專(zhuān)利名稱(chēng)：：具有擴(kuò)散在顯示元件的襯底中的過(guò)濾材料的顯示元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明的領(lǐng)域涉及微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystem，MEMS)。
背景技術(shù)：
：微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)包含微機(jī)械元件、激活器和電子元件。可使用沉積、蝕刻和/或其它蝕刻去除襯底和/或已沉積材料層的部分或者添加層以形成電裝置和機(jī)電裝置的微加工工藝來(lái)產(chǎn)生微機(jī)械元件。一種類(lèi)型的MEMS裝置稱(chēng)為干涉儀調(diào)制器(interferometricmodulator)。如本文所使用，術(shù)語(yǔ)干涉儀調(diào)制器或干涉儀光調(diào)制器指的是一種使用光學(xué)干涉原理選擇性地吸收且/或反射光的裝置。在某些實(shí)施例中，干涉儀調(diào)制器可包括一對(duì)導(dǎo)電板，其中之一或兩者可能整體或部分透明且/或具有反射性，且能夠在施加適當(dāng)電信號(hào)時(shí)進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)。在特定實(shí)施例中，一個(gè)板可包括沉積在襯底上的固定層，且另一個(gè)板可包括由氣隙與固定層分離的金屬薄膜。如本文更詳細(xì)描述，一個(gè)板相對(duì)于另一個(gè)板的位置可改變?nèi)肷湓诟缮鎯x調(diào)制器上的光的光學(xué)干涉。這些裝置具有廣范圍的應(yīng)用，且在此項(xiàng)技術(shù)中，利用且/或修改這些類(lèi)型裝置的特性使得其特征可被發(fā)掘用于改進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品和創(chuàng)建尚未開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品，將是有益的。
發(fā)明內(nèi)容在一個(gè)實(shí)施例中，一種形成顯示裝置的方法包括將材料擴(kuò)散到襯底中，所述材料具有與所述襯底不同的光學(xué)特性；和在襯底上方形成至少一個(gè)光調(diào)制元件。所述光調(diào)制元件包括形成光學(xué)腔的部分反射表面和實(shí)質(zhì)上反射表面，所述反射表面中的至少一者可相對(duì)于另一者移動(dòng)以調(diào)制所述光學(xué)腔。在另一實(shí)施例中，一種顯示裝置包括至少一個(gè)光調(diào)制元件，其包括第一和第二反射表面，所述第二表面可相對(duì)于所述第一表面移動(dòng)；和襯底，所述光調(diào)制元件設(shè)置在所述襯底上方，其中所述襯底包括透射彩色光的濾色器(colorfilter)。在另一實(shí)施例中，一種顯示裝置包括用于調(diào)制光的構(gòu)件和用于支撐所述光調(diào)制構(gòu)件的構(gòu)件，以及用于過(guò)濾設(shè)置在所述支撐構(gòu)件中的光的構(gòu)件。所述用于調(diào)制光的構(gòu)件包括用于反射光的第一和第二構(gòu)件，所述第二反射構(gòu)件可相對(duì)于所述第一反射構(gòu)件移動(dòng)。在另一實(shí)施例中，一種形成顯示裝置的方法包括形成一包括經(jīng)配置以限制顯示裝置的視場(chǎng)(field-of-view)的復(fù)數(shù)個(gè)元件的襯底；和在襯底上方形成至少一個(gè)光調(diào)制元件。所述光調(diào)制元件包括形成光學(xué)腔的部分反射表面和實(shí)質(zhì)上反射表面，所述反射表面中的至少一者可相對(duì)于另一者移動(dòng)以調(diào)制所述光學(xué)腔。在另一實(shí)施例中，一種顯示裝置包括至少一復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件，其每一者包括第一和第二反射表面，所述第二表面可相對(duì)于所述第一表面移動(dòng)；和襯底，所述至少一復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件設(shè)置在所述襯底上方，其中所述襯底包括經(jīng)配置以限制顯示裝置的視場(chǎng)的復(fù)數(shù)個(gè)元件。在另一實(shí)施例中，一種顯示裝置包括用于調(diào)制光的構(gòu)件，和用于支撐所述光調(diào)制構(gòu)件的構(gòu)件，以及用于限制支撐構(gòu)件中的視場(chǎng)的構(gòu)件。所述用于調(diào)制光的構(gòu)件包括用于反射光的第一和第二構(gòu)件，所述第二反射構(gòu)件可相對(duì)于所述第一反射構(gòu)件移動(dòng)。在另一實(shí)施例中，一種形成顯示裝置的方法包括將襯底材料與過(guò)濾材料組合以便形成混合物；加熱混合物使得襯底材料實(shí)質(zhì)上熔融且過(guò)濾材料擴(kuò)散在熔融的襯底材料內(nèi)；冷卻混合物以便形成襯底；和在襯底上方形成至少一個(gè)光調(diào)制元件，所述光調(diào)制元件包括形成光學(xué)腔的部分反射表面和實(shí)質(zhì)上反射表面，所述反射表面中的至少一者可相對(duì)于另一者移動(dòng)以調(diào)制所述光學(xué)腔。在另一實(shí)施例中，一種形成顯示裝置的方法包括形成復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件，其每一者包括第一和第二反射表面，所述第二表面可相對(duì)于所述第一表面移動(dòng)；形成襯底，所述襯底中包含第一和第二吸收區(qū)域，所述第一和第二吸收區(qū)域具有不同的光學(xué)透射特性；和將所述復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件設(shè)置在所述襯底上方。在另一實(shí)施例中，一種顯示裝置包括復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件，其每一者包括第一和第二反射表面，所述第二表面可相對(duì)于所述第一表面移動(dòng)；和襯底，所述復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件設(shè)置在所述襯底上方，其中所述襯底中包含第一和第二吸收區(qū)域，所述第一和第二吸收區(qū)域具有不同的光學(xué)透射特性。在另一實(shí)施例中，一種顯示裝置包括復(fù)數(shù)個(gè)用于調(diào)制光的構(gòu)件，和包含第一和第二用于吸收的構(gòu)件的用于支撐所述復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制構(gòu)件的構(gòu)件，所述第一和第二吸收構(gòu)件具有不同的光學(xué)透射特性，其中光調(diào)制構(gòu)件設(shè)置在所述支撐構(gòu)件上方。用于調(diào)制光的構(gòu)件包括用于反射光的第一和第二構(gòu)件，所述第二反射構(gòu)件可相對(duì)于所述第一反射構(gòu)件移動(dòng)。圖1是描繪干涉儀調(diào)制器顯示器的一個(gè)實(shí)施例的一部分的等角視圖，其中第一干涉儀調(diào)制器的可移動(dòng)反射層處于松弛位置，且第二干涉儀調(diào)制器的可移動(dòng)反射層處于激活位置。圖2是說(shuō)明并入有3×3干涉儀調(diào)制器顯示器的電子裝置的一個(gè)實(shí)施例的系統(tǒng)方框圖。圖3是圖1的干涉儀調(diào)制器的一個(gè)示范性實(shí)施例的可移動(dòng)鏡位置對(duì)所施加電壓的圖。圖4是可用于驅(qū)動(dòng)干涉儀調(diào)制器顯示器的一組行和列電壓的說(shuō)明。圖5A說(shuō)明圖2的3×3干涉儀調(diào)制器顯示器中的顯示數(shù)據(jù)的一個(gè)示范性幀。圖5B說(shuō)明可用于對(duì)圖5A的幀進(jìn)行寫(xiě)入的行和列信號(hào)的一個(gè)示范性時(shí)序圖。圖6A和6B是說(shuō)明包括復(fù)數(shù)個(gè)干涉儀調(diào)制器的視覺(jué)顯示裝置的實(shí)施例的系統(tǒng)方框圖。圖7A是圖1的裝置的橫截面。圖7B是干涉儀調(diào)制器的替代實(shí)施例的橫截面。圖7C是干涉儀調(diào)制器的另一替代實(shí)施例的橫截面。圖7D是干涉儀調(diào)制器的又一替代實(shí)施例的橫截面。圖7E是干涉儀調(diào)制器的額外替代實(shí)施例的橫截面。圖8是在襯底的選定部分中具有暗著色的干涉儀調(diào)制器的橫截面。圖9是在襯底中具有彩色著色的干涉儀調(diào)制器的橫截面。圖10是在襯底中具有選擇性彩色著色的干涉儀調(diào)制器的橫截面，其中多種著色顏色選擇性地并入在襯底中。圖11A是在襯底中具有彩色著色的另一干涉儀調(diào)制器的橫截面。圖11B是說(shuō)明包含綠色調(diào)制元件和并入有品紅過(guò)濾材料的襯底的一個(gè)實(shí)施例的光譜響應(yīng)的圖形圖。圖12A說(shuō)明具有并入在襯底中的視場(chǎng)過(guò)濾器的干涉儀調(diào)制器。圖12B-12C說(shuō)明在襯底中制造視場(chǎng)過(guò)濾器的示范性方法。圖13是在襯底中具有光致發(fā)光材料的干涉儀調(diào)制器的橫截面。具體實(shí)施例方式以下詳細(xì)描述針對(duì)本發(fā)明的某些特定實(shí)施例。本發(fā)明的各種實(shí)施例(例如)涉及將光學(xué)過(guò)濾器功能性并入到顯示元件的襯底中。例如，過(guò)濾器功能性可由例如顏料材料、熒光材料和不透明材料的任何過(guò)濾材料提供。過(guò)濾材料可在形成襯底時(shí)并入在襯底中，或可通過(guò)一如下進(jìn)行的工藝而選擇性地?cái)U(kuò)散在襯底中，所述工藝是掩蔽襯底，將襯底暴露于過(guò)濾材料，并加熱襯底以便將過(guò)濾材料擴(kuò)散在襯底中。然而，本發(fā)明可以許多不同方式實(shí)施。在本描述內(nèi)容中參看了附圖，附圖中所有相同部分用相同標(biāo)號(hào)表示。如從以下描述中將了解，所述實(shí)施例可實(shí)施在經(jīng)配置以顯示不論運(yùn)動(dòng)(例如，視頻)還是固定(例如，靜止圖像)的且不論文字還是圖畫(huà)的圖像的任何裝置中。更明確地說(shuō)，預(yù)期所述實(shí)施例可實(shí)施在多種電子裝置中或與多種電子裝置關(guān)聯(lián)，所述多種電子裝置例如(但不限于)移動(dòng)電話、無(wú)線裝置、個(gè)人數(shù)據(jù)助理(PDA)、手提式或便攜式計(jì)算機(jī)、GPS接收器/導(dǎo)航器、相機(jī)、MP3播放器、攝像機(jī)、游戲控制臺(tái)、手表、時(shí)鐘、計(jì)算器、電視監(jiān)視器、平板顯示器、計(jì)算機(jī)監(jiān)視器、汽車(chē)顯示器(例如，里程表顯示器等)、座艙控制器和/或顯示器、相機(jī)視圖的顯示器(例如，車(chē)輛中后視相機(jī)的顯示器)、電子相片、電子廣告牌或指示牌、投影儀、建筑結(jié)構(gòu)、包裝和美學(xué)結(jié)構(gòu)(例如，針對(duì)一件珠寶的圖像的顯示器)。具有與本文中描述的裝置類(lèi)似的結(jié)構(gòu)的MEMS裝置也可用于例如電子切換裝置的非顯示器應(yīng)用中。圖1中說(shuō)明包括干涉儀MEMS顯示元件的一個(gè)干涉儀調(diào)制器顯示器的實(shí)施例。在這些裝置中，像素處于明亮狀態(tài)或黑暗狀態(tài)。在明亮(“接通”或“開(kāi)啟”)狀態(tài)下，顯示元件將入射可見(jiàn)光的大部分反射到用戶(hù)。當(dāng)在黑暗(“斷開(kāi)”或“關(guān)閉”)狀態(tài)下時(shí)，顯示元件將極少的入射可見(jiàn)光反射到用戶(hù)。依據(jù)實(shí)施例而定，可顛倒“接通”和“斷開(kāi)”狀態(tài)的光反射性質(zhì)。