專利名稱：粘性膜粘貼裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種粘性膜粘貼裝置，在對各類襯底，如用于液晶顯示的半導體襯底和玻璃襯底，進行表面處理的過程中，該裝置用于將粘性膜粘貼到襯底的一個表面，該粘性膜具有與襯底形狀相應的形狀。
背景技術：
至今，已經提出了各種類型的膜粘貼裝置，該裝置將粘性膜粘貼到每個各種不同類型的襯底的一個表面上，該粘性膜具有與每個襯底的形狀相應的形狀。
例如，日本未經審查的專利公報H7(1995)-195527號公開了一種粘性膜粘貼裝置，該裝置具有如下結構。膜檢測機構檢測最前面的其中一張粘性膜已達到固定位置，該粘性膜被布置在由膜進給裝置進給的膜供給帶上?；谠摍z測結果，膜供給帶的進給被停止。在該停止位置，粘性膜相對于襯底的相對位置和相對角度被校正。然后，襯底和膜供給帶被同步輸送，連續(xù)在帶折返點處將粘性膜從膜供給帶上剝離，以將粘性膜粘在襯底上。
在′527公報公開的粘性膜粘貼裝置中，粘性膜被以預定的間隔縱向布置在膜供給帶上，當粘性膜被順序輸送至預定的粘貼位置時，在膜供給帶的進給過程中，每張粘性膜的出現首先通過反射光敏傳感器被檢測，該光敏傳感器被設置在膜檢測機構中。進一步地，當另一個反射光敏傳感器根據每張粘性膜的尺寸檢測到每張粘性膜的后端時，在該時刻，膜供給帶的進給被停止。該停止位置被設為預定的粘貼位置。
如上所述，′527公報中的粘性膜粘貼裝置被布置為通過利用光敏傳感器控制膜供給帶的進給，將設置在膜供給帶上的每張粘性膜放置于預定的位置。然而，在粘性膜由具有透光特性的透明或半透明的膜制成的情況下，對于某些光學傳感器，如該光傳感器，可靠地檢測該粘性膜的出現是非常困難的。在該情況下，粘性膜不能被穩(wěn)定地設置在適當的位置。
為避免上述缺陷，傳感器而不是光敏傳感器被用于檢測粘性膜，以使，即使粘性膜具有透光特性，也能被設置在預定的位置。
例如，日本專利3174917號公開了一種粘性帶粘貼裝置，該裝置布置為通過利用傳感器而不是光傳感器檢測可脫離膜上的每個粘性帶的邊緣，將連續(xù)粘附在可脫離膜上的粘性帶設置于預定的位置。
特別地，粘性帶粘貼裝置通過使用限位開關檢測到，每個被粘附在可脫離膜上的粘性帶被置于預定的位置。正方形輪被置于限位開關的末端，該輪一與每個粘性帶的邊緣相接觸就被轉動，并因此，限位開關的桿被很大程度地移動。從而，檢測到粘性帶處于預定的位置。
從′917專利的圖3了解到，通過限位開關檢測的每個粘性帶的邊緣為后端，以將每個粘性帶置于預定的位置，此刻，每個粘性帶的邊緣被通過限位開關檢測。
然而，′917專利中公開的粘性帶粘貼裝置需要每個粘性帶的前端被布置在預定的粘貼位置，此刻，布置在可脫離膜上的每個粘性帶的后端被通過限位開關檢測。因此，在限位開關的正方形輪和剝離盤的前端之間的路徑長度需等于每個粘性帶的尺寸，該剝離盤將每個粘性帶從可脫離膜剝離。
在上述裝置中，設有限位開關的帶檢測機構被基本固定，以使在限位開關的正方形輪和剝離盤的前端之間的路徑長度被確定為固定長度。該裝置可被運行，以用于具有統(tǒng)一大小、布置在脫帶上的粘性帶；然而，該裝置不適合于不同大小的粘性帶，這些粘性帶用于不同大小的襯底。
雖然帶檢測機構可根據每個粘性帶的尺寸被自由移動，但是調整帶檢測裝置的位置的工作將極其麻煩。

發(fā)明內容
