專利名稱：絲網(wǎng)印刷機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及經(jīng)由掩模在基板上印刷膏的絲網(wǎng)印刷機(jī)。
背景技術(shù)：
以往，作為在基板的電極上印刷焊錫等的膏的裝置，公知有絲網(wǎng)印刷機(jī)。該絲網(wǎng)印刷機(jī)具有絲網(wǎng)印刷用的掩模；基板保持部，其在掩模的下方保持基板；刮板，其在與被基板保持部保持的基板相接觸的掩模上滑動(dòng)，并且將供給到掩模上的膏轉(zhuǎn)印到基板上。這種絲網(wǎng)印刷機(jī)所具有的掩模由具有開口部的金屬板部、設(shè)置在金屬板部周圍的樹脂(例如聚酯)制的片狀部構(gòu)成，片狀部的外周部通過粘接劑固定在矩形的掩?？虻南卤砻?。掩模被擱置在掩模架上，并定位于規(guī)定的位置，所述掩模架的掩?？蛴稍O(shè)置在基板保持部的上方的一對(duì)軌道狀的部件構(gòu)成。
·[0003]由此，在絲網(wǎng)印刷機(jī)中，刮板在與基板相接觸的掩模上滑動(dòng)，但出于防止在該刮板滑動(dòng)時(shí)基板與掩模之間產(chǎn)生位置偏移(即基板的電極與掩模的開口部之間的位置偏移)等目的，公知有如下方法，即通過由設(shè)置在基板保持部的側(cè)方的吸附單元吸附掩模來使基板與掩模相互固定(例如專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I :(日本)特開平5-92544號(hào)公報(bào)但是，在上述通過吸附單元吸附掩模從而使基板與掩模相互固定的以往的絲網(wǎng)印刷機(jī)中，當(dāng)將掩模的片狀部粘接到掩模框的粘接劑的一部分迂回到掩模的下表面?zhèn)葟亩纬烧辰觿┑膶?粘接劑層)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)掩模從掩模架高出該粘接劑層的厚度的狀態(tài)，在因掩模制造過程中的品質(zhì)不均等而使粘接劑層的厚度變得較大的情況下，會(huì)出現(xiàn)即使想通過吸附單元吸附掩模也不能順利吸附，基板與掩模之間的相互固定狀態(tài)不充分，印刷狀態(tài)產(chǎn)生不良的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容于是，本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠充分確?；迮c掩模之間的相互固定狀態(tài)，防止印刷狀態(tài)產(chǎn)生不良的絲網(wǎng)印刷機(jī)。本實(shí)用新型第一方面所記載的絲網(wǎng)印刷機(jī)具有絲網(wǎng)印刷用的掩模；基板保持部，其在掩模的下方保持基板；掩模牽拉單元，其在使升降自如的吸附部上升并在基板上方的位置用吸附部吸附掩模之后，通過使吸附部下降而將掩模牽拉到下方，并使掩模與基板相接觸；刮板，其在通過掩模牽拉單元而與基板相接觸的掩模上滑動(dòng)，并且將供給到掩模上的膏轉(zhuǎn)印到基板上。在本實(shí)用新型中，在使升降自如的吸附部上升并在基板上方的位置用吸附部吸附掩模之后，通過使吸附部下降而將掩模牽拉到下方，并使掩模與基板相接觸，即使在將掩模粘接到掩?？虻恼辰觿┯鼗氐窖谀？虻南卤砻鎻亩纬傻恼辰觿拥暮穸纫蜓谀Ｖ圃爝^程中的品質(zhì)不均等而變得較大時(shí)，也能夠可靠地吸附掩模，并將掩模牽拉至基板側(cè)，因此，能夠充分地確?；迮c掩模之間的相互固定狀態(tài)，防止印刷狀態(tài)產(chǎn)生不良。
