專(zhuān)利名稱(chēng)：超聲波洗滌機(jī)以及具有超聲波洗滌機(jī)的濕處理噴嘴的制作方法
在對(duì)單張液晶板或半導(dǎo)體片進(jìn)行洗滌時(shí)，現(xiàn)有都是采用，例如圖21所示的超聲波噴淋洗滌機(jī)450。該超聲波噴淋洗滌機(jī)450，如圖所示，在筐體451的內(nèi)部設(shè)有存放洗滌液S的空腔452，在該筐體451的側(cè)面上部，設(shè)有向上述空腔452輸送洗滌液S的輸液口453。在筐體451的下部設(shè)有放出洗滌液S用的噴嘴454，另外，在筐體451的上面，裝著超聲波振動(dòng)器455。洗滌的方法是讓被洗滌物P從該超聲波噴淋洗滌機(jī)450下面通過(guò)，這時(shí)，由圖中未表示出的超聲波發(fā)生裝置驅(qū)動(dòng)超聲波振動(dòng)器455，將洗滌液S噴射到被洗滌物P的表面，進(jìn)行洗滌。
但是，采用這種洗滌方法，洗滌液的用量很大，因此有人考慮采用圖22所示的節(jié)水型超聲波洗滌機(jī)460。該超聲波洗滌機(jī)460具有中央部461a呈凹陷狀、四周端部461b呈遮檐狀的筐體461，超聲波振動(dòng)器462配置于該筐體461的中央部表面，通過(guò)使該超聲波振動(dòng)器462振動(dòng)，讓超聲波輻射到通過(guò)筐體461下面的洗滌液S中的被洗滌物P，進(jìn)行洗滌。
此外，還有人考慮采用與該方法類(lèi)似的、圖23所示的超聲波洗滌機(jī)470。該超聲波洗滌機(jī)470具有中央部471a呈凹陷狀、四周端部471b呈遮檐狀的第一筐體471，以及包圍著該第一筐體471、同樣是中央部472a呈凹陷狀、四周端部472b呈遮檐狀的第二筐體472。在筐體471與472的端部471b、472b之間夾持著密封墊473，在第一筐體471與第二筐體472之間形成空腔474。另外，在該空腔474中裝有防止空燒用的液體，例如水475，同時(shí)在第一筐體471的中央部表面設(shè)置超聲波振動(dòng)器476，通過(guò)使該超聲波振動(dòng)器476振動(dòng)，通過(guò)空腔474中的水475，讓超聲波輻射到通過(guò)第二筐體472下面的洗滌液S中的被洗滌物P，進(jìn)行洗滌。
圖22所示的超聲波洗滌機(jī)460，雖然是節(jié)水型的，但是超聲波振動(dòng)器462的振動(dòng)能除了使筐體461的底面振動(dòng)、通過(guò)洗滌液S輻射到被洗滌物P之外，其余的使得筐體461的壁面產(chǎn)生振動(dòng)，造成了能源的浪費(fèi)。
圖23所示的超聲波洗滌機(jī)470，其密封墊的厚度會(huì)因緊固力的大小而產(chǎn)生細(xì)微的差異，結(jié)果造成空腔474的厚度，即其內(nèi)部裝著的水的深度產(chǎn)生變化。在采用這類(lèi)通過(guò)水使超聲波輻射到被洗滌物的方法時(shí)，如水深產(chǎn)生變化，因?yàn)槌暡ǖ牟ㄩL(zhǎng)與水深之間的關(guān)系，從第二筐體的中央部底面的聲波輻射面發(fā)出的輻射聲壓便會(huì)產(chǎn)生較大的變化。也就是說(shuō)，由于密封墊的緊固力左右著輻射聲壓，因此缺乏穩(wěn)定性。這樣，在水的深度不恰當(dāng)，超聲波輻射面發(fā)出的輻射聲壓較小時(shí)，從超聲波振動(dòng)器發(fā)出的能量中未被有效利用的部分便被用作使第二筐體的壁面產(chǎn)生振動(dòng)的能量，這不僅造成浪費(fèi)，而且還可能因筐體的振動(dòng)而對(duì)其它裝置造成影響。
本發(fā)明的課題是提供一種超聲波輻射效率容易調(diào)整的超聲波洗滌機(jī)以及具有超聲波洗滌機(jī)的濕處理噴嘴。
本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)是具有截面為凹狀的筐體，在該筐體的里面底面設(shè)置有超聲波振動(dòng)器，在上述筐體中設(shè)置有防止筐體壁面振動(dòng)的壓鐵。
采用這樣的結(jié)構(gòu)，超聲波能量不會(huì)泄漏到壁面，超聲波能高效地從底面輻射出來(lái)。
上述的壓鐵只要能提高筐體的剛性即可，可設(shè)置于內(nèi)壁面或外壁面的任何一面，因此可以設(shè)置于上述筐體的內(nèi)壁面與外壁面中至少一面。
因?yàn)樵O(shè)置上述的壓鐵是為了防止超聲波振動(dòng)器發(fā)出的能量逃逸到筐體的，所以如設(shè)在設(shè)有超聲波振動(dòng)器的內(nèi)底面，則超聲波就不會(huì)從設(shè)置壓鐵的部分向外泄漏，因此也可以設(shè)置在上述筐體的內(nèi)底面上不會(huì)妨礙超聲波振動(dòng)器產(chǎn)生振動(dòng)的部位。
上述的壓鐵，作為提高筐體剛性的裝置，其特定部分的厚度即使比其它部分厚也可以實(shí)現(xiàn)同樣的功能，因此可以采用變化上述筐體本身厚度的方法形成。
因?yàn)樯鲜龅膲鸿F是通過(guò)提高筐體的剛性、使壁面的固有頻率與振動(dòng)輸入的頻率不同，不產(chǎn)生共振，從而防止超聲波振動(dòng)器發(fā)出的能量被傳到壁面的，因此最好是在上述筐體的壁面四周全部設(shè)置壓鐵。
本發(fā)明的濕處理噴嘴是其一側(cè)具有引入處理液的引入通道，另一側(cè)具有排出濕處理后的處理液的排出通道，同時(shí)在上述引入通道與上述排出通道之間，具有將上述引入通道引入的處理液引導(dǎo)到被處理物、在使被處理物受振動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行濕處理的振動(dòng)引導(dǎo)部件，上述振動(dòng)引導(dǎo)部件為上述超聲波洗滌機(jī)。