考慮到上述情況，已經作出了本發(fā)明，其目的是克服上述問題并提供一種粘性膜粘貼裝置，該裝置通過可靠地檢測每張粘性膜的邊緣能夠將粘性膜設置在預定的粘貼位置，即使粘性膜是具有透光特性的膜；每張粘性膜以預定的間隔粘附并布置在基帶上。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種粘性膜粘貼裝置，該裝置能靈活地運行，以用于各種類型的、不同尺寸的粘性膜，以將任何尺寸的粘性膜單獨設置在預定的粘貼位置。
本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點將在下面的描述中部分地被闡述，并從該描述中部分地變清楚，或通過本發(fā)明的實施可以被得知。本發(fā)明的目的和優(yōu)點可通過特別地在附加的權利要求中指出的手段及組合被實現、獲得。
(1)為實現本發(fā)明的目的，提供一種粘性膜粘貼裝置，該裝置包括帶進給裝置，用于進給膜供給帶，在該膜供給帶上，每張具有預定形狀的粘性膜被以預定間隔、沿基帶的縱向布置；膜剝離裝置，用于把將向后折疊膜供給帶引導至折返點，并將每張粘性膜在折返點處從基帶上剝離；粘貼輥，置于折返點附近，并且可沿上、下方向移動；以及粘貼臺，用于在其上放置襯底，粘性膜將被粘貼在每張襯底上；粘貼輥和粘貼臺被相對于彼此移動，由此通過膜剝離裝置順序地將每張粘性膜從基帶上剝離，并通過粘貼輥將每張粘性膜粘貼到每個襯底上，其中，粘性膜粘貼裝置還包括檢測裝置，其包括可在每張粘性膜的厚度方向上移位的接觸器，該粘性膜被粘附地設置在膜供給帶的基帶上，該膜供給帶由帶進給裝置進給，當接觸器的預定移位被檢測到時，檢測裝置被調整以檢測每張粘性膜的一端；以及控制裝置，用于基于從檢測裝置輸出的檢測信號控制帶進給裝置，以使膜供給帶被以預定的進給量進給，直至粘性膜的前端靠近折返點。
(2)在粘性膜粘貼裝置(1)中，優(yōu)選地，被粘附地設置在基帶上的粘性膜包括大量各種尺寸的粘性膜，以及，控制裝置根據每張粘性膜的尺寸改變預定進給量。
(3)在粘性膜粘貼裝置(2)中，優(yōu)選地，檢測裝置的接觸器包括輥接觸器，該輥接觸器設有可轉動的輥，該裝置還包括引導桿，該引導桿具有一平支撐面，并且隔著膜供給帶面向輥接觸器布置。
(4)在粘性膜粘貼裝置(3)中，優(yōu)選地，輥接觸器在非運行過程中被分離引導桿的支撐面，該過程中，膜供給帶不被帶進給裝置進給。
(5)優(yōu)選地，粘性膜粘貼裝置(2)還包括設定裝置，用于根據大量粘性膜的各種尺寸設置預定的進給量，其中，控制裝置基于預定進給量控制帶進給裝置進給膜供給帶，該預定進給量由設定裝置根據粘性膜的各種尺寸設置。
根據上述裝置(1)，粘性膜被粘附在膜供給帶的基帶上，當粘性膜被帶進給裝置進給時，粘性膜的邊緣被基于檢測裝置的接觸器的預定移位量的檢測結果而檢測，該接觸器可在粘性膜的厚度方向上移位；并且，帶進給裝置還被控制裝置基于從檢測裝置輸出的檢測信號而控制，以預定進給量進給膜供給帶，直至粘性膜的前端被置于靠近折返點。利用該結構，即使粘性膜是具有透光特性的膜，該粘性膜被以預定間隔粘附并布置在基帶上，每張粘性膜的邊緣也可通過檢測裝置的接觸器被明確地檢測到，并且，每張粘性膜可被設置在與膜供給帶的折返點相對應的預定粘貼位置上。即使當膜供給帶的路徑長度被設定成固定的長度時，膜供給帶根據每張不同尺寸的粘性膜進給預定量，該路徑長度存在于所置檢測裝置的位置和膜供給帶的折返點之間。本發(fā)明的粘性膜粘貼裝置可被靈活地對任何尺寸的粘性膜進行操作，并將每張粘性膜設置在預定的粘貼位置。