MEMS像素可經(jīng)配置而主要在選定的顏色處反射，從而允許除了黑白顯示以外的彩色顯示。圖1是描述視覺(jué)顯示器的一系列像素中的兩個(gè)相鄰像素的等角視圖，其中每一像素包括MEMS干涉儀調(diào)制器。在一些實(shí)施例中，干涉儀調(diào)制器顯示器包括這些干涉儀調(diào)制器的一行/列陣列。每一干涉儀調(diào)制器包含一對(duì)反射層，其定位成彼此相距可變且可控制的距離以形成具有至少一個(gè)可變尺寸的諧振光學(xué)腔。在一個(gè)實(shí)施例中，可在兩個(gè)位置之間移動(dòng)所述反射層之一。在第一位置(本文中稱(chēng)為松弛位置)中，可移動(dòng)反射層定位成距固定部分反射層相對(duì)較大的距離。在第二位置(本文中稱(chēng)為激活位置)中，可移動(dòng)反射層定位成更緊密鄰近所述部分反射層。視可移動(dòng)反射層的位置而定，從所述兩個(gè)層反射的入射光相長(zhǎng)性地或相干性地進(jìn)行干涉，從而為每一像素產(chǎn)生全反射狀態(tài)或非反射狀態(tài)。圖1中像素陣列的所描繪部分包含兩個(gè)相鄰干涉儀調(diào)制器12a和12b。在左側(cè)干涉儀調(diào)制器12a中，說(shuō)明可移動(dòng)反射層14a處于距包含部分反射層的光學(xué)堆疊16a預(yù)定距離處的松弛位置中。在右側(cè)干涉儀調(diào)制器12b中，說(shuō)明可移動(dòng)反射層14b處于鄰近于光學(xué)堆疊16b的激活位置中。如本文所引用的光學(xué)堆疊16a和16b(統(tǒng)稱(chēng)為光學(xué)堆疊16)通常包括若干熔合層(fusedlayer)，所述熔合層可包含例如氧化銦錫(ITO)的電極層、例如鉻的部分反射層和透明電介質(zhì)。因此，光學(xué)堆疊16是導(dǎo)電的、部分透明且部分反射的，且可通過(guò)(例如)將上述層的一者或一者以上沉積到透明襯底20上來(lái)制造。在一些實(shí)施例中，所述層經(jīng)圖案化成為多個(gè)平行條帶，且如下文中進(jìn)一步描述，可在顯示裝置中形成行電極。可移動(dòng)反射層14a、14b可形成為沉積金屬層(一層或多層)的一系列平行條帶(與行電極16a、16b垂直)，所述金屬層沉積在柱18和沉積于柱18之間的介入犧牲材料的頂部上。當(dāng)蝕刻去除犧牲材料時(shí)，可移動(dòng)反射層14a、14b通過(guò)所界定的間隙19而與光學(xué)堆疊16a、16b分離。例如鋁的高度導(dǎo)電且反射的材料可用于反射層14，且這些條帶可在顯示裝置中形成列電極。在不施加電壓的情況下，腔19保留在可移動(dòng)反射層14a與光學(xué)堆疊16a之間，其中可移動(dòng)反射層14a處于機(jī)械松弛狀態(tài)，如圖1中像素12a所說(shuō)明。然而，當(dāng)將電位差施加到選定的行和列時(shí)，形成在相應(yīng)像素處的行電極與列電極的交叉處的電容器變得帶電，且靜電力將所述電極拉在一起。如果電壓足夠高，那么可移動(dòng)反射層14變形且被迫抵靠光學(xué)堆疊16。光學(xué)堆疊16內(nèi)的介電層(在此圖中未圖示)可防止短路并控制層14與16之間的分離距離，如圖1中右側(cè)的像素12b所說(shuō)明。不管所施加的電位差的極性如何，表現(xiàn)均相同。以此方式，可控制反射像素狀態(tài)對(duì)非反射像素狀態(tài)的行/列激活在許多方面類(lèi)似于常規(guī)LCD和其它顯示技術(shù)中所使用的行/列激活。圖2到5B說(shuō)明在顯示器應(yīng)用中使用干涉儀調(diào)制器陣列的一個(gè)示范性工藝和系統(tǒng)。圖2是說(shuō)明可并入有本發(fā)明各方面的電子裝置的一個(gè)實(shí)施例的系統(tǒng)方框圖。在所述示范性實(shí)施例中，所述電子裝置包含處理器21，其可為任何通用單芯片或多芯片微處理器(例如ARM、Pentium、PentiumII、PentiumIII、PentiumIV、PentiumPro、8051、MIPS、PowerPC、ALPHA)，或任何專(zhuān)用微處理器(例如數(shù)字信號(hào)處理器、微控制器)，或可編程門(mén)陣列。如此項(xiàng)技術(shù)中常規(guī)的做法，處理器21可經(jīng)配置以執(zhí)行一個(gè)或一個(gè)以上軟件模塊。除了執(zhí)行操作系統(tǒng)外，所述處理器可經(jīng)配置以執(zhí)行一個(gè)或一個(gè)以上軟件應(yīng)用程序，包含網(wǎng)絡(luò)瀏覽器、電話應(yīng)用程序、電子郵件程序或任何其它軟件應(yīng)用程序。在一個(gè)實(shí)施例中，處理器21還經(jīng)配置以與陣列驅(qū)動(dòng)器22連通。在一個(gè)實(shí)施例中，所述陣列驅(qū)動(dòng)器22包含將信號(hào)提供到面板或顯示器陣列(顯示器)30的行驅(qū)動(dòng)器電路24和列驅(qū)動(dòng)器電路26。在圖2中以線1-1展示圖1中說(shuō)明的陣列的橫截面。對(duì)于MEMS干涉儀調(diào)制器來(lái)說(shuō)，行/列激活協(xié)議可利用圖3中說(shuō)明的這些裝置的滯后性質(zhì)?？赡苄枰?例如)10伏的電位差來(lái)促使可移動(dòng)層從松弛狀態(tài)變形為激活狀態(tài)。然而，當(dāng)電壓從所述值減小時(shí)，可移動(dòng)層在電壓降回10伏以下時(shí)維持其狀態(tài)。在圖3的示范性實(shí)施例中，可移動(dòng)層直到電壓降到2伏以下時(shí)才完全松弛。因此在圖3中說(shuō)明的實(shí)例中存在約3到7V的電壓范圍，在所述范圍中存在所施加電壓的窗口，在所述窗口內(nèi)裝置在松弛狀態(tài)或激活狀態(tài)中均是穩(wěn)定的。此窗口在本文中稱(chēng)為“滯后窗口(hysteresiswindow)”或“穩(wěn)定窗口(stabilitywindow)”。對(duì)于具有圖3的滯后特性的顯示器陣列來(lái)說(shuō)，可設(shè)計(jì)行/列激活協(xié)議使得在行選通期間，已選通行中待激活的像素暴露于約10伏的電壓差，且待松弛的像素暴露于接近零伏的電壓差。在選通之后，所述像素暴露于約5伏的穩(wěn)態(tài)電壓差使得其維持在行選通使其所處的任何狀態(tài)中。在此實(shí)例中，每一像素在被寫(xiě)入之后經(jīng)歷3-7伏的“穩(wěn)定窗口”內(nèi)的電位差。此特征使圖1中說(shuō)明的像素設(shè)計(jì)在相同的施加電壓條件下在激活或松弛預(yù)存在狀態(tài)下均是穩(wěn)定的。因?yàn)楦缮鎯x調(diào)制器的每一像素(不論處于激活還是松弛狀態(tài))本質(zhì)上是由固定反射層和移動(dòng)反射層形成的電容器，所以可在滯后窗口內(nèi)的一電壓下維持此穩(wěn)定狀態(tài)而幾乎無(wú)功率消耗。本質(zhì)上，如果所施加的電壓是固定的，那么沒(méi)有電流流入像素中。在典型應(yīng)用中，可通過(guò)根據(jù)第一行中所需組的激活像素確認(rèn)所述組列電極來(lái)產(chǎn)生顯示幀。接著將行脈沖施加到行1電極，從而對(duì)應(yīng)于所確認(rèn)的列線而激活像素。接著改變所述組已確認(rèn)列電極以對(duì)應(yīng)于第二行中所需組的激活像素。接著將脈沖施加到行2電極，從而根據(jù)已確認(rèn)的列電極而激活行2中的適當(dāng)像素。行1像素不受行2脈沖影響，且維持在其在行1脈沖期間被設(shè)定的狀態(tài)中?？梢赃B續(xù)方式對(duì)整個(gè)系列的行重復(fù)此過(guò)程以產(chǎn)生幀。通常，通過(guò)以每秒某一所需數(shù)目的幀的速度連續(xù)地重復(fù)此過(guò)程來(lái)用新的顯示數(shù)據(jù)刷新且/或更新所述幀。用于驅(qū)動(dòng)像素陣列的行和列電極以產(chǎn)生顯示幀的廣泛種類(lèi)的協(xié)議也是眾所周知的且可結(jié)合本發(fā)明使用。圖4、5A和5B說(shuō)明用于在圖2的3×3陣列上形成顯示幀的一個(gè)可能的激活協(xié)議。圖4說(shuō)明可用于使像素展示出圖3的滯后曲線的一組可能的列和行電壓電平。在圖4實(shí)施例中，激活像素涉及將適當(dāng)列設(shè)定為-Vbias，且將適當(dāng)行設(shè)定為+ΔV，其分別可對(duì)應(yīng)于-5伏和+5伏。松弛像素是通過(guò)將適當(dāng)列設(shè)定為+Vbias，且將適當(dāng)行設(shè)定為相同的+ΔV，從而在像素上產(chǎn)生零伏電位差而實(shí)現(xiàn)的。在行電壓維持在零伏的那些行中，不管列處于+Vbias還是-Vbias，像素在任何其最初所處的狀態(tài)中均是穩(wěn)定的。同樣如圖4中所說(shuō)明，將了解，可使用具有與上述電壓的極性相反的極性的電壓，例如，激活像素可涉及將適當(dāng)列設(shè)定為+Vbias，且將適當(dāng)行設(shè)定為-ΔV。在此實(shí)施例中，釋放像素是通過(guò)將適當(dāng)列設(shè)定為-Vbias，且將適當(dāng)行設(shè)定為相同的-ΔV，從而在像素上產(chǎn)生零伏電位差而實(shí)現(xiàn)的。圖5B是展示施加到圖2的3×3陣列的一系列行和列信號(hào)的時(shí)序圖，所述系列的行和列信號(hào)將產(chǎn)生圖5A中說(shuō)明的顯示器布置，其中被激活像素為非反射的。在對(duì)圖5A中說(shuō)明的幀進(jìn)行寫(xiě)入之前，像素可處于任何狀態(tài)，且在本實(shí)例中所有行均處于0伏，且所有列均處于+5伏。在這些所施加的電壓的情況下，所有像素在其既有的激活或松弛狀態(tài)中均是穩(wěn)定的。在圖5A的幀中，像素(1，1)、(1，2)、(2，2)、(3，2)和(3，3)被激活。為了實(shí)現(xiàn)此目的，在行1的“線時(shí)間(linetime)”期間，將列1和2設(shè)定為-5伏，且將列3設(shè)定為+5伏。因?yàn)樗邢袼鼐Ａ粼?-7伏的穩(wěn)定窗口中，所以這并不改變?nèi)魏蜗袼氐臓顟B(tài)。接著用從0升到5伏且返回零的脈沖選通行1。這激活了(1，1)和(1，2)像素且松弛了(1，3)像素。陣列中其它像素均不受影響。為了視需要設(shè)定行2，將列2設(shè)定為-5伏，且將列1和3設(shè)定為+5伏。施加到行2的相同選通接著將激活像素(2，2)且松弛像素(2，1)和(2，3)。同樣，陣列中其它像素均不受影響。通過(guò)將列2和3設(shè)定為-5伏且將列1設(shè)定為+5伏來(lái)類(lèi)似地設(shè)定行3。行3選通設(shè)定行3像素，如圖5A中所示。在對(duì)幀進(jìn)行寫(xiě)入之后，行電位為零，且列電位可維持在+5或-5伏，且接著顯示器在圖5A的布置中是穩(wěn)定的。將了解，可將相同程序用于數(shù)十或數(shù)百個(gè)行和列的陣列。還將應(yīng)了解，用于執(zhí)行行和列激活的電壓的時(shí)序、序列和電平可在上文所概述的一般原理內(nèi)廣泛變化，且上文的實(shí)例僅為示范性的，且任何激活電壓方法均可與本文描述的系統(tǒng)和方法一起使用。圖6A和6B是說(shuō)明顯示裝置40的實(shí)施例的系統(tǒng)方框圖。顯示裝置40可為(例如)蜂窩式電話或移動(dòng)電話。然而，顯示裝置40的相同組件或其稍微變化形式也說(shuō)明例如電視和便攜式媒體播放器的各種類(lèi)型的顯示裝置。顯示裝置40包含外殼41、顯示器30、天線43、揚(yáng)聲器45、輸入裝置48和麥克風(fēng)46。外殼41通常由所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員眾所周知的多種制造工藝的任一者形成，所述工藝包含注射模制和真空成形。另外，外殼41可由多種材料的任一者制成，所述材料包含(但不限于)塑料、金屬、玻璃、橡膠和陶瓷，或其組合。在一個(gè)實(shí)施例中，外殼41包含可去除部分(未圖示)，所述可去除部分可與其它具有不同顏色或含有不同標(biāo)記、圖畫(huà)或符號(hào)的可去除部分互換。