的一個像素的俯視圖。
圖中IO —液晶裝置,12 —對置基板(第2基板),12A—光透過性 絕緣基板,14一元件基板(第1基板),14A—光透過性絕緣基板,16 — 密封部,18 —數(shù)據(jù)布線驅(qū)動電路,20—安裝端子,22 —柵極布線驅(qū)動電路, 24 —畫像顯示區(qū)域,26 —布線,28—邊框,30—液晶層,32—液晶面板, 34 —像素電極,36—遮光膜,38 —共享電極,40 —像素,42 —薄膜晶體管, 44一數(shù)據(jù)布線,46—柵極布線,48 —保持電容,50 —開口部,51—彎曲部, 51A—曲線部,52A—半導(dǎo)體膜,52B—溝道形成區(qū)域,52C—源極區(qū)域, 52D—漏極區(qū)域,54—柵極絕緣膜,56—第1層間絕緣膜,56A, 56B — 接觸孔,58 —漏極電極,60—第2層間絕緣膜,60A—接觸孔,62—電極 間絕緣膜,64—光投射性導(dǎo)電膜,66—抗蝕掩模,70—像素,72 —共享電 極,74 —分支,76 —開口部,78 —橫杠,80 —像素,82 —共享電極,84 一開口部,86 —像素,88 —共享電極,卯一分支,92 —開口部,94一橫杠, 96 —像素,97—共享電極,98 —像素,IOO —共享電極,102 —開口部,104 —像素,106 —共享電極,108 —分支,IIO —開口部,112 —橫杠,114, 116—像素,118 —共享電極,120 —開口部,122 —像素,124 —共享電極, 126 —分支,128 —開口部,130—橫杠,132, 134—像素,136 —共享電極, 138 —開口部,140—像素,142 —共享電極,144—分支,146 —開口部, 148 —橫杠,150—像素,152 —個人計算機(jī),154—本體部,156—電源開 關(guān),158—鍵盤,160 —手機(jī),162 —操作按鈕,164—滾動按鈕,166—信 息便攜式終端,168 —操作按鈕,170—電源開關(guān)。
具體實施例方式
對本實施方式參照附圖在以下進(jìn)行說明。并且,在用于說明的各圖中, 由于在圖面上要將各層或各部件作為可分辨程度的尺寸,所以對每個層或 每個部件進(jìn)行了不同的縮尺。此外,對彩色濾光片及取向膜等的圖示進(jìn)行省略。
(整體構(gòu)成)
圖l (A)、 (B)是將各個該實施方式的液晶裝置10與形成于其上的 各結(jié)構(gòu)要素同時從對置基板12的一側(cè)看到的俯視圖,以及其I-I剖面圖。 更具體而言,是從對置基板12的法線方向看到的俯視圖。在該說明書中, 從對置基板的法線方向看到的圖稱為「俯視圖」。
在圖1 (A)、 (B)中,本實施方式的液晶裝置10,是透過型有源矩 陣型液晶裝置,在元件基板(第1基板)14上,密封部16以沿著對置基 板(第2基板)12的邊緣的方式進(jìn)行設(shè)置。在元件基板14上,在密封部 16的外側(cè)區(qū)域中,數(shù)據(jù)布線驅(qū)動電路18以及安裝端子20沿元件基板14 的一邊設(shè)置,并沿著與排列了安裝端子20的邊鄰接的兩邊,形成柵極布 線驅(qū)動電路22。在元件基板14的余下的一邊上,設(shè)置有用于將在畫像顯 示區(qū)域24的兩側(cè)設(shè)置的柵極布線驅(qū)動電路22之間進(jìn)行連接的多個布線 26,并且,有時還利用邊框28的下側(cè)等,設(shè)置預(yù)充電(pre-charge)電路 或檢查電路等的周圍電路。對置基板12,具備與密封部16大致相同的輪 廓,用此密封部16將對置基板12固定在元件基板14上。并且,在元件 基板14和對置基板12之間保持有液晶層30。由元件基板M、對置基板 12和液晶層30形成液晶面板32。