上述粘貼裝置被如此布置，以使基于當檢測裝置檢測到每張粘性膜的邊緣時輸出的檢測信號，帶進給裝置以預定量進給膜供給帶，設置每張粘性膜在預定的粘貼位置，該粘貼位置與膜供給帶的折返點相對應。檢測裝置在粘貼裝置中所處的位置可被自由設定，可使得擁有高度的粘貼裝置的設計自由。
根據粘性膜粘貼裝置(2)，控制裝置根據粘性膜的每個不同尺寸改變膜供給帶的預定進給量，該膜供給帶就由帶進給裝置進給。在檢測裝置檢測到每張粘性膜的邊緣之后，通過根據每張粘性膜的尺寸改變帶的預定進給量，膜供給帶可被進給。因此，任何尺寸的粘性膜可被單獨設置在預定的粘貼位置上。
粘性膜粘貼裝置(3)還包括引導桿，該桿有一平支撐面，被面向檢測裝置的輥接觸器布置，該輥接觸器設有可轉動的輥，該輥將膜供給帶插入引導桿和輥接觸器之間。為了膜供給帶上的每張粘性膜的檢測，輥接觸器被壓靠引導桿的支撐面。因此，檢測裝置可明確檢測到輥接觸器相對于每張粘性膜的厚度的移位，由此穩(wěn)定檢測到每張粘性膜的端部。
粘性膜粘貼裝置(4)被如此布置，以使檢測裝置的輥接觸器在非運行過程中被于引導桿的支撐面分離，該過程中，帶進給裝置不進給膜供給帶。因此，將膜供給帶沿預定路徑放置于粘貼裝置內的工作被容易地實現。進一步地，肯定能預防輥接觸器上的不必要的應力，以長期穩(wěn)定地保持檢測裝置的檢測準確性。
粘性膜粘貼裝置(5)被如此布置，以使預定進給量可由設定裝置根據粘性膜的每個不同尺寸來設定，以及，控制裝置基于預定進給量控制帶進給裝置進給膜供給帶，該預定進給量與由設定裝置設定的每個尺寸相對應。該粘貼裝置可被靈活地對任何尺寸的粘性膜進行操作，并以預定量可靠地進給膜供給帶。


這些附圖被并入并組成了該說明書的一部分，圖解說明了本發(fā)明的實施例，并且，與描述一起，用以闡明本發(fā)明的目的、優(yōu)點和原理。
這些圖中，圖1是粘性膜粘貼裝置的側視圖；圖2是膜粘貼單元的放大圖，該單元被安裝到粘性膜粘貼裝置上；圖3是膜供給帶的透視放大圖；圖4是檢測傳感器及其外圍裝置的放大圖；圖5是該檢測傳感器進一步的放大圖；圖6是示意性平面圖，表示檢測傳感器和引導桿之間的關系；圖7是引導部件及其外圍裝置的示意性放大圖；圖8是用于該粘性膜粘貼裝置的驅動系統(tǒng)的示意性說明圖；和圖9A至9D是說明圖，表示由引導部件剝離粘性膜的操作，以及由粘貼輥粘貼粘性膜的操作。
具體實施例方式
現在，粘性膜粘貼裝置的優(yōu)選實施例的詳細描述將被參考附圖給出，該裝置體現了本發(fā)明。首先，本實施例中的粘性粘貼裝置(9-5)的示意性結構將參考圖1和2說明。圖1是該粘性膜粘貼裝置的側視圖。圖2是膜粘貼單元的放大圖，該單元被安裝到該粘性膜粘貼裝置上。
在圖1和2中，粘性膜粘貼裝置1包括裝置主體2，該主體含有一工作基座3，粘貼單元4被安裝在該基座上。粘貼單元4被懸掛在嵌入裝置主體2的橫梁5上，并被布置成利用未示出的驅動裝置、沿圖1中的箭頭A所示的方向往復運動。置于粘貼單元4下方的是驅動機構8，用于上、下移動臺7，半導體襯底6(見圖3)被放置在該臺上，該驅動機構8用于移動被設置在粘貼裝置1內的各種工件。應指明的是，驅動機構8的結構廣為人知，其詳細描述在此被省略。
如圖2所示，粘貼單元4包括一對主框架9(圖2僅示出一個主框架9，其被置于相對于牽引頁的遠側)，該對主框架9懸掛在橫梁5上。一對側框架10(圖2僅示出一個側框架10，其被置于相對于牽引頁的遠側)被分別設置在主框架9內。
被可轉動地支撐在主框架9之間的是卷軸11，膜供給帶12(下文中提到)被以卷繞的狀態(tài)纏繞在該卷軸11上。而且，卷取軸13被支撐在主框架9之間，以纏繞基帶12A，在此之前，粘性膜12B如下文所述被從膜供給帶12剝離。