采用這樣的噴嘴，因?yàn)榭梢栽谙虮惶幚砻婀┙o處理液的同時(shí)，將使用過(guò)的處理液通過(guò)排出通道適當(dāng)?shù)嘏懦?，所以可以總是用新鮮的處理液處理被處理面，可以防止使用過(guò)的處理液再污染被處理面。
由于處理液因表面張力等的壓力平衡而被保持在被處理面與振動(dòng)引導(dǎo)部件之間的間隙中，因此可以用最低限度必要量的處理液對(duì)被處理面進(jìn)行濕處理，并且可以確實(shí)地使被處理面受到超聲波振動(dòng)。
由于采用了設(shè)有壓鐵的超聲波洗滌機(jī)作為振動(dòng)引導(dǎo)部件，所以可以獲得濕處理所必需的超聲波能量，用最低限度必要量的處理液便可極好地進(jìn)行處理。
該濕處理噴嘴設(shè)有對(duì)處理液的壓力與大氣壓的差進(jìn)行控制，使與被處理物接觸過(guò)的處理液在濕處理后不流到排出通道外的壓力控制裝置。該壓力控制裝置由，例如設(shè)置于排出通道下游的吸入泵以及設(shè)置于引入通道上游的供液泵構(gòu)成，另外具有探測(cè)與被處理物接觸的處理液的壓力用的壓力傳感器，以及根據(jù)該壓力傳感器的信號(hào)對(duì)吸入泵與供液泵的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制的控制裝置。
本發(fā)明的另一種超聲波洗滌機(jī)是具有截面為凹狀、內(nèi)部有空腔的筐體，在該筐體的凹陷里面的內(nèi)底面上設(shè)置有超聲波振動(dòng)器，在上述空腔中裝有將上述超聲波振動(dòng)器發(fā)生的振動(dòng)傳到上述筐體凹形外面的外底面的空燒防止液，在上述筐體中設(shè)置有防止筐體壁面振動(dòng)的壓鐵。
采用這樣的結(jié)構(gòu)，即使空腔的厚度、即空燒防止液、例如水的深度與超聲波的波長(zhǎng)因?yàn)槔缑芊鈮|緊固的關(guān)系而不匹配，超聲波振動(dòng)器產(chǎn)生的能量通過(guò)空燒防止液使筐體凹形外面的底面產(chǎn)生振動(dòng)，也可以由壓鐵來(lái)抑制振動(dòng)，因此振動(dòng)能可通過(guò)空燒防止液回歸筐體中央底面，作為超聲波從底面高效地發(fā)送出來(lái)。
空燒防止液最好用除氣的液體。通過(guò)除氣，空燒防止液的流量(為冷卻而進(jìn)行的循環(huán))也可以大幅度地降低。如該空燒防止液中有大量氣泡，則還是會(huì)產(chǎn)生與空燒同樣的現(xiàn)象的。
因?yàn)樯鲜龅膲鸿F是用來(lái)提高筐體剛性的裝置，因此可設(shè)置于外面的外壁面與內(nèi)壁面的任何一面，所以最好設(shè)置于構(gòu)成筐體的上述凹形外面的外壁面與內(nèi)壁面中至少一面。
在這種情況下，因?yàn)閴鸿F還提高了凹形里面的壁面剛性，從而防止了設(shè)置于凹形里面的超聲波振動(dòng)器發(fā)出的超聲波振動(dòng)能量逃逸到壁面，因此也可以設(shè)置于構(gòu)成筐體的上述凹形里面的外壁面與內(nèi)壁面中至少一面。
通過(guò)將上述壓鐵設(shè)置于凹形外面的內(nèi)底面的、與設(shè)置在凹形里面的超聲波振動(dòng)器相當(dāng)?shù)拿娣e的外側(cè)，便可防止超聲波能量從凹形外面的內(nèi)底面的周邊泄漏到壁面，通過(guò)將上述壓鐵設(shè)置于設(shè)置在凹形里面的超聲波振動(dòng)器的外側(cè)，可以防止超聲波能量從凹形里面的內(nèi)底面泄漏到壁面，因此上述壓鐵也可以設(shè)置在上述筐體的上述凹形外面的內(nèi)底面與上述凹形里面的底面中至少一面，即內(nèi)底面或底面上不會(huì)妨礙超聲波振動(dòng)器產(chǎn)生振動(dòng)的部位。
此外，上述的壓鐵是為了改變筐體本身的剛性而設(shè)置的，因此其構(gòu)成方法可以采用新加壓鐵的辦法，也可以采用使必要的部分增加厚度的辦法，所以可以采用改變筐體的上述外凹面或上述內(nèi)凹面的厚度的方法來(lái)形成。
因?yàn)樯鲜龅膲鸿F是通過(guò)提高筐體的剛性、使壁面的固有頻率與振動(dòng)輸入的頻率不同，不產(chǎn)生共振，從而防止超聲波振動(dòng)器發(fā)出的能量被傳到壁面的，因此最好是在上述筐體的壁面四周全部設(shè)置壓鐵。
上述筐體最好在中央部呈凹陷狀、四周端部呈遮檐狀的第一筐體周?chē)?，設(shè)置同樣是中央部呈凹陷狀、四周端部呈遮檐狀的第二筐體，而且在這些筐體的端部之間夾持著密封墊，在第一筐體與第二筐體之間形成空腔。
采用這樣的筐體，只要在該空腔中注入適當(dāng)?shù)囊后w，即使筐體下面沒(méi)有濕處理液，也不會(huì)發(fā)生空燒，可防止超聲波振動(dòng)器被損壞。在筐體下面有濕處理液的情況下，則可以使超聲波能量充分地傳輸?shù)綕裉幚硪骸?br> 本發(fā)明的上述的另一種超聲波洗滌機(jī)最好具有這樣的結(jié)構(gòu)上述密封墊由中央部有穿孔的彈性部件構(gòu)成，上述第一筐體與第二筐體由板狀部件構(gòu)成，第一筐體的上述遮檐狀端部與第二筐體的上述遮檐狀端部對(duì)彈性部件的夾持通過(guò)貫穿這些端部的螺栓來(lái)實(shí)現(xiàn)，通過(guò)對(duì)螺栓緊固的調(diào)節(jié)來(lái)改變密封墊的厚度。
采用這樣的結(jié)構(gòu)，夾在第一筐體的遮檐狀端部與第二筐體的遮檐狀端部之間的彈性部件的厚度便可用調(diào)節(jié)螺栓緊固程度的辦法進(jìn)行調(diào)整，這樣便可方便地對(duì)超聲波的輻射強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)整。