詳細(xì)雖在后述,但在元件基板14上,像素電極34以矩陣狀形成。相 對于此,在對置基板12上,在密封部16的內(nèi)側(cè)區(qū)域中形成有由遮光性材 料形成的邊框28,其內(nèi)側(cè)作為畫像顯示區(qū)域24。在對置基板12上,有在 與元件基板14的像素電極34的縱橫邊界區(qū)域相對置的區(qū)域形成稱為黑色 矩陣或黑色條紋等的遮光膜36的情況。
本實施方式的液晶裝置10,將液晶層30以FFS模式進(jìn)行驅(qū)動。為此, 在元件基板14上,除了形成像素電極34之外還形成共享電極38,在對 置基板12上不形成對置電極。 , (液晶裝置IO的詳細(xì)構(gòu)成)
參照圖2,對本實施方式的液晶裝置10以及用于其中的元件基板的 構(gòu)成進(jìn)行說明。
圖2是表示用于本實施方式的液晶裝置10的元件基板14的畫像顯示區(qū)域24的電結(jié)構(gòu)的等效電路圖。
如圖2所示,在畫像顯示區(qū)域24中,矩陣狀的多個像素40以矩陣狀 形成。多個像素40的各個之中,形成有像素電極34以及用于控制像素電 極34的像素開關(guān)用的薄膜晶體管42,將數(shù)據(jù)信號(畫像信號)按線順序 供給的數(shù)字布線44與薄膜晶體管42的源極電連接。薄膜晶體管42的柵 極與柵極布線46電連接,并在規(guī)定的時間,在柵極布線46上,以線順序 施加掃描信號的方式而構(gòu)成。像素電極34,與薄膜晶體管42的漏極電連 接,通過只在一定期間將薄膜晶體管42作為導(dǎo)通狀態(tài),將從數(shù)據(jù)布線44 供給的數(shù)據(jù)信號在規(guī)定的時間寫入各像素40。如此經(jīng)由像素電極34,在 圖1 (B)中表示的液晶層30中寫入的規(guī)定電平的像素信號,與在元件基 板14上形成的共享電極38之間保持一定的期間。此處,在像素電極34 與共享電極38之間形成保持電容48,像素電極34的電壓,例如,只保 持比施加了源極電壓的時間長3位數(shù)(1000-10000倍的時間)的時間。 由此,改善電荷的保持特性,能夠?qū)崿F(xiàn)可進(jìn)行高對比度顯示的液晶裝置。
在圖2中,雖然共享電極38是以從柵極布線驅(qū)動電路22延長出的布 線的方式來表示的,但是形成于元件基板14的畫像顯示區(qū)域24的大體整 面上,并保持規(guī)定的電位。
(各像素40的詳細(xì)構(gòu)成)
圖3 (A)、 (B),各個本實施方式的液晶裝置10的像素40的一個像 素的剖面圖以及在元件基板14中相鄰接的像素40的俯視圖。圖3 (A) 相當(dāng)于在相當(dāng)于圖3 (B)的III—III線的位置上將液晶裝置IO切斷時的 剖面圖。并且,圖3 (B)中,以長的虛線表示像素電極34,并以一點虛 線表示數(shù)據(jù)布線44以及與其同時形成的薄膜,以二點虛線表示柵極布線 46,在共享電極38中部分被除去的部分以實線表示。
如圖3 (A)、 (B)所示,在元件基板14上,按每個像素40形成具有 矩陣狀的多個光透過性的像素電極34 (以長的虛線包圍的區(qū)域),并沿著 像素電極34的縱橫的邊界區(qū)域形成數(shù)據(jù)布線44以及柵極布線46。像素 40以俯視在液晶面板32的上下方向上以沿著像素40的長邊的方式進(jìn)行 配置。
此外,在元件基板14的畫像顯示區(qū)域24 (參照圖l (A))的大體整面上,形成由光透過性導(dǎo)電膜等(例如ITO (Indium Tin Oxide)膜)構(gòu) 成的共享電極38,并在共享電極38上,形成多個將滑動方向的軸作為弦 并以圓弧形形成的縫狀的開口部50 (以實線表示)。