膜供給帶12的結構在下面參考圖3說明。圖3是膜供給帶的透視放大圖。在圖3中，膜供給帶12由基帶12A和粘性膜12B形成，基帶12A由連續(xù)的長條形透明膜構成，每張粘性膜12B是無色的，具有透光特性并被粘附。粘性膜12B被粘貼在基帶12A上，并沿基帶12A的縱向以預定間隔布置。每張粘性膜12B被設計為其外直徑小于環(huán)形架40，該環(huán)形架被置于粘貼臺7的適當位置上。
要注意的是，如上構造的膜供給帶12被引導部件14的前緣折返，并被引引導卷取軸13，引導部件14的前緣被形成為像刀刃。該實施例中，當膜供給帶12被引導部件14的前緣折返時，粘性膜12B被從基帶12A上剝離，并被一體地粘貼在半導體襯底6和環(huán)形架40上。粘性膜12B的該粘貼操作將在后面提到。
在側框架10之間，一對給送輥15、引導輥16和17、一對牽引輥18，以及三個引導輥19、20和21以該順序、從膜供給帶12的上游側沿膜供給帶12的進給方向被可轉動地布置。
其中一個給送輥15由未示出的電機驅動轉動，由此從卷軸11放出膜供給帶12。
檢測傳感器22被置于給送輥15和引導輥16之間的基本上的中心處，以檢測膜供給帶12上的粘性膜12B。
下面參考圖4至6解釋檢測傳感器22的結構。圖4是檢測傳感器及其外圍裝置的放大圖；圖5是該檢測傳感器進一步的放大圖；以及圖6是示意平面圖，表示檢測傳感器和引導桿之間的關系。
檢測傳感器22包括一所謂的移位傳感器，該移位傳感器用來測量例如薄膜的厚度。該傳感器22設有輥接觸器23，該輥接觸器23可在與粘性膜12B的厚度方向相對應的方向(圖2、4和5中的右和左方向)上被移位，粘性膜12B被粘貼在膜供給帶12的基帶12A上，膜供給帶12由給送輥15進給?？赊D動的輥24被安裝到輥接觸器23的一端。檢測傳感器22隔著安裝基座25被安裝在主框架9上。具有一平支撐面的引導桿27被隔著膜供給帶12、面向檢測傳感器22的輥接觸器23布置，該膜供給帶12被插入在引導桿27和輥接觸器23之間。
檢測傳感器22內部設有推力彈簧，該彈簧在圖4和5中向左推動輥接觸器23；并且還設有電磁鐵(未示出)，用于克服彈簧的推力，在圖4和5中向右移動輥接觸器23。
在粘貼粘性膜12B的操作中，電磁鐵被驅動，使輥接觸器23克服彈簧的推力在圖4和5中向右凸出。輥接觸器23的輥24隔著膜供給帶12與引導桿27的支撐面26相接觸，膜供給帶12由給送輥15進給。由于粘性膜12在處于輥24與膜供給帶12相接觸的狀態(tài)下被如上所述地輸送，輥24與粘性膜12的前端接觸。然后，輥24被逐漸向左移位，該移位歸因于粘性膜12B的厚度。在輥24的左向移位量(距離)超過預定值的時刻，代表檢測到粘性膜12B的信號被輸送至放大器28，并在該放大器中被放大(見圖4)，該放大器置于檢測傳感器22的上方。該放大信號然后通過控制器39被輸出至序列發(fā)生器33，該序列發(fā)生器33在下文中提到，控制器39被設置在放大器28內。
在沒有粘貼粘性膜12B的操作被進行的情況下，檢測傳感器22內的電磁鐵不被驅動，使得輥接觸器23被推力彈簧的推力向左推動。輥接觸器23的輥24因此被分離引導桿27的支撐面26。
回到圖2作進一步解釋，引導部件14具有一形成為像刀刃的前緣，如圖7所示，該引導部件14被置于引導輥16和17之間。該引導部件14在其前緣折返膜供給帶12，該膜供給帶12通過給送輥15被從卷軸11輸送。該由引導部件14完成的折返使粘性膜12B從基帶12A上脫落，該粘性膜12B被粘附地設置在膜供給帶12上。