圖I是本實(shí)用新型的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷機(jī)的主要部分的立體圖。圖2是本實(shí)用新型的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷機(jī)的主要部分的側(cè)視圖。圖3(a)是本實(shí)用新型的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷機(jī)所具有的掩模架以及被掩模架保持的掩模的俯視圖；圖3(b)是其一部分剖面圖。圖4是表示通過本實(shí)用新型的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷機(jī)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)的實(shí)施順序的主要程序的流程圖。圖5(a)、圖5(b)是本實(shí)用新型的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷機(jī)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)的實(shí)施順序的說明圖。圖6(a)、圖6(b)是本實(shí)用新型的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷機(jī)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè) 的實(shí)施順序的說明圖。圖7(a)、圖7(b)是本實(shí)用新型的一實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷機(jī)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)的實(shí)施順序的說明圖。圖8(a)、圖8(b)是本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷機(jī)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)的實(shí)施順序的說明圖。符號(hào)說明I絲網(wǎng)印刷機(jī)；2基板；13掩模；15基板保持組件(基板保持部)；16掩模牽拉部(掩模牽拉單元)；32吸附墊(吸附部)；43b刮板；Pt膏
具體實(shí)施方式
下面，參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行說明。在圖1、2中，絲網(wǎng)印刷機(jī)I進(jìn)行如下的絲網(wǎng)印刷作業(yè)即，在設(shè)置于基板2上的多個(gè)電極3上分別絲網(wǎng)印刷焊錫等的膏Pt。所述絲網(wǎng)印刷機(jī)具有基臺(tái)11 ;一對(duì)掩模架12，其設(shè)置在基臺(tái)11的上方；絲網(wǎng)印刷用的掩模13，其通過掩模架12被保持為水平姿勢(shì)；基板保持組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)14，其設(shè)置在基臺(tái)11上；基板保持組件15，其在掩模13的下方通過基板保持組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)14而移動(dòng)；掩模牽拉部16，其設(shè)置在基板保持組件15上；刮板頭17，其設(shè)置在掩模13的上方；攝像機(jī)組件18，其設(shè)置在基板保持組件15與掩模13之間的區(qū)域；顯示裝置19 ;以及控制裝置20，其對(duì)上述各部分進(jìn)行動(dòng)作控制。在圖I、圖3(a)中，掩模架12由在基臺(tái)11的上方水平且平行地延伸設(shè)置的一對(duì)軌道狀的部件構(gòu)成，掩模13由金屬板部13a和片狀部13b構(gòu)成，所述金屬板部13a由具有與基板2上的各電極3相對(duì)應(yīng)的多個(gè)開口部13h的矩形薄板的金屬板構(gòu)成；所述片狀部13b為樹脂制(例如聚酯)，其支承金屬板部13a的四邊，并且擴(kuò)展延伸到金屬板部13a的外側(cè)。在俯視時(shí)，片狀部13b的外周(四邊)由矩形狀的掩?？?3W支承，掩模框13W的四邊中的相對(duì)的兩邊由掩模架12支承。在此，如從圖3(a)的箭頭V-V方向看到的一部分剖面圖3(b)所示，掩模13的片狀部13b通過粘接劑BD粘接在掩?？?3W的下表面。