專利名稱：面板組裝裝置及面板組裝方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在多用作電子設備的顯示器的面板用基板上接合子基板的面板組裝裝置及面板組裝方法。
背景技術：
作為電腦或電視等電子設備的顯示器，近年來，多采用液晶面板或等離子顯示面板(PDP)、有機EL顯示面板等。顯示器，具有用作面板用基板的透明板，在其邊緣部粘接撓性基板，然后將該撓性基板的外引線與子基板的電極連接，如此進行組裝。作為該撓性基板，多采用利用TAB(TapeAutomated Bonding)法，以薄膜載體制造的。
在如此的元件組裝裝置中，一般，將安裝有撓性基板的面板用基板載置在輸送臺上，利用該輸送臺將子基板置于撓性基板的組裝位置，在該組裝位置將撓性基板的伸出部分組裝在子基板上，然后，用輸送臺將與子基板連接的面板用基板向排出位置移動(例如，參照特許第3480457號公報)。另外，如專利第3239685號公報所記載，在排出位置，使排出單元的叉狀的支架進入輸送臺上的面板用基板的下側，在支架上支撐面板用基板，取出。
可是，近年來，平板顯示所用的面板用基板向非常大型化發(fā)展，隨之與面板用基板連接的電子元件即子基板也向大型化發(fā)展。而且，在如此的電子元件中，子基板因自重從面板用基板下垂。因此，在使上述的排出單元的支架進入與載置在輸送臺上的子基板連結的面板用基板的下側的時候，有支架碰到從面板用基板下垂的子基板而損壞子基板的顧慮。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是，提供一種面板組裝裝置及面板組裝方法，能夠在不產(chǎn)生面板用基板或子基板的破損等的情況下，高效率地且可靠地進行經(jīng)由撓性基板連接在面板用基板的周圍上的基板的交接及排出。
為達到上述目的，按以下構成本發(fā)明。
根據(jù)本發(fā)明的第1方式，提供一種面板組裝裝置，具備面板載置臺，用于載置由外邊緣伸出地粘接有撓性基板的面板用基板；基板載置臺，用于載置粘接在所述撓性基板的伸出部分上的子基板；位置調(diào)整裝置，以所述伸出部分重疊在所述子基板的粘接部分上的方式，調(diào)整相對于所述基板載置臺的所述面板載置臺的相對位置；壓接裝置，從載置在所述基板載置臺上的所述子基板的上側，朝所述基板載置臺降下壓接頭，壓接所述粘接部分和所述伸出部分；支撐部件，在所述壓接后，在通過所述位置調(diào)整裝置，所述面板載置臺相對離開所述基板載置臺時，開始從下側支撐從基板載置臺卸下的所述子基板。
在上述構成中，位置調(diào)整裝置，優(yōu)選，具有導軌和電機，通過驅(qū)動該電機，能夠調(diào)整所述面板載置臺相對于基板載置臺的相對位置。
此外，壓接裝置，例如，具備用于降下相對于框架設在下側的壓接頭的電機，通過驅(qū)動該電機，能夠降下壓接頭。在該壓接頭的下降中，優(yōu)選通過傳感器檢測至子基板的距離，同時控制其下降幅度。
此外，支撐部件，以不使載置在基板載置臺上的子基板下垂的方式，直接從下側支撐子基板。此處，所謂子基板的支撐，指的是相對于面板用基板，撓性基板是小于豎直方向的彎曲角度，并且，由支撐部件支撐所述子基板，不是只由所述撓性基板支撐其重量的狀態(tài)。即，只要是支撐部件與子基板接觸，以不經(jīng)由子基板只與撓性基板接觸完全垂下的狀態(tài)的方式，開始支撐部件的支撐的狀態(tài)就可以。
此外，從基板載置臺卸下子基板的定時、和支撐部件支撐的定時的前后不特別限定。即，可以在從基板載置臺卸下子基板后，不下垂地由支撐部件支撐，也可以在由基板載置臺及支撐部件同時支撐后，解除基板載置臺的支撐。
根據(jù)本發(fā)明的第2方式，提供一種第1方式的面板組裝裝置，其中所述支撐部件將所述子基板直接支撐在與所述面板用基板的大致同一面上。
根據(jù)本發(fā)明的第3方式，提供一種第1方式的面板組裝裝置，其中還具備基板供給裝置，其與所述基板載置臺連續(xù)供給子基板；所述面板載置臺，以能夠變更與所述基板載置臺對向的所述面板用基板的外邊緣的方式，可旋轉(zhuǎn)地構成；所述支撐部件，沿著所述載置臺的外邊緣設置多個，支撐通過旋轉(zhuǎn)所述面板載置臺而分別壓接在所述面板用基板的多個外邊緣上的所述子基板。
在上述構成中，優(yōu)選，面板載置臺具備電機，以能夠旋轉(zhuǎn)支撐面板的工作臺，以能夠通過驅(qū)動該電機，變更相對于基板載置臺的所述面板用基板的外邊緣的方式構成。此外，在上述構成中，由于有時將子基板壓接在多個外邊緣處，因此優(yōu)選在與基板載置臺對向的所述面板用基板的外邊緣的對應位置上設置支撐部件。
根據(jù)本發(fā)明的第4方式，提供一種第1方式的面板組裝裝置，其中所述支撐部件，以在相對于所述面板用基板的外邊緣突出而從下側直接支撐所述子基板的支撐位置、和相對于所述面板用基板的外邊緣不突出而不支撐所述子基板的非支撐位置的之間可移動的方式構成；此外，具有使所述支撐部件退出的驅(qū)動機構。
根據(jù)本發(fā)明的第5方式，提供一種第4方式的面板組裝裝置，其中，所述驅(qū)動機構，具備施力部件，沿著所述支撐部件的移動方向，朝支撐位置作用所述支撐部件；推進部，設在所述基板載置臺上，在通過所述位置調(diào)整裝置向壓接位置相對移動所述基板載置臺和面板載置臺的時候，通過該相對移動，與所述支撐部件碰接，抵抗所述施力部件的作用力，沿著所述支撐部件的移動方向，朝非支撐位置移動所述支撐部件。
根據(jù)本發(fā)明的第6方式，提供一種第1方式的面板組裝裝置，其中此外，還具備面板排出裝置，插入在通過所述壓接后面板載置臺和基板載置臺的相對移動形成的兩者間的空間內(nèi)，具有從下側支撐與所述子基板壓接的面板用基板的、從所述面板載置臺排出的排出工作臺；所述排出工作臺，具有不與設在所述面板載置臺上的所述支撐部件干涉的切口。