靠近引導部件14的邊緣布置的是可上、下移動的粘貼輥29。在粘貼粘性膜12B的操作中，粘貼單元4沿橫梁5被移向臺7，直至已從基帶12A上脫落的粘性膜12B被設定在環(huán)形架40的粘貼起始位置上，該環(huán)形架40被置于臺7上。隨后，該粘貼輥29被氣缸30向下移動以按壓粘性膜12B，由此將粘性膜12B粘貼到環(huán)形架40和半導體襯底6的表面上。該操作結合粘貼單元4的移動被順序地進行。
進一步地，粘性膜12B已通過引導部件14從基帶12A上脫落，該基帶12A被該對牽引輥18牽引(下面的一個輥被可轉動地驅動)，且被引導輥19、20和21依次引導，并被纏繞在卷取軸13上。應注意，卷取軸13被可轉動地驅動，與上述給送輥15和牽引輥18同步。
下面參考圖8和9解釋如上構造的膜粘貼裝置1的操作。圖8是用于粘性膜粘貼裝置的驅動系統(tǒng)的示意性說明圖；以及圖9A至9D為說明圖，表示由引導部件剝離粘性膜的操作和由粘貼輥粘貼粘性膜的操作。
膜粘貼裝置的驅動系統(tǒng)首先參考圖8描述。在圖8中，其中一個給送輥15設有編碼器32，該編碼器計算形成在編碼盤(未示出)內的縫的固定數量，并將編碼盤每次轉動的編碼脈沖輸出到序列發(fā)生器33，該編碼盤被安裝到給送輥15的輥軸15A上。
控制器39設置在檢測傳感器22內，該控制器39被連接到序列發(fā)生器33上。當基帶12A上的粘性膜12B，被如上所述通過檢測傳感器22的輥接觸器23檢測到時，來自控制器39的檢測信號被傳輸至序列發(fā)生器33。
而且，序列發(fā)生器33被連接到主CPU34，以允許兩者之間的各種信號的通訊。驅動電機(未示出)用于可轉動地驅動給送輥15，該電機被連接到電機驅動器35上，該電機驅動器控制驅動電機的轉動。特別地，該電機驅動器基于來自主CPU34的控制信號控制驅動電機的轉動。
操作面板36用于設置各種狀態(tài)，該面板被連接到主CPU34。例如，欲使用的粘性膜12B的尺寸根據環(huán)形架40的尺寸而變化。因此，在環(huán)形架40的尺寸被改變的情況下，膜供給帶12的進給量通過操作面板36根據環(huán)形架40的尺寸被設定。
粘貼粘性膜12B的操作由驅動系統(tǒng)執(zhí)行，該操作在下面解釋。通過操作面板36的操作，膜供給帶12的進給量被根據粘性膜12B的尺寸設置，該進給量與欲用在粘性膜粘貼裝置1中的環(huán)形架40的尺寸相對應。此時，環(huán)形架40的尺寸通常是大量預定的不同尺寸中的一個。因此，與環(huán)形架40的尺寸相對應的膜供給帶12的大量進給量可被提前設定，以允許從預定的不同進給量中選擇理想的進給量。
一旦開始粘性膜12B的粘貼操作，檢測傳感器22中的電磁鐵就被激勵，使輥接觸器23隔著膜供給帶12與引導桿27的支撐面26相接觸。同時，電機驅動信號被從主CPU34傳輸至電機驅動器35。基于來自主CPU34的電機驅動信號，引起電機驅動器35可轉動地驅動電機，該電機使給送輥15轉動。因此，膜供給帶12由給送輥15進給，該膜供給帶12由基帶12A和粘性膜12B形成，粘性膜12B以預定間隔被粘附地布置在基帶12A上。粘性膜12B的前端由檢測傳感器22通過輥接觸器23檢測。來自檢測傳感器22的檢測信號在放大器28中被放大，然后通過控制器39被傳輸至序列發(fā)生器33。