在本實施方式中,共享電極38形成為縫狀電極。共享電極38具有彎 曲部51。彎曲部51具備曲線部51A。彎曲部51是圓弧形狀。在元件基 板14以及對置基板12的各內(nèi)側(cè)面,形成在液晶面板的上下方向或左右方 向上滑動后的第1以及第2水平取向膜(未圖示)。彎曲部51的圓弧形狀 是將上述滑動方向的軸作為弦形成的。多個圓弧形狀是同心圓。此外,圓 弧形狀可以以像素的長邊為中心相對稱。并且,圓弧形狀也可以以像素的 短邊為中心相對稱。進(jìn)而,圓弧形狀也可以以像素的重心為中心相對稱。 由此,通過對共享電極38的形狀不設(shè)置明確的變化點(成為連續(xù)的變化), 能夠抑制由液晶取向的不連續(xù)點引起的旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生。并且,施加電壓 時,由于按照各電場在各種方向上取向液晶進(jìn)行取向(圓弧的垂直方向), 所以從任何地方都可看到液晶的側(cè)面,視角變好。并且,沒有明亮的液晶 反轉(zhuǎn)區(qū)域,改善了視野角特性。
共享電極38,以將至少一部分與遮光膜36疊加的方式進(jìn)行配置。由 此,可以防止旋轉(zhuǎn)位移進(jìn)入畫像顯示區(qū)域24內(nèi)。
此外,上述構(gòu)成也可代替共享電極38而在像素電極34形成開口部50。
在畫像顯示區(qū)域24中,以交差的方式形成多個柵極布線46和多個數(shù) 據(jù)布線44。像素40對應(yīng)于以柵極布線46和數(shù)據(jù)布線44包圍的矩形區(qū)域 進(jìn)行設(shè)置,按每個像素40形成像素電極34。
在圖3 (A)中表示的元件基板14的基體由石英基板或耐熱性玻璃基 板等的光透過性絕緣基板14A形成,對置基板12的基體由石英基板或耐 熱性玻璃基板等的光透過性絕緣基板12A形成。在本實施方式中,光透 過性絕緣基板12A、 14A均采用玻璃基板。
在元件基板14中,形成在光透過性絕緣基板14A的表面上由氧化硅 膜等構(gòu)成的基底保護(hù)膜(未圖示),并且在其表面?zhèn)龋c各像素電極34 鄰接的位置上形成頂柵構(gòu)造的薄膜晶體管42。如圖3 (A)、 (B)所示, 薄膜晶體管42,相對于島狀的半導(dǎo)體膜52A,具備形成溝道形成區(qū)域526、源極區(qū)域52C、漏極區(qū)域52D的構(gòu)造,且有時形成為具有在溝道形成區(qū)域 52B的兩側(cè)具備低濃度區(qū)域的LDD (Lightly Doped Drain)構(gòu)造。在本實 施方式中,半導(dǎo)體膜52A是對于元件基板14形成了無定形硅膜之后,通 過激光退火或燈光退火等被多結(jié)晶化后的多結(jié)晶膜。
在半導(dǎo)體膜52A的上層,形成氧化硅膜、氮化硅膜或由它們的層疊膜 形成的柵極絕緣膜54,在柵極絕緣膜54的上層,柵極布線46的一部分 作為柵極電極相重疊。本實施方式中,半導(dǎo)體膜52A彎曲成-的字形,柵 極電極具有在溝道方向的兩處形成的雙柵極(twin gate)構(gòu)造。
在柵極電極(柵極布線46)的上層,形成氧化硅膜、氮化硅膜或由 它們的層疊膜形成的第1層間絕緣膜56。在第1層間絕緣膜56的表面形 成數(shù)據(jù)布線44,此數(shù)據(jù)布線44,經(jīng)由形成于第1層間絕緣膜56上的接觸 孔56A與最位于數(shù)據(jù)布線44 一側(cè)的源極區(qū)域52C電連接。并且,在第1 層間絕緣膜56的表面形成漏極電極58,漏極電極58是與數(shù)據(jù)布線44同 時形成的導(dǎo)電膜。漏極電極58與經(jīng)由形成于第1層間絕緣膜56上的接觸 孔56B與漏極區(qū)域52D電連接。
在數(shù)據(jù)布線44以及漏極電極58的上層側(cè),形成第2層間絕緣膜60。 在本實施方式中,第2層間絕緣膜60作為由厚度為1. 5 u m 3. 0 y m厚的 感光性樹脂形成的平坦化膜而形成。
在第2層間絕緣膜60的表面以島狀形成由ITO膜形成的像素電極34 狀。像素電極34經(jīng)由形成于第2層間絕緣膜60上的接觸孔60A與漏極電 極58電連接,此漏極電極58經(jīng)由形成于第1層間絕緣膜56以及柵極絕 緣膜54的接觸孔56B與漏極區(qū)域52D電連接。此處,接觸孔60A的縱橫 (aspect)比為0. 4以上。
