專利名稱：：感光性糊劑組合物和圖案形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性糊齊l跑，和圖案形成方法。更具體地說，本發(fā)明涉及在平面顯示器等的顯示屏、電子構(gòu)件的高自裝材料和太陽能電池材料等中使用的具有電極的電M板制造中，在形成高感度和髙清晰度的圖案時，可適用的感光性糊劑組^和使用該組^形成圖案的方法。背景駄蹄來，對于電^s棘顯示屏中的圖案加工，高密度化和高清晰化的要求^^越高。在這種要求極高的顯示屏中，等離子體顯示屏(下文簡稱'pdp"。)或者場致發(fā)射顯示屏(下文簡itfed"。)等平面顯示屏(下文簡稱'fdp"。)特別引人注目。圖1是交mpdp的截面^1^意圖。在圖1中，101和102是相對設(shè)置的玻璃基板、103和111是隔壁，MM基板101、玻璃基板102、背面隔壁103和前面隔壁111區(qū)分成單元。104是固定在鵬繊101上的透明電極，105是為斷氐透明電極104的電阻而在該透明電極104上形成的匯流電極，106是固定在玻璃繊102上的艦電極。107劍呆持在單元內(nèi)的螢光物質(zhì)，108是驢透明電極104和匯流電極105而在玻璃基板101表面上形成的電介質(zhì)層，109是鶴地址電極106而在鵬繊102表面上形成的電介質(zhì)層，110^W層，例如由氧化鄉(xiāng)成。另外，；&^色fpd中，為了得到對比度高的圖像，在玻璃繊與電介質(zhì)層之間，設(shè)置濾色片(紅色*綠色*藍(lán)色)或者黑色基質(zhì)等。,來，fpd的大型化和髙清晰化不斷深入，同時圖案加工脈的提高受人期待。但是，隨著屏幕的，化和高清晰化，對圖案精度的要求也極其嚴(yán)格,當(dāng)前存在的問題是以現(xiàn)有的加工方法即絲網(wǎng)印刷法已極不相適應(yīng)。因此，使用光刻法形成圖案。
發(fā)明內(nèi)容利用，光刻法制造電極時，^!^ffi感光銀糊法，制作以絲網(wǎng)印刷法不可肯獬決的問題即大型化和高清晰化的圖案，己成為可能。但是，由于銀是貴金屬且價高，感光性銀糊i^就成為高價的導(dǎo)電性糊。而且，作為感光性銀糊的缺陷是具有在高溫多濕環(huán)境下易產(chǎn)生移動，在銀表面發(fā)生硫化的'M。而且，由于,來考慮成本的要求，要求頓歸的含無機粒子的感光性樹脂材料和能加工高清晰圖案的材料。本發(fā)明離決現(xiàn)有技術(shù)中雜的問題，其目的jm供廉價且可形成高清晰度圖案的，和對陶瓷、硅和玻璃基板以薄膜狀呈現(xiàn)髙粘接強度的感光性糊劑組她本發(fā)明的另一目的^i供OT，感光性糊劑組，形成圖案的方法。本發(fā)明人為了解決J^問題進(jìn)行深入研究的結(jié)果完成了本發(fā)明。即本發(fā)明涉及以下1一4。1.—種感光性糊劑組合物，其特征是包含50Sft^粒徑(D50)為2.0—20.0的鋁粉末(A)、堿可溶性樹月旨(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)和光聚合引發(fā)劑(E)。2.按前述1記載的感光性糊劑組合物，其特征是還包含50重量％粒徑(D50)為0.2-4.0的玻璃粉末(B)。3.按前述2記載的感光性糊劑組合物，其特征是所述的玻璃粉末(B)是軟化點為350—700'C的玻璃粉末，以感光性糊齊跑，的總SS計，玻璃粉末(B)的含量為0.5—15錢％。4.一種形成圖案的方法，其特征魏括由權(quán)利要求1-3中任一項記載的感光性糊劑組合物，在基板上形成感光性糊劑層的工序、對該糊劑層進(jìn)行曝光處理形成圖案離的工序、對該糊齊U層進(jìn)行顯像鵬形成圖案的工序、和對該圖^a行'皿處理的工序。發(fā)明，本發(fā)明的感光性糊劑組合物，可以劇介形成高清晰度的圖案，最適宜用來構(gòu)成FPD,的構(gòu)件、電子部件的高鵬裝材料的構(gòu)件和太陽能電池的構(gòu)件。