根據(jù)本發(fā)明的第7方式，提供一種面板組裝方法，用于壓接由外邊緣伸出地粘接撓性基板的面板用基板、和粘接在所述面板用基板的所述撓性基板的伸出部分上的子基板，其中在面板載置臺及基板載置臺上，分別載置所述面板用基板及子基板；以所述伸出部分來到所述子基板的粘接位置的方式，相對移動載置所述面板用基板及子基板的所述兩載置臺；從上側降下壓接頭，用所述壓接頭和所述基板載置臺夾持地壓接所述撓性基板和子基板；以所述子基板相對于所述面板用基板不垂下的方式，通過設在所述面板用基板的載置臺上的支撐部件，從下側支撐壓接在所述面板用基板上的所述子基板，同時使所述面板載置臺移動，從所述基板載置臺上卸下壓接在所述面板用基板上的所述子基板。
根據(jù)本發(fā)明的第8方式，提供一種第7方式的面板組裝方法，其中在所述壓接結束后，在從所述基板載置臺上卸下所述子基板的時候，在通過以從基板載置臺分離方式相對移動所述面板載置臺，從所述基板載置臺卸下所述子基板之前，從所述面板用基板的載置臺突出所述子基板的支撐部件，然后用所述支撐部件，按從所述基板載置臺卸下的定時，支撐所述子基板。
根據(jù)本發(fā)明的第1及第7方式，由于能夠在不使經(jīng)由撓性基板而與面板用基板連結的子基板下垂的情況下，從下側支撐子基板，所以能夠在不產(chǎn)生連結子基板后的面板用基板或子基板的破損等的情況下，高效率地且可靠地進行面板用基板的輸送。
根據(jù)本發(fā)明的第2方式，通過將子基板支撐在與面板用基板的大致同一面上，不向撓性基板202施加多余的張力，并且能夠防止交接時落下等問題，還能夠防止面板用基板或子基板的破損。
根據(jù)本發(fā)明的第3方式，通過旋轉(zhuǎn)面板用基板，能夠在多個周邊處連結子基板，在此種情況下，不會使已經(jīng)連結的子基板下垂，能夠直到排出面板用基板排出一直支撐其。
根據(jù)本發(fā)明的第4方式，由于能夠只在支撐子基板時使支撐部件向支撐位置移動，所以在其它工序中，支撐部件不干擾。
根據(jù)本發(fā)明的第5方式，由于通過基板載置臺和面板載置臺的相對移動，能夠使支撐部件伸縮，不需要用于使支撐部件移動的電機等，所以能夠簡化操作工序。
根據(jù)本發(fā)明的第6方式，在排出組裝好的面板用基板時，能夠防止支撐部件和排出工作臺的干涉，能夠順利地從面板載置臺排出面板用基板。


圖1是表示本發(fā)明的面板組裝裝置的外觀構成的立體圖。
圖2是利用圖1的面板組裝裝置組裝的顯示器的外觀圖。
圖3是表示圖1的面板組裝裝置的面板用基板載置裝置的構成的組裝分解圖。
圖4是表示圖1的面板組裝裝置的簡要構成的側視圖。
圖5A、圖5B、圖5C是表示裝載器和面板用基板載置裝置之間的面板用基板的輸送動作的說明圖。
圖5D、圖5E、圖5F是表示裝載器和面板用基板載置裝置的之間的面板用基板的輸送動作的變形例的說明圖。
圖6A是面板用基板和子基板的連接工序的說明圖，是表示進行面板用基板和子基板的位置對正的狀態(tài)的圖示。
圖6B是面板用基板和子基板的連接工序的說明圖，是表示利用壓接頭進行面板用基板和子基板的壓接的狀態(tài)的圖示。
圖6C是面板用基板和子基板的連接工序的說明圖，是表示面板用基板和子基板的壓接結束，壓接頭退避到原來的位置的狀態(tài)的圖示。
圖6D是面板用基板和子基板的連接工序的說明圖，是表示面板載置臺退避到原來的位置的狀態(tài)的圖示。
圖6E是面板用基板和子基板的連接工序的說明圖，是表示從下側直接支撐與面板用基板連接的子基板的狀態(tài)的圖示。
圖7A是圖1的面板組裝裝置所用的伸展狀態(tài)的基板支撐裝置的構成的立體圖。
圖7B是表示處于收容狀態(tài)的圖7A的基板支撐裝置的立體圖。
圖8A是表示圖1的面板組裝裝置的壓緊部件的構成的立體圖。
圖8B是圖8A壓緊部件的組裝分解圖。
圖8C是表示圖1的面板組裝裝置的壓緊部件的變形例的立體圖。
圖9A、圖9B、圖9C、圖9D、圖9E、圖9F是表示采用圖8A、圖8C所示的壓緊部件時的壓接工序的動作的詳細工序圖。
圖10A是表示圖1的面板組裝裝置的壓緊部件的另一變形例的立體圖。
圖10B是表示圖1的面板組裝裝置的壓緊部件的又一變形例的立體圖。
圖11A、圖11B、圖11C、圖11D、圖11E、圖11F、圖11G、圖11H、圖11I是表示采用圖10A、圖10B所示的壓緊部件時的壓接工序的動作的詳細工序圖。
圖12A、圖12B、圖12C、圖12D是表示在面板用基板的多個邊緣處連接子基板時的工序的圖示。
圖13A是表示排出組裝的面板用基板時的卸載器和面板載置臺的位置關系的平面圖。
圖13B是圖13A的立體圖。
圖14A是表示基板支撐裝置的變形例的圖示。
圖14B是表示基板支撐裝置的另一變形例的圖示。
圖14C是表示基板支撐裝置的又一變形例的圖示。
圖15A是表示根據(jù)變形例的面板組裝裝置的簡要構成的圖示。
圖15B是表示在圖15A的面板組裝裝置中支撐子基板的狀態(tài)的圖示。
具體實施例方式
在繼續(xù)說明本發(fā)明之前需要說明的是，在附圖中對于同一部件附加同一參照符號。
以下，參照附圖詳細說明根據(jù)本發(fā)明的實施方式。
圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的一實施方式的面板組裝裝置的外觀構成的立體圖。根據(jù)本實施方式的面板組裝裝置，是組裝圖2所示的用作液晶顯示器、等離子顯示器、有機EL顯示器等的顯示器200的裝置。具體是，在矩形形狀的面板用基板201的多個(在圖2中為3個)邊緣處通過撓性基板202組裝子基板203的裝置。TAB等的子基板202比面板用基板201的外邊緣伸出地粘接，以此狀態(tài)供給本面板組裝裝置。粘貼用于在預定的位置上將子基板203與撓性基板202粘接的ACF204，利用根據(jù)本實施方式的面板組裝裝置壓接該ACF204和撓性基板202的伸出部分。