在像素電極34的表面形成電極間絕緣膜62。在本實施方式中,電極 間絕緣膜62由膜厚度在400nm以下的氧化硅膜或氮化硅膜形成。
在電極間絕緣膜62的上層,形成上述的共享電極38。此處,共享電 極38是相對于像素電極34的對置電極發(fā)揮功能的,并且相對于像素電極 34經(jīng)由電極間絕緣膜62進(jìn)行對置。從而,在像素電極34與共享電極38 之間形成將電極間絕緣膜62作為介電膜的保持電容48。此外,通過在像 素電極34與共享電極38之間形成的電場能夠驅(qū)動液晶層30,并能夠顯示畫像。
(接觸孔60A周邊的構(gòu)成)
如此,在本實施方式中,在元件基板14上順序形成:像素切換用的薄 膜晶體管42;覆蓋薄膜晶體管42的第1、第2層間絕緣膜56、 60;經(jīng)由 形成于第2層間絕緣膜60上的接觸孔60A以及漏極電極58與薄膜晶體管 42的漏極區(qū)域52D電連接的像素電極34;覆蓋此像素電極34的電極間絕 緣膜62;和在此電極間絕緣膜62的上層形成的共享電極38。
(制造方法)
圖4是表示使用了本實施方式的液晶裝置10的元件基板14的制造方 法的工序剖面圖。在本實施方式的液晶裝置10的制造工序之中,在元件 基板14的制造工序中,在由玻璃基板形成的光透過性絕緣基板14A的表 面形成了由氧化硅膜形成的基底保護(hù)膜(未圖示)之后,進(jìn)行薄膜晶體管 形成工序。
具體而言,首先,以島狀形成由多晶硅膜形成的半導(dǎo)體膜52A。其中, 基板溫度在15(TC 45(TC的溫度條件下,在光透過性絕緣基板14A的整 面,通過等離子體CVD法將由無定形硅膜形成的半導(dǎo)體膜,例如以40nm 50nm的厚度形成之后,通過激光退火法等,將硅膜進(jìn)行多結(jié)晶化之后, 使用光蝕刻技術(shù)來構(gòu)圖并形成半導(dǎo)體膜52A。
其次,采用CVD法等,在半導(dǎo)體膜52A的表面形成氮化硅膜或氧化硅 膜或由它們的層疊膜構(gòu)成的柵極絕緣膜54。
接著,在光透過性絕緣基板14A的表面整體上形成鉬膜、鋁膜、鈦膜、 鎢膜、鉅膜等金屬膜之后,采用光蝕刻技術(shù)進(jìn)行構(gòu)圖,并形成柵極布線 46 (柵極電極)。
接著,將不純物導(dǎo)入半導(dǎo)體膜52A,并形成源極區(qū)域52C或漏極區(qū)域 52D等。
再有,在第l層間絕緣膜形成工序中,使用CVD法等,形成氮化硅膜 或氧化硅膜或由它們的層疊膜構(gòu)成的第1層間絕緣膜56。
再有,使用光蝕刻技術(shù),在第1層間絕緣膜56上形成接觸孔56A、
56B。
接著,在光透過性絕緣基板14A的表面整體上形成鉬膜、鋁膜、鈦膜、鴨膜、鉭膜或它們的層疊膜等的金屬膜之后,采用光蝕刻技術(shù)進(jìn)行構(gòu)圖,
并形成數(shù)據(jù)布線44以及漏極電極58。
接著,在第2層間絕緣膜形成工序中,涂敷了感光性樹脂之后,曝光、 顯影,如圖4 (A)所示,形成厚度為1.5um 3.0iim的具備接觸孔60A 的第2層間絕緣膜60 (平坦化膜)。
接著,在光透過性絕緣基板14A的表面整體上形成由ITO膜構(gòu)成的光 透過性導(dǎo)電膜之后,使用光蝕刻技術(shù)進(jìn)行構(gòu)圖,如圖4 (B)所示,形成 像素電極34。
接著,在電極間絕緣膜形成工序中,使用CVD法等,如圖4 (C)所 示,形成膜厚度在400nm以下的由氮化硅膜或氧化硅膜構(gòu)成的電極間絕 緣膜62。
接著,如圖4 (D)所示,在光透過性絕緣基板14A的表面整體上形 成由IT0膜構(gòu)成的光透過性導(dǎo)電膜64之后,進(jìn)行感光性樹脂的涂敷、曝 光、顯影,如圖4 (E)所示,在殘留共享電極38的區(qū)域形成抗蝕掩模 66。然后,在形成了抗蝕掩模66的狀態(tài)下,蝕刻光透過性導(dǎo)電膜64,并 形成共享電極38。(參照圖3 (A))
接著,對其它實施方式進(jìn)行說明。本實施方式,共享電極38的多個 開口部50的形成位置與上述的實施方式不同,其他的點與上述實施方式 相同。