另外，本發(fā)明的另一種濕處理噴嘴是其一側(cè)具有引入處理液的引入通道，另一側(cè)具有排出濕處理后的處理液的排出通道，同時(shí)在上述引入通道與上述排出通道之間，具有將上述引入通道引入的處理液引導(dǎo)到被處理物、在使被處理物受振動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行濕處理的振動(dòng)引導(dǎo)部件，上述振動(dòng)引導(dǎo)部件為上述另一種超聲波洗滌機(jī)。
采用這樣的噴嘴，因?yàn)榭梢栽谙虮惶幚砻婀┙o處理液的同時(shí)，將使用過(guò)的處理液通過(guò)排出通道適當(dāng)?shù)嘏懦?，所以可以總是用新鮮的處理液處理被處理面，可以防止使用過(guò)的處理液再污染被處理面。
由于處理液因表面張力等的壓力平衡而被保持在被處理面與振動(dòng)引導(dǎo)部件之間的間隙中，因此可以用最低限度必要量的處理液對(duì)被處理面進(jìn)行濕處理，并且可以確實(shí)地使被處理面受到超聲波振動(dòng)。
而且，采用這樣的結(jié)構(gòu)，即使超聲波振動(dòng)引導(dǎo)部件與被處理面之間的處理液不足，也因?yàn)樵诔暡ㄕ駝?dòng)器與超聲波振動(dòng)引導(dǎo)部件之間有空燒防止液的關(guān)系，可以確實(shí)地防止超聲波振動(dòng)器的空燒。
該濕處理噴嘴也與設(shè)有上述的、對(duì)處理液的壓力與大氣壓的差進(jìn)行控制，使與被處理物接觸過(guò)的處理液在濕處理后不流到排出通道外的壓力控制裝置。
下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。


圖1A表示的是本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第一實(shí)施例的立體圖；圖1B是沿圖1A的Ib-Ib線的放大縱截面圖。
圖2是表示圖1A、圖1B所示的超聲波洗滌機(jī)的被洗滌物洗滌狀態(tài)的縱截面圖。
圖3是表示本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第二實(shí)施例的縱截面圖。
圖4是表示本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第三實(shí)施例的縱截面圖。
圖5是表示本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第四實(shí)施例的縱截面圖。
圖6是表示本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第五實(shí)施例的縱截面圖。
圖7是表示本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第六實(shí)施例的縱截面圖。
圖8是表示本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第七實(shí)施例的縱截面圖。
圖9是表示本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第八實(shí)施例的縱截面圖。
圖10A表示的是本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第十實(shí)施例的立體圖；圖10B是沿圖10A的Xb-Xb線的放大縱截面圖。
圖11A表示的是本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第十一實(shí)施例的立體圖；圖11B是沿圖11A的XIb-XIb線的放大縱截面圖。
圖12A表示的是本發(fā)明的濕處理噴嘴的一種實(shí)施例的立體圖；圖12B是沿圖12A的XIIb-XIIb線的放大縱截面圖。
圖13是表示圖12A、圖12B所示的濕處理噴嘴的被洗滌物洗滌狀態(tài)的縱截面圖。
圖14A表示的是本發(fā)明的另一種超聲波洗滌機(jī)的第一實(shí)施例的立體圖；圖14B是沿圖14A的XIVb-XIVb線的放大縱截面圖。
圖15是表示圖14A、圖14B所示的超聲波洗滌機(jī)的被洗滌物洗滌狀態(tài)的縱截面圖。
圖16是表示本發(fā)明的另一種超聲波洗滌機(jī)的第二實(shí)施例的縱截面圖。
圖17是表示本發(fā)明的另一種超聲波洗滌機(jī)的第三實(shí)施例的縱截面圖。
圖18A表示的是本發(fā)明的另一種超聲波洗滌機(jī)的第四實(shí)施例的立體圖；圖18B是沿圖18A的XVIIIb-XVIIIb線的放大縱截面圖。
圖19A表示的是本發(fā)明的另一種濕處理噴嘴的一種實(shí)施例的立體圖；圖19B是沿圖19A的XIXb-XIXb線的放大縱截面圖。
圖20是表示圖19A、圖19B所示的濕處理噴嘴的被洗滌物洗滌狀態(tài)的截面圖。
圖21是現(xiàn)有的超聲波噴淋洗滌機(jī)的縱截面圖。
圖22是現(xiàn)有的節(jié)水型超聲波洗滌機(jī)的縱截面圖。
圖23是現(xiàn)有的雙重槽式節(jié)水型超聲波洗滌機(jī)的縱截面圖。
圖1A、圖1B表示的是本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第一實(shí)施例。
該超聲波洗滌機(jī)10具有中央部11a呈凹陷狀、四周端部11b呈遮檐狀的槽形第一筐體11，以及包圍著該第一筐體11、同樣是中央部12a呈凹陷狀、四周端部12b呈遮檐狀的槽形第二筐體12。在這些筐體11與12的端部11b、12b之間夾持著密封墊13，在第一筐體11與第二筐體12之間形成空腔14。另外，在第一、第二筐體11、12的端部11b、12b之間整個(gè)四周全配置有密封墊13，用多個(gè)螺栓18與螺母19緊固。