一旦接收到來自檢測傳感器22的指示檢測到粘性膜12B的信號，序列發(fā)生器33就傳輸指示接收到檢測信號的信號到主CPU34?；谠撔盘?，CPU34產生一指令信號到序列發(fā)生器33，以開始定位粘性膜12B的操作。來自檢測傳感器22的檢測信號還用作觸發(fā)信號，以使序列發(fā)生器33開始計算從編碼器32輸出的編碼脈沖。當脈沖計數達到預定數時，序列發(fā)生器33產生一信號將該效果指示給主CPU34，該預定數與通過操作面板36設定的預定進給量相對應。
主CPU34產生一停止電機的信號到電機驅動器35，該電機可轉動地驅動給送輥15。因此，電機驅動器35停止電機的轉動，停止給送輥15的轉動。此時，粘性膜12B的前端由引導部件14從基帶12A上剝離，如圖8所示。
隨后，如圖2所示，粘貼單元4被從圖2所示的其位置向右移動預定的距離。粘貼輥29被設置成正好高于脫落的粘性膜12B的前端，如圖8所示。然后，粘貼輥29被氣缸30向下移動至粘性膜12B的粘貼起始位置。此時，脫落的粘性膜12B的前端被按壓，并被粘貼在環(huán)形架40上，該環(huán)形架40設置在臺7的預定位置上。同時，粘貼單元4在圖8中被向右移動，膜供給帶12的基帶12A通過牽引輥18和卷取軸13的運轉被順次地引導卷取軸13，牽引輥18和卷取軸13被驅動與給送輥15同步轉動。該狀態(tài)下，膜供給帶12上的粘性膜12B因此被引導部件14從基帶12A上剝離，并同時被粘貼輥29粘貼在環(huán)形架40和半導體襯底6上。
在此，下面的說明將參考圖9作出，該說明是關于在利用引導部件14將粘性膜12B從膜供給帶12上剝離的同時，利用粘貼輥29將粘性膜12B一體地粘貼在環(huán)形架40和半導體襯底6上。圖9A至9D是說明圖，表示由引導部件剝離粘性膜的操作，以及由粘貼輥粘貼粘性膜的操作。
在圖9中，如上所述，在存在于基帶12A上的粘性膜12B的前端被檢測傳感器22中的輥接觸器23檢測到之后，膜供給帶12通過給送輥15、牽引輥18和卷取軸13的運轉被進給預定的進給量，直至從編碼器32輸出的編碼脈沖的計數達到預定的數。在編碼脈沖的計數達到預定的數的時刻，即，當膜供給帶12被進給預定進給量時，膜供給帶12的進給被停止。該狀態(tài)如圖9B所示。在該階段，前端被稍微剝離的粘性膜12B的前端正好被置于粘貼輥29的下方。
然后，粘貼輥29被氣缸30從圖9B所示的狀態(tài)向下移動。粘性膜12B的前端被粘貼在環(huán)形架40上，稍微位于環(huán)形架外邊緣的內側，該環(huán)形架40被設置在臺7的適當位置上。該狀態(tài)如圖9C所示。
進一步地，粘貼單元4在圖9中被向右移動，并且膜供給帶12通過牽引輥18和卷取軸13的運轉被順序地輸送向卷取軸13，牽引輥18和卷取軸13被驅動與給送輥15同步轉動。這使得膜供給帶12上的粘性膜12B被引導部件14順序地從基帶12A上剝離，并同時被粘貼輥29一體地粘貼到環(huán)形架40和半導體襯底6上。
在本實施例的膜粘貼裝置1中，如上詳細描述，膜供給帶12通過給送輥15、牽引輥18、和卷取軸13的協調動作從卷軸11被進給，該膜供給帶12具有粘性膜12B，其被粘附地設置在基帶12A上。該粘性膜12B的檢測通過檢測粘性膜12B的前端進行，該檢測基于這樣的條件，即預定的移位量通過檢測傳感器22的輥接觸器23被檢測，該輥接觸器可在粘性膜12B的厚度方向上移位。給送輥15等通過主CPU34、序列發(fā)生器33、電機驅動器35等而被控制，使膜供給帶12進給預定的進給量，直至粘性膜12B的前端由引導部件14靠近膜供給帶12的折返點，該控制基于從檢測傳感器22輸出的檢測信號。即使被以預定間隔粘貼在基帶12A上的粘性膜12B是具有透光特性的無色膜，每張粘性膜12B的前端也能通過檢測傳感器22的輥接觸器23而被可靠地檢測。這使得有可能將每張粘性膜12B的前端放置在預定的粘貼點，該粘貼點與膜供給帶12的折返點相對應。