首先，參照圖1～圖4說明面板組裝裝置的整體構成。面板組裝裝置100，在基臺1的上面設置下述的要素。這些要素通過信號線與控制部101連接，根據(jù)后述的工序，基于從控制部發(fā)出的控制信號，進行各種動作控制。
在基臺1的上面配置面板用基板載置裝置110及壓接裝置140。此外，在面板用基板載置裝置110的X軸方向兩側方，分別設置裝載器120和卸載器130。裝載器120，是用于向面板用基板載置裝置110供給面板用基板201的裝置，卸載器130，是用于取出在面板用基板201的邊緣部利用壓接裝置140壓接組裝了子基板203的顯示器200的裝置。
裝載器120，具有向X軸方向延伸的一對導軌8、和支撐部件的支架9，該支架9分別設在該導軌8上，可由未圖示的支架驅(qū)動器沿導軌8驅(qū)動，并能向X軸方向移動。導軌8，能夠根據(jù)要進行組裝處理的面板用基板的尺寸變更其間隔，此外，為了不與面板用基板載置裝置110的面板載置臺6干涉，其終端不到達面板用基板載置裝置110。支架9，用于載置面板用基板201的Y軸方向兩端，從下方支撐面板用基板201。支架9為長板狀，具有多個用于以不進行處理的方式真空吸附面板用基板201的吸引孔9a。該吸引孔9a通過未圖示的布管系統(tǒng)與真空裝置(未圖示)連接。如后述，通過該支架9進行面板用基板201的傳送，將面板用基板201交給面板載置臺6。
卸載器130，具有向X軸方向延伸的一對導軌10、和排出工作臺的支架11，該支架11分別設在該導軌10上，可向X軸方向移動。導軌10，能夠根據(jù)進行組裝處理的面板用基板201的尺寸變更其間隔，此外，為了不與面板用基板載置裝置110的面板載置臺6干涉，其始端不到達面板用基板載置裝置110。支架11，用于載置面板用基板201的Y軸方向兩端，從下方支撐支撐面板用基板201。支架11的一方，插入通過面板載置臺6和基板載置臺13的相對移動，在Y方向在兩者間形成的空間S(參照圖4)內(nèi)，從面板載置臺6排出組裝過的面板用基板201。在支架11上設置通過吸引保持面板用基板201的吸引孔，以如后述牢固地支撐面板用基板201及子基板203。該吸引孔33a、33b、34(參照圖13B)通過未圖示的布管系統(tǒng)與真空裝置(未圖示)連接。通過支架11從面板載置臺6排出組裝過的面板用基板201，向裝置外部傳送。
下面，說明面板用基板載置裝置110(本發(fā)明的位置調(diào)整裝置)。面板用基板載置裝置110，如圖3所示，具有在基座2的上面向Y軸方向延伸的導軌5，形成Y工作臺4可沿著該導軌5向Y軸方向移動的構成。Y工作臺4向Y軸方向的移動，通過進給螺桿3進行，該螺桿3與配置在Y工作臺4的下部的進給螺母(未圖示)螺合。該螺桿3，由Y軸電機21旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，由此Y工作臺4向Y軸方向移動。
此外，在Y工作臺4上，設置向X軸方向延伸的進給螺桿25及旋轉(zhuǎn)進給螺桿25的X軸電機22，隨著該進給螺桿25的旋轉(zhuǎn)，設在Y工作臺4上的X工作臺26，通過設在其下部的并且與該進給螺桿25螺合的螺母(未圖示)，向X軸方向移動。在X工作臺26上設置旋轉(zhuǎn)工作臺7。在旋轉(zhuǎn)工作臺7上，通過螺孔29、30固定面板載置臺6。旋轉(zhuǎn)工作臺7，形成通過θ旋轉(zhuǎn)電機23可每90度水平旋轉(zhuǎn)的構成，通過操作旋轉(zhuǎn)工作臺，面板載置臺6上的面板用基板201能夠變化其朝向。此外，旋轉(zhuǎn)工作臺7形成能夠沿著導軌27向Z軸方向移動的構成，通過Z軸電機24，能夠進行旋轉(zhuǎn)工作臺向Z軸方向的移動。
面板載置臺6，如后述，在其上面載置面板用基板201，為了更牢固地支撐面板用基板201，設置吸引孔31。該吸引孔31通過未圖示的布管系統(tǒng)與真空裝置(未圖示)連接。此外，在面板載置臺的3個邊緣部，分別每2個平行地設置支撐子基板203的基板支撐裝置32?；逯窝b置32形成能夠沿著面板載置臺6的邊緣變更固定位置的構成，同樣能夠變更設在邊緣上的2個基板支撐裝置32之間的間隔。關于基板支撐裝置32的具體的構成及工作的詳細情況，后述。
壓接裝置140，相對于基臺1上面的面板用基板載置裝置110，設在Y軸方向側，具有包括水平部12a及腿部12b的大致コ字形的框架12、設在該框架12的水平部12a上的能夠向Z軸方向移動地構成的壓接頭15、和位于壓接頭的正下方的基板載置臺13。
基板載置臺13，用于在壓接工序中載置從供給載物臺供給的基板，具備可向Z軸方向移動的托架13a和本體部13b。托架13a通常其上面與本體部13b一致地配置，子基板203載置在其表面上。此外，托架13a在取出后述的子基板時上升，輔助將壓接結束的子基板交給面板載置臺6。
壓接頭15具有壓接子40。該壓接子40位于基板載置臺13的上方，由壓接頭驅(qū)動部16驅(qū)動，在Z軸方向上下移動。壓接子40，根據(jù)情況，具有加熱器，用于將撓性基板202的伸出部分即外引線(未圖示)熱壓在子基板203的ACF204上。此外，在基板載置臺13的X軸方向端部設置攝像機14。如果X工作臺26和Y工作臺14工作，撓性基板200向攝像機14的上方移動，攝像機14進行設在面板用基板201上的識別標記的位置確認。