因夾持該密封墊13而形成的第一筐體11與第二筐體12之間的空腔14中，注入除氣的水15作為空燒防止液。水15至少裝滿(mǎn)第一筐體11的中央部(底面)11a與第二筐體12的中央部(底面)12a之間的間隙。另外，在第一筐體11的中央部11a的表面配置著超聲波振動(dòng)器16，通過(guò)讓超聲波振動(dòng)器16振動(dòng)，經(jīng)由空腔14中的水15，向在第二筐體12的橫向?qū)挾萀構(gòu)成的輻射面下面的洗滌液(圖中未表示出)中通過(guò)的被洗滌物(圖中未表示出)進(jìn)行超聲波照射，進(jìn)行洗滌。
在第二筐體12的壁面12c的下部外側(cè)，圍繞著整個(gè)壁面12c，設(shè)有環(huán)狀的壓鐵17。
下面對(duì)設(shè)置該壓鐵17的作用與效果進(jìn)行說(shuō)明，如圖2所示，超聲波洗滌機(jī)10的第二筐體12的中央部12a浸泡在洗滌液S中，使得被洗滌物P從超聲波洗滌機(jī)10的下面通過(guò)。通過(guò)圖中未表示出的超聲波發(fā)生裝置使超聲波振動(dòng)器16振動(dòng)，經(jīng)由空腔14中的水15，向在第二筐體12的橫向?qū)挾萀構(gòu)成的輻射面下面通過(guò)的被洗滌物P進(jìn)行超聲波照射，進(jìn)行洗滌。
在第一筐體11與第二筐體12的端部11b、12b之間夾持著密封墊13，緊固、固定，形成了空腔14，但如因密封墊13的緊固程度的關(guān)系，空腔14的厚度、即水15的深度與超聲波的波長(zhǎng)不匹配的話(huà)，從第二筐體12的中央部12a、即底面的聲波輻射面發(fā)出的輻射聲壓就會(huì)減少。從超聲波振動(dòng)器16發(fā)送出來(lái)的振動(dòng)能的減少部分使得第二筐體12的壁面12c產(chǎn)生振動(dòng)，但是因?yàn)閴鸿F17使振動(dòng)受到抑制，所以振動(dòng)能通過(guò)水15向第二筐體12的底面12a的方向回歸，從底面12a作為超聲波輻射出來(lái)。這樣，不管密封墊13的緊固程度如何，超聲波振動(dòng)器16產(chǎn)生的能量可高效率地輻射到被洗滌物。
這樣，由于設(shè)置了壓鐵17，本來(lái)為密封墊13的緊固程度所左右的水深變化引起的輻射聲壓的變化，被控制為大致一定。
下面，分別參照?qǐng)D3至圖8，對(duì)本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第二至第八實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。這些實(shí)施例是在圖1A、圖1B所示的第一實(shí)施例中，在加上壓鐵17外再附加其它的壓鐵而構(gòu)成的，對(duì)與圖1A、圖1B所示的結(jié)構(gòu)部件相同的部件給予同一符號(hào)，并省去了對(duì)這些部件的說(shuō)明。
圖3所示的第二實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)第二筐體12的壁面12c的里面下部設(shè)置了環(huán)狀的第二壓鐵21的超聲波洗滌機(jī)20。通過(guò)設(shè)置第二壓鐵21，第二實(shí)施例與第一實(shí)施例相比，壓鐵17可以較小，這樣可以使筐體12與壓鐵17構(gòu)成的整個(gè)超聲波洗滌機(jī)本身的寬度較小。另外還可以使壓鐵17的下部的面的研磨處理更加方便易行。
圖4所示的第三實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)第一筐體11的壁面11c的里面下部設(shè)置了環(huán)狀的第三壓鐵31的超聲波洗滌機(jī)30。通過(guò)設(shè)置第三壓鐵31，第三實(shí)施例與第一實(shí)施例相比，可以防止從設(shè)置于第一筐體11的超聲波振動(dòng)器16輻射出來(lái)的超聲波能量被傳輸?shù)奖诿?1c，其結(jié)果是傳輸?shù)娇諢乐挂旱某暡芰康谋嚷蕵O佳，從外底面12c輻射出來(lái)的超聲波能量大為增加。
圖5所示的第四實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)第一筐體11的壁面11c的外面下部設(shè)置了環(huán)狀的第四壓鐵41的超聲波洗滌機(jī)40。通過(guò)設(shè)置第四壓鐵41，第四實(shí)施例與第三實(shí)施例具有差不多同樣的效果。
圖6所示的第五實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)第二筐體12的底面12a的里面周緣部設(shè)置了環(huán)狀的第五壓鐵51的超聲波洗滌機(jī)50。通過(guò)設(shè)置第五壓鐵51，第五實(shí)施例與第一實(shí)施例相比，壓鐵17可以較小，這樣可以使筐體12與壓鐵17構(gòu)成的整個(gè)超聲波洗滌機(jī)本身的寬度較小。另外還可以使壓鐵17的下部的面的研磨處理更加方便易行，降低生產(chǎn)成本。
圖7所示的第六實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)第一筐體11的底面11a的里面周緣部設(shè)置了環(huán)狀的第六壓鐵61的超聲波洗滌機(jī)60。通過(guò)設(shè)置第六壓鐵61，第六實(shí)施例與第三實(shí)施例具有差不多同樣的效果。
圖8所示的第七實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)第二筐體12的壁面12c的里面下部設(shè)置了環(huán)狀的第七壓鐵71，而且在環(huán)繞整個(gè)第二筐體12的底面12a的里面周緣部設(shè)置了環(huán)狀的第八壓鐵72的超聲波洗滌機(jī)70。通過(guò)設(shè)置第七壓鐵71與第八壓鐵72，第七實(shí)施例與第一實(shí)施例相比，壓鐵17可以比第五實(shí)施例更小，這樣可以使整個(gè)筐體的寬度較小，而且還可以使壓鐵17與凹形外面12之間的部分的研磨處理比第五實(shí)施例更好，可提高濕處理的穩(wěn)定性。