如本文中所描述，示范性顯示裝置40的顯示器30可為包含雙穩(wěn)態(tài)顯示器(bi-stabledisplay)在內(nèi)的多種顯示器的任一者。在其它實(shí)施例中，如所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員眾所周知，顯示器30包含例如如上所述的等離子、EL、OLED、STNLCD或TFTLCD的平板顯示器，或例如CRT或其它電子管裝置的非平板顯示器。然而，出于描述本實(shí)施例的目的，如本文中所描述，顯示器30包含干涉儀調(diào)制器裝置。圖6B中示意說(shuō)明示范性顯示裝置40的一個(gè)實(shí)施例的組件。所說(shuō)明的示范性顯示裝置40包含外殼41且可包含至少部分封閉在所述外殼41中的額外組件。舉例來(lái)說(shuō)，在一個(gè)實(shí)施例中，示范性顯示裝置40包含網(wǎng)絡(luò)接口27，所述網(wǎng)絡(luò)接口27包含耦合到收發(fā)器47的天線43。收發(fā)器47連接到處理器21，處理器21連接到調(diào)節(jié)硬件52。調(diào)節(jié)硬件52可經(jīng)配置以調(diào)節(jié)信號(hào)(例如，對(duì)信號(hào)進(jìn)行濾波)。調(diào)節(jié)硬件52連接到揚(yáng)聲器45和麥克風(fēng)46。處理器21也連接到輸入裝置48和驅(qū)動(dòng)器控制器29。驅(qū)動(dòng)器控制器29耦合到幀緩沖器28且耦合到陣列驅(qū)動(dòng)器22，所述陣列驅(qū)動(dòng)器22進(jìn)而耦合到顯示器陣列30。如特定示范性顯示裝置40的設(shè)計(jì)所要求，電源50將功率提供到所有組件。網(wǎng)絡(luò)接口27包含天線43和收發(fā)器47使得示范性顯示裝置40可經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與一個(gè)或一個(gè)以上裝置通信。在一個(gè)實(shí)施例中，網(wǎng)絡(luò)接口27也可具有某些處理能力以減輕對(duì)處理器21的要求。天線43是所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員已知的用于傳輸和接收信號(hào)的任何天線。在一個(gè)實(shí)施例中，所述天線根據(jù)IEEE802.11標(biāo)準(zhǔn)(包含IEEE802.11(a)、(b)或(g))來(lái)傳輸和接收RF信號(hào)。在另一實(shí)施例中，所述天線根據(jù)BLUETOOTH標(biāo)準(zhǔn)來(lái)傳輸和接收RF信號(hào)。在蜂窩式電話的情況下，所述天線經(jīng)設(shè)計(jì)以接收CDMA、GSM、AMPS或其它用于在無(wú)線小區(qū)電話網(wǎng)絡(luò)內(nèi)通信的已知信號(hào)。收發(fā)器47預(yù)處理從天線43接收到的信號(hào)，使得處理器21可接收所述信號(hào)并進(jìn)一步對(duì)所述信號(hào)進(jìn)行處理。收發(fā)器47還處理從處理器21接收到的信號(hào)使得可經(jīng)由天線43從示范性顯示裝置40傳輸所述信號(hào)。在一替代實(shí)施例中，收發(fā)器47可由接收器代替。在又一替代實(shí)施例中，網(wǎng)絡(luò)接口27可由可存儲(chǔ)或產(chǎn)生待發(fā)送到處理器21的圖像數(shù)據(jù)的圖像源代替。舉例來(lái)說(shuō)，所述圖像源可為數(shù)字視頻光盤(pán)(DVD)或含有圖像數(shù)據(jù)的硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器，或產(chǎn)生圖像數(shù)據(jù)的軟件模塊。處理器21實(shí)質(zhì)上控制示范性顯示裝置40的全部操作。處理器21接收例如來(lái)自網(wǎng)絡(luò)接口27或圖像源的壓縮圖像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)，并將所述數(shù)據(jù)處理成原始圖像數(shù)據(jù)或處理成易被處理成原始圖像數(shù)據(jù)的格式。處理器21接著將已處理的數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動(dòng)器控制器29或發(fā)送到幀緩沖器28以供存儲(chǔ)。原始數(shù)據(jù)通常是指識(shí)別圖像內(nèi)每一位置處的圖像特性的信息。舉例來(lái)說(shuō)，這些圖像特性可包含顏色、飽和度和灰度級(jí)。在一個(gè)實(shí)施例中，處理器21包含微控制器、CPU或邏輯單元以控制示范性顯示裝置40的操作。調(diào)節(jié)硬件52通常包含放大器和濾波器，以用于將信號(hào)傳輸?shù)綋P(yáng)聲器45，且用于從麥克風(fēng)46接收信號(hào)。調(diào)節(jié)硬件52可為示范性顯示裝置40內(nèi)的離散組件，或可并入在處理器21或其它組件內(nèi)。驅(qū)動(dòng)器控制器29直接從處理器21或從幀緩沖器28取得由處理器21產(chǎn)生的原始圖像數(shù)據(jù)，并適當(dāng)?shù)刂匦赂袷交鲈紙D像數(shù)據(jù)以供高速傳輸?shù)疥嚵序?qū)動(dòng)器22。具體來(lái)說(shuō)，驅(qū)動(dòng)器控制器29將原始圖像數(shù)據(jù)重新格式化為具有類(lèi)似光柵的格式的數(shù)據(jù)流，使得其具有適于在顯示器陣列30上進(jìn)行掃描的時(shí)間次序。接著，驅(qū)動(dòng)器控制器29將已格式化的信息發(fā)送到陣列驅(qū)動(dòng)器22。盡管驅(qū)動(dòng)器控制器29(例如LCD控制器)通常與系統(tǒng)處理器21關(guān)聯(lián)而作為獨(dú)立的集成電路(IC)，但可以許多方式實(shí)施這些控制器。其可作為硬件嵌入處理器21中，作為軟件嵌入處理器21中，或與陣列驅(qū)動(dòng)器22完全集成在硬件中。通常，陣列驅(qū)動(dòng)器22從驅(qū)動(dòng)器控制器29接收已格式化的信息且將視頻數(shù)據(jù)重新格式化為一組平行波形，所述波形以每秒多次的速度被施加到來(lái)自顯示器的x-y像素矩陣的數(shù)百且有時(shí)數(shù)千個(gè)引線。在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器控制器29、陣列驅(qū)動(dòng)器22和顯示器陣列30適用于本文描述的任意類(lèi)型的顯示器。舉例來(lái)說(shuō)，在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器控制器29是常規(guī)顯示器控制器或雙穩(wěn)態(tài)顯示器控制器(例如，干涉儀調(diào)制器控制器)。在另一實(shí)施例中，陣列驅(qū)動(dòng)器22是常規(guī)驅(qū)動(dòng)器或雙穩(wěn)態(tài)顯示器驅(qū)動(dòng)器(例如，干涉儀調(diào)制器顯示器)。在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器控制器29與陣列驅(qū)動(dòng)器22集成。此實(shí)施例在例如蜂窩式電話、手表和其它小面積顯示器的高度集成系統(tǒng)中是普遍的。在又一實(shí)施例中，顯示器陣列30是典型的顯示器陣列或雙穩(wěn)態(tài)顯示器陣列(例如，包含干涉儀調(diào)制器陣列的顯示器)。輸入裝置48允許用戶(hù)控制示范性顯示裝置40的操作。在一個(gè)實(shí)施例中，輸入裝置48包含例如QWERTY鍵盤(pán)或電話鍵區(qū)的鍵區(qū)、按鈕、開(kāi)關(guān)、觸敏屏幕、壓敏或熱敏薄膜。在一個(gè)實(shí)施例中，麥克風(fēng)46是用于示范性顯示裝置40的輸入裝置。當(dāng)使用麥克風(fēng)46將數(shù)據(jù)輸入到所述裝置時(shí)，用戶(hù)可提供聲音命令以便控制示范性顯示裝置40的操作。電源50可包含此項(xiàng)技術(shù)中眾所周知的多種能量存儲(chǔ)裝置。舉例來(lái)說(shuō)，在一個(gè)實(shí)施例中，電源50是例如鎳鎘電池或鋰離子電池的可再充電電池。在另一實(shí)施例中，電源50是可再生能源、電容器或太陽(yáng)能電池，包含塑料太陽(yáng)能電池和太陽(yáng)能電池涂料。在另一實(shí)施例中，電源50經(jīng)配置以從壁式插座接收功率。在某些實(shí)施方案中，如上文中所描述，控制可編程性駐存在驅(qū)動(dòng)器控制器中，其可位于電子顯示器系統(tǒng)中的若干位置中。在某些情況下，控制可編程性駐存在陣列驅(qū)動(dòng)器22中。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，上述最優(yōu)化可實(shí)施在任何數(shù)目的硬件和/或軟件組件中且可以各種配置實(shí)施。根據(jù)上文陳述的原理而操作的干涉儀調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)可廣泛變化。舉例來(lái)說(shuō)，圖7A-7E說(shuō)明可移動(dòng)反射層14及其支撐結(jié)構(gòu)的五個(gè)不同實(shí)施例。圖7A是圖1的實(shí)施例的橫截面，其中金屬材料條帶14沉積在垂直延伸的支撐件18上。在圖7B中，可移動(dòng)反射層14在系鏈(tether)32上僅在隅角處附接到支撐件。在圖7C中，可移動(dòng)反射層14從可包括柔性金屬的可變形層34懸垂下來(lái)。所述可變形層34直接或間接地連接到圍繞可變形層34的周邊的襯底20。這些連接在本文中稱(chēng)為支柱。圖7D中說(shuō)明的實(shí)施例具有支柱插塞42，可變形層34擱在所述支柱插塞42上。如圖7A-7C所示，可移動(dòng)反射層14保持懸浮在腔上方，但可變形層34并不通過(guò)填充可變形層34與光學(xué)堆疊16之間的孔而形成所述支柱。確切地說(shuō)，支柱由用于形成支柱插塞42的平坦化材料形成。圖7E中說(shuō)明的實(shí)施例是基于圖7D中展示的實(shí)施例，但也可適于與圖7A-7C中說(shuō)明的實(shí)施例以及未圖示的額外實(shí)施例的任一者一起發(fā)揮作用。在圖7E中所示的實(shí)施例中，已使用金屬或其它導(dǎo)電材料的額外層來(lái)形成總線結(jié)構(gòu)44。這允許信號(hào)沿著干涉儀調(diào)制器的背面進(jìn)行路由，從而消除許多原本可能必須形成在襯底20上的電極。在例如圖7中所示的那些實(shí)施例的實(shí)施例中，干涉儀調(diào)制器充當(dāng)直接觀看裝置，其中從透明襯底20的前側(cè)觀看圖像，所述側(cè)與上面布置有調(diào)制器的一側(cè)相對(duì)。在這些實(shí)施例中，反射層14在反射層的與襯底20相對(duì)的所述側(cè)以光學(xué)方式遮蔽干涉儀調(diào)制器的一些部分，其包含可變形層34和總線結(jié)構(gòu)44。這允許對(duì)遮蔽區(qū)域進(jìn)行配置和操作而不會(huì)消極地影響圖像質(zhì)量。這種可分離的調(diào)制器結(jié)構(gòu)允許選擇用于調(diào)制器的機(jī)電方面和光學(xué)方面的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料且使其彼此獨(dú)立而發(fā)揮作用。此外，圖7C-7E中所示的實(shí)施例具有源自反射層14的光學(xué)性質(zhì)與其機(jī)械性質(zhì)脫離的額外益處，所述益處由可變形層34執(zhí)行。這允許用于反射層14的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料在光學(xué)性質(zhì)方面得以最優(yōu)化，且用于可變形層34的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料在期望的機(jī)械性質(zhì)方面得以最優(yōu)化。