膜供給帶12的路徑長度存在于所置檢測傳感器22的位置與膜供給帶12的折返點之間，在該路徑長度被定在固定長度的情況下，膜供給帶12根據每張可用粘性膜12B的尺寸被進給預定量。因此，膜粘貼裝置1可被靈活地操作用于各種類型的、具有不同尺寸的粘性膜12B，所以，所選定尺寸的粘性膜12B可被設置在預定的粘貼位置上。
而且，膜粘貼裝置1被構造如下膜供給帶12通過給送輥15及其它部件被以預定量進給，該進給基于從檢測傳感器22輸出的檢測信號，該檢測傳感器22檢測粘性膜12B的前端，以使粘性膜12B被設置在預定的粘貼位置上，該粘貼位置與膜供給帶12的折返點相對應。因此，檢測傳感器22被置于膜粘貼裝置1內的位置可被自由確定，能維持膜粘貼裝置1高度的設計自由。
利用操作面板36的操作，進一步地，可根據具有不同尺寸的大量粘性膜12B的每個尺寸，適當地設定膜供給帶12的預定進給量，該膜供給帶12由給送輥15及其它部件進給。這使得有可能在根據粘性膜12B的每個尺寸改變膜供給帶12的預定進給量的同時，進給膜供給帶12。因此，任何尺寸的粘性膜12B可被單獨地設置在預定的粘貼位置上。
而且，具有平支撐面26的引導桿27被面向檢測傳感器22的輥接觸器23布置，該輥接觸器23具有隔著膜供給帶12的可轉動的輥24。因此，為檢測膜供給帶12上的粘性膜12B，輥接觸器23被壓靠引導桿27的支撐面26，以使輥接觸器23相對于粘性膜12B的厚度的移位可被安全地檢測到。所以，粘性膜12B的前端可被穩(wěn)定地檢測到。
在膜供給帶12沒有被給送輥15及其它部件進給的非運行過程中，檢測傳感器22中的電磁鐵不被激勵，通過推力彈簧將檢測傳感器22中的輥接觸器23與引導桿27的支撐面26分離。膜供給帶12可被容易地沿預定路徑布置在膜粘貼裝置1內。能可靠地減小輥接觸器23上的不必要的壓力，并因此長期保持檢測傳感器22的穩(wěn)定的檢測準確性。
每張粘性膜12B具有不同尺寸，其預定進給量可按照每個尺寸、通過操作面板36被設置。主CPU34、序列發(fā)生器33及其它部件控制給送輥15及其它部件進給膜供給帶12，該控制基于通過操作面板36設定的、與每個尺寸相對應的預定進給量。即使粘性膜12B的尺寸被改變成另一個尺寸，膜粘貼裝置1也可靈活地操作用于已改變的尺寸，可靠地將膜供給帶12進給預定的進給量。
本發(fā)明可被包含在其它的特定形式中，而不脫離本發(fā)明的精神或本質特征。
例如，上述實施例中，被布置為利用檢測傳感器22的輥接觸器23檢測膜供給帶12的每張粘性膜12B的前端。由于膜供給帶12僅在每張粘性膜12B的任一端被檢測到后才能被進給預定的進給量，例如，每張粘性膜12B的后端而不是其前端可能被檢測到。
上述實施例中，環(huán)形架40和半導體襯底6被布置在臺7上，在將粘性膜12B粘貼到環(huán)形架40上之前，該臺7已被固定。并且粘貼單元4被移動、粘貼每張粘性膜12B的操作被重復。然而，本發(fā)明并不被限于該種結構。例如，粘貼單元4和粘貼臺7可被構造成允許相對運動。換句話說，若粘貼單元4和粘貼臺7可相對運動，上述粘貼每張粘性膜12B的操作可被進行。