在夾著基臺1上面的壓接裝置140地與面板用基板載置裝置110相對的一側，設置供給載物臺150(本發(fā)明的基板供給裝置)。向供給載物臺150上供給載置子基板203。在供給載物臺的上方設置基板傳送頭90，向基板載置臺13傳送供給的子基板203?；鍌魉皖^90，通過與未圖示的布管系統(tǒng)與真空裝置(未圖示)連接，形成可通過吸引保持子基板203的構成。此外，基板傳送頭90，按圖4的箭頭172所示，能夠朝Y軸方在供給載物臺150的基板取出位置的上方和基板載置臺13的上方的之間移動，并且在雙方的位置上，按箭頭171、173所示，形成能夠向Z軸方向移動的構成。
子基板203，通過基板傳送頭90的工作，被從供給載物臺150輸送到基板載置臺13上(參照圖4)。具體是，首先，降下基板傳送頭90，吸引保持輸送到基板取出位置上的子基板203，然后沿供給載物臺150上上升，然后按箭頭172所示，進行到基板載置臺13上方的Y軸方向移動。接著，下降，將子基板203載置在基板載置臺13的規(guī)定位置上，然后退避到原來的位置。
下面，說明根據(jù)本實施方式的面板組裝裝置的工作。首先，如圖5A所示，通過裝載器120，向面板用基板載置裝置110供給將撓性基板202配置在邊緣部的面板用基板201。具體是，面板用基板載置裝置110的面板載置臺6，向從裝載器120接收面板用基板201的接收位置移動，待機。此時，面板載置臺6相對于裝載器120的導軌位于下側。接著，以支撐面板用基板的狀態(tài)，按箭頭174所示，支架9沿著導軌8移動，如圖5A所示，面板用基板201被輸送到面板用基板的重心部分C與面板載置臺6的中心大致一致的位置。
接著，按圖5B的箭頭175所示，面板載置臺6上升，向面板載置臺6傳送由支架9支撐的面板用基板201。此時，停止支架9的吸引，同時開始面板載置臺6的吸引。如果面板用基板201被牢固地保持在面板載置臺6上，面板載置臺6就按箭頭176所示向X軸方向移動。
面板載置臺6按圖5C的箭頭177所示向X軸方向移動，如果面板用基板201以不與導軌8的終端E干涉的方式移動，面板載置臺6就向箭頭178所示的方向下降，待機到能夠進行壓接動作。
另外，在面板用基板201小的時候，在裝載器120和面板用基板載置裝置110的之間的面板用基板201的傳送，也可以按以下進行。圖5D～圖5F是表示裝載器和面板用基板載置裝置的之間的面板用基板的傳送動作的變形例。
此時，面板用基板201，以短邊與X軸方向平行的朝向被支撐地輸送給裝載器120。另外，面板載置臺6，如圖5D所示，在待機位置形成90度旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)。此外，裝載器120，在用于向面板載置臺6交接面板用基板201的面板用基板的輸送中，以面板用基板201的重心C1，相對于面板載置臺6的中心C2向X軸方向只偏移距離A的方式，輸送面板用基板201。但是，該偏移量A，優(yōu)選設定在面板用基板201的重心C1位于面板載置臺6的面上的程度。即，如此，如果重心C1位于面板載置臺6上，在因面板載置臺6的吸引機構的故障等，不能適當吸引保持面板用基板201的情況下，能夠防止面板用基板201從面板載置臺6上脫落。
下面，與在圖5B中說明的動作同樣，面板載置臺6上升，面板用基板201傳送給面板載置臺6，面板載置臺6向X軸方向移動(參照圖5E)。然后，如圖5F所示面板載置臺6，按箭頭179所示旋轉(zhuǎn)90度，恢復到原來的狀態(tài)。如此，通過以從面板載置臺6的中心C2偏移的方式配置面板用基板201的重心C1，擴大壓接子基板203的邊201a和面板載置臺6的外邊緣6a之間的距離B，在后述的子基板203的壓接工序中，能夠充分確保面板用基板201的下方區(qū)域，能夠用作進行基板支撐裝置32的動作的部件的配置空間等。
下面，說明在載置在面板載置臺6上的面板用基板201上壓接子基板203的工序。作為前提，如上所述，規(guī)定為與面板用基板201連接的子基板203，通過基板傳送頭90，從供給載物臺150傳送到基板載置臺13的規(guī)定位置上。
首先，驅(qū)動Y軸電機，旋轉(zhuǎn)進給螺桿3，以按箭頭180所示使Y工作臺4接近基板載置臺13的方式開始移動，如圖6A所示，以與載置在面板載置臺6上的面板用基板201連接的撓性基板202的伸出部分位于子基板203的連接部分的上面的方式，進行兩者的位置對正。另外，此時，基板載置臺13也可以形成向箭頭181所示的方向移動的構成。另外，在不與基板載置臺13相對地配置與子基板203連接的撓性基板202的時候，與基板載置臺13相對地將面板載置臺6旋轉(zhuǎn)θ。
另外，此時，基板支撐裝置32，通過設在基板載置臺13上的壓緊部件60被收容。關于基板支撐裝置32及壓緊部件60的具體的構成及作用，后述。
下面，如圖6B所示，按箭頭182所示降下壓接頭15的壓接子40，以用基板載置臺13夾持的方式，壓緊壓接設在面板用基板201的邊緣部上的撓性基板202的伸出部分即外引線、和基板載置臺13上的子基板203的電極。
接著，按箭頭183所示，使壓接子40退避到上方(參照圖6C)，此外，向反方向旋轉(zhuǎn)面板用基板載置裝置110的進給螺桿3，開始向箭頭184所示的方向移動Y工作臺2，使其向原來的位置后退復位(參照圖6C)。此時，如后述，基板支撐裝置32，由于與壓緊部件60的間隔寬，所以隨著Y工作臺4的移動，開始按箭頭185所示伸展。此外，隨著Y工作臺4的移動，載置在基板載置臺13上的子基板203，以被撓性基板202拉伸，從基板載置臺13卸下的方式，向Y軸方向移動。
另外，通過以從基板載置臺13分離的方式移動面板載置臺6，完全從基板載置臺13卸下子基板203。此時，如圖6E所示，形成設在面板載置臺6上的基板支撐裝置32可從下側直接支撐子基板203的伸出狀態(tài)，以不使從基板載置臺13卸下的子基板下垂的方式直接支撐。
另外，關于圖6A～圖6E所示的工序，有關基板支撐裝置32及壓緊部件60的具體的構成(參照圖7A、圖7B、圖8A、圖8B、圖10A、圖10B)及采用該構成的基板支撐裝置及壓緊部件的更詳細的運轉(zhuǎn)工序(參照圖9A、圖9B、圖11A、圖11B)，后述。