在觀看器與干涉儀調(diào)制器結(jié)構(gòu)之間放置各種類(lèi)型的過(guò)濾器以增強(qiáng)顯示器的質(zhì)量有時(shí)可能是有利的。在一些情況下，這些過(guò)濾器可與干涉儀調(diào)制器結(jié)構(gòu)分離并放置在襯底與觀看器之間。這些分離的過(guò)濾器具有容易更換的優(yōu)點(diǎn)，然而，干涉儀調(diào)制器顯示器封裝的總厚度增加，且在一些情況下可能由于過(guò)濾器-空氣-襯底界面的緣故而引起額外的光學(xué)難題。在其它情況下，過(guò)濾器可并入到膜中，所述膜形成在襯底的一個(gè)或一個(gè)以上表面上或粘合到襯底的一個(gè)或一個(gè)以上表面。然而，由于膜的薄度可能難以將期望的過(guò)濾器功能性并入到膜中。在本發(fā)明各種實(shí)施例中，將過(guò)濾器功能性并入到干涉儀調(diào)制器本身的襯底中，從而排除了對(duì)分離結(jié)構(gòu)的需要。這種系統(tǒng)可簡(jiǎn)化干涉儀調(diào)制器的制造并減小包含過(guò)濾器的干涉儀調(diào)制器的厚度。另外，例如，將過(guò)濾器包含在襯底中而不是單獨(dú)的薄膜中可減小干涉儀調(diào)制器對(duì)濕氣的敏感性和對(duì)刮擦的抵抗力。下文描述襯底過(guò)濾器系統(tǒng)的特定非限定性實(shí)例。圖8是在襯底的選定部分中具有暗著色(darktinting)的干涉儀調(diào)制器800的橫截面?zhèn)纫晥D。干涉儀調(diào)制器800包括通過(guò)支撐件804與部分反射器(partialreflector)802分離的可移動(dòng)鏡806。圖8中，部分反射器802鄰近于包含選擇性暗著色830的襯底810。示范性圖8也說(shuō)明干涉儀調(diào)制器中的電介質(zhì)820和觀看眼(viewingeye)510。如本文所使用，術(shù)語(yǔ)“光調(diào)制元件”和“調(diào)制元件”可交替使用，且每一者包含干涉儀調(diào)制器的可移動(dòng)鏡與部分反射器之間并包含干涉儀調(diào)制器的可移動(dòng)鏡與部分反射器的結(jié)構(gòu)。參看圖8，舉例來(lái)說(shuō)，光調(diào)制元件860包括可移動(dòng)鏡806與部分反射器802之間并包含可移動(dòng)鏡806與部分反射器802的結(jié)構(gòu)。如圖7A中所說(shuō)明，舉例來(lái)說(shuō)，觀看者可經(jīng)由襯底20看見(jiàn)支撐結(jié)構(gòu)18的部分。這些支撐結(jié)構(gòu)18可具有固有的反射性，所述固有的反射性可減小基于干涉儀調(diào)制器的圖像的對(duì)比度和清晰度。此外，每一干涉儀調(diào)制器800(圖8)的邊緣部分807(圖8)甚至在干涉儀調(diào)制器被驅(qū)動(dòng)到黑暗狀態(tài)時(shí)也可展示出反射性，因?yàn)檫吘壊糠?07處的可移動(dòng)鏡806將不會(huì)完全喪失作用。因此，使用圖案化暗過(guò)濾來(lái)掩蔽干涉儀調(diào)制器的支撐結(jié)構(gòu)和邊緣部分的反射性同時(shí)仍然允許沒(méi)有障礙地觀看每一干涉儀調(diào)制器結(jié)構(gòu)的中心，可能是有利的。因此，襯底810可包含由不具有此暗著色的區(qū)域分離的具有暗著色830的區(qū)域830。暗著色可在輕微著色到實(shí)質(zhì)上暗著色的范圍內(nèi)。在一些情況下，著色可能是彩色的。顏色的色調(diào)范圍也可從輕微賦色到深度賦色變化?？墒褂脳l紋、方格或十字形圖案。其它圖案也是可能的。在一個(gè)實(shí)施例中，使用顏料將圖案化暗著色830并入到襯底810中。此項(xiàng)技術(shù)中已知的用于(例如，玻璃或聚合物的)暗著色的任何吸收劑顏料可并入到襯底810中?？墒褂帽娝苤幕蛉源l(fā)明的其它類(lèi)型的顏料或染料或其它材料。在一個(gè)實(shí)施例中，通過(guò)在襯底表面上形成例如顏料材料的過(guò)濾材料的圖案，之后使玻璃軟化以允許過(guò)濾材料擴(kuò)散到襯底810的內(nèi)部中，而在襯底810中形成材料830。更明確地說(shuō)，在襯底810中并入暗著色830或本文描述的任何其它過(guò)濾器的示范性工藝可涉及掩蔽襯底的部分，將過(guò)濾材料涂覆到襯底，和將過(guò)濾材料擴(kuò)散在襯底中。這些工藝可以若干方式來(lái)實(shí)現(xiàn)，下文描述其中一些方式。在一個(gè)實(shí)施例中，以孔來(lái)圖案化包括金屬或其它剛性材料的薄片的蔭罩(shadowmask)，所述孔與襯底中待擴(kuò)散有過(guò)濾材料的部分對(duì)應(yīng)。接著可將蔭罩放置在襯底上，并將過(guò)濾材料涂覆到襯底。涂覆過(guò)濾材料之后，可去除蔭罩，從而期望的區(qū)域上僅留下過(guò)濾材料。在另一實(shí)施例中，可(例如)使用噴墨打印技術(shù)將過(guò)濾材料直接涂覆到襯底。在此實(shí)施例中，可僅將過(guò)濾材料涂覆在襯底的將擴(kuò)散過(guò)濾材料的那些部分上。在另一實(shí)施例中，可使用噴墨打印技術(shù)在襯底上形成掩膜，其中所述掩膜與襯底的非過(guò)濾部分對(duì)應(yīng)，所述非過(guò)濾部分例如襯底810的在圖8中的暗著色830之間的部分。在某些實(shí)施例中，例如，使用結(jié)合到過(guò)濾材料的粘合媒介(例如酒精)將過(guò)濾材料涂覆到襯底810。在有利的實(shí)施例中，粘合材料是蒸發(fā)性的，使得當(dāng)襯底810隨后被加熱時(shí)，將從襯底810去除粘合材料。在另一實(shí)施例中，過(guò)濾材料不包含粘合材料，而是(例如)借助重力保持在襯底810上適當(dāng)位置。也可使用其它方法將襯底810的未掩蔽部分暴露于過(guò)濾材料。在另一實(shí)施例中，使用光刻技術(shù)將過(guò)濾材料涂覆到襯底的選定部分。在一個(gè)實(shí)施例中，首先將過(guò)濾材料涂覆到整個(gè)襯底。接著將光致抗蝕劑材料涂布在過(guò)濾材料上并使用適當(dāng)?shù)墓庠催M(jìn)行圖案化。接著可使用溶劑去除光致抗蝕劑材料的圖案化部分，從而僅在待于襯底中擴(kuò)散過(guò)濾材料的那些部分上留下光致抗蝕劑材料。在一個(gè)實(shí)施例中，相同溶劑或額外溶劑從圖案化部分去除過(guò)濾材料，使得當(dāng)去除剩余的光致抗蝕劑材料時(shí)，過(guò)濾材料僅保留在襯底的期望區(qū)域上。在過(guò)濾材料在襯底上的情況下，使用上文描述的技術(shù)中的任何一種或一種以上技術(shù)或其它適宜的技術(shù)，將襯底810加熱到足以將過(guò)濾材料擴(kuò)散到襯底810中的溫度。在一個(gè)實(shí)施例中，將襯底810加熱到約200-250攝氏度范圍內(nèi)的溫度。在另一實(shí)施例中，將襯底810加熱到約150-300攝氏度范圍內(nèi)的溫度。將襯底810維持在此溫度持續(xù)足以允許期望量的過(guò)濾材料擴(kuò)散在襯底810中的時(shí)間。視特定的過(guò)濾材料、襯底810材料和過(guò)濾規(guī)格而定，此時(shí)段可在幾分鐘到幾個(gè)小時(shí)的范圍內(nèi)，直到過(guò)濾材料實(shí)質(zhì)上擴(kuò)散在襯底810中為止。在某些實(shí)施例中，過(guò)濾材料(例如顏料材料)僅擴(kuò)散穿過(guò)襯底810的厚度的一部分。舉例來(lái)說(shuō)，暗著色830可能僅延伸穿過(guò)襯底810的厚度的約1/N，其中N是正整數(shù)。因此，視過(guò)濾規(guī)格而定，可修改加熱和擴(kuò)散工藝以便促使擴(kuò)散到達(dá)襯底810的期望深度。在其它實(shí)施例中，過(guò)濾材料可在正形成襯底810時(shí)并入在襯底中。舉例來(lái)說(shuō)，在各種實(shí)施例中，襯底810包括通過(guò)熔融聚合物顆粒并形成熔融的聚合物材料片而制成的聚合物材料?？稍诩訜嶂盎蚣訜崞陂g將過(guò)濾材料(例如顏料)添加到聚合物顆粒，并與熔融的顆?；旌?。因此，過(guò)濾材料可實(shí)質(zhì)上均勻地?cái)U(kuò)散在熔融的聚合物中并擴(kuò)散在所得的聚合物襯底810中?？墒褂妙?lèi)似工藝將過(guò)濾材料并入在玻璃襯底810中。在一個(gè)實(shí)施例中，由于襯底810的相對(duì)厚度的緣故，暗著色830中吸收劑顏料的密度不必與著色呈薄膜形狀時(shí)的密度一樣高。過(guò)濾器可替代地包括粘合到干涉儀調(diào)制器的襯底的任一側(cè)的一個(gè)或一個(gè)以上薄膜。當(dāng)這一個(gè)或一個(gè)以上薄膜添加到干涉儀調(diào)制器時(shí)，干涉儀調(diào)制器結(jié)構(gòu)的總厚度增加至少薄膜的厚度。本文描述的干涉儀調(diào)制器實(shí)施例有利地將過(guò)濾材料并入在干涉儀調(diào)制器的襯底中，因此與在單獨(dú)的薄膜中具有類(lèi)似過(guò)濾材料的類(lèi)似干涉儀調(diào)制器相比，減小或最小化干涉儀調(diào)制器結(jié)構(gòu)的總厚度。圖9是具有并入在襯底910中的彩色著色(coloredtinting)930的干涉儀調(diào)制器900的橫截面。示范性干涉儀調(diào)制器900包括光調(diào)制元件960，其包含通過(guò)支撐件904與部分反射器902分離的可移動(dòng)鏡906。圖9中，可移動(dòng)鏡906與部分反射器902之間的距離經(jīng)配置使得干涉儀調(diào)制器900反射二級(jí)紅光。在圖9的實(shí)施例中，部分反射器902鄰近于包含彩色著色930的襯底910。示范性圖9也說(shuō)明光調(diào)制元件960中的電介質(zhì)920和觀看眼510。如上文所解釋?zhuān)缮鎯x調(diào)制器經(jīng)配置使得兩個(gè)反射表面之間的距離產(chǎn)生相長(zhǎng)干涉，所述相長(zhǎng)干涉導(dǎo)致特定波長(zhǎng)的光被反射。在一個(gè)實(shí)施例中，反射表面(例如，可移動(dòng)鏡906與部分反射器902)之間的約為特定顏色光的波長(zhǎng)的1/2的光程(opticalpath)長(zhǎng)度d將允許所述顏色的反射光經(jīng)歷相長(zhǎng)干涉，因此將所述顏色反射回觀看者。如此項(xiàng)技術(shù)中眾所周知，光程長(zhǎng)度是光傳播穿過(guò)的媒介(例如，介電層920)的折射率中的因數(shù)。參看圖9，舉例來(lái)說(shuō)，隨著部分反射鏡902與可移動(dòng)鏡906之間的光程長(zhǎng)度d增加，較長(zhǎng)波長(zhǎng)實(shí)質(zhì)上是反射光。在某些實(shí)施例中，當(dāng)反射鏡902與可移動(dòng)鏡906之間的距離是期望顏色的波長(zhǎng)的1/2的倍數(shù)(例如，約是波長(zhǎng)的1倍和波長(zhǎng)的1倍等)時(shí)，也可能發(fā)生相長(zhǎng)干涉。每次發(fā)生此情況時(shí)，正產(chǎn)生的光的“級(jí)”增加。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)間隙距離約是期望波長(zhǎng)的時(shí)，顏色稱(chēng)為一級(jí)顏色(firstordercolor)。當(dāng)光程長(zhǎng)度d約等于波長(zhǎng)時(shí)，其稱(chēng)為二級(jí)顏色(secondordercolor)，在約為波長(zhǎng)的1倍時(shí)是三級(jí)顏色(thirdordercolor)。在圖9中說(shuō)明的松弛狀態(tài)中，光程長(zhǎng)度d被設(shè)定成約為紅光的波長(zhǎng)，使得干涉儀調(diào)制器900反射二級(jí)紅光。如果彩色像素經(jīng)設(shè)計(jì)以使用反射二級(jí)紅色的干涉儀調(diào)制器，那么干涉儀調(diào)制器光譜特性展示出藍(lán)色區(qū)域中的峰值以及紅色峰值兩者。這是由于二級(jí)紅色和三級(jí)藍(lán)色峰值同時(shí)諧振的緣故。因此，與一級(jí)紅色干涉儀調(diào)制器相比，所述紅色干涉儀調(diào)制器的顏色質(zhì)量可能降低。