專利名稱：光探針掃描集成電路用光刻系統(tǒng)中振動刻寫方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種光探針掃描集成電路光刻系統(tǒng)中振動刻寫方法，屬于集成電路光刻技術領域。
本發(fā)明的特征在于在根據(jù)待光刻的圖形線條的控制數(shù)據(jù)后，當光探針沿著主運動方向X作掃描曝光運動的時，輔以Y方向小幅振動型的步進幅值。所述的Y方向的小幅振動的振幅是根據(jù)圖形線條的位置和寬度調整的。所述的Y方向的小幅振動的振幅是固定的。所述的圖形是掩膜圖形。
它實現(xiàn)了預期目的。
再見圖2。光斑尺寸用方框大小為表示，白色方框表示材料未感光，黑色方框表示已感光。下面結合圖2對工作流程做簡單說明。
現(xiàn)已不固定振幅掃描為例進行說明。長方形區(qū)域表示芯片，正方形表示最小掃描單元，整個芯片面積為18×8，該芯片上共有四段待掃描線條。設定芯片左上角為坐標原點(0，0)，X水平運動速度10mm/s，當工作臺從坐標原點開始運動而激光干涉儀同事開始計數(shù)時，打開激光器，光探針開始振動，振幅為待掃描線條寬度——兩個最小掃描單元(以下簡稱為2)，掃描長度為7。工作臺運動至(7，0)，完成第一段線條掃描后，關閉激光器，光探針的停止振動。工作臺繼續(xù)沿X方向運動，運動至芯片另一端(18，0)，步進距離為2，該點表示為(18，2)。掃描完第一段待掃描線條后，工作臺開始沿X軸反方向運動。工作臺運動至第二段線條的位置時(16，2)，打開激光器，光探針振幅為3，掃描長度為11。一旦工作臺運動至(5，2)，就完成第二段線條的掃描，關閉激光器，光探針停止振動。工作臺繼續(xù)沿X反方向運動，運動至芯片左端的一點(0，2)，步進距離為3，該點坐標應表示為(0，5)，即從Y軸上第5個單元后開始作X向掃描運動，運動至(1，5)，打開激光器，探針不振動。工作臺運動至(4，5)，關閉激光器。工作臺運動至(18，5)，此時步進距離為1，該點應表示為至(18，6)。完成第三條線段的掃描。工作臺再次沿X軸作反向運動。打開激光器，探針振幅為2，工作臺運動至(7，6)，關閉激光器，光探針停止振動。工作臺運動至(0，6)，步進距離為2，該點表示為(0，8)，結束掃描。
圖3是系統(tǒng)主程序流程圖。在初始化時，要設定工作臺初始位置(x，y)，工作臺水平運動速度，工作臺水平運動次數(shù)即掃描次數(shù)，每次掃描時的小幅振動幅值，它與步進幅值相等，還有芯片的長與寬。此時，還要設定工作臺每次掃描運動時，掃描區(qū)域的坐標起始和終止值，即掃描區(qū)域的長寬尺寸。現(xiàn)以圖2為例進行說明。芯片面積為18×8，掃描次數(shù)為4，每次掃描時的小幅振動幅值也即步進幅值為2，3，1，2，單位是最小掃描單元，工作臺水平速度為10mm/s。工作臺第一次X方向運動時，掃描區(qū)域的坐標起點為(0，0)，終點為點(5，0)；工作臺第一次X方向反向運動時，掃描區(qū)域的起點為點(16，2)，終點為(-5，2)；工作臺第二次X方向正向運動時，掃描區(qū)域的起點是(1，5)，終點是(4，5)；工作臺第二次X方向反向運動時，掃描區(qū)域起點為(18，6)，重點為(7，6)。在計算機控制下，工作臺一進入掃描區(qū)域，計算機就發(fā)出刻寫指令，一旦脫離掃描區(qū)，就不發(fā)刻寫指令，實質上就是令激光器打開同時又令光探針振動，否則就關閉記激光器同時令光探針停止振動。其主程序流程圖見3。
圖4為執(zhí)行上述主程序流程圖的電路原理框圖。單片機(89C51)是經(jīng)總線去控制連接于物鏡的壓電陶瓷使光探針發(fā)生小幅振動的。
權利要求
1.一種光探針掃描系統(tǒng)中的不固定光探針振幅的振動刻寫方法，含有X方向掃描和Y方向步進的步驟，其特征在于在根據(jù)待光刻的圖形線條的控制數(shù)據(jù)后，當光探針沿著主運動方向X作掃描曝光運動的時，輔以Y方向小幅振動型的步進幅值。
2.根據(jù)權利要求1的光探針掃描集成電路光刻系統(tǒng)用振動刻寫方法，其特征在于所述的Y方向的小幅振動的振幅是根據(jù)圖形線條的位置和寬度調整的。
3.根據(jù)權利要求1的光探針掃描集成電路光刻系統(tǒng)用振動刻寫方法，其特征在于所述的Y方向的小幅振動的振幅是固定的。
4.根據(jù)權利要求1的光探針掃描集成電路光刻系統(tǒng)用振動刻寫方法，其特征在于所述的圖形是掩膜圖形。
全文摘要
一種光探針掃描集成電路光刻系統(tǒng)中振動刻寫方法，屬于集成電路光刻技術領域，其特征在于在根據(jù)電路圖形或掩膜圖形生成待光刻的圖形線條的控制數(shù)據(jù)后，在光探針沿著主運動X方向作掃描運動時，輔以Y方向的小幅振動型的步進幅值。Y方向的小幅振動的振幅是根據(jù)圖形線條的位置和線寬調整的，也可以是固定的。與單(X)方向掃描－單(Y)方向步進的簡單掃描方式相比，這種X－Y方向復合掃描－Y方向步進的復合掃描方式，其掃描次數(shù)尾Y方向總行程與光探針在Y方向振幅之比，可以大幅度的降低步進次數(shù)，縮短工作時間，提高刻寫效率。
文檔編號G03F7/22GK1447191SQ02116309
公開日2003年10月8日 申請日期2002年3月22日 優(yōu)先權日2002年3月22日
發(fā)明者徐端頤, 錢坤, 齊國生, 蔣培軍, 范曉冬 申請人:清華大學