以下，對本發(fā)明的感光性糊劑組合物和圖案的形成方法進(jìn)行詳細(xì)說明。而且，在下文中，將使用，感光性糊劑組合物形成的未曝光涂層稱為"感光性糊劑層"。本發(fā)明中使用的堿可溶性樹脂(C),只要是堿可溶性的就可以，沒有特別限制。此外，在本發(fā)明中，所說的"堿可溶性"是指樹脂會辦超lj所要顯像處理的f號，在堿'M像液中溶解的性質(zhì)。作為堿可溶性樹脂(C)，雌以下含有堿可溶性官能團(tuán)的單體(Cl〉和(甲基)丙烯酸衍生物(C2)的共聚物。作為含有堿可溶性官能團(tuán)的單體(C1)，列舉有(甲基)丙烯酸、馬來酸、富馬酸、巴豆酸、衣康酸、檸繊、中繊、腿酸、琥珀l(2—(甲基)丙烯酰氧乙基)酯、2—甲基丙烯酰氧乙基苯二酸酯、2—丙烯酰氧乙SE化鄰苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙S^化鄰苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基7^M化鄰苯二酸酯、2—丙烯麟丙基四氣化鄰苯二酸酯、co—羧基—聚己酸內(nèi)酯一(甲基)丙烯酸酯等的含羧基的單體類；具有(甲基)丙烯酸2-羥乙基、(甲基)丙烯酸2—羥丙基(甲基)丙烯酸3—羥丙基、((x—羥乙基)丙烯酸酯等的含羥基的單體類；鄰羥基苯乙烯、間羥基苯乙烯、對,苯乙,的含(苯)酚性羥基的單體類等具有減可溶性官能團(tuán)和不飽和鍵的單體類。在這些單體中，雌(甲基)丙烯酸、2-甲基丙烯酰氧乙基苯二酸、2-丙烯酰氧乙SiL鄰苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基氨鄰苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基SSiL鄰苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基四氫鄰苯二酸酯、(甲基)丙烯酸2—羥乙酯。通過與含有堿可溶性官能團(tuán)的單體(Cl)進(jìn)行共聚，可使樹脂具有堿可溶性。來自這種含有堿可溶性官能團(tuán)的單體(Cl)的構(gòu)成單位的含量，在堿可溶性樹脂(C)的全部構(gòu)成單位中，通常為5—90重量％,雌為10—80重量％,特別優(yōu)選為15—70重量％。作為(甲基)丙烯酸衍生物(C2),只要是能與含有堿可溶性官能團(tuán)的單體(Cl)進(jìn)行共聚的(甲基)丙烯酸衍生物就可以，沒有特別限制，例如，列舉有(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸十二(垸)酉旨、(甲基)丙烯酸節(jié)酯、(甲基)丙烯酸2—甲氧乙酯、(甲基)丙烯酸2—乙氧乙酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸苯氧乙酯、(甲基)丙烯酸三苯甲酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯,佛爾酮酯、(甲基)丙烯酸縮7jC甘油酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯等戰(zhàn)單體(Cl)以外的(甲基)丙烯酸酯類。另外，在本發(fā)明中，還可^柳能取代(甲基)丙烯酸衍生物的，赫除了<頓(甲基)丙烯酸衍生物(C2)夕卜，例如還可j頓由苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸節(jié)酯等得到的聚合物的一方鏈的末端上具有(甲基)丙烯麟、烯丙基、乙烯基等聚合性不飽和基的大單體等。在戰(zhàn)共聚時，也可以j頓鏈轉(zhuǎn)移劑。作為鏈轉(zhuǎn)紛U,例如可列舉a-亞甲基苯乙烯二聚物、叔十二(烷)硫醇、季戊四醇四(3—巰基丙酸)、季戊四醇四(3—巰基丁酸酯)、1，4一二G—巰基丁^IS)丁烷等。