圖9所示的第八實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)第一筐體11的壁面11c的里面下部設(shè)置了環(huán)狀的第九壓鐵81，而且在環(huán)繞整個(gè)第一筐體11的壁面11c的里面下部設(shè)置了環(huán)狀的第十壓鐵82，在環(huán)繞整個(gè)第一筐體11的底面11a的里面周緣部設(shè)置了環(huán)狀的第十一壓鐵83的超聲波洗滌機(jī)80。通過(guò)設(shè)置第九壓鐵81，第十壓鐵82與第十一壓鐵83，第八實(shí)施例與第三實(shí)施例差不多同樣，可以從第二筐體的底面12a良好地輻射出超聲波。
下面，分別參照?qǐng)D10A、圖10B與圖11A、圖11B，對(duì)本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)的第九與第十實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。這些實(shí)施例是在圖1A、圖1B所示的實(shí)施例中，除去壓鐵17，在第一筐體11或第二筐體12上設(shè)置其它的壓鐵而構(gòu)成的，對(duì)與圖1A、圖1B所示的結(jié)構(gòu)部件相同的部件給予同一符號(hào)，并省去了對(duì)這些部件的說(shuō)明。
圖10A、圖10B所示的第九實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)第二筐體12的壁面12c的里面下部設(shè)置了環(huán)狀的第十二壓鐵91的超聲波洗滌機(jī)90。通過(guò)設(shè)置第十二壓鐵91，第九實(shí)施例與第一實(shí)施例相比，因?yàn)闆](méi)有了壓鐵17，處理噴嘴的寬度可以由第二筐體12的大小確定，不會(huì)增加噴嘴本身的寬度，而且這樣可以使筐體12的外壁面與外底面的研磨處理極為方便易行，濕處理噴嘴的制造也非常方便。
圖11A、圖11B所示的第十實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)第二筐體12的底面12a的里面周緣部設(shè)置了環(huán)狀的第十三壓鐵101的超聲波洗滌機(jī)100。通過(guò)設(shè)置第十三壓鐵101，第十實(shí)施例與第九實(shí)施例差不多具有同樣的效果。
下面，參照?qǐng)D12A、圖12B，對(duì)采用上述超聲波洗滌機(jī)的本發(fā)明的濕處理噴嘴的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
該濕處理噴嘴110的一側(cè)具有引入處理液(圖中未表示出)的引入通道111，另一側(cè)具有排出濕處理后的處理液L的排出通道112，同時(shí)在引入通道111與排出通道112之間，具有將上述引入通道111引入的處理液引導(dǎo)到被處理物(圖中未表示出)、而且在使被處理物受振動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行濕處理的振動(dòng)引導(dǎo)部件113，振動(dòng)引導(dǎo)部件113采用圖1A、圖1B所示的超聲波洗滌機(jī)10。因此，在圖12A、圖12B中，對(duì)與圖1A、圖1B相同的部件給予同一符號(hào)，并省去了對(duì)這些部件的說(shuō)明。
在圖12A、圖12B中，形成引入通道111的引入通道框架114由截面為L(zhǎng)形的不銹鋼金屬板制成，其底面114a與振動(dòng)引導(dǎo)部件的底面12a成一個(gè)面或大致成一個(gè)面。引入通道框架114，在其長(zhǎng)度方向中央部形成有向斜上方延伸的引入管114b，其壁面114c與設(shè)置于振動(dòng)引導(dǎo)部件外壁面12c的壓鐵17焊接在一起。另外，它們的連結(jié)也可以采用螺栓等連結(jié)方法。
同樣地，形成排出通道112的排出通道框架115由截面為L(zhǎng)形的不銹鋼金屬板制成，其底面115a與振動(dòng)引導(dǎo)部件的底面12a成一個(gè)面或大致成一個(gè)面。排出通道框架115，在其長(zhǎng)度方向中央部形成有向斜上方延伸的引入管115b，其壁面115c與設(shè)置于振動(dòng)引導(dǎo)部件外壁面12c的壓鐵17焊接在一起。另外，它們的連結(jié)也可以采用螺栓等連結(jié)方法。
在該濕處理噴嘴110上，裝有對(duì)處理液的壓力與大氣壓的差進(jìn)行控制，使與被處理物接觸過(guò)的處理液在濕處理后不流到排出通道外的壓力控制裝置(圖中未表示出)。另外，在該濕處理噴嘴110上，還裝有使振動(dòng)引導(dǎo)部件113與被處理物保持一定間隔、使處理液保持在該間隔中的定位裝置(圖中未表示出)。
下面，參照?qǐng)D13對(duì)采用該濕處理噴嘴的濕處理方法進(jìn)行說(shuō)明。
在被處理物P與濕處理噴嘴110各自向箭頭A、B方向相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，通過(guò)引入通道111將處理液L，例如純凈水、離子交換水、臭氧水、氫水依次輸送給被處理物P，通過(guò)壓力控制裝置(圖中未表示出)對(duì)與被處理物P接觸的處理液L的壓力與大氣壓的差進(jìn)行控制，輸送到被處理物那部分以外的處理液L不與被處理物接觸，從被處理物P上面排出。