本實施方式的基板支撐裝置32，如上所述，通過設在基板載置臺13上的壓緊部件60形成收容狀態(tài)，另外隨著面板載置臺6的移動形成拉伸狀態(tài)，以不使從基板載置臺13卸下的子基板下垂的方式直接支撐。下面說明進行該運轉(zhuǎn)的基板支撐裝置32及壓緊部件60的具體的構成。
圖7A是圖1的面板組裝裝置所用的基板支撐裝置32的構成的立體圖。另外，在本實施方式中，基板支撐裝置32，除圖7A所示的構成外，例如，也可以采用凸輪推桿45向圖示左側突出的與圖7A左右對稱地形成的構成。
基板支撐裝置32，通過設在固定部50上的固定孔50a，如上所述固定在面板載置臺6的下面。在固定部上設置導軌41。在導軌41的下方設置本體部42，設在導軌41的側面上的導向槽41a和設在本體部42的上面的2個滑塊44a、44b卡合，可移動地沿著導軌41配置本體部。在本體部42上，在其前端設置用于支撐子基板的長板狀的支撐部43。支撐部43，如圖7B所示，在形成收容狀態(tài)的情況下，為了不與導軌41及固定部50干涉，通過以使支撐部43位于本體部42的上方的方式構成的截面大致L字狀的固定部43a，固定在本體部42的前端上。
此外，在本體部42的側方，在與導軌41的延伸方向垂直的方向設置突狀部45a，在其前端部，設置可以與所述導軌41垂直的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)地構成的凸輪推桿45。該凸輪推桿45，被壓緊部件60向收容方向推壓，其結果，具有將本體部42形成圖7B所示的收容狀態(tài)的功能，關于具體的動作，后述?；逯窝b置32，以通過卡合固定在被分別設在本體部42和固定部50上的突狀銷48、49上的彈簧47形成伸長狀態(tài)的方式作用力，形成通過調(diào)節(jié)設在制動器46上的螺桿46a，可微調(diào)本體部42和固定部50的相對位置的構成。
在向收容方向推壓凸輪推桿45的時候，如圖7B所示，本體部42沿著導軌向收容方向移動，其結果，彈簧47形成伸長狀態(tài)。在該狀態(tài)下，為支撐部43接近固定部50的狀態(tài)，能夠不從面板載置臺6的周邊部伸出支撐部43。另外，在解除推壓該凸輪推桿45的力的時候，本體部42通過彈簧47形成的作用力復位到伸展狀態(tài)，設在該本體部的前端上的支撐部43向從面板載置臺6的周邊部伸展的位置移動。
圖8A是表示壓緊部件60的具體構成例的圖示。圖8A的壓緊部件60a，如圖4等所示，通過固定部66固定在基板載置臺13的與面板載置臺6相對的對向面13f上。固定部66是截面L字形的部件，在固定部66的水平面66a上固定截面L字形的本體部62。在本體部62的垂直面62b上，如圖8B所示，固定可通過直動導向63向Z軸方向移動地配置的推進部61。推進部61，形成相對于本體部62可向Z軸方向移動的構成，通常，利用彈簧65向圖示上方向作用力。為了限制彈簧65形成的向上方向的位置移動，在推進部61和本體部62的之間設置制動器64。
圖8C是根據(jù)圖8A的壓緊部件60a的變形例。圖8C的壓緊部件60b，其特征在于形成能夠沿著圖示X軸方向移動推進部68的構成，其它部件的基本功能與圖8A的壓緊部件大致相同。即，圖8C的壓緊部件60b，形成向X軸方向擴寬用于與基板載置臺13連結的固定部66S的構成，同時在其水平面66a上設置向X軸方向延伸的導軌66b，固定與之卡合的滑塊70和本體部69的下面，能夠向本體部69的X軸方向移動。圖8C的壓緊部件60b，由于能夠向X軸方向移動，所以如上所述，在固定在面板載置臺6上的基板支撐裝置32沿著其外邊緣變更固定位置的時候等，通過使本體部69滑動，能夠簡便地進行調(diào)整。即，隨著基板支撐裝置的位置的變更，能夠以不使壓緊部件的固定部66S的固定位置變更的方式，通過利用滑塊70朝X軸方向移動本體部69，與其對應。由此，即使在面板載置臺6在面板識別工作時運動，基板支撐裝置32變更位置的情況下，也能夠?qū)?br> 另外，圖8C的壓緊部件60b的推進部68，具備立設在相對于下方壁68a向X軸方向延伸的周邊部上的垂直壁68b、和立設在向Y軸方向延伸的雙方的周邊部上的2個側方壁68c。由于該構成的推進部68是只開放該上面區(qū)域及前面區(qū)域的構成，所以基板支撐裝置32的凸輪推桿45，需要沿著導軌朝下方向延伸地設置。
下面，說明采用圖8A及圖8C所示的壓緊部件60a、60b時的工作程序。另外，關于圖8C所示的壓緊部件，作為前提，規(guī)定為完成利用滑塊70的朝X軸方向的位置調(diào)整的壓緊部件。
首先，如圖9A所示，面板載置臺6按箭頭186所示向基板載置臺13一方移動。此時，形成基板支撐裝置的支撐部43通過彈簧47從固定部50突出的狀態(tài)。此外，壓緊部件的推進部件61，通過彈簧65位于上側。另外，此時，載置在面板載置臺6上的面板用基板201的撓性基板202的伸出部，通過基板支撐裝置的固定位置，使支撐部34位于撓性基板的正下方，由此如圖所示，有時從下側支撐撓性基板202的伸出部分，但如下所述，由于隨著支撐部43形成收縮狀態(tài)，解除撓性基板的支撐，因此尤其沒有問題。
另外，如圖9B所示，面板載置臺6接近基板載置臺13(參照箭頭187)，凸輪推桿45與推進部61的垂直壁61b碰接，凸輪推桿隨著與基板載置臺13的相對移動，按箭頭188所示，向固定部50側推入，形成收容支撐部43的狀態(tài)。另外，面板載置臺6移動到面板用基板201的撓性基板202的伸出部分位于載置在基板載置臺13上的子基板203的壓接位置上側為止。