，的鏈轉(zhuǎn)移劑的使用量，以J^共聚使用的單體的總重100M份計，其用量約為0.1—10Sfi份。堿可溶性樹脂(C)的重均分子量(下文簡稱為[Mw]。)是3131滲^譜法(GPC)測定的^乙烯換算值，，為5000-100000,更,為10000-80000。Mw可a3i3I當(dāng)選擇Jd^單體的共聚比率、鏈轉(zhuǎn)移抓聚合鵬等進(jìn)行控制。如果Mw低于戰(zhàn)范圍，顯像后的膜易發(fā)鎖粗糙，另外，如果超出上述范圍，相對于未曝光部分的顯像液溶解性斷氏，，像度附氏。堿可溶性樹脂(C)的玻璃轉(zhuǎn)化溫度(Tg)，優(yōu)選為0—120'C,更優(yōu)選為IO—IO(TC。如果鵬轉(zhuǎn)化,低于Jd^范圍，涂膜易發(fā)粘，難以鵬。另外，玻璃轉(zhuǎn)化驗如果^U^范圍，感光性糊劑層與支持體鵬翻的粘接性錢，在用于后述的轉(zhuǎn)印膜時，該糊齊lj層不能轉(zhuǎn)印。另外，玻璃轉(zhuǎn)化鵬可M31變更含堿可溶性官能團(tuán)的單體(Cl)和(甲基)丙烯酸衍生物(C2)的量作適當(dāng)調(diào)節(jié)。堿可溶性樹脂(C)的酸值，雌20—200毫克KOH/克，更雌30-160毫克KOH/克。酸值小于20毫克KOH/克時，曝光后的未曝光部分難以fflil地被堿性顯像液除去，難以形成高清晰度的圖案。另外，酸值如果艦200毫克KOH/克時，^!曝光固化的部分也容易被堿性顯像液浸蝕，同樣難以形成高清晰度的圖案。在本發(fā)明的感光性糊劑組合吻中，所說的感光性樹脂成分是指從該組，中除去無機顆粒部分，即指的是具有感光性功能的全部有機成分。此處所說的無豐順粒是^粉末(A)和自粉末(B)等。戰(zhàn)的感光性樹脂成分，除含堿可溶性樹脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)、光聚合引發(fā)劑(E)夕卜，還可添加增敏劑、增敏助劑、有機系的紫外線吸收劑、阻聚劑、抗氧化劑、增塑劑、增粘劑、有機溶劑、粘接助劑、溶解鵬劑、分散劑、各成分沉降防止劑、流平齊轉(zhuǎn)添加劑成分。本發(fā)明的感光性糊劑組合吻，優(yōu)選由5-90重量％感樹脂成分和95-10重量^無t，粒組成。本發(fā)明的感光性糊劑組^l含有感光性成分。作為該感光性成分，一般有光不漸七型的成分和光可溶化型的成分。光不溶化型的成分，有(i)含有在分子內(nèi)具有1個以上不飽和基等感光性單體或者低聚物的物質(zhì)、(ii)含有芳香族重氮化合物、芳香族疊氮基化合物、有機卣化物等感光性化合物的物質(zhì)、(iii)戶刑胃重氮系胺與甲醛的縮^等附胃重麵脂的物質(zhì)等。作為光可m型成分，有(iv)含有重氮化合物與無機酸或者有機酸的絡(luò)合物、苯醌重氮類的物質(zhì)、(V)苯醌重，與適當(dāng)聚合物粘結(jié)劑結(jié)合的物質(zhì)，例如苯酚樹脂的魏昆一l，2—重MS—5—磺酸酯等。在本發(fā)明中，可以^ffij^^f有的成分，但是從與，無m^?；旌虾啽恪额D來考慮，分類^±^(i)中的多官能(甲基)丙烯酸酯J1^需成分。作為在本發(fā)明中使用的多官能(甲基)丙烯酸酯(D)，具體地可列舉烯丙基化的環(huán)己基二(甲基)丙烯酸酯、2,5—己烷二(甲基)丙烯酸酯、1，4—丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3—丁二醇二(甲基)丙烯翻旨、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙三醇二(甲基)丙烯酸酯、甲氧基化的環(huán)戰(zhàn)二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙三醇二(甲基)丙烯酸酯等的