圖12A、圖12B所示的濕處理噴嘴是用圖1A、圖1B所示的超聲波洗滌機(jī)作為振動(dòng)引導(dǎo)部件的，但是，本發(fā)明的濕處理噴嘴不限于此，例如也可以采用圖3至圖11A、圖11B所示的超聲波洗滌機(jī)。
下面，對(duì)本發(fā)明的另一種超聲波洗滌機(jī)的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
作為另一種超聲波洗滌機(jī)的第一實(shí)施例的超聲波洗滌機(jī)200，如圖14A、圖14B所示，由中央部201a呈凹陷狀、四周端部201b呈遮檐狀的槽形筐體201，設(shè)置于該中央部201a的表面的超聲波振動(dòng)器216，以及設(shè)置于筐體壁面201c的外面下部、圍繞著整個(gè)壁面四周的環(huán)狀壓鐵217構(gòu)成。
該超聲波洗滌機(jī)200，通過(guò)讓超聲波振動(dòng)器216振動(dòng)，向在筐體201的橫向?qū)挾萀2構(gòu)成的輻射面下面的洗滌液(圖中未表示出)中通過(guò)的被洗滌物(圖中未表示出)進(jìn)行超聲波照射，進(jìn)行洗滌。
下面，對(duì)設(shè)置該壓鐵217的作用與效果進(jìn)行說(shuō)明，如圖15所示，超聲波洗滌機(jī)200的筐體201的中央部201a浸泡在洗滌液S中，使得被洗滌物P從超聲波洗滌機(jī)200的下面通過(guò)。通過(guò)圖中未表示出的超聲波發(fā)生裝置使超聲波振動(dòng)器216振動(dòng)，向在筐體201的橫向?qū)挾萀2構(gòu)成的輻射面下面通過(guò)的被洗滌物P進(jìn)行超聲波照射，進(jìn)行洗滌。進(jìn)行這樣的處理時(shí)，壓鐵217由于某種原因，能很好地防止超聲波振動(dòng)器216輻射出來(lái)的超聲波能量輸送到筐體201，輸送到壓鐵217的上方，因此能很好地使超聲波能量通過(guò)底面201a輸送到洗滌液S，很好地進(jìn)行洗滌。
下面，分別參照?qǐng)D16與圖17對(duì)本發(fā)明的另一種超聲波洗滌機(jī)的第二與第三實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。這些實(shí)施例是在圖14A、圖14B所示的另一種超聲波洗滌機(jī)的第一實(shí)施例中，在加上壓鐵217外再附加其它的壓鐵而構(gòu)成的，對(duì)與圖14A、圖14B所示的結(jié)構(gòu)部件相同的部件給予同一符號(hào)，并省去了對(duì)這些部件的說(shuō)明。
圖16所示的另一種超聲波洗滌機(jī)的第二實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)筐體201的壁面201c的里面下部設(shè)置了環(huán)狀的第二壓鐵218的超聲波洗滌機(jī)230。通過(guò)設(shè)置壓鐵218，該第二實(shí)施例與圖14A、圖14B所示的第一實(shí)施例相比，壓鐵217可以較小，這樣可以使筐體201的外壁面、外底面的研磨處理更加方便易行，可以提高噴嘴的穩(wěn)定性。超聲波能量有效地輸送到洗滌液的效果可以與圖14A、圖14B所示的第一實(shí)施例相同。
圖17所示的另一種超聲波洗滌機(jī)的第三實(shí)施例是在圖16所示的洗滌機(jī)的基礎(chǔ)上，環(huán)繞整個(gè)筐體201的底面201a的里面周緣部再設(shè)置環(huán)狀的第三壓鐵219的超聲波洗滌機(jī)240。通過(guò)設(shè)置壓鐵218、219，該第三實(shí)施例與圖14A、圖14B所示的第一實(shí)施例相比，壓鐵217可以較小。這樣可以使筐體201的外壁面、外底面的研磨處理比第二實(shí)施例更加方便易行，可以提高噴嘴的穩(wěn)定性。
下面，參照?qǐng)D18A、圖18B對(duì)本發(fā)明的另一種超聲波洗滌機(jī)的第四實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。該實(shí)施例是在圖14A、圖14B所示的第一實(shí)施例中，除去壓鐵217，在筐體201上設(shè)置其它的壓鐵而構(gòu)成的，對(duì)與圖14A、圖14B所示的結(jié)構(gòu)部件相同的部件給予同一符號(hào)，并省去了對(duì)這些部件的說(shuō)明。
圖18A、圖18B所示的第四實(shí)施例是環(huán)繞整個(gè)筐體201的底面201a的里面周緣部設(shè)置了環(huán)狀的第四壓鐵220的超聲波洗滌機(jī)250。通過(guò)設(shè)置壓鐵220，該實(shí)施例與圖14A、圖14B所示的第一實(shí)施例相比，因?yàn)榭痼w201的外壁面沒(méi)有了附加物，因此可以使筐體201的外壁面與外底面的研磨處理最為方便易行，濕處理噴嘴的穩(wěn)定性可以得到大幅度的提高。
下面，參照?qǐng)D19A、圖19B對(duì)采用上述超聲波洗滌機(jī)的本發(fā)明的濕處理噴嘴的一種實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
該濕處理噴嘴310的一側(cè)具有引入處理液(圖中未表示出)的引入通道311，另一側(cè)具有排出濕處理后的處理液L的排出通道312，同時(shí)在引入通道311與排出通道312之間，設(shè)有將上述引入通道311引入的處理液引導(dǎo)到被處理物(圖中未表示出)、而且在使被處理物受振動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行濕處理的振動(dòng)引導(dǎo)部件313。振動(dòng)引導(dǎo)部件313采用圖16所示的超聲波洗滌機(jī)230。因此，在圖19A、圖19B中，對(duì)與圖16相同的部件給予同一符號(hào)，并省去了對(duì)這些部件的說(shuō)明。