在將面板載置臺6移動到面板用基板201的撓性基板202的伸出部分位于子基板的壓接位置上側后，面板載置臺，按箭頭189所示朝下方向移動。隨之，凸輪推桿45與推進部61、68的下方壁61a、68a碰接，使推進部沿著直動導向63朝下方向移動(參照圖9C)。隨之，撓性基板202的伸出部分，與子基板203的上面接觸。圖6A表示此狀態(tài)。
另外，如此，使面板用基板在子基板的上方朝Y軸方向移動，在位置對正到撓性基板202的伸出部分位于子基板的壓接位置上側后，使其下降的工序，存在具有可撓性的撓性基板202因重力下垂，難進行與子基板的規(guī)定位置的位置對正的問題。即，撓性基板202，由于其伸出部分相對于面板用基板201的面下垂，所以首先在子基板203的上方，在進行了水平方向的位置對正后，通過使其下降，能夠使撓性基板202的伸出部分確實位置對正在子基板203的上面。
接著，在進行了根據(jù)圖6B、圖6C的撓性基板202和子基板203的壓接后，如圖9D所示，按箭頭190及191所示，上升面板載置臺6及托架13a。隨之，壓緊部件60a、60b的推進部61通過彈簧65對其作用力而上升。
接著，按圖9E的箭頭191所示，以脫離基板載置臺13的方式移動面板載置臺6。隨之，基板支撐裝置32的支撐部43開始從固定部50伸展，同時通過撓性基板202向面板載置臺6的移動方向拉子基板203，開始在支撐部43上移動。另外，如圖9F所示，如果進行面板載置臺6向箭頭191b的方向的移動，就從托架13a上卸下子基板203，不垂下地直接傳送給支撐部43。另外，由于子基板203通過撓性基板202與面板用基板201連結，所以子基板203不會在面板載置臺6和基板支撐臺13之間的空間內(nèi)，從支撐部43上落下。
下面，說明壓緊部件60的其它構成例。圖10A是表示圖1的面板組裝裝置的壓緊部件的另一構成例的立體圖。圖10B是表示圖1的面板組裝裝置的壓緊部件的又一構成例的立體圖。
圖10A及圖10B的壓緊部件60c，基本構成與圖8A的壓緊部件60a相同，但本體部72形成可向圖示Y軸方向移動的構成、及加大推進部71向Z軸方向的行程，在上述兩點上有較大不同。即，固定在基板載置臺13上的固定部76，通過可向Z軸方向移動地支撐固定在本體部72上的基臺部79的退避用軌82和退避用滑塊81固定，可向Z軸方向移動地構成基臺部79。此外，基臺部79的向Z軸方向的驅(qū)動利用退避用氣缸80進行。
此外，基臺部79具有支架出返(出去返回)用氣缸89，能夠向Y軸方向調(diào)整本體部72和基臺部79的相對位置，通過將與該支架出返用氣缸89的活塞78連結的滑塊77與本體部72連結，能夠向Y軸方向移動地構成本體部72。
本體部72及推進部71的構成與圖8A的壓緊部件60a相同，通過彈簧75推進部71向上方向?qū)Ρ倔w部72作用力，同時利用制動器74控制向上方向的上限位置。
圖10B的壓緊部件60d，其大部分構成與圖10A的壓緊部件相同，不同之處在于在本體部92向Y軸方向的移動中，采用支架出返用電機85?；_部86具有延伸設在其上面的導軌83，連結與該導軌卡合的滑塊84和本體部92。因此，本體部92能夠沿著導軌83向Y軸方向移動。支架出返用電機85，具有偏心凸輪85a，通過設在本體部92上的凸輪推桿92a，能夠沿著設在基臺部86上面的導軌83移動本體部92。
接著，說明采用圖10A及圖10B所示的壓緊部件60c、60d時的操作程序。此處，說明采用圖10A的壓緊部件60c時的情況，但對于圖10B所示的壓緊部件60d，也進行同樣的操作。
首先，如圖11A所示，面板載置臺6按箭頭192所示向基板載置臺13移動。此時，基板支撐裝置的支撐部43，通過彈簧47形成從固定部50突出的狀態(tài)。此外，壓緊部件的推進部61通過彈簧65位于上側，本體部72配置在接近基板載置臺13的位置上。此外，這時，基板支撐裝置32的凸輪推桿45及支撐部43，以都相對于基板載置臺13位于上方的方式，設定面板載置臺6的Z軸方向高度。另外，此時，載置在面板載置臺6上的面板用基板201的撓性基板202的伸出部，通過基板支撐裝置的固定位置，使支撐部34位于撓性基板的正下方，由此如圖所示，有時從下側支撐撓性基板202的伸出部分，但如下所述，由于隨著支撐部43形成收縮狀態(tài)，解除撓性基板的支撐，因此尤其沒有問題。
另外，如圖11B所示，如果面板載置臺6接近基板載置臺13(參照箭頭187)，撓性基板202的伸出部分，位于基板載置臺13的子基板上面，停止面板載置臺6向Y軸方向的移動。接著，使退避用氣缸81工作，按圖11C的箭頭193所示，將推進部71上升到推進部71的下方壁71a與凸輪推桿45碰接。
如果凸輪推桿45碰到推進部71的下方壁71a，如圖11D所示，壓緊部件60c就使本體部向面板載置臺6的方向移動。隨著壓緊部件60c的移動，按箭頭194所示向固定部50側推入凸輪推桿45，支撐部43呈收容狀態(tài)。
在到基板支撐裝置32的支撐部43形成完全收縮狀態(tài)之前，移動壓緊部件60c后，面板載置臺按箭頭195所示向下方向移動。隨之，凸輪推桿45與推進部71的下方壁71a碰接，使推進部沿著直動導向73向下方向移動(參照圖11E)。隨之，撓性基板202的伸出部分與子基板203的上面接觸。圖6A表示此狀態(tài)。
接著，在進行了根據(jù)圖6B、圖6C的撓性基板202和子基板203的壓接后，按圖11F的箭頭196a及196b所示，面板載置臺6及托架13a上升。隨之，壓緊部件60c的推進部71通過彈簧75對其作用力而上升。
接著，按圖11G的箭頭197a所示，以接近基板載置臺13的方式移動壓緊部件60c。隨之，基板支撐裝置32的支撐部43，按箭頭197b所示，開始從固定部50向子基板203的下方伸展。接著，托架13a按箭頭198所示向下退避，將子基板203交給支撐部43(參照圖11H)。最后，按箭頭199所示，面板載置臺6以脫離基板載置臺13的方式移動，同時使退避用氣缸80工作，壓緊部件60c復位到原來的位置(參照圖11I)。