然而，可通過(guò)使用紅色過(guò)濾器過(guò)濾出藍(lán)色峰值來(lái)增強(qiáng)顏色質(zhì)量。如圖9中所示，將圖案化紅色著色930并入到襯底910中二級(jí)紅光調(diào)制元件960上方?？蓪⒋隧?xiàng)技術(shù)中已知的或仍待發(fā)明的顏料、染料或其它過(guò)濾材料并入到襯底910(其可包括(例如)玻璃或聚合物)中?？墒褂蒙衔膮⒖磮D8描述的系統(tǒng)和方法。舉例來(lái)說(shuō)，可將紅色顏料粘合到襯底910，可加熱襯底910，且可將紅色顏料擴(kuò)散到襯底910中使得襯底910包含紅色顏料材料。也可使用其它方法和途徑。如上所述，在圖案化著色930在襯底910中的情況下，干涉儀調(diào)制器900的相對(duì)尺寸可能小于具有薄膜紅色過(guò)濾器的類(lèi)似干涉儀調(diào)制器。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，可使用類(lèi)似技術(shù)來(lái)通過(guò)選擇適當(dāng)顏色顏料或染料或顏色過(guò)濾材料過(guò)濾出在較高級(jí)干涉儀調(diào)制器反射中呈現(xiàn)為處于可見(jiàn)波長(zhǎng)的任何其它不合需要的光譜峰值。圖10是在(例如)顯示器的空間光調(diào)制器陣列1001中形成像素的三個(gè)(第一、第二和第三)光調(diào)制元件1000A、1000B、1000C的橫截面。光調(diào)制元件1000A、1000B、1000C設(shè)置在具有與個(gè)別光調(diào)制元件對(duì)準(zhǔn)的彩色著色1030A、1030B、1030C的襯底1010上。光調(diào)制元件1000中的每一者包括通過(guò)支撐件1004與部分反射器1002分離的可移動(dòng)鏡1006。圖10中，光調(diào)制元件1000經(jīng)配置以反射至少三種顏色波長(zhǎng)(例如，紅色、綠色和藍(lán)色)的光。在一個(gè)實(shí)施例中，光調(diào)制元件1000中的每一者當(dāng)激活時(shí)展示出寬帶反射(即，除了一些實(shí)施例中的介電材料層外，可移動(dòng)鏡1006與部分反射器1002之間幾乎沒(méi)有間隙)。在此示范性實(shí)施例中，在激活狀態(tài)下，每一光調(diào)制元件充當(dāng)全反射鏡，從而反射每一波長(zhǎng)的入射光。在圖10的實(shí)施例中，通過(guò)將彩色過(guò)濾器1030并入在襯底1010中來(lái)調(diào)節(jié)來(lái)自每一光調(diào)制元件1000的可通過(guò)觀看眼510觀看到的波長(zhǎng)的光。舉例來(lái)說(shuō)，干涉儀調(diào)制器陣列1001包括在第一光調(diào)制元件1000A前方的紅色著色1030A、在第二光調(diào)制元件1000B前方的藍(lán)色著色1030B，和在第三光調(diào)制元件1000C前方的綠色著色1030C。因此，陣列1001提供具有相同尺寸的來(lái)自光調(diào)制元件的三種顏色。在此實(shí)施例中，彩色干涉儀調(diào)制器顯示器的制造可得以簡(jiǎn)化，因?yàn)檎麄€(gè)顯示器可在可移動(dòng)鏡1006與部分反射器1002之間制造有相同間隙距離，且對(duì)襯底進(jìn)行圖案化以包含濾色器。在一個(gè)實(shí)施例中，三個(gè)光調(diào)制元件1000A、1000B、1000C包括顯示器的像素?？蓪⒋隧?xiàng)技術(shù)中已知的用于實(shí)現(xiàn)(例如，玻璃或聚合物的)彩色著色的任何適宜的彩色顏料并入到襯底1010中。也可使用其它顏料、染料或著色材料。在一個(gè)實(shí)施例中，通過(guò)(例如)使用掩膜將顏料材料的圖案形成到襯底1010的表面上，而將圖案化著色1030A、1030B、1030C并入在襯底1010中。也可使用例如上文參看圖8描述的那些技術(shù)的其它技術(shù)以便圖案化襯底1010上的過(guò)濾材料。在一個(gè)實(shí)施例中，為了選擇性地將三種不同的過(guò)濾材料(例如，紅色、綠色和藍(lán)色顏料)涂覆到襯底1010，連續(xù)執(zhí)行三個(gè)圖案化步驟(例如，上文描述的光刻或噴墨技術(shù))。如上文參看圖8所描述，可加熱襯底1010以允許顏料材料擴(kuò)散到襯底1010中?？赡芾脧V泛范圍的制造這些陣列1001和襯底1010的方法。在某一實(shí)施例中，干涉儀調(diào)制器可包含比參看圖10描述的少或多的在襯底中圖案化的顏色。在其它實(shí)施例中，包含多個(gè)彩色圖案化的襯底(例如，襯底1010)也可包含在支撐件和調(diào)制元件的邊緣部分前方的暗著色。在此實(shí)施例中，可執(zhí)行四個(gè)圖案化步驟將三種顏色和暗著色涂覆在襯底上的期望位置中。在一個(gè)實(shí)施例中，在襯底1010上圖案化多個(gè)過(guò)濾材料之后，將襯底加熱到實(shí)質(zhì)上溫度持續(xù)實(shí)質(zhì)上時(shí)間，使得過(guò)濾材料的每一者均擴(kuò)散在襯底1010中。圖11A是在襯底1110中具有彩色著色1130的另一干涉儀調(diào)制器1100的橫截面。示范性干涉儀調(diào)制器1100包括光調(diào)制元件1160，其包括通過(guò)支撐件1104與部分反射器1102分離的可移動(dòng)鏡1106。圖11A中，可移動(dòng)鏡1106與部分反射器1102之間的距離經(jīng)配置使得光調(diào)制元件1160反射一級(jí)綠光。在圖11A的實(shí)施例中，部分反射器1102鄰近于包含彩色著色1130的襯底1110。示范性圖11A也說(shuō)明光調(diào)制元件11630中的電介質(zhì)1120和觀看眼510。如上所述，光調(diào)制元件1160經(jīng)配置以反射一級(jí)綠光，與其它顏色光相比，對(duì)于觀看眼510來(lái)說(shuō)，所述一級(jí)綠光可具有更大的感知亮度和對(duì)比度。然而，可能需要明亮像素呈現(xiàn)白色而不是綠色。因此，在圖11A的實(shí)施例中，彩色著色1130包括品紅過(guò)濾器，其減小從光調(diào)制元件1160反射的綠色光譜的峰值附近的波長(zhǎng)強(qiáng)度。在彩色著色1130在襯底1110中的情況下，從干涉儀調(diào)制器1100反射的光展示出感知為白色的光譜特性。在一個(gè)實(shí)施例中，將適當(dāng)品紅彩色著色1130并入在干涉儀調(diào)制器陣列的襯底1110中，所述干涉儀調(diào)制器陣列包括經(jīng)配置以相長(zhǎng)地調(diào)制一級(jí)綠色波長(zhǎng)的光調(diào)制元件。因此，觀看眼510將干涉儀調(diào)制器1100感知為黑色或白色。如上所述，可通過(guò)一如下進(jìn)行的工藝或通過(guò)使用本文描述的或此項(xiàng)技術(shù)中已知的其它圖案化技術(shù)來(lái)并入品紅彩色著色1130，所述工藝是將適當(dāng)品紅顏料涂覆到襯底1110，并加熱襯底1110以便允許顏料擴(kuò)散在襯底1110中。圖11B是說(shuō)明包含調(diào)制元件1160和并入有品紅過(guò)濾材料的襯底1110的一個(gè)實(shí)施例的光譜響應(yīng)的圖形圖。水平軸代表反射光的波長(zhǎng)。垂直軸代表可見(jiàn)光譜上的相對(duì)光譜響應(yīng)。跡線1140說(shuō)明光調(diào)制元件1160的響應(yīng)，其為位于光譜的綠色部分的中心(例如，在可見(jiàn)光譜的中心附近)的單一峰值。跡線1142說(shuō)明并入有品紅過(guò)濾材料的襯底1110的響應(yīng)。跡線1142具有在中心u形最小值的任一側(cè)的兩個(gè)相對(duì)平坦部分。跡線1142因此代表品紅過(guò)濾器的響應(yīng)，所述品紅過(guò)濾器選擇性地透射實(shí)質(zhì)上紅光和藍(lán)光，同時(shí)過(guò)濾光譜的綠色部分中的光。跡線1144說(shuō)明調(diào)制元件1160與襯底1110的組合光譜響應(yīng)。跡線1144說(shuō)明由于并入在襯底1110中的過(guò)濾材料對(duì)光進(jìn)行過(guò)濾，所以所述組合的光譜響應(yīng)比調(diào)制元件1160處于更低反射水平。然而，可見(jiàn)光譜上光譜響應(yīng)相對(duì)較均勻，使得來(lái)自干涉儀調(diào)制器1100的經(jīng)過(guò)濾的反射光被感知為白色。在一些實(shí)施例中，可將梯度著色并入到襯底(例如襯底1110)中，使得隨著視角從法線向襯底1110增加，由著色過(guò)濾的反射光的量增加。因此，觀看者距干涉儀調(diào)制器顯示器越遠(yuǎn)(從法線到襯底)，圖像越暗淡。舉例來(lái)說(shuō)，如果觀看眼510經(jīng)定位使得其看到在垂直于襯底1110的前表面的方向1150上從干涉儀調(diào)制器1100反射的光，那么觀看眼510看到已兩次通過(guò)包含過(guò)濾材料的襯底1110的厚度t的光(例如，光當(dāng)進(jìn)入干涉儀調(diào)制器1100時(shí)通過(guò)襯底1110，且當(dāng)離開(kāi)干涉儀調(diào)制器1100時(shí)再次通過(guò)襯底1110)。當(dāng)觀看眼510移動(dòng)到使得其看到在偏離法線的方向1152上從干涉儀調(diào)制器1100反射的光的位置時(shí)，反射光通過(guò)的襯底1110的厚度增加。舉例來(lái)說(shuō)，如果方向1150與1152之間的角度約為45度，那么穿過(guò)方向1152的襯底1110的厚度約為t*1.414。因此，觀看眼150在方向1152處看到的光已通過(guò)襯底1110的量約是光在方向1150上通過(guò)襯底1110的量的三倍(例如，光通過(guò)約t*1.4的厚度兩次，其約為2.8t)，且通過(guò)與襯底1110中的過(guò)濾材料的約三倍一樣多。因此，如果襯底1110中的過(guò)濾材料吸收某些波長(zhǎng)的光，那么隨著方向1150與觀看眼510之間的角度增加，由襯底1110吸收的某些波長(zhǎng)的量也將增加。圖12A是具有并入在襯底1210中的視場(chǎng)過(guò)濾器1230的干涉儀調(diào)制器1200的橫截面。示范性干涉儀調(diào)制器1200包括光調(diào)制元件1260，其包含通過(guò)支撐件1204與部分反射器1202分離的可移動(dòng)鏡1206。示范性圖12A也說(shuō)明光調(diào)制元件1260中的電介質(zhì)1220和觀看眼510。在一些情況下，可能需要干涉儀調(diào)制器顯示器具有有限視角。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)在ATM中使用干涉儀調(diào)制器顯示器時(shí)，可能需要僅從接近垂直于顯示器表面的角度才可看見(jiàn)顯示器，以保護(hù)所顯示的信息的私密性。此外，從干涉儀調(diào)制器反射的光的顏色隨著光的反射角度而改變。因此，可能需要通過(guò)限制視角來(lái)排除觀看者對(duì)于此顏色變化的觀察。在圖12A中描繪的實(shí)施例中，通過(guò)將視場(chǎng)過(guò)濾器1230(本文也稱(chēng)為擋板(blind)1230或隔板(baffle)1230)并入到襯底1210中來(lái)限制干涉儀調(diào)制器1200的視角。由于隔板1230在襯底中增加的長(zhǎng)度，所以通過(guò)將擋板1230并入到襯底1210中而不是單獨(dú)的膜中，具有以預(yù)定距離分離的隔板1230的襯底1210可比具有以相同預(yù)定距離分離的隔板的薄膜提供更大的角度減小量。如圖12A中所說(shuō)明，隔板1230包括實(shí)質(zhì)上垂直于襯底1210表面的薄結(jié)構(gòu)。因此，實(shí)質(zhì)上平行于隔板結(jié)構(gòu)1230被引導(dǎo)的(例如，在示范性方向1250上)從光調(diào)制元件1260反射的光將很大程度上不受隔板1230影響而通過(guò)襯底1210。與此對(duì)比，以其它角度(例如，在示范性方向1240上)從光調(diào)制元件1260反射的光視反射角而定可能部分地被隔板1230阻擋。