在圖19A、圖19B中，形成引入通道311的引入通道框架314由截面為L(zhǎng)形的不銹鋼金屬板制成，其底面314a與振動(dòng)引導(dǎo)部件的底面201a成一個(gè)面或大致成一個(gè)面。引入通道框架314，在其長(zhǎng)度方向中央部形成有向斜上方延伸的引入管314b，其壁面314c與設(shè)置于振動(dòng)引導(dǎo)部件外壁面201c的壓鐵217焊接在一起。另外，它們的連結(jié)也可以采用螺栓等連結(jié)方法。
同樣地，形成排出通道312的排出通道框架315由截面為L(zhǎng)形的不銹鋼金屬板制成，其底面315a與振動(dòng)引導(dǎo)部件的底面201a成一個(gè)面或大致成一個(gè)面。排出通道框架315，在其長(zhǎng)度方向中央部形成有向斜上方延伸的排出管315b，其壁面315c與設(shè)置于振動(dòng)引導(dǎo)部件外壁面201c的壓鐵217焊接在一起。另外，它們的連結(jié)也可以采用螺栓等連結(jié)方法。
在該濕處理噴嘴300上，裝有對(duì)處理液的壓力與大氣壓的差進(jìn)行控制，使與被處理物接觸過(guò)的處理液在濕處理后不流到排出通道外的壓力控制裝置(圖中未表示出)。另外，在該濕處理噴嘴300上，還裝有使振動(dòng)引導(dǎo)部件313與被處理物保持一定間隔、使處理液保持在該間隔中的定位裝置(圖中未表示出)。
下面，參照?qǐng)D20對(duì)采用該濕處理噴嘴的濕處理方法進(jìn)行說(shuō)明。
在被處理物P與濕處理噴嘴300各自向箭頭C、D方向相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，通過(guò)引入通道311將處理液L，例如純凈水、離子交換水、臭氧水、氫水依次輸送給被處理物P，通過(guò)壓力控制裝置(圖中未表示出)對(duì)與被處理物P接觸的處理液L的壓力與大氣壓的差進(jìn)行控制，輸送到被處理物那部分以外的處理液L不與被處理物接觸，從被處理物P上面排出。
圖19A、圖19B所示的另一種濕處理噴嘴是用圖16所示的超聲波洗滌機(jī)作為振動(dòng)引導(dǎo)部件的，但是，本發(fā)明的濕處理噴嘴不限于此，例如也可以采用圖14A、圖14B、圖17或圖18A、圖18B等所示的另一種超聲波洗滌機(jī)。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的超聲波洗滌機(jī)，由于筐體壁面的振動(dòng)因壓鐵而受到抑制，所以振動(dòng)能可以通過(guò)空燒防止液或筐體本身向筐體中央的底面方向回歸，作為超聲波從底面高效率地輻射出來(lái)。這樣，便可制成能方便地調(diào)節(jié)超聲波輻射效率的超聲波洗滌機(jī)以及采用該超聲波洗滌機(jī)的濕處理噴嘴。
權(quán)利要求
1.一種超聲波洗滌機(jī)，其特征是具有截面為凹狀的筐體，在該筐體的里面底面設(shè)置有超聲波振動(dòng)器，在上述筐體中設(shè)置有防止筐體壁面振動(dòng)的壓鐵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是上述的壓鐵設(shè)置于上述筐體的內(nèi)壁面與外壁面中至少一面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是上述壓鐵設(shè)置在筐體的內(nèi)底面上不會(huì)妨礙超聲波振動(dòng)器產(chǎn)生振動(dòng)的部位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是上述壓鐵用變化筐體厚度的方法形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是在上述筐體的壁面四周全部設(shè)置上述壓鐵。
6.一種濕處理噴嘴，其一側(cè)具有引入處理液的引入通道，另一側(cè)具有排出濕處理后的處理液的排出通道，同時(shí)在上述引入通道與上述排出通道之間，具有將上述引入通道引入的處理液引導(dǎo)到被處理物、在使被處理物受振動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行濕處理的振動(dòng)引導(dǎo)部件，其特征是上述振動(dòng)引導(dǎo)部件為權(quán)利要求1所述的超聲波洗滌機(jī)。
7.一種超聲波洗滌機(jī)，其特征是具有截面為凹狀、內(nèi)部有空腔的筐體，在該筐體的凹形里面的內(nèi)底面設(shè)置有超聲波振動(dòng)器，在上述空腔中裝有將上述超聲波振動(dòng)器發(fā)生的振動(dòng)傳到上述筐體凹形外面的外底面的空燒防止液，在上述筐體中設(shè)置有防止筐體壁面振動(dòng)的壓鐵。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是上述的壓鐵設(shè)置于筐體的構(gòu)成上述凹形外面的外壁面與內(nèi)壁面中至少一面。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是上述的壓鐵設(shè)置于筐體的構(gòu)成上述凹形里面的外壁面與內(nèi)壁面中至少一面。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是上述的壓鐵設(shè)置在上述筐體的上述凹形外面的內(nèi)底面與上述凹形里面的底面中至少一面，即內(nèi)底面或底面上不會(huì)妨礙超聲波振動(dòng)器產(chǎn)生振動(dòng)的部位。