圖5 圖9是本實施方式的像素的俯視圖。
首先,如圖5所示,像素70的共享電極72,形成梳齒形狀,其包括 將以滑動方向的軸作為弦的圓弧形狀進(jìn)行排列的多個分支74;由分支74 劃分的縫狀的多個開口部76;和連接分支74的一端的橫杠78。共享電極 72的多個分支74具有彎曲部51。彎曲部51具備曲線部51A。彎曲部51 的形狀是圓弧。彎曲部51的圓弧形狀是將滑動方向的軸作為弦而形成的。 此外,上述構(gòu)成也可代替共享電極在像素電極形成梳齒形狀,其包括分 支、開口部、橫杠。
其次,如圖6 (A)所示,像素80的共享電極82,包括以將滑動方向 的軸(柵極布線46的方向)作為弦的圓弧形狀形成的縫狀的多個開口部84。共享電極82具有彎曲部51。彎曲部51具備曲線部51A。彎曲部51 的形狀是圓弧形狀。彎曲部51的圓弧形狀是將滑動方向的軸作為弦而形 成的。此外,上述構(gòu)成也可代替共享電極而在像素電極形成開口部。
此外,如圖6 (B)所示,像素86的共享電極88形成梳齒形狀,其 包括以將滑動方向的軸(柵極布線46的方向)作為弦的圓弧形狀進(jìn)行 排列的多個分支90;由分支90劃分的縫狀的多個開口部92;和連接分支 90 —端的橫杠94。共享電極88的多個分支90具有彎曲部51。彎曲部51 具備曲線部51A。彎曲部51的形狀是圓弧。彎曲部51的圓弧形狀是將滑 動方向的軸作為弦而形成的。此外,如圖6 (C)所示,也可將像素96的 外形的對角邊作為圓弧形狀,并以與該圓弧形狀大體相同的圓弧形狀設(shè)置 縫狀的多個開口部84,形成共享電極97。此外,上述構(gòu)成也可代替共享 電極而在像素電極形成梳齒形狀,其包括分支、開口部、橫杠。
其次,如圖7 (A)所示,像素98的共享電極100,包括以將滑動方 向的軸(數(shù)據(jù)布線44的方向)作為弦的圓弧形狀形成的縫狀的多個開口 部102。共享電極100具有彎曲部51。彎曲部51具備曲線部51A。彎曲 部51的形狀是圓弧形狀。彎曲部51的圓弧形狀是將滑動方向的軸作為弦 而形成的。此外,上述構(gòu)成也可代替共享電極而在像素電極形成開口部。
此外,如圖7 (B)所示,像素104的共享電極106形成梳齒形狀, 其包括以將滑動方向的軸(數(shù)據(jù)布線44的方向)作為弦的圓弧形狀迸 行排列的多個分支108;由分支108劃分的縫狀的多個開口部110;和連 接分支108的一端的橫杠112。共享電極106的多個分支108具有彎曲部 51。彎曲部51具備曲線部51A。彎曲部51的形狀是圓弧。彎曲部51的 圓弧形狀是將滑動方向的軸作為弦而形成的。此外,如圖7 (C)所示, 也可將像素114的外形的對角邊作為圓弧形狀,并以與該圓弧形狀大體相 同的圓弧形狀設(shè)置縫狀的多個開口部IIO。此外,上述構(gòu)成也可代替共享 電極而在像素電極形成梳齒形狀,其包括分支、開口部、橫杠。
接著,如圖8 (A)所示,像素116的共享電極118包括以將滑動 方向的軸(柵極布線46的方向)作為弦的圓弧形狀形成的縫狀的多個幵 口部120。共享電極118具有多個彎曲部51。彎曲部51具備曲線部51A。 彎曲部51的形狀是圓弧形狀。彎曲部51的圓弧形狀是將滑動方向的軸作為弦而形成的。此外,上述構(gòu)成也可代替共享電極而在像素電極形成開口部。
此外,如圖8 (B)所示,像素122的共享電極124形成梳齒形狀, 其包括以將滑動方向的軸(柵極布線46的方向)作為弦的多個圓弧形 狀形成的多個分支126;由分支126劃分的縫狀的多個開口部128;和連 接分支126的一端的橫杠130。共享電極124的多個分支126具有多個彎 曲部51。彎曲部51具備曲線部51A。彎曲部51的形狀是圓弧。彎曲部 51的圓弧形狀是將滑動方向的軸作為弦而形成的。此外,如圖8 (C)所 示,也可將像素132的外形的對角邊作為圓弧形狀,并以與該圓弧形狀大 體相同的圓弧形狀設(shè)置縫狀的多個開口部128。此外,上述構(gòu)成也可代替 共享電極爾在像素電極形成梳齒形狀,其包括分支、開口部、橫杠。