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，可通過(guò)選擇隔板1230的形狀、定向、尺寸和間隔來(lái)調(diào)節(jié)視場(chǎng)。舉例來(lái)說(shuō)，隔板1230可具有一尺寸、形狀和間隔以提供如在方向1250(其垂直于襯底1210的前表面1211)附近測(cè)量到的不大于約±20度的視場(chǎng)。因此如在方向1250附近測(cè)量到的，視場(chǎng)可在約±20、±25、±30、±35與±40度之間或更小。在一個(gè)示范性實(shí)施例中，隔板1230向顯示器1200提供垂直于前表面1270約±30度的視場(chǎng)?？墒褂枚喾N技術(shù)來(lái)產(chǎn)生隔板1230。在一個(gè)實(shí)施例中，使用玻璃層壓板。在此實(shí)施例中，可用過(guò)濾材料圖案化一個(gè)或一個(gè)以上玻璃層壓板，并將其一起加熱以形成并入有過(guò)濾材料的單個(gè)襯底。在另一實(shí)施例中，可(例如)使用上文描述的技術(shù)中的一種或一種以上技術(shù)用過(guò)濾材料來(lái)圖案化第一層壓板，且可將第二層壓板放置在第一層壓板的圖案化表面上。接著可加熱層壓板以便同時(shí)將過(guò)濾材料擴(kuò)散到兩個(gè)層壓板中。在此實(shí)施例中，可有利地將過(guò)濾材料定位在所形成的襯底結(jié)構(gòu)的中心處。另外，因?yàn)檫^(guò)濾材料同時(shí)擴(kuò)散到兩個(gè)材料中，所以可縮短加熱時(shí)間。在其它實(shí)施例中，使用上文描述的一種或一種以上技術(shù)使過(guò)濾材料在襯底表面上形成為細(xì)線。在一個(gè)實(shí)施例中，使用上文描述的技術(shù)中的一種或一種以上技術(shù)用柵格圖案來(lái)圖案化襯底。在其中過(guò)濾材料擴(kuò)散在襯底中以形成隔板的實(shí)施例中，可縮短加熱時(shí)間使得向襯底中進(jìn)行的橫向擴(kuò)散得以減小或最小化，同時(shí)允許過(guò)濾材料擴(kuò)散到襯底的頂部表面中。在一個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)形成隔板時(shí)，過(guò)濾材料僅擴(kuò)散到襯底的頂部約1/3。因?yàn)楦舭遐呄蛴趯?shí)質(zhì)上吸收從調(diào)制元件1260的某些角度反射的光，所以在某些實(shí)施例中，隔板盡可能薄。另外，在某些實(shí)施例中，用于形成隔板1230的過(guò)濾材料包括在實(shí)質(zhì)上垂直于襯底1210的表面的方向上擴(kuò)散在經(jīng)加熱的襯底中的材料。在另一實(shí)施例中，用于形成隔板的過(guò)濾材料比襯底1210具有更高熔點(diǎn)，使得當(dāng)加熱襯底1210時(shí)，過(guò)濾材料沉入襯底材料中而不會(huì)顯著擴(kuò)散。因此，隔板1230實(shí)質(zhì)上是較高熔點(diǎn)過(guò)濾材料的厚度。在一個(gè)實(shí)施例中，可使用陶瓷材料作為此過(guò)濾材料。在一個(gè)實(shí)施例中，可以一系列行、列或柵格配置來(lái)圖案化陶瓷材料，且接著可將熔融的襯底材料傾倒在經(jīng)圖案化的陶瓷材料上方。當(dāng)襯底材料變硬時(shí)，經(jīng)圖案化的陶瓷材料將在襯底中形成隔板。圖12B是具有并入在襯底1211中的隔板1261的示范性襯底1211的透視側(cè)視圖，且圖12C是其俯視圖。在圖12B和12C的實(shí)施例中，隔板1261是實(shí)質(zhì)上垂直對(duì)準(zhǔn)的柱形形態(tài)。在一個(gè)實(shí)施例中，隔板1261的外表面1262a涂布有不透明材料。可通過(guò)上文論述的方法中的任何方法將隔板1261設(shè)置在襯底1211中，所述方法例如通過(guò)加熱襯底1211，將隔板放置在襯底1211的頂部表面上，并允許隔板沉入襯底1211中。在某些實(shí)施例中，圖12A-12C所示的隔板結(jié)構(gòu)1230、1261可包括反射材料。如果隔板1230、1261的最接近光調(diào)制元件的部分實(shí)質(zhì)上反射，那么入射在隔板1230、1261的反射部分上的從光調(diào)制元件反射的光將不通過(guò)襯底1210、1211，而是將會(huì)反射回光調(diào)制元件。在某些實(shí)施例中，隔板結(jié)構(gòu)1261的外表面1263(圖12B)可由實(shí)質(zhì)上反射的材料(例如，實(shí)質(zhì)上反射的材料的薄涂層(flashcoating))制成。圖13是在襯底1310中具有光致發(fā)光材料1330的干涉儀調(diào)制器1300的橫截面。示范性干涉儀調(diào)制器1300包括光調(diào)制元件1360，其包含通過(guò)支撐件1304與部分反射器1302分離的可移動(dòng)鏡1306。在圖13的實(shí)施例中，部分反射器1302鄰近于包含光致發(fā)光材料1130的襯底1310。示范性圖13也說(shuō)明光調(diào)制元件1360中的電介質(zhì)1320和觀看眼510。如本文使用的光致發(fā)光材料包含具有磷光和/或熒光特性的那些材料。可能的光致發(fā)光材料的實(shí)例包含LUMI的美國(guó)專(zhuān)利第6,278,135號(hào)中描述的那些材料(來(lái)自Arizona的Scottsdale，GlobalTradeAllianceInc的長(zhǎng)余輝光致發(fā)光顏料)，和包括BC-482A和BC-484波長(zhǎng)移動(dòng)器棒(NewburyOH，Saint-GobalnCrystalsandDetectors)的材料。在各種實(shí)施例中，光致發(fā)光材料1330當(dāng)用適當(dāng)光激活時(shí)提供對(duì)干涉儀調(diào)制器1300的前方照射。舉例來(lái)說(shuō)，在某些實(shí)施例中，光源1344包括短波長(zhǎng)光源(例如藍(lán)色LED)，其可用于激活光致發(fā)光材料1330，光致發(fā)光材料1330接著發(fā)出較長(zhǎng)波長(zhǎng)的光1340。在一個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)光致發(fā)光材料1330被并入以在光調(diào)制元件中發(fā)出不同波長(zhǎng)的光。舉例來(lái)說(shuō)，一組干涉儀調(diào)制器可包含發(fā)出具有類(lèi)似于由藍(lán)色調(diào)制元件反射的光的光譜特性的光的光致發(fā)光材料1330，另一組干涉儀調(diào)制器可包含發(fā)出具有類(lèi)似于由綠色調(diào)制元件反射的光的光譜特性的光的光致發(fā)光材料1330，且第三組干涉儀調(diào)制器可包含發(fā)出具有類(lèi)似于由紅色調(diào)制元件反射的光的光譜特性的光的光致發(fā)光材料1330。因此，通過(guò)改變與陣列中的光調(diào)制元件關(guān)聯(lián)的光致發(fā)光材料1330，可將單色顯示器轉(zhuǎn)換成多色顯示器。在一個(gè)實(shí)施例中，激活光源1344可經(jīng)定位使得光1342從干涉儀調(diào)制器1300的側(cè)部接觸襯底1310。在此實(shí)施例中，光致發(fā)光材料1330有利地在所有方向上發(fā)出光1340，因此在光調(diào)制元件1360內(nèi)提供實(shí)質(zhì)上均勻的照射。在其它實(shí)施例中，光源1344可定位在干涉儀調(diào)制器1300的襯底1310附近的任何其它位置。光致發(fā)光材料1330可作為小微粒并入到襯底1310中，或可(例如)通過(guò)上文參照其它實(shí)施例描述的加熱和擴(kuò)散方法溶解到襯底1310中?；蛘?，光致發(fā)光材料1330可在形成襯底1310時(shí)均勻地混合到襯底1310中。也可使用其它方法。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解許多將適于對(duì)干涉儀調(diào)制器顯示器進(jìn)行前方照明的光致發(fā)光材料?？墒褂帽娝苤囊约澳切┤源l(fā)明的光致發(fā)光材料。設(shè)計(jì)和配置上的廣范圍的變化也是可能的。除了以不同的數(shù)量針對(duì)不同應(yīng)用將不同材料并入到襯底中以外，還可使用多種不同的圖案化。引入到襯底中的材料的量或類(lèi)型可隨著在襯底中的深度而變化或可橫向變化(例如)以產(chǎn)生梯度并形成不同的圖案。圖案中的形態(tài)的尺寸也可變化?？蓪⒉牧系慕M合物引入到襯底中。配置和所得結(jié)構(gòu)以及制造方法中的另外其它變化是可能的。此外，以上描述內(nèi)容詳述了本發(fā)明的某些實(shí)施例。然而，將了解，不管以上內(nèi)容在本文中呈現(xiàn)為如何詳細(xì)，本發(fā)明都可以許多方式實(shí)踐。同樣如上文所陳述，應(yīng)注意，當(dāng)描述本發(fā)明的某些特征或方面時(shí)使用特定術(shù)語(yǔ)不應(yīng)理解為意味著所述術(shù)語(yǔ)在本文中被重新定義成限于包含與所述術(shù)語(yǔ)關(guān)聯(lián)的本發(fā)明的特征或方面的任何特定特性。因此，應(yīng)根據(jù)所附權(quán)利要求書(shū)及其任何等效物來(lái)解釋本發(fā)明的范圍。權(quán)利要求1.一種形成一顯示裝置的方法，所述方法包括將一材料擴(kuò)散到一襯底中，所述材料具有一與所述襯底不同的光學(xué)特性；和在所述襯底上方形成至少一個(gè)光調(diào)制元件，所述光調(diào)制元件包括形成一光學(xué)腔的一部分反射表面和一實(shí)質(zhì)上反射表面，所述反射表面中的至少一者可相對(duì)于另一者移動(dòng)以調(diào)制所述光學(xué)腔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進(jìn)一步包括在所述襯底上方沉積所述材料。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其進(jìn)一步包括加熱所述襯底。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其進(jìn)一步包括將所述襯底加熱到約200到250攝氏度范圍內(nèi)的一溫度。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中將所述襯底加熱一足以將所述材料擴(kuò)散在所述襯底內(nèi)達(dá)到一預(yù)定水平的時(shí)間。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述預(yù)定水平小于所述襯底的一厚度的約1/3。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述預(yù)定水平大于所述襯底的一厚度的約1/3。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述材料的至少一種光學(xué)特性隨著所述材料擴(kuò)散到所述襯底中而改變。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進(jìn)一步包括將所述材料涂覆到所述襯底。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中涂覆包括噴射所述材料。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其進(jìn)一步包括在將所述材料涂覆到所述襯底之前將一掩膜定位在所述襯底上。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述襯底包括玻璃和聚合物中的至少一者。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述材料包括黑色顏料。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述材料包括彩色顏料。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進(jìn)一步包括將不同材料擴(kuò)散到所述襯底中。