此外，上述實施例中，膜供給帶12的預定進給量通過操作面板36根據粘性膜12B的膜尺寸被提前設置，該進給量與環(huán)形架40的尺寸相對應，并且，膜供給帶12被基于該提前設定的預定進給量進給。然而，本發(fā)明并不被限于該種結構。例如，一傳感器可被設置，該傳感器用于檢測粘性膜12B的尺寸。在該情況下，膜供給帶12的預定進給量被讀取，并且膜供給帶12被基于所讀取的預定進給量而進給；該預定進給量已被提前存儲，與由傳感器檢測的每張粘性膜12B的尺寸一致。
雖然，上述實施例中的粘性膜12B被一體地粘貼到半導體襯底6和環(huán)形架40上，但是該粘性膜12B可被僅直接粘貼在半導體襯底6上。
如上所述，本發(fā)明有可能提供一種粘性膜粘貼裝置，該裝置通過可靠地檢測粘性膜的一端、能夠將粘性膜設置在預定的粘貼位置上，即使粘性膜是具有透光特性的膜時也是如此，該粘性膜以預定間隔被粘附地布置在基帶上；并且該裝置能夠靈活地操作用于各類不同尺寸的粘性膜，以將任何尺寸的粘性膜設置在預定的粘貼位置上。
權利要求
1.一種粘性膜粘貼裝置，其包括帶進給裝置，用于進給膜供給帶，每張具有預定形狀的粘性膜沿基帶的縱向被以預定間隔布置在該膜供給帶上；膜剝離裝置，用于把將向后折疊的膜供給帶引導至折返點，并將每張粘性膜在折返點處從基帶上剝離；粘貼輥，置于折返點附近，并且可沿上、下方向移動；以及粘貼臺，用于在其上放置襯底，粘性膜將被粘貼在每張襯底上；粘貼輥和粘貼臺被相對于彼此移動，由此通過膜剝離裝置順序地將每張粘性膜從基帶上剝離，并通過粘貼輥將每張粘性膜粘貼到每個襯底上，其中，粘性膜粘貼裝置還包括檢測裝置，其包括可在每張粘性膜的厚度方向上移位的接觸器，該粘性膜被粘附地設置在膜供給帶的基帶上，該膜供給帶將由帶進給裝置進給，當接觸器的預定移位被檢測到時，檢測裝置適合于檢測每張粘性膜的一端；以及控制裝置，用于基于從檢測裝置輸出的檢測信號控制帶進給裝置，以使膜供給帶以預定的進給量被進給，直至粘性膜的前端靠近折返點。
2.根據權利要求1所述的粘性膜粘貼裝置，其中，被粘附地設置在基帶上的粘性膜包括數個不同尺寸的粘性膜，以及控制裝置根據每張粘性膜的尺寸改變預定進給量。
3.根據權利要求2所述的粘性膜粘貼裝置，其中，檢測裝置的接觸器包括輥接觸器，該輥接觸器設有可轉動的輥，以及該裝置還包括引導桿，該引導桿具有一平支撐面，并且隔著膜供給帶、面向輥接觸器布置。
4.根據權利要求3所述的粘性膜粘貼裝置，其中，輥接觸器在非運行過程中被從引導桿的支撐面分離，在該過程中，膜供給帶不被帶進給裝置進給。
5.根據權利要求2所述的粘性膜粘貼裝置，還包括設定裝置，用于根據數個粘性膜的不同尺寸設置預定的進給量，其中，控制裝置基于預定進給量控制帶進給裝置，以進給膜供給帶，該預定進給量由設定裝置根據粘性膜的不同尺寸設定。
全文摘要
一種粘性膜粘貼裝置，為檢測粘附地設置在膜供給帶的基帶上的粘性膜，粘性膜的前端被檢測，該檢測以檢測傳感器的輥接觸器的預定移位量的檢測為基礎，輥接觸器可在粘性膜的厚度方向上移位。基于來自檢測傳感器的檢測信號，給送輥及其它被控制以將膜供給帶進給預定的進給量，直至粘性膜的前端經由引導部件靠近膜供給帶的折返點。該裝置能靈活地運行，以用于各種類型的、不同尺寸的粘性膜，以將任何尺寸的粘性膜單獨設置在預定的粘貼位置。
文檔編號B32B37/12GK1730276SQ200510087
公開日2006年2月8日 申請日期2005年8月5日 優(yōu)先權日2004年8月6日
發(fā)明者平井修爾, 入江勝, 長田典祥, 山本雅之 申請人:日東電工株式會社