二(甲基)丙烯酸酯類；季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷PO改性的三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷EO改性的三(甲基)丙烯酸酯、雙季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、雙季戊四醇一羥基五(甲基)丙烯酸酯、E羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、節(jié)硫醇(甲基)丙烯酸酯等的三官能團(tuán)以上的(甲基)丙烯酸酯類；還可列舉出，化合物中芳香環(huán)的氫原子中,被l一5個氯原子或者溴原子取代的單體等。這些多官能(甲基)丙烯酸酯(D)可1種單獨使用，也可2種以上組合i^。在本發(fā)明的感光性糊劑組合物中，多官能(甲基)丙烯酸酯(D)從對光的感度考慮，以上述感光性組合吻的總重計，其^ffi量^t為10Sfi^以上，更，為15—60重量％。如果多官能(甲基)丙烯酸酯(D)的含fi^iiiJd^范圍，燒成后的顯示屏用構(gòu)件的^M量變差。另外，在不損害本發(fā)明目的范圍內(nèi)，多官能(甲基)丙烯酸酯(D)也可以與苯乙烯、對甲基苯乙烯、鄰甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、氯化苯乙烯、溴4株乙烯、ot-甲基苯乙烯、氯化a-甲基苯乙烯、溴化a—甲基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、羥甲基苯乙烯、羧甲基苯乙烯、乙烯基萘、乙烯基蒽、乙烯基節(jié)唑、Y—甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基琺院、l一乙烯基一2—吡咯烷酮等一起使用。[光聚合引發(fā)劑(E)]作為在本發(fā)明中j頓的光聚合引發(fā)劑(E),例如，可列舉1甲酮、鄰苯甲?；郊姿峒柞?、4，4一二(二甲胺)二苯甲酮、4，4一二(二乙胺)二苯甲酮、4，4-二氯代1甲酮、4-1甲酰一4—甲基二苯翻、二節(jié)基甲酮、荷、2，2—二乙fLS苯乙酮、2，2—二甲竊-2—苯基-2—苯基苯乙酮、2—羥基一2—甲基苯丙酮、對叔丁基二氯代苯乙酮、噻噸酮、2—甲基噻噸酮、2—氯代,酮、2—異丙基噻噸酮、4一異丙魏噸酮、l一氯一4一丙基噻噸酮、2,4-二乙M噸酮、節(jié)基二甲基縮酮、芐基甲tt乙錢甲醛、苯偶因、苯偶因甲醚、苯偶因丁醚、蒽醌、2-叔丁基蒽醌、2—戊基蒽醌、|3-氯代蒽醌、蒽酮、苯并蒽酮、1并環(huán)庚酮、亞甲基蒽酮、4-疊氮苯基蒽酮、2，6—二(對疊E3Z節(jié)基)環(huán)己酮、2，6—二(對疊氮亞芐基)一4一甲Sif己酮、2—苯基一l,2—丁二酮-2—(鄰甲氧基羰基)轉(zhuǎn)、1-苯吝丙二爵2-(銀乙flS羰基)月虧、1，3—二苯基一丙三酮-2—(鄰乙氧基羰基)躬、l-苯基-3-乙竊一丙三酮一2-(鄰苯甲?；?躬、米希勒酮、2-甲基一1一[4-(甲硫基)苯蜀一2—嗎啉一1-丙烷一l-酮、2-芐基一2—二甲基氨基一l一(4一嗎啉基苯基)丁酮一1，2—羥基一2-甲基一1—苯基一丙垸一l一酮、2,2'—二甲—1，2一1基乙烷一1一酮、二(2，6—二甲氧基苯甲?；?一2，4，4一三甲基一戊基氧化膦、2，4，6—三甲基苯甲酰一二苯,化膦、二(2,4,6—三甲基苯甲,)—苯基氧4機、^5黃酰氯化物、*^1酰氯化物、N-苯繊吖啶酮、4，4一偶氮二異丁腈、1基二硫醚、苯并噻唑二硫醚、三苯基卩卜吩、樟腦醌、四溴化碳、三溴代苯磺酸、過氧lfc^偶因和曙紅或亞甲基藍(lán)等的光還原性色素與抗壞血酸或三乙醇胺等還原劑的組合等。光聚合引發(fā)劑(E)，可一種^^蟲使用，也可2種以上組合使用。