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中針對(duì)不同的光調(diào)制元件擴(kuò)散不同的材料。17.一種通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求1-16中任一權(quán)利要求所述的工藝形成的顯示裝置。18.一種顯示裝置，其包括至少一個(gè)光調(diào)制元件，其包括第一和第二反射表面，所述第二表面可相對(duì)于所述第一表面移動(dòng)；和一襯底，所述光調(diào)制元件設(shè)置在所述襯底上方，其中所述襯底包括一透射彩色光的濾色器。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中所述襯底包括當(dāng)由白光照射時(shí)透射不同顏色光的復(fù)數(shù)個(gè)濾色器。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的顯示裝置，其中所述濾色器具有針對(duì)所述光調(diào)制元件中的不同者的不同顏色。21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的顯示器，其中當(dāng)由白光照射時(shí)所述復(fù)數(shù)個(gè)濾色器包含分別透射紅光、綠光或藍(lán)光的紅色、綠色和藍(lán)色濾色器。22.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中所述濾色器包括一個(gè)當(dāng)用白光照射時(shí)透射品紅光的品紅濾色器。23.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中所述濾色器包括顏料。24.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中所述濾色器對(duì)于一第一波長(zhǎng)區(qū)域中的可見(jiàn)光為實(shí)質(zhì)上光學(xué)透射的，且對(duì)于一第二波長(zhǎng)區(qū)域中的可見(jiàn)光為實(shí)質(zhì)上吸收的。25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的顯示裝置，其中所述第一波長(zhǎng)區(qū)域包含紅色波長(zhǎng)且所述第二波長(zhǎng)區(qū)域包含其它波長(zhǎng)，使得當(dāng)用白光照射時(shí)所述濾色器對(duì)于紅光為實(shí)質(zhì)上光學(xué)透射的。26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的顯示裝置，其中所述第一波長(zhǎng)區(qū)域包含綠色波長(zhǎng)且所述第二波長(zhǎng)區(qū)域包含其它波長(zhǎng)，使得當(dāng)用白光照射時(shí)所述濾色器對(duì)于綠光為實(shí)質(zhì)上光學(xué)透射的。27.根據(jù)權(quán)利要求24所述的顯示裝置，其中所述第一波長(zhǎng)區(qū)域包含藍(lán)色波長(zhǎng)且所述第二波長(zhǎng)區(qū)域包含其它波長(zhǎng)，使得當(dāng)用白光照射時(shí)所述濾色器對(duì)于藍(lán)光為實(shí)質(zhì)上光學(xué)透射的。28.根據(jù)權(quán)利要求24所述的顯示裝置，其中所述光調(diào)制元件經(jīng)配置以反射所述第一波長(zhǎng)區(qū)域中的光。29.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中所述光調(diào)制元件經(jīng)配置以反射二級(jí)紅色和三級(jí)藍(lán)色，且所述濾色器對(duì)于二級(jí)紅色為實(shí)質(zhì)上光學(xué)透射的并吸收三級(jí)藍(lán)色。30.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中所述光調(diào)制元件經(jīng)配置以實(shí)質(zhì)上反射綠光，且當(dāng)用可見(jiàn)光照射時(shí)所述濾色器對(duì)于品紅光為實(shí)質(zhì)上光學(xué)透射的。31.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中所述濾色器包括一種或一種以上顏料。32.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中所述濾色器包括至少一種光致發(fā)光材料。33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的顯示裝置，其中所述至少一種光致發(fā)光材料包括磷光和熒光材料中的至少一者。34.根據(jù)權(quán)利要求32所述的顯示裝置，其中所述至少一種光致發(fā)光材料當(dāng)由一光源激活時(shí)照射所述光調(diào)制元件。35.根據(jù)權(quán)利要求32所述的顯示裝置，其中來(lái)自所述光致發(fā)光材料的照射包括具有一比所述光源的一波長(zhǎng)大的波長(zhǎng)的光。36.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中隨著光反射的一方向與所述襯底的一表面的法線之間的一角度增加，所述濾色器執(zhí)行的過(guò)濾增加。37.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一個(gè)或一個(gè)以上用于支撐所述反射表面中的一者的支撐件。38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的顯示裝置，其中所述濾色器在所述襯底上經(jīng)圖案化以使得所述濾色器實(shí)質(zhì)上在所述一個(gè)或一個(gè)以上支撐件前方。39.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一處理器，其與所述至少一個(gè)光調(diào)制元件電連通，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；和一存儲(chǔ)裝置，其與所述處理器電連通。40.根據(jù)權(quán)利要求39所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一驅(qū)動(dòng)器電路，其經(jīng)配置以將至少一個(gè)信號(hào)發(fā)送到至少一個(gè)光調(diào)制元件。41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一控制器，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動(dòng)器電路。42.根據(jù)權(quán)利要求39所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一圖像源模塊，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器。43.根據(jù)權(quán)利要求42所述的顯示裝置，其中所述圖像源模塊包括一接收器、收發(fā)器和發(fā)射器中的至少一者。44.根據(jù)權(quán)利要求39所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一輸入裝置，其經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。45.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置，其中所述濾色器包括至少某一著色。46.根據(jù)權(quán)利要求45所述的顯示裝置，其中所述著色經(jīng)配置以實(shí)質(zhì)上吸收所有波長(zhǎng)的可見(jiàn)光，且所述著色設(shè)置在所述第一反射表面的一支撐件前方。47.根據(jù)權(quán)利要求46所述的顯示裝置，其中所述支撐件包括一柱結(jié)構(gòu)。48.一種顯示裝置，其包括用于調(diào)制光的構(gòu)件，所述調(diào)制構(gòu)件包括用于反射光的第一和第二構(gòu)件，所述第二反射構(gòu)件可相對(duì)于所述第一反射構(gòu)件移動(dòng)；用于支撐所述光調(diào)制構(gòu)件的構(gòu)件；和設(shè)置在所述支撐構(gòu)件中的用于過(guò)濾光的構(gòu)件。49.根據(jù)權(quán)利要求48所述的顯示裝置，其中所述調(diào)制構(gòu)件包括復(fù)數(shù)個(gè)顯示元件，且所述第一和第二反射構(gòu)件包括第一和第二反射表面，所述第二反射表面可相對(duì)于所述第一反射表面移動(dòng)。50.根據(jù)權(quán)利要求48或49所述的顯示裝置，其中所述支撐構(gòu)件包括一襯底。51.根據(jù)權(quán)利要求48、49或50所述的顯示裝置，其中所述過(guò)濾構(gòu)件包括一濾色器、一光致發(fā)光材料或一掩膜。52.一種形成一顯示裝置的方法，所述方法包括形成一包括復(fù)數(shù)個(gè)元件的襯底，所述復(fù)數(shù)個(gè)元件經(jīng)配置以限制所述顯示裝置的一視場(chǎng)；和在所述襯底上方形成至少一個(gè)光調(diào)制元件，所述光調(diào)制元件包括形成一光學(xué)腔的一部分反射表面和一實(shí)質(zhì)上反射表面，所述反射表面中的至少一者可相對(duì)于另一者移動(dòng)以調(diào)制所述光學(xué)腔。53.根據(jù)權(quán)利要求52所述的顯示器，其中經(jīng)配置以限制所述顯示器的一視場(chǎng)的所述復(fù)數(shù)個(gè)元件包括復(fù)數(shù)個(gè)隔板。54.根據(jù)權(quán)利要求53所述的顯示器，其中所述襯底處于一水平面上，且所述復(fù)數(shù)個(gè)隔板包括實(shí)質(zhì)上平行于一垂直面的實(shí)質(zhì)上平坦表面。55.一種通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求52-54中任一權(quán)利要求所述的方法形成的顯示裝置。56.一種顯示裝置，其包括至少一復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件，其每一者包括第一和第二反射表面，所述第二表面可相對(duì)于所述第一表面移動(dòng)；和一襯底，所述至少一復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件設(shè)置在所述襯底上方，其中所述襯底包括經(jīng)配置以限制所述顯示裝置的一視場(chǎng)的復(fù)數(shù)個(gè)元件。57.根據(jù)權(quán)利要求56所述的顯示裝置，其中經(jīng)配置以限制所述顯示器的一視場(chǎng)的所述復(fù)數(shù)個(gè)元件包括復(fù)數(shù)個(gè)隔板。58.根據(jù)權(quán)利要求57所述的顯示裝置，其中所述襯底處于一水平面上，且所述復(fù)數(shù)個(gè)隔板包括實(shí)質(zhì)上平行于一垂直面的實(shí)質(zhì)上平坦表面。59.根據(jù)權(quán)利要求57所述的顯示裝置，其中所述復(fù)數(shù)個(gè)隔板包括個(gè)別隔板之間的間隔，所述間隔具有一尺寸，所述尺寸提供與一垂直于所述襯底的平面成不大于約40度的一視角，其中所述角度經(jīng)測(cè)量為相對(duì)于所述法線平面的半角。60.根據(jù)權(quán)利要求57所述的顯示裝置，其中所述復(fù)數(shù)個(gè)隔板包括個(gè)別隔板之間的間隔，所述間隔具有一尺寸，所述尺寸提供與一垂直于所述襯底的平面成不大于約20度的一視角，其中所述角度經(jīng)測(cè)量為相對(duì)于所述法線平面的半角。61.根據(jù)權(quán)利要求57所述的顯示裝置，其中所述復(fù)數(shù)個(gè)隔板實(shí)質(zhì)上不透明。