根據(jù)此例，在子基板203從基板載置臺13向支撐部43的移動中，由于不通過撓性基板202向面板載置臺6的移動方向拉子基板203，所以能夠在撓性基板和子基板203的壓接完全固定之前，進行該工序。此外，在從基板載置臺13向支撐部43的移動中，以不使子基板203下垂不對子基板203施加撞擊的方式，順利地進行移動。另外，由于子基板203通過子基板202與面板用基板201連結，所以子基板203不會在面板載置臺6和基板支撐臺13之間的空間內(nèi)從支撐部43上落下。
圖2所示的面板用基板201，在3個周邊上設置撓性基板202，在本實施方式的面板組裝裝置中，能夠在設在各個周邊部上的撓性基板202上壓接子基板203。具體是，旋轉(zhuǎn)面板載置臺6，通過變更與基板載置臺13相對的周邊，進行該工序。
以下，采用圖12具體地說明。另外，在圖12中，為了便于理解，將面板用基板201的周邊分別區(qū)別到201-1～201-3，同時按子基板201-3～203-3區(qū)別附在各個周邊上的子基板203。此外，對于從下側支撐各個子基板201-3～203-3的支撐部43，也區(qū)別為43-1～43-3。
圖12A表示在設在面板用基板201的縱向的周邊201-1上的撓性基板202上，附著子基板的狀態(tài)。在此狀態(tài)下，支撐部43-1在子基板203-1的下側伸展，不下垂地直接支撐子基板203-1。接著，在設在面板用基板的橫向側的周邊201-2上的撓性基板202上附上子基板203-2。在進行該操作時，如圖12B所示，使面板載置臺6向箭頭方向旋轉(zhuǎn)90度，使面板用基板201的下個邊部201-2與基板支撐裝置13側對置。此外，以此作為前后，在基板支撐裝置13上補充下個子基板203-2。另外，在附在面板用基板201的周邊201-1和201-2上的子基板的構成不同時，當然也能夠在基板支撐裝置13上補充分別特定的構成。接著，重復上述的操作，在面板用基板201的第2個周邊201-2上也壓接子基板203-2。另外，在壓接結束的階段，支撐部43-2在子基板203-2的下側伸展，不下垂地直接支撐子基板203-2。
接著，如圖12C所示，為了在設在面板用基板201的橫向側的周邊201-3上的撓性基板202上附上子基板203-2，與上述同樣地，使面板載置臺6向箭頭方向旋轉(zhuǎn)180度，使面板用基板201的第3個周邊201-3與基板支撐裝置13側對置。此外，以此作為前后，在基板支撐裝置13上補充下個子基板203-3。然后，重復上述的操作，在面板用基板201的第3周邊201-3上也壓接子基板203-3。另外，在壓接結束的階段，支撐部43-3在子基板203-3的下側伸展，不下垂地直接支撐子基板203-3。
如果按如上所述在面板用基板201的3個周邊分別接合子基板，為了排出面板用基板，如圖12D所示，以90度旋轉(zhuǎn)面板用基板，將面板用基板201載置在面板載置臺6上時的狀態(tài)，即以第1個周邊201-1與基板載置臺13對置的方式配置。
下面，參照圖13A及圖13B，說明排出載置在面板載置臺6上的面板用基板201的工序。在排出面板用基板201時，首先，使圖13B的面板載置臺6上升，提起帶子基板的面板用基板201，然后，朝X軸方向移動到圖1所示的卸載器的排出位置。在排出位置上，卸載器的支架11待機，降下面板載置臺6，將面板用基板201轉(zhuǎn)移到支架11上。
在卸載器130的支架11上，為了防止與處于從面板載置臺6突出、支撐子基板203的狀態(tài)的支撐部43的干涉，設置切口35。此外，如圖13A所示，以被支架11上的吸引孔34真空吸附的狀態(tài)，從下方支撐面板用基板201，在支架11的上面，從下方支撐附在面板用基板的周邊上的子基板。此時，設在縱向的子基板203-1被支架11上的吸引孔33a吸引保持，同時設在橫向的子基板203-2、203-3，被保持在相對的2個支架的兩端上，撓性基板102因子基板203的重量容易向下方彎曲，但如上所述，由于用支架11從下方支撐子基板203，所以子基板203不會從面板用基板201下垂。因此不會產(chǎn)生起因于子基板下垂的輸送差錯等。
在圖1中，卸載器130的支架11上的面板用基板201輸送給下個工序，并且支架11復位到面板用基板的排出位置，以下，對第2張以后的面板用基板201重復相同的操作。
下面，說明根據(jù)上述實施方式的面板組裝裝置的變形例。圖14A、圖14B、圖14C分別是表示基板支撐裝置的變形例的圖示。
在圖14A～圖14C的例中，由于使基板支撐裝置32的支撐部43伸縮，所以采用電機39進行。在該構成中，只要在將子基板連結在撓性基板上后，按從基板載置臺13卸下子基板的定時，將支撐部43形成伸展狀態(tài)就可以，在其以外的定時中，只要形成收縮狀態(tài)就可以。即，能夠收容設在不與基板載置臺13相對的面板載置臺6的周邊上的基板支撐裝置32的支撐部，例如在面板載置臺6的旋轉(zhuǎn)控制中，能夠防止支撐部43與其它部件的干涉等。
支撐部43的伸縮方向，如圖14A～圖14C所示，能夠設定成多種方向。即，在圖14A中，能夠向基板支撐裝置的軸方向伸縮地構成支撐部43b。此時，能夠利用齒條小齒輪等手段將電機39a的旋轉(zhuǎn)運動變換成直線運動，進行運轉(zhuǎn)，也能夠直接采用線性電機進行運轉(zhuǎn)。
在圖14B的例中，支撐部43c，形成通過以Y軸為中心上下方向旋轉(zhuǎn)能夠伸縮的構成。此外，在圖14C的例中，支撐部43d，形成通過以Z軸為中心向水平方向旋轉(zhuǎn)能夠伸縮的構成。在上述例中，由于支撐部43c、43d的運動是旋轉(zhuǎn)運動，所以能夠利用齒輪等手段使其運轉(zhuǎn)。當然，為了使支撐部43伸縮，也可以采用氣缸等空氣設備。