光聚合引發(fā)劑(E)的使用量，以多功能(甲基)丙烯酸酯(D)為100重量傷H十，雌艦I一50重量份，更雌4柳2—40Sfl:份。光聚合引發(fā)劑(E)的^頓量如果^3ii^的范圍，'m后顯示屏用構(gòu)件微的質(zhì)量錢。本發(fā)明的感光性糊劑組合物中，為了提高保存時的熱穩(wěn)定性，也可添加阻聚劑。作為阻聚劑，例如，可列舉對苯二酚、對苯二酚的一酯化物、n—亞硝基萘胺、吩噻嗪、對叔丁基鄰苯二酚、n—苯基萘胺、2，6—二一叔丁基一對甲Sm、氯醌、焦枯酚等。在感光性糊劑組合物中，阻聚劑的添加量，優(yōu)選添加0扁—1M%。乙二醇酯、硫代二丙酸二月桂酯、磷酸h^基酯等。在感光性糊劑組合物中，抗氧化劑歸加量，^^添加0.001—1重量％。本發(fā)明的感光性糊劑組，中，為了實I鵬下腿像液的充分溶解的目的，，含有溶解，劑。作為溶解，劑，，使用表面活性劑。作為這樣的表面活性劑，例如，可列舉氟型表面活性齊U、硅酮型表面活性劑、非離子型表面活性劑、月旨肪^^。Jl^的MM表面活性劑，例如，可列舉BMCMMIE社制"BM—1000"、"BM—1100"、大日本油墨化學(xué):iik(株)社靴^力、'7r'夕F142D"、"同F(xiàn)172"、"同F(xiàn)173"、"同F(xiàn)183"、住友^'J一工厶(株)社制"7口？一卜'FC—135"、"同F(xiàn)C—170C"、"同F(xiàn)C—430"、"同F(xiàn)C-431"、旭硝子(株)社制"卄一7口>S112"、"同S—113"、"同S—131"、"同S—141"、"同S—145"、"同S—382"、"同SC—lOl"、"同SC—102"、"同SC—103"、"同SC—104"、"同SC—105"、"同SC—106"等的市售品。上述的硅酮型表面活性劑，例如，可列舉東麗道康寧有機硅株式會社制"SH—28PA"、"SH—190"、"SH—193"、"SZ—6032"、"SF—8428"、"DC—57"、"DC—190"、信越化學(xué)工業(yè)(株)社制"KP341"、新秋田化成(株)社制"工7卜，7'EF301"、"同EF303"、"同EF352"等的市售品。J^的非離子型表面活性劑，例如，可列舉聚氧乙烯十二縫醚、聚氧乙烯十八烷酰醚、聚氧乙烯油醚等的聚氧乙烯烷M類；聚氧乙烯二苯乙烯化的苯基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯醚等的聚氧乙烯芳基醚類；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等的聚氧乙烯二^s酯類。作為戰(zhàn)的非離子型表面活性齊(j銷售品，例如，可列舉花王(株)社制"工？》y>A—60"、"A-90"、"A—550"、"B—66"、"PP—99"、共榮社化學(xué)(株)社制"(甲基)丙烯,共聚單體水'U7口一No.57"、"同No.90"等。在J^的表面活性劑中，為使顯像時未曝光部分的感光性糊齊U層容易除去，雌非離子型表面活性劑，更鵬聚氧乙烯芳基麟，特別是雌下式(1)所示的化合物?；疷(l)0—CpH2pO大H上式(1)中，W是d-5麟，雌甲基p是l-5的微，s是l一5的■，t是l一100的^t，10~20的。作為上述的脂肪酸，例如，可列舉丁酸、戊酸、己酸、庚酸、癸酸、壬酸、月桂酸、肉豆蔻酸、十五(垸)酸、十六(烷)酸、十六(烷)酰酸、十七(烷)酸、十A(烷)酸、油酸、異油酸、亞油酸、亞麻酸、十九(烷)酸、花生酸、花生油烯酸、山箭酸、二十四烷酸、二十四碳烯酸、二十六烷酸、二十九烷酸、三十烷酸等。本發(fā)明的感光性糊劑組合物中溶解，劑的含量，以堿可溶性樹脂(c)100重量^H十，雌0.001-20龍份，更雌0.01—15錢份，特別雌O.l一10重量份。溶解，劑的含量如果&Ji^的范圍，可得到對顯像液溶解性優(yōu)良的組合物。