在圖I中，在基板2上的一個(gè)對(duì)角位置設(shè)置有兩個(gè)基板側(cè)標(biāo)識(shí)2m，在掩模13的金屬板部13a設(shè)置有與這兩個(gè)基板側(cè)標(biāo)識(shí)2m相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)掩模側(cè)標(biāo)識(shí)13m (也參照?qǐng)D3(a))。當(dāng)在使兩個(gè)基板側(cè)標(biāo)識(shí)2m與兩個(gè)掩模側(cè)標(biāo)識(shí)13m上下一致的狀態(tài)下使基板2與掩模13相接觸時(shí)，則基板2的電極3與掩模13的開口部13h成為相吻合的狀態(tài)?；灞３纸M件移動(dòng)機(jī)構(gòu)14由XYZ機(jī)器人構(gòu)成，如圖1、2所示，基板保持組件15由通過基板保持組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)14而向水平面內(nèi)(XY面內(nèi))的方向移動(dòng)(包括旋轉(zhuǎn))以及在上下方向(Z軸方向)移動(dòng)的組件基座21、安裝于組件基座21并在水平面內(nèi)的一個(gè)方向(X軸方向)輸送基板2的一對(duì)傳送帶22、設(shè)置于組件基座21的下承受部升降缸23、通過下承受部升降缸23而升降的下承受部24、以及在與基板2的輸送方向(X軸方向)正交的水平面內(nèi)方向(Y軸方向)開閉自如地設(shè)置的一對(duì)夾緊部件25構(gòu)成。一對(duì)傳送帶22向水平面內(nèi)的一個(gè)方向(X軸方向)輸送基板2，并將基板2定位到規(guī)定的作業(yè)位置(圖I所示的位置)。下承受部24通過下承受部升降缸23而升降，并從下方舉起支承定位于作業(yè)位置的基板2，從而使基板2的兩端向上方離開傳送帶22，一對(duì)夾緊部件25從Y軸方向夾持(夾緊)保持由下承受部24抬起支承的基板2的兩側(cè)部。在圖1、2中，掩膜牽拉部16由設(shè)置在夾緊部件25的Y軸方向外側(cè)的兩個(gè)吸附墊升降缸31、和通過各吸附墊升降缸31而升降的作為兩個(gè)吸附部的吸附墊32構(gòu)成。各吸附·墊32內(nèi)設(shè)置有在吸附墊32的上表面開口的真空管路32a，該真空管路32a與向該真空管路內(nèi)供給真空壓力的吸附機(jī)構(gòu)32M相連。因此，當(dāng)在掩模13 (金屬板部13a)與吸附墊32的上表面相接觸的狀態(tài)下，從吸附機(jī)構(gòu)32M向真空管路內(nèi)供給真空壓力時(shí)，掩模被吸附在吸附墊32上。所述掩模牽拉部16在基板2位于掩模13的下方的狀態(tài)下，通過兩個(gè)吸附墊升降缸31使兩個(gè)吸附墊32上升，在保持基板2的一對(duì)夾緊部件25的上方位置通過吸附墊32吸附掩模13之后，使吸附墊32下降，從而將掩模13牽拉到下方并使掩模13與基板2相接觸。在圖1、2中，刮板頭17具有板狀的移動(dòng)基座41、安裝于移動(dòng)基座41的兩個(gè)刮板升降缸42、以及通過兩個(gè)刮板升降缸42的動(dòng)作而使移動(dòng)基座41的下方上下移動(dòng)的兩個(gè)刮板組件43。刮板頭17(移動(dòng)基座41)通過由未圖示的促動(dòng)器等構(gòu)成的刮板頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)44在相對(duì)于掩模13的水平方向(Y軸方向)往返移動(dòng)。在圖1、2中，各刮板組件43由安裝于刮板升降缸42的活塞桿42a并在X軸方向延伸的刮板架43a、和由安裝于刮板架43a的薄板部件構(gòu)成刮板43b構(gòu)成。各刮板組件43通過刮板升降缸42的活塞桿42a向下方的伸縮動(dòng)作而在移動(dòng)基座41的下方升降，但是由于掩模13和移動(dòng)基座41的上下方向的相對(duì)位置沒有發(fā)生變化，所以通過使各刮板組件43相對(duì)于移動(dòng)基座41下降，能夠使刮板43b從上方與掩模13相抵接。對(duì)絲網(wǎng)印刷機(jī)I進(jìn)行操作的操作人員(未圖示)通常位于兩個(gè)刮板43b相對(duì)的方向(Y軸方向)上的一側(cè)，在以下的說明中，將操作人員所位于的一側(cè)作為絲網(wǎng)印刷機(jī)I的前方，將其相反側(cè)作為絲網(wǎng)印刷機(jī)I的后方。