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是上述壓鐵用變化筐體的上述外凹面或上述內(nèi)凹面的厚度的方法形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是在上述筐體的壁面四周全部設(shè)置上述壓鐵。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是上述筐體在中央部呈凹陷狀、四周端部呈遮檐狀的第一筐體周?chē)?，設(shè)置同樣是中央部呈凹陷狀、四周端部呈遮檐狀的第二筐體，而且在這些筐體的端部之間夾持著密封墊，在該第一筐體與第二筐體之間形成上述空腔。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的超聲波洗滌機(jī)，其特征是上述密封墊由中央部有穿孔的彈性部件構(gòu)成，上述第一筐體與第二筐體由板狀部件構(gòu)成，第一筐體的上述遮檐狀端部與第二筐體的上述遮檐狀端部對(duì)彈性部件的夾持通過(guò)貫穿這些端部的螺栓來(lái)實(shí)現(xiàn)，通過(guò)對(duì)螺栓緊固程度的調(diào)節(jié)來(lái)改變密封墊的厚度。
15.一種濕處理噴嘴，其一側(cè)具有引入處理液的引入通道，另一側(cè)具有排出濕處理后的處理液的排出通道，同時(shí)在上述引入通道與上述排出通道之間，具有將上述引入通道引入的處理液引導(dǎo)到被處理物、在使被處理物受振動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行濕處理的振動(dòng)引導(dǎo)部件，其特征是上述振動(dòng)引導(dǎo)部件為權(quán)利要求7所述的超聲波洗滌機(jī)。
16.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述壓鐵，設(shè)置于上述筐體的內(nèi)壁面與外壁面中至少一面。
17.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述壓鐵，設(shè)置在筐體的內(nèi)底面上不會(huì)妨礙超聲波振動(dòng)器產(chǎn)生振動(dòng)的部位。
18.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述壓鐵，用變化筐體厚度的方法形成。
19.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述壓鐵，在上述筐體的壁面四周全部設(shè)置。
20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述壓鐵，設(shè)置于筐體的構(gòu)成上述凹形外面的外壁面與內(nèi)壁面中至少一面。
21.根據(jù)權(quán)利要求15所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述壓鐵，設(shè)置于筐體的構(gòu)成上述凹形里面的外壁面與內(nèi)壁面中至少一面。
22.根據(jù)權(quán)利要求15所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述壓鐵，設(shè)置在上述筐體的上述凹形外面的內(nèi)底面與上述凹形里面的底面中至少一面，即內(nèi)底面或底面上不會(huì)妨礙超聲波振動(dòng)器產(chǎn)生振動(dòng)的部位。
23.根據(jù)權(quán)利要求15所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述壓鐵，用變化筐體的上述外凹面或上述內(nèi)凹面的厚度的方法形成。
24.根據(jù)權(quán)利要求15所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述壓鐵，在上述筐體的壁面四周全部設(shè)置。
25.根據(jù)權(quán)利要求15所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述筐體在中央部呈凹陷狀、四周端部呈遮檐狀的第一筐體周?chē)?，設(shè)置同樣是中央部呈凹陷狀、四周端部呈遮檐狀的第二筐體，而且在這些筐體的端部之間夾持著密封墊，在該第一筐體與第二筐體之間形成上述空腔。
26.根據(jù)權(quán)利要求15所述的濕處理噴嘴，其特征是上述的超聲波洗滌機(jī)的上述密封墊由中央部有穿孔的彈性部件構(gòu)成，上述第一筐體與第二筐體由板狀部件構(gòu)成，第一筐體的上述遮檐狀端部與第二筐體的上述遮檐狀端部對(duì)彈性部件的夾持通過(guò)貫穿這些端部的螺栓來(lái)實(shí)現(xiàn)，通過(guò)對(duì)螺栓緊固程度的調(diào)節(jié)來(lái)改變密封墊的厚度。
全文摘要
本發(fā)明是在中央部呈凹陷狀、四周端部11b呈遮檐狀的槽形第一筐體11周?chē)?配置同樣是中央部呈凹陷狀、四周端部12b呈遮檐狀的槽形第二筐體12,在這些筐體的端部之間用螺栓18與螺母19夾持著密封墊13,在第一筐體11與第二筐體12之間形成空腔14。另外在空腔14中,注入防止空燒用的除氣的水15,另外,在第一筐體的中央部表面配置超聲波振動(dòng)器16。在第二筐體的壁面12c上設(shè)置防止該壁面振動(dòng)的壓鐵17。
文檔編號(hào)G02F1/13GK1267084SQ0010281
公開(kāi)日2000年9月20日 申請(qǐng)日期2000年3月10日 優(yōu)先權(quán)日1999年3月10日
發(fā)明者三森健一, 笠間泰彥, 芳賀宣明, 小野昭一, 副島潤(rùn)一郎, 高橋典久, 藤江明雄, 巖崎峰夫 申請(qǐng)人:阿爾卑斯電氣株式會(huì)社