接著,如圖9 (A)所示,像素134的共享電極136包括以將滑動的 軸(數(shù)據(jù)布線44的方向)作為弦的圓弧形狀形成的縫狀的多個開口部138。 共享電極136具有多個彎曲部51。彎曲部51具備曲線部51A。彎曲部51 的形狀是圓弧。彎曲部51的圓弧形狀是將滑動方向的軸作為弦而形成的。 此外,上述構(gòu)成也可代替共享電極而在像素電極形成開口部。
此外,如圖9 (B)所示,像素140的共享電極142形成梳齒形狀, 其包括以將滑動方向的軸(數(shù)據(jù)布線44的方向)作為弦的多個圓弧形 狀形成的多個分支144;由分支144劃分的縫狀的多個開口部146;和連 接分支144的一端的橫杠148。共享電極142的多個分支144具有多個彎 曲部51。彎曲部51具備曲線部51A。彎曲部51的形狀是圓弧。彎曲部 51的圓弧形狀是將滑動方向的軸作為弦而形成的。此外,如圖9 (C)所 示,也可將像素150的外形的對角邊作為圓弧形狀,并以與該圓弧形狀大 體相同的圓弧形狀設(shè)置縫狀的多個開口部146。此外,上述構(gòu)成也可代替 共享電極而在像素電極形成梳齒形狀,其包括分支、開口部、橫杠。
接著,對采用了上述的實施方式的液晶裝置10的電子設(shè)備進(jìn)行說明。 在圖IO (A)中,表示具備液晶裝置10的可移動型的個人計算機(jī)的構(gòu)成。 個人計算機(jī)152具有液晶裝置10和本體部154。在本體部154中,設(shè)置 了電源開關(guān)156以及鍵盤158。在圖10 (B)中,表示具備液晶裝置10的手機(jī)的構(gòu)成。手機(jī)160具備多個操作按鈕162和滾動按鈕164、以及液 晶裝置10。通過操作滾動按鈕164,滾動在液晶裝置中顯示的畫面。在圖 10 (C)中,表示采用了液晶裝置10的信息便攜式終端(PDA: Personal Digital Assistants)的構(gòu)成。信息便攜式終端166具有多個操作按鈕 168和電源開關(guān)170、以及液晶裝置IO。若操作電源170,則所謂住址記 錄或日程表的各種信息顯示在液晶裝置10上。
此外,作為采用了液晶裝置10的電子設(shè)備,除了圖10所示的,還可 以列舉數(shù)字照相機(jī)、液晶電視、尋像器(view finder)型和監(jiān)視器直觀 型的錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子筆記本、計算器、文字處理器、 工作站(workstations電視電話、P0S終端、以及具備觸控面板的設(shè)備 等。而且,作為這些各種電子設(shè)備的顯示部,可釆用上述液晶裝置10。
權(quán)利要求
1. 一種液晶裝置,包括第1基板;形成于所述第1基板上的柵極布線;數(shù)據(jù)布線,其與所述柵極布線交差,定義矩形的像素的區(qū)域;薄膜晶體管,其與所述柵極布線以及所述數(shù)據(jù)布線連接;共享電極,其與所述像素的區(qū)域相對應(yīng),并具有多個縫狀的開口部;像素電極,其與所述薄膜晶體管連接并與所述共享電極重疊;第2基板,其以與所述第1基板對置的方式進(jìn)行配置;和液晶層,其設(shè)置于所述第1基板與所述第2基板之間,所述共享電極具有彎曲部,并且所述彎曲部具備抑制由液晶取向的不連續(xù)點所引起的旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生的曲線部;
2. —種液晶裝置,包括 第l基板;形成于所述第1基板上的柵極布線;數(shù)據(jù)布線,其與所述柵極布線交差,定義矩形的像素的區(qū)域; 薄膜晶體管,其與所述柵極布線以及所述數(shù)據(jù)布線連接; 共享電極,其與所述像素的區(qū)域相對應(yīng)而形成;像素電極,其與所述薄膜晶體管連接并與所述共享電極重疊,并具有多個縫狀開口部;第2基板,其以與所述第l基板對置的方式進(jìn)行配置;和液晶層,其設(shè)置于所述第1基板與所述第2基板之間,其特征在于,所述像素電極具有多個彎曲部,且所述彎曲部具備抑制由液晶取向的不連續(xù)點所引起的旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生的曲線部;