在圖1、2中，攝像機(jī)組件18具有將攝像視野朝向下方的下方攝像機(jī)18a和將攝像視野朝向上方的上方攝像機(jī)18b。攝像機(jī)組件18通過由未圖示的促動(dòng)器等構(gòu)成的攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)18M(圖2)而在水平面內(nèi)方向上在基板保持組件15和掩模13之間的區(qū)域移動(dòng)。通過控制裝置20對(duì)由包含所述下承受部升降缸23的促動(dòng)器等構(gòu)成的基板保持機(jī)構(gòu)15M(圖2)進(jìn)行動(dòng)作控制來進(jìn)行以下動(dòng)作即由基板保持組件15的傳送帶22進(jìn)行的輸送基板2以及將基板2定位到作業(yè)位置的動(dòng)作、由下承受部24對(duì)位于作業(yè)位置的基板2進(jìn)行的下承受動(dòng)作、以及由一對(duì)夾緊部件25進(jìn)行的夾緊動(dòng)作。通過控制裝置20對(duì)所述基板保持組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)14進(jìn)行動(dòng)作控制來進(jìn)行保持了基板2的基板保持組件15在水平面內(nèi)方向以及上下方向的移動(dòng)動(dòng)作。通過兩個(gè)吸附墊升降缸31的同步動(dòng)作而使掩模牽拉部16的兩個(gè)吸附墊32同時(shí)升降，通過控制裝置20對(duì)所述吸附機(jī)構(gòu)32M進(jìn)行動(dòng)作控制來進(jìn)行由兩個(gè)吸附墊32進(jìn)行的掩模13的吸附動(dòng)作。通過控制裝置20對(duì)上述刮板頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)44進(jìn)行動(dòng)作控制來進(jìn)行刮板頭17 (移動(dòng)基座41)向Y軸方向的往返移動(dòng)動(dòng)作，通過控制裝置20對(duì)兩個(gè)刮板升降缸42進(jìn)行動(dòng)作控制來進(jìn)行各刮板組件43 (因此是刮板43b)相對(duì)于移動(dòng)基座41的升降動(dòng)作。通過控制裝置20對(duì)上述攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)18M進(jìn)行動(dòng)作控制來進(jìn)行攝像機(jī)組件18在水平面內(nèi)的移動(dòng)動(dòng)作。通過控制裝置20對(duì)下方攝像機(jī)18a進(jìn)行的攝像動(dòng)作和上方攝像機(jī)18b進(jìn)行的攝像動(dòng)作分別進(jìn)行控制，通過下方攝像機(jī)18a的攝像動(dòng)作得到的圖像數(shù)據(jù)和 通過上方像攝像機(jī)18b的攝像動(dòng)作得到的圖像數(shù)據(jù)分別被發(fā)送到控制裝置20，并在控制裝置20的圖像識(shí)別部20a(圖2)中進(jìn)行圖像識(shí)別處理。下面，結(jié)合圖4的流程圖以及圖5 8的說明圖對(duì)絲網(wǎng)印刷機(jī)I進(jìn)行的絲網(wǎng)印刷作業(yè)(絲網(wǎng)印刷方法)的實(shí)施順序進(jìn)行說明。當(dāng)檢測(cè)到基板2被從設(shè)置在絲網(wǎng)印刷機(jī)I的上游側(cè)的其他裝置等(未圖示)輸送過來時(shí)，絲網(wǎng)印刷機(jī)I的控制裝置20使基板保持組件15的傳送帶22動(dòng)作，將基板2輸送到絲網(wǎng)印刷機(jī)I內(nèi)(圖4中所示的步驟STl)，對(duì)基板保持機(jī)構(gòu)15M進(jìn)行動(dòng)作控制從而保持基板2 (圖5 (a)。圖4中所示的步驟ST2)。在此。具體地，基板2的保持是如下進(jìn)行的。即，用下承受部升降缸23上推下承受部24，將基板2上舉起至從傳送帶22浮起的狀態(tài)(圖5(a)中所示的箭頭A)，同時(shí)向閉合方向驅(qū)動(dòng)一對(duì)夾緊部件25，從而夾持基板2的兩端(圖5(a)中所示的箭頭B)。