本發(fā)明的圖案形成方法，其特征是包括在SIR上由J^i光性糊劑組合物形鵬光性糊齊(J層的工序(感光性涂層形虹序)、對該感光性糊劑層進(jìn)行曝光，形成圖案,的工序(曝^X序)、對該感光性糊齊幅進(jìn)行顯像^hS形成圖案的工序(顯像工序)和對圖，行處理的工序(燒^x序)。[感光性糊劑層的形^x,該工mS括在皿上由，感光性糊劑組合物形，光性糊劑層。作為該感光性糊劑層的形成方法，例如，可列舉出將J^感光性糊劑組合物凃布在基ISJ:形自膜，對該涂膜進(jìn)行千燥的形成方法等。將±^感光性糊劑組糊涂布在±的方法，只要是能涂布出膜厚度大的(例如20'以上)、而且能有艦形鵬勻優(yōu)良涂膜的方法就可以，沒有特別P艮制。例如，可列舉鵬刀片涂布器的涂布法、鵬輥涂布器的涂布法、使用刮刀的涂布法、使用幕簾涂布器的涂布法、使用,器的涂布法、使用線豐矛凃布器的涂布法，使用絲網(wǎng)印刷^g的絲網(wǎng)印刷法等。涂膜的干'M^f牛，按照千燥后有機翻i鵬率小于2錢％來作適當(dāng)調(diào)整，例如在50—150。C千MMTf干燥0.5—60併中左右。如地卩樣形成感光性糊齊喔的厚度，雌為3—3001,更雌為5—200。，卜，由于感光性糊劑組，的涂布可以反復(fù)涂布n次，故可形成具有n層(n表示2以上的整數(shù))感光性糊劑層的積層體。圖1是交等離子體顯示屏的截面^^意圖。圖2，常的場致發(fā)射顯示屏的截面^l^意圖?！斗栒f明》101玻璃繊102鵬繊103背面隔壁104透明電極105匯流電極106艦電極107螢光物質(zhì)108電介質(zhì)層109電介質(zhì)層110微層111前面隔壁201玻璃繊202玻璃繊203絕緣層204透明電極205鄉(xiāng)極206陰極電極207螢光體208柵極209間,測定的苯乙烯換算值。而且，GPC測定，作為GPC柱，{柳東乂一(株)制[TSKguardcolumnS邵erHZM-M]，在四氣呋喃鋭lj，測定MJS40'C的條件下進(jìn)行。按表3所示的組成，制備感光性樹脂成分(1)一(6)。[實施例1^ffl混煉機^^表1所示的鋁粉末Al(16克)、表2所示的自粉末Bl(2克)和表3所示的感光性樹脂成分(1)(40)克，制備感光性糊劑組合物(以下稱"感光性糊劑")。使用325目的篩網(wǎng)，將上述感光性糊劑實地印刷在作為試驗片(150x150x2.8毫米)的玻璃SI&上的100^t見方的大小上，于100。C下保持IO併中進(jìn)行干燥，形光性糊劑層。此后，^^負(fù)型1§(圖案寬50、圖案間隔1001[^)，禾,功率為25mW/咖2超髙壓水銀燈，肚面對感光性糊劑層進(jìn)機外線曝光。曝光量為扁mJ/cm2。此后，對曝光后的感光性糊齊U層，噴淋60秒保持23"的0.5%碳,水溶液，進(jìn)行顯像。此后，用噴霧水職干凈，除去沒有光固化的部分，在玻璃基^i:形鵬子狀的固化圖案。禾,戰(zhàn)的評價方法評^^種顯像后的固化圖案。其結(jié)m^于表4。此后，將得到的固化圖案于58(TC下燒成30併中，形成電極圖案。利用上述的刑介方法評if^種'^i^的電極圖案。結(jié)^^表4。[實施例2—15]除用表4所示的鋁粉末、鵬粉斜B感光性樹脂成分制備感光性糊劑外，其它與實施例1相同，在玻璃繊上依次形鵬光性糊齊U層、固化圖案、電極圖案。此后，利用Jt^的i憤方法i憤固化圖案和電極圖案。結(jié)m^表4。另外，實施例1-15中任何一個實施例的感光性糊齊喔的膜厚度為10'±1'就。除用表4所示的鋁粉末、鵬粉辯憾光性樹脂成辦恪感光性糊劑外，其它與實施例1相同，在玻璃鎌上依次形鵬光性糊劑層、固化圖案、電極圖案。此后，禾,戰(zhàn)的if^方法刑介固化圖案和電極圖案。結(jié)m^f表5。另夕卜，感光性糊劑層的膜厚度為10。除了使用表1所示的鋁粉末A1(45克)、表2所示的,粉末B1(5克)和表3所示的感光性樹脂成分(5)(50克)，制備感光性糊劑組^t)外，其它與實施例1相同，在玻璃繊上依次形鵬光性糊劑層、固化圖案、電極圖案。