62.根據(jù)權(quán)利要求61所述的顯示裝置，其中所述復(fù)數(shù)個(gè)隔板包括實(shí)質(zhì)上平坦的不透明表面。63.根據(jù)權(quán)利要求57所述的顯示裝置，其中所述復(fù)數(shù)個(gè)隔板包括吸收材料。64.根據(jù)權(quán)利要求57所述的顯示裝置，其中所述復(fù)數(shù)個(gè)隔板包括一反射材料。65.根據(jù)權(quán)利要求56所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一處理器，其與所述至少一復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件電連通，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；和一存儲(chǔ)裝置，其與所述處理器電連通。66.根據(jù)權(quán)利要求65所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一驅(qū)動(dòng)器電路，其經(jīng)配置以將至少一個(gè)信號(hào)發(fā)送到至少一個(gè)光調(diào)制元件。67.根據(jù)權(quán)利要求66所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一控制器，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動(dòng)器電路。68.根據(jù)權(quán)利要求65所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一圖像源模塊，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器。69.根據(jù)權(quán)利要求68所述的顯示裝置，其中所述圖像源模塊包括一接收器、收發(fā)器和發(fā)射器中的至少一者。70.根據(jù)權(quán)利要求65所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一輸入裝置，其經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。71.一種顯示裝置，其包括用于調(diào)制光的構(gòu)件，所述調(diào)制構(gòu)件包括用于反射光的第一和第二構(gòu)件，所述第二反射構(gòu)件可相對(duì)于所述第一反射構(gòu)件移動(dòng)；用于支撐所述光調(diào)制構(gòu)件的構(gòu)件；和用于限制所述支撐構(gòu)件中的一視場(chǎng)的構(gòu)件。72.根據(jù)權(quán)利要求71所述的顯示裝置，其中所述調(diào)制構(gòu)件包括至少一復(fù)數(shù)個(gè)顯示元件，且所述第一和第二反射構(gòu)件包括第一和第二反射表面，所述第二反射表面可相對(duì)于所述第一反射表面移動(dòng)。73.根據(jù)權(quán)利要求71或72所述的顯示裝置，其中所述支撐構(gòu)件包括一襯底。74.根據(jù)權(quán)利要求71、72或73所述的顯示裝置，其中所述視場(chǎng)限制構(gòu)件包括隔板。75.一種形成一顯示裝置的方法，所述方法包括將一襯底材料與一過(guò)濾材料組合以便形成一混合物；加熱所述混合物使得所述襯底材料實(shí)質(zhì)上熔融且所述過(guò)濾材料擴(kuò)散在所述熔融的襯底材料內(nèi)；冷卻所述混合物以便形成一襯底；和在所述襯底上方形成至少一個(gè)光調(diào)制元件，所述光調(diào)制元件包括形成一光學(xué)腔的一部分反射表面和一實(shí)質(zhì)上反射表面，所述反射表面中的至少一者可相對(duì)于另一者移動(dòng)以調(diào)制所述光學(xué)腔。76.根據(jù)權(quán)利要求75所述的方法，其中所述襯底的原材料包括聚合物顆粒、砂、火石或石英中的至少一者。77.根據(jù)權(quán)利要求75所述的方法，其中所述襯底材料當(dāng)與所述過(guò)濾材料組合時(shí)是至少部分熔融的。78.根據(jù)權(quán)利要求75所述的方法，其中所述襯底材料當(dāng)與所述過(guò)濾材料組合時(shí)是不熔融的。79.一種通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求75-78中任一權(quán)利要求所述的方法形成的顯示裝置。80.一種形成一顯示裝置的方法，其包括形成復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件，每一光調(diào)制元件包括第一和第二反射表面，所述第二表面可相對(duì)于所述第一表面移動(dòng)；形成一襯底，所述襯底中包含第一和第二吸收區(qū)域，所述第一和第二吸收區(qū)域具有不同的光學(xué)透射特性；和將所述復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件設(shè)置在所述襯底上方。81.根據(jù)權(quán)利要求80所述的方法，其中所述第一和第二區(qū)域包括濾色器，所述濾色器具有針對(duì)所述光調(diào)制元件中的不同者的不同顏色。82.根據(jù)權(quán)利要求80所述的方法，其中所述第一區(qū)域包括擴(kuò)散到所述襯底中的材料。83.根據(jù)權(quán)利要求80所述的方法，其中所述第一區(qū)域包括用顏料著色的區(qū)域。84.一種通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求80-83中任一權(quán)利要求所述的方法形成的顯示裝置。85.一種顯示裝置，其包括復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件，每一光調(diào)制元件包括第一和第二反射表面，所述第二表面可相對(duì)于所述第一表面移動(dòng)；和一襯底，所述復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件設(shè)置在所述襯底上方，其中所述襯底中包含第一和第二吸收區(qū)域，所述第一和第二吸收區(qū)域具有不同的光學(xué)透射特性。86.根據(jù)權(quán)利要求85所述的顯示裝置，其中所述第一區(qū)域包括當(dāng)由白光照射時(shí)透射一顏色的濾色器。87.根據(jù)權(quán)利要求85所述的顯示裝置，其中所述第一區(qū)域在所述光調(diào)制元件下方，且所述第二區(qū)域在所述光調(diào)制元件之間的區(qū)域下方。88.根據(jù)權(quán)利要求85所述的顯示裝置，其中所述第一和第二區(qū)域包括濾色器，所述濾色器具有針對(duì)所述光調(diào)制元件中的不同者的不同顏色。89.根據(jù)權(quán)利要求85所述的顯示裝置，其中所述第一區(qū)域包括掩膜。90.根據(jù)權(quán)利要求89所述的顯示裝置，其中所述第一區(qū)域在所述第一反射表面的支撐件下方，且所述第二區(qū)域在所述支撐件之間的區(qū)域下方。91.根據(jù)權(quán)利要求85所述的顯示裝置，其中所述第一區(qū)域包括擴(kuò)散到所述襯底中的材料。92.根據(jù)權(quán)利要求91所述的顯示裝置，其中所述第二區(qū)域?qū)嵸|(zhì)上不存在擴(kuò)散在所述第一區(qū)域中的所述材料。93.根據(jù)權(quán)利要求85所述的顯示裝置，其中所述第一區(qū)域包括用顏料著色的區(qū)域。94.根據(jù)權(quán)利要求85所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一處理器，其與所述復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制元件電連通，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；和一存儲(chǔ)裝置，其與所述處理器電連通。95.根據(jù)權(quán)利要求94所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一驅(qū)動(dòng)器電路，其經(jīng)配置以將至少一個(gè)信號(hào)發(fā)送到至少一個(gè)光調(diào)制元件。96.根據(jù)權(quán)利要求95所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一控制器，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動(dòng)器電路。97.根據(jù)權(quán)利要求94所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一圖像源模塊，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器。98.根據(jù)權(quán)利要求97所述的顯示裝置，其中所述圖像源模塊包括一接收器、收發(fā)器和發(fā)射器中的至少一者。99.根據(jù)權(quán)利要求94所述的顯示裝置，其進(jìn)一步包括一輸入裝置，其經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。100.一種顯示裝置，其包括復(fù)數(shù)個(gè)用于調(diào)制光的構(gòu)件，所述光調(diào)制構(gòu)件包括用于反射光的第一和第二構(gòu)件，所述第二反射構(gòu)件可相對(duì)于所述第一反射構(gòu)件移動(dòng)；和用于支撐所述復(fù)數(shù)個(gè)光調(diào)制構(gòu)件的構(gòu)件，其包含用于吸收的第一和第二構(gòu)件，所述第一和第二吸收構(gòu)件具有不同的光學(xué)透射特性，其中所述光調(diào)制構(gòu)件設(shè)置在所述支撐構(gòu)件上方。101.根據(jù)權(quán)利要求100所述的顯示裝置，其中所述用于調(diào)制光的構(gòu)件包括一光調(diào)制元件。102.根據(jù)權(quán)利要求100或101所述的顯示裝置，其中所述第一和第二反射構(gòu)件包括第一和第二反射表面，所述第二表面可相對(duì)于所述第一表面移動(dòng)。103.根據(jù)權(quán)利要求100、101或102所述的顯示裝置，其中所述第一吸收構(gòu)件包括所述支撐構(gòu)件的一第一吸收區(qū)域，且所述第二吸收構(gòu)件包括所述支撐構(gòu)件的一第二吸收區(qū)域。104.根據(jù)權(quán)利要求100、101、102或103所述的顯示裝置，其中所述第一吸收構(gòu)件包括一濾色器。105.根據(jù)權(quán)利要求100、101、102、103或104所述的顯示裝置，其中所述第二吸收構(gòu)件包括一濾色器。106.根據(jù)權(quán)利要求100、101、102、103、104或105所述的顯示裝置，其中所述第一吸收構(gòu)件包括一掩膜。107.根據(jù)權(quán)利要求100、101、102、103、104、105或106所述的顯示裝置，其中所述支撐構(gòu)件包括一襯底。全文摘要本發(fā)明將光學(xué)過(guò)濾器功能性并入到一顯示元件的一襯底中，藉此減少對(duì)于一單獨(dú)的薄膜過(guò)濾器的需要，且相應(yīng)地減小一過(guò)濾顯示元件的一總厚度。例如，過(guò)濾器功能性可由例如顏料材料、光致發(fā)光材料和不透明材料的任何過(guò)濾材料提供。所述過(guò)濾材料可在形成所述襯底時(shí)并入在所述襯底中，或可通過(guò)一如下工藝選擇性地?cái)U(kuò)散在所述襯底中掩蔽所述襯底；將所述襯底暴露于所述過(guò)濾材料；并加熱所述襯底以便將所述過(guò)濾材料擴(kuò)散在所述襯底中。文檔編號(hào)G02B5/20GK101027596SQ200580032162公開(kāi)日2007年8月29日申請(qǐng)日期2005年9月14日優(yōu)先權(quán)日2004年9月27日發(fā)明者威廉·J·卡明斯,布萊恩·加利申請(qǐng)人:Idc公司