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶裝置,其特征在于,所述共享電極是梳齒狀電極或縫狀電極,并且所述彎曲部的形狀為圓弧。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的液晶裝置,其特征在于, 所述像素電極是梳齒狀電極或縫狀電極,并且所述彎曲部的形狀為圓弧。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的液晶裝置,其特征在于,在所述第1基板以及第2基板的各內(nèi)側(cè)面,形成在所述液晶面板的上 下方向或左右方向上滑動后的第1以及第2水平取向膜, 所述圓弧形狀是以所述滑動方向的軸為弦的。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3 5任一項所述的液晶裝置,其特征在于, 多個所述圓弧形狀是同心圓。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3 6任一項所述的液晶裝置,其特征在于, 所述圓弧形狀是以像素的長邊為中心相對稱的。
8. 根據(jù)權(quán)利要求3 6任一項所述的液晶裝置,其特征在于, 所述圓弧形狀是以像素的短邊為中心相對稱的。
9. 根據(jù)權(quán)利要求3 6任一項所述的液晶裝置,其特征在于, 所述圓弧形狀是以像素的重心為中心相對稱的。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1 9任一項所述的液晶裝置,其特征在于, 所述第2基板在與所述像素電極的縱橫的邊界區(qū)域相對置的區(qū)域上具有遮光膜,使所述像素電極或所述共享電極的至少一部分與所述遮光膜進(jìn)行疊加。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1 10任一項所述的液晶裝置,其特征在于, 所述像素電極以及所述共享電極由光透過性導(dǎo)電膜構(gòu)成。
12. —種電子設(shè)備,其特征在于, 具備權(quán)利要求1 11任一項所述的液晶裝置。
全文摘要
本發(fā)明是提供一種控制旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生并得到良好的透過率的液晶裝置以及具備它的電子設(shè)備。液晶裝置包括第1基板(14);形成于第1基板(14)上的柵極布線(46);與柵極布線(46)交差并定義矩形的像素(40)的區(qū)域的數(shù)據(jù)布線(44);與柵極布線(46)以及數(shù)據(jù)布線(44)連接的薄膜晶體管(42);與像素(40)的區(qū)域相對應(yīng),并具有多個縫狀的開口部(50)的共享電極(38);與薄膜晶體管(42)連接并與共享電極(38)重疊的像素電極(34);以與第1基板(14)對置的方式配置的第2基板(12);和設(shè)置于第1基板(14)與第2基板(12)之間的液晶層(30),共享電極(38)具有彎曲部(51),彎曲部(51)具備抑制由液晶取向的不連續(xù)點而引起的旋轉(zhuǎn)位移的發(fā)生的曲線部(51)。
文檔編號G02F1/1343GK101419366SQ20081017080
公開日2009年4月29日 申請日期2008年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月24日
發(fā)明者伊藤淳, 藤田伸 申請人:精工愛普生株式會社