此外，圖15A、圖15B所示的變形例，是基板支撐部件32不伸縮的構成。在此例中，由于通常形成支撐部43a從面板載置臺6突出的狀態(tài)，所以在基板載置臺13上設置插入孔13c，以防止壓接時的支撐部43a和基板載置臺13的干涉。另外，如上所述，在面板載置臺6接近基板載置臺的情況下，由于考慮到撓性基板的下垂，形成在基板載置臺的上方水平移動后下降的構成，所以插入孔13c，優(yōu)選在高度方向即Z軸方向具有富余。
此外，在連結了子基板203和撓性基板202后，如果從基板載置臺13分離面板載置臺6，就利用撓性基板202拉子基板203，向面板載置臺6方移動，最終從基板載置臺13上落下。此時，由于支撐部43a位于在面板載置臺6和基板載置臺13的之間，所以如圖15B所示，子基板203按箭頭所示下落到支撐部43a上，由支撐部43a支撐子基板的端部。其結果，能夠防止子基板203下垂。
另外，通過適宜組合上述實施方式中的任意的實施方式，能夠得到各自具有的效果。
本發(fā)明，參照附圖詳細說明了優(yōu)選的實施方式，但是對于熟悉此項技術的人們，當然能夠進行多種變形或修正。如此的變形或修正，只要不脫離所附權利要求范圍規(guī)定的本發(fā)明范圍，就應理解為包含在其中。
權利要求
1.一種面板組裝裝置，具備面板載置臺，用于載置粘接了撓性基板的面板用基板，且該撓性基板比所述面板用基板的外邊緣伸出；基板載置臺，用于載置粘接在所述撓性基板的伸出部分上的子基板；位置調(diào)整裝置，以所述伸出部分重疊在所述子基板的粘接部分上的方式，調(diào)整所述面板載置臺相對于所述基板載置臺的相對位置；壓接裝置，從載置在所述基板載置臺上的所述子基板的上側朝所述基板載置臺降下壓接頭，壓接所述粘接部分和所述伸出部分；支撐部件，在所述壓接后，通過所述位置調(diào)整裝置，使所述面板載置臺相對離開所述基板載置臺時，開始從下側支撐從基板載置臺卸下的所述子基板。
2.如權利要求1所述的面板組裝裝置，其中所述支撐部件將所述子基板直接支撐在與所述面板用基板大致相同的面上。
3.如權利要求1所述的面板組裝裝置，其中還具備基板供給裝置，其與所述基板載置臺連續(xù)供給子基板；所述面板載置臺，可旋轉(zhuǎn)地構成，以能夠變更與所述基板載置臺對向的所述面板用基板的外邊緣；所述支撐部件，沿著所述載置臺的外邊緣設置多個，支撐通過所述面板載置臺旋轉(zhuǎn)而分別壓接在所述面板用基板的多個外邊緣上的所述子基板。
4.如權利要求1所述的面板組裝裝置，其中所述支撐部件，以在相對于所述面板用基板的外邊緣突出而從下側直接支撐所述子基板的支撐位置、和相對于所述面板用基板的外邊緣不突出而不支撐所述子基板的非支撐位置的之間可移動的方式構成；此外，還具有使所述支撐部件退出的驅(qū)動機構。
5.如權利要求4所述的面板組裝裝置，其中，所述驅(qū)動機構，具備施力部件，沿著所述支撐部件的移動方向朝支撐位置推所述支撐部件；推進部，設在所述基板載置臺上，在通過所述位置調(diào)整裝置向壓接位置相對移動所述基板載置臺和面板載置臺的時候，通過該相對移動，與所述支撐部件碰接，抵抗所述施力部件的作用力，使所述支撐部件沿著所述支撐部件的移動方向移動到非支撐位置。
6.如權利要求1所述的面板用基板，此外，還具備面板排出裝置，其插入在通過所述壓接后面板載置臺和基板載置臺的相對移動形成的兩者間的空間內(nèi)，且該面板排出裝置具有從下側支撐與所述子基板壓接的面板用基板而從所述面板載置臺排出的排出工作臺；所述排出工作臺，具有不與設在所述面板載置臺上的所述支撐部件干涉的切口。
7.一種面板組裝方法，用于壓接面板用基板和子基板，該面板用基板粘接了撓性基板，且該撓性基板比所述面板用基板的外邊緣伸出，所述子基板粘接在所述面板用基板的所述撓性基板的伸出部分上，其中在面板載置臺及基板載置臺上分別載置所述面板用基板及子基板；以所述伸出部分達到所述子基板的粘接位置的方式使載置所述面板用基板及子基板的所述兩載置臺相對移動；從上側降下壓接頭，利用所述壓接頭和所述基板載置臺夾著壓接所述撓性基板和子基板；以所述子基板相對于所述面板用基板不垂下的方式通過設在所述面板用基板的載置臺上的支撐部件從下側支撐壓接在所述面板用基板上的所述子基板，同時使所述面板載置臺移動，從所述基板載置臺卸下壓接在所述面板用基板上的所述子基板。
8.如權利要求7所述的面板組裝方法，其中在所述壓接結束后從所述基板載置臺卸下所述子基板的情況下，在通過以離開基板載置臺的方式相對移動所述面板載置臺而從所述基板載置臺上卸下所述子基板之前，使所述子基板的支撐部件從所述面板用基板的載置臺突出，然后利用所述支撐部件按從所述基板載置臺卸下的定時支撐所述子基板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種面板組裝裝置及面板組裝方法，在壓接伸出地粘接撓性基板(202)的面板用基板(201)和子基板(203)的時候，分別將面板用基板(201)和子基板(203)放置在面板載置臺(6)及基板載置臺(13)上，以撓性基板的伸出部分來到子基板(203)的粘接位置(204)的方式，移動兩載置臺，利用壓接頭(15)壓接撓性基板(202)和子基板(203)，在從基板載置臺(13)卸下壓接的子基板(203)時，以子基板(203)相對于面板用基板(201)不下垂的方式，通過設在面板用基板的載置臺上的支撐部件(43)，直接從下側支撐子基板。
文檔編號G02F1/13GK1780542SQ20051011854
公開日2006年5月31日 申請日期2005年10月27日 優(yōu)先權日2004年11月8日
發(fā)明者中西智昭 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社