接著，禾ij用戰(zhàn)的刑介方法i憤固化圖案和電極圖案。結(jié)果舒表4。除了使用表1所示的鋁粉末A1(35克)、表2所示的,粉末B1(20克)和表3所示的感光性樹脂成分(5)(45克)，制備感光性糊劑組^/外，其它與實施例1相同，在玻璃繊上依次形鵬光性糊劑層、固化圖案、電極圖案。接著，禾擁Jd^的i憤方法評價固化圖案和電極圖案。結(jié)果舒表4。[實施例20]除了使用表1所示的鋁粉末A1(20克)、表2所示的玻璃粉末B1(30克)和表3所示的感光性樹脂成分(5)(50克)，制備感光性糊齊跑糊外，其它與實施例1相同，在玻璃繊上依次形鵬光性糊劑層、固化圖案、電極圖案。接著，禾lJ用戰(zhàn)的i憤方法評價固化圖案和電極圖案。結(jié)^P表4。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>TMP:三羥甲基丙烷(環(huán)氧丙烷改性)三丙烯酸酯MTPMP:2—甲基一1一[4一(甲硫基)苯^1一2—，基一1一丙烷一l一酮DETX:2，4一二乙基嚼噸酮BHHD:1，7—二(4一羥織)一l,6—庚二烯一3,5—二酮TNOL:萜品醇PGME:丙二醇一甲醚表4<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>如表4所示，對顯像后和'鵬后的圖案iTO'實施例1一6、10—12、17—20特別優(yōu)良。實施例7-9、13、14和16良好。實施例15艦。另外，對#^只電P且的評價，實施例1一15、17—20在50—200一'厘米范圍內(nèi)。實施例16在400-600pn，厘米范圍內(nèi)。除了使用表5所示的鋁粉末、玻璃粉^^感光性樹脂成，恪感光性糊劑外，其它與實施例1相同，在玻璃±依娜成感光性糊劑層、固化圖案、電極圖案。接著，禾i」用戰(zhàn)的vm方法評價固化圖案和電極圖案。評價結(jié)果示于表5。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table>如表5所示，對顯像后和^^的iTO，比較例1出現(xiàn)凝^者化，不能進(jìn)行評價。另外，觀察電極圖案的剝離。在術(shù)只電阻的評價中，比較例1在400—600^'厘米范圍內(nèi)。權(quán)利要求1.一種感光性糊劑組合物，其特征是包含50重量％粒徑(D50)為2.0-20.0微米的鋁粉末(A)、堿可溶性樹脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)和光聚合引發(fā)劑(E)。2.按權(quán)利要求1記載的感光性糊劑組合物，其特征，包含50重量％粒徑(D50)為0,2—4.0的玻璃粉末(B)。3.按權(quán)利要求2記載的感光性糊劑組糊，其特征是所述的玻璃粉末(B)是軟化點為350—700'C的玻^^末，以感光性糊劑組糊的總重影十，戶腿的玻璃粉末(B)含量為0.5-15M%。4.—種形成圖案的方法，其特征是包括由權(quán)利要求1-3中任一項記載的感光性糊劑組^tl，在上形成感光性糊劑層的工序、對該糊齊l展進(jìn)行曝光處理形成圖鎌像的工序、對該糊齊幅進(jìn)行顯像處理形成圖案的工序、和對該圖^a行燒成，的工序。全文摘要本發(fā)明提供一種能廉價形成高清晰圖案的、且成膜后對陶瓷、硅和玻璃基板具有高粘接強度的感光性糊劑組合物。所述感光性糊劑組合物的特征是包含50重量％粒徑(D50)為2.0-20.0微米的鋁粉末(A)、堿可溶性樹脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)和光聚合引發(fā)劑(E)。文檔編號G03F7/004GK101354533SQ20081016114公開日2009年1月28日申請日期2008年7月9日優(yōu)先權(quán)日2007年7月9日發(fā)明者工藤和生,板野考史申請人:Jsr株式會社