于是，在本實(shí)施方式中，基板保持組件15成為在掩模13的下方保持基板2的基板保持部，上述步驟ST2成為在掩模13的下方保持基板2的工序。在保持了基板2之后，控制裝置20對(duì)攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)18M進(jìn)行動(dòng)作控制，在使下方攝像機(jī)18a位于設(shè)置在基板2上的基板側(cè)標(biāo)識(shí)2m的正上方后，使下方攝像機(jī)18a對(duì)基板側(cè)標(biāo)識(shí)2m進(jìn)行攝像，并根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)掌握基板2的位置，同時(shí)，在使上方攝像機(jī)18b位于設(shè)置在掩模13上的掩模側(cè)標(biāo)識(shí)13m的正下方后，使上方攝像機(jī)18b對(duì)掩模側(cè)標(biāo)識(shí)13m進(jìn)行攝像，并根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)掌握掩模13的位置。然后，使基板保持組件15在水平面內(nèi)方向移動(dòng)，使基板側(cè)標(biāo)識(shí)2m和掩模側(cè)標(biāo)識(shí)13m上下相對(duì)，并進(jìn)行基板2相對(duì)于掩模13在水平面內(nèi)方向的對(duì)位(圖4中所示的步驟ST3)。在基板2相對(duì)于掩模13的對(duì)位結(jié)束之后，控制裝置20對(duì)基板保持組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)14進(jìn)行動(dòng)作控制，使基板保持組件15相對(duì)于基臺(tái)11上升(圖5(b)中所示的箭頭Cl)，從而使基板2的上表面(以及一對(duì)夾緊部件25的上表面)從下方靠近掩模13的金屬板部13a的下表面。由此，基板2的上表面與掩模13的下表面(金屬板部13a的下表面)成為接近的狀態(tài)(圖5 (b)。圖4中所示的步驟ST4)。通過步驟ST4使基板2的上表面從下方靠近掩模13的下表面之后，控制裝置20對(duì)吸附墊升降缸31進(jìn)行動(dòng)作控制，使一對(duì)吸附墊32上升(圖6(a)中所示的箭頭Dl)，在保持了基板2的一對(duì)夾緊部件25上方的位置使各吸附墊32的上表面與掩模13的金屬板部13a的下表面相接觸之后，對(duì)吸附機(jī)構(gòu)32M進(jìn)行動(dòng)作控制，向各吸附墊32內(nèi)的真空管路內(nèi)供給真空壓力，從而使一對(duì)吸附墊32吸附掩模13的金屬板部13a(圖6(a)。圖4中所示的步驟ST5)。需要說明的是，此時(shí)為了吸附掩模13而使吸附墊32上升的距離的數(shù)據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)于控制裝置20所具有的存儲(chǔ)部20b中(圖2)。在如上所述使一對(duì)吸附墊32吸附掩模13之后，控制裝置20對(duì)吸附墊升降缸31進(jìn)行動(dòng)作控制，使一對(duì)吸附墊32下降(圖6(b)中所示的箭頭D2)，將金屬板部13a牽拉到下方并使掩模13與基板2相接觸(圖6(b)。圖4中所示的步驟ST6)。由此，基板2上的電極3與掩模13的開口部13h相吻合，基板2與掩模13成為相互固定的狀態(tài)。于是，在本實(shí)施方式中，一對(duì)掩模牽拉部16成為如下的掩模牽拉單元即， 在使升降自如的吸附墊32上升，并在基板2上方的位置用吸附墊32吸附掩模13之后，通過使吸附墊32下降，從而將掩模13牽拉到下方并使掩模13與基板2相接觸。而且，上述步驟ST5以及步驟ST6成為如下的工序即，使升降自如的吸附墊32上升，并在基板2上方的位置用吸附墊32吸附掩模13之后，通過使吸附墊32下降，從而將掩模13牽拉到下方并使掩模13與基板2相接觸。在使基板2與掩模13相接觸之后，控制裝置20在顯示裝置19上向操作人員顯示催促供給膏Pt的信息(如圖4所示的步驟ST7)。對(duì)此，操作人員目視現(xiàn)在存留于掩模13上的膏Pt,并基于該膏Pt的量判斷是否應(yīng)該供給(補(bǔ)充)膏Pt。在判斷為應(yīng)該供給膏Pt時(shí)，通過另外準(zhǔn)備的膏供給注射器50(圖7(a))向掩模13上供給膏Pt。當(dāng)膏Pt的供給結(jié)束之后，操作與控制裝置20相連的動(dòng)作再開按鈕60 (圖2)。即使在判斷為不需要供給膏Pt的情況下操作人員也操作動(dòng)作再開按鈕60。在步驟ST7中，控制裝置20在顯示裝置19上向操作人員顯示催促供給膏Pt的信息之后，每隔一定時(shí)間對(duì)是否操作了動(dòng)作再開按鈕60進(jìn)行判斷(圖4中所示的步驟ST8)，當(dāng)基于來自動(dòng)作再開按鈕60的信號(hào)輸出檢測(cè)出操作人員操作了動(dòng)作再開按鈕60時(shí)，在使刮板頭17位于一對(duì)夾緊部件25中的一個(gè)的上方之后，使兩個(gè)刮板43b中的一個(gè)下降(圖7 (b)中所示的箭頭El)，從而使該刮板32b的下端和與夾緊部件25相接觸的掩模13的上表面相抵接(圖4中所示的步驟ST9)。需要說明的是，此時(shí)下降的(與掩模13相抵接的)刮板43b，在使刮板頭17位于前側(cè)的夾緊部件25的上方時(shí)是前側(cè)的刮板43b，在使刮板頭17位于后側(cè)的夾緊部件25的上方時(shí)是后側(cè)的刮板43b。在通過刮板升降缸42的動(dòng)作而使刮板43b和與夾緊部件25相接觸的掩模13的上表面相抵接之后，控制裝置20在使刮板43b與掩模13的上表面相抵接的狀態(tài)下，使刮板頭17(即，使刮板43b)相對(duì)于掩模13在水平方向(Y軸方向)移動(dòng)(圖7(b)中所示的箭頭F)，通過使刮板43b在掩模13上滑動(dòng)，將供給到掩模13上的膏Pt推入到掩模13的開口部13h內(nèi)，并將膏Pt轉(zhuǎn)印到電極3上(圖4中所示的步驟ST10)。于是，刮板43b成為如下的部件即，在通過掩模牽拉部16而與基板2相接觸的掩模13上滑動(dòng)，從而將供給到掩模13上的膏Pt轉(zhuǎn)印到基板2上。而且，步驟STlO成為如下的工序即，使刮板43b在與基板2相接觸的掩模13上滑動(dòng)，從而將供給到掩模13上的膏Pt轉(zhuǎn)印到基板2上。在該步驟STlO中，控制裝置20使刮板43b從與一個(gè)夾緊部件25相接觸的掩模13上的區(qū)域通過與基板2相接觸的掩模13上的區(qū)域，并移動(dòng)到與另一個(gè)夾緊部件25相接觸的掩模13上的區(qū)域。需要說明的是，圖7(b)中顯示的例子是使前側(cè)的刮板43b從與前側(cè)的夾緊部件25相接觸的掩模13上的區(qū)域移動(dòng)到與后側(cè)的夾緊部件25相接觸的掩模13上的區(qū)域，而當(dāng)使后側(cè)的刮板43b從與后側(cè)的夾緊部件25相接觸的掩模13上的區(qū)域移動(dòng)到與前側(cè)的夾緊部件25相接觸的掩模13上的區(qū)域時(shí)，刮板頭17在與圖7(b)中所示的箭頭F相反的方向移動(dòng)。當(dāng)檢測(cè)到刮板43b從與一個(gè)夾緊部件25相接觸的掩模13上的區(qū)域到達(dá)與另一個(gè)夾緊部件25相接觸的掩模13上的區(qū)域從而結(jié)束膏Pt的轉(zhuǎn)印時(shí)，控制裝置20在使刮板頭17的移動(dòng)停止之后，使與掩模13相抵接的刮板43b相對(duì)于移動(dòng)基座41上升(圖8 (a)中所示的箭頭E2)，從而使刮板43b從掩模13分離(圖4中所示的步驟ST11)。在使刮板43b從掩模13分離之后，控制裝置20使吸附墊升降缸31動(dòng)作，在通過步驟ST5使一對(duì)吸附墊32上升到吸附掩模13的位置之后(圖8(a)中所示的箭頭D3)，通過解除一對(duì)吸附墊32對(duì)掩模13的吸附而使基板2從掩模13離板(圖8 (a)。圖4中所示 的步驟ST12)。在離板結(jié)束之后,控制裝置20使吸附墊升降缸31動(dòng)作，從而使一對(duì)吸附墊32下降(圖8 (b)中所示的箭頭D4)，同時(shí)使基板保持組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)14動(dòng)作，從而使基板保持組件15下降(圖8(b)中所示的箭頭C2)。然后，控制裝置20在使基板保持機(jī)構(gòu)15M動(dòng)作，從而使一對(duì)夾緊部件25打開后，使下承受部24下降，將基板2的兩端下降到一對(duì)傳送帶22上。由此，基板保持組件15對(duì)基板2的保持被解除(參照?qǐng)D2。圖4所示的步驟ST13)。在解除對(duì)基板2的保持之后，控制裝置20使基板保持組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)14動(dòng)作，從而使基板保持組件15在水平面內(nèi)移動(dòng)，在調(diào)整傳送帶22的朝向之后，使傳送帶22動(dòng)作，從而將基板2輸送到絲網(wǎng)印刷機(jī)I的外部(圖4所示的步驟ST14)。在輸送基板2之后，控制裝置20判斷是否還有其他進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的基板2(圖4中所示的步驟ST15)。當(dāng)判斷結(jié)果為還有其他進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的基板2時(shí)，返回到步驟ST1，進(jìn)行新的基板2的輸送；當(dāng)判斷結(jié)果為沒有其他進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的基板2時(shí)，結(jié)束一系列的絲網(wǎng)印刷作業(yè)。如上述說明，在本實(shí)施方式中的絲網(wǎng)印刷機(jī)I及絲網(wǎng)印刷方法中，使升降自如的吸附墊32 (吸附部)上升，在基板2上方的位置通過吸附墊32吸附掩模13之后，使吸附墊32下降，由此將掩模13牽拉到下方并使掩模13與基板2相接觸。如圖3(b)所示，即使在將掩模13 (片狀部13b)粘接到掩模框13W的粘接劑BD迂回到掩?？?3W的下表面從而形成的粘接劑層的厚度T因掩模13制造過程中的品質(zhì)不均等而變得較大時(shí)，也能夠可靠地吸附掩模13，并將掩模13牽拉至基板2側(cè)，因此，能夠充分地確保基板2與掩模13之間的相互固定狀態(tài)，防止印刷狀態(tài)產(chǎn)生不良。產(chǎn)業(yè)上的實(shí)用性本實(shí)用新型提供一種能夠充分地確?；迮c掩模之間的相互固定狀態(tài)，防止印刷狀態(tài)產(chǎn)生不良的絲網(wǎng)印刷機(jī)。
權(quán)利要求1.一種絲網(wǎng)印刷機(jī)，其特征在于，具有 絲網(wǎng)印刷用的掩模； 基板保持部，其在掩模的下方保持基板； 掩模牽拉單元，其在使升降自如的吸附部上升并在基板上方的位置用吸附部吸附掩模之后，通過使吸附部下降而將掩模牽拉到下方，并使掩模與基板相接觸； 刮板，其在通過掩模牽拉單元而與基板相接觸的掩模上滑動(dòng)，并且將供給到掩模上的膏轉(zhuǎn)印到基板上。
專利摘要本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠充分地確保基板與掩模之間的相互固定狀態(tài)，防止印刷狀態(tài)產(chǎn)生不良的絲網(wǎng)印刷機(jī)。在通過基板保持組件(15)在絲網(wǎng)印刷用的掩模(13)的下方保持基板(2)之后，使升降自如的吸附墊(32)上升并在基板(2)的上方的位置用吸附墊(32)吸附掩模(13)后，通過使吸附墊(32)下降而將掩模(13)牽拉到下方，并使掩模(13)與基板(2)相接觸。
文檔編號(hào)B41F15/08GK202685513SQ201220151478
公開日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月2日
發(fā)明者友松道范, 大武裕治, 